JPH0152137B2 - - Google Patents
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- JPH0152137B2 JPH0152137B2 JP59221295A JP22129584A JPH0152137B2 JP H0152137 B2 JPH0152137 B2 JP H0152137B2 JP 59221295 A JP59221295 A JP 59221295A JP 22129584 A JP22129584 A JP 22129584A JP H0152137 B2 JPH0152137 B2 JP H0152137B2
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- magnetic pole
- intermediate sliding
- stator
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- sliding table
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- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 33
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 7
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/40—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using ball, roller or wheel arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/601—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair followed parallelly by a single sliding pair
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は駆動部にリニアモータを使用した微動
および速送り可能なテーブルに関する。 （従来の技術） 本発明者は、既に特願昭58−198803号明細書に
おいて、固定ベツド上に設けた軌道台にリニアベ
アリングを介して移動テーブルを移動可能に支持
し、前記固定ベツドに回転方向に可能で且つ軸方
向に固定させてボールねじ軸を軸支し、そのボー
ルねじ軸に鋼球を介してボールナツトを回転方向
および軸方向に可動に螺合するとともに該ボール
ナツトを前記移動テーブルに連結し、また前記固
定ベツドに前記ボールねじ軸に近接してボールス
プライン軸を回転可能に軸支し、そのボールスプ
ライン軸に、外筒を軸方向に可動に且つ該ボール
スプライン軸とともに回転しうるように鋼球を介
してスプライン嵌合し、該外筒を前記ボールナツ
トに連動機構を介して連動させ、さらに前記ボー
ルねじ軸とボールスプライン軸に２個の回転モー
タをそれぞれ駆動連結し、２個の回転モータの回
転方向を適当に選択することによつて移動テーブ
ルの送りを微小送りから速送りまで段階的に変更
制御できるようにしたものを提案した。 （発明が解決しようとする問題点） しかしながら上記先願の発明では、ボールねじ
やボールスプラインを使用するため、回転トルク
によりねじ軸やスプライン軸にねじれが生じた
り、ねじ軸とナツトの間あるいはスプライン軸と
外筒間に多少のバツクラツシユが発生するのは避
けられず、このため移動テーブルの応答性が悪
く、位置決め精度を大幅に高めることは困難であ
つた。 また、ボールねじやボールスプラインが移動テ
ーブルに取付けられているため、移動テーブルの
重量増を招いて慣性力が大きくなり、始動時や停
止時の応答性がそれだけ悪くなるという問題があ
つた。 さらに回転モータ、ボールねじおよびボールス
プラインの取付スペースが必要になりテーブル全
体の大きさが大きくなるという問題もあつた。 そこで本発明は上記従来の問題点に着目してな
されたもので、その目的とするところは、ボール
ねじやボールスプラインを省略することにより、
テーブル本体等の移動部の軽量化を図つて、始動
時および停止時の応答性を向上させ、これにより
テーブル本体の位置決め精度を著しく向上しう
る、コンパクトな微動および速送り可能なリニア
モータ付テーブルを提供することにある。 （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため、本発明の第一発明に
係る微動および速送り可能なリニアモータ付テー
ブルにあつては、基台に中間摺動台およびテーブ
ル本体を順番に積み重ねた状態でリニアベアリン
グを介してそれぞれ同一方向に相対移動可能に配
設し、前記基台と前記中間摺動台および該中間摺
動台とテーブル本体との間にそれぞれリニアモー
タを介在させるように構成した。 また本発明の第二発明にあつては、基台の上面
または中間摺動台の下面のいずれか一方に配設し
た第一固定子の磁極歯のピツチと、中間摺動台の
上面またはテーブル本体の下面のいずれか一方に
配設された第二固定子の磁極歯のピツチとが異な
るように構成した。 （実施例） 以下、本発明に係る微動および速送り可能なリ
ニアモータ付テーブルの実施例について説明す
る。 第１図乃至第１８図には本発明の第一実施例が
示されている。この第一実施例によるリニアモー
タ付テーブルの全体構成を示す第１図乃至第３図
において、１はベツド等の固定物（図示せず）に
固定される基台で、この基台１には、左右各２対
のリニアベアリング２，２；２，２を介してテー
ブル本体３が長手方向に沿つて直線移動可能に取
付けられており、また該テーブル本体３と基台１
との間には中間摺動台４が配設され、この中間摺
動台４は左右各２対のリニアベアリング５，５；
５，５を介して長手方向に直線移動可能にテーブ
ル本体３に取付けられている。 第４図乃至第６図に示すように、基台１の上面
にはその長手方向に延びる軌道台６が一体に突出
形成され、該軌道台６の両側面には２条の負荷ボ
ール転走溝６ａ，６ａがそれぞれ形成されてい
る。また中間摺動台４は、第１０図乃至第１２図
に示されるように、扁平な板状体よりなり、その
両側面に２条の負荷ボール転走溝４ａ，４ａがそ
れぞれ形成されている。テーブル本体３は、第７
図乃至第９図に示されるように、横断面略コ字状
を呈し、その両側部内側にはボルト等の固着具
７，７…により２個のリニアベアリング２，５が
それぞれ上下に重ね合わされて固着されている。
このように、基台１に中間摺動台４およびテーブ
ル本体３が、順番に積み重ねた状態でリニアベア
リング２，５を介して同一方向に相対移動可能に
配設されている。 各リニアベアリング２，５は第１４図乃至１６
図に示すように、片側に２条のボール転走溝１
０，１０が設けられかつ内部にボール逃げ穴１
１，１１が設けられたベアリングブロツク１２
と、２条の負荷ボール列を保持する保持器１３
と、ボール転走溝１０，１０とボール逃げ穴１
１，１１とを連通する一対の側蓋１４，１４とか
ら構成されており、負荷ボール１５，１５…はボ
ール転走溝１０，１０およびボール逃げ穴１１，
１１間を循環するようになつている。このボール
転走溝１０，１０と負荷ボール１５，１５…との
接触角αはほぼ45度となつているが、45度に限定
されるものではなく30〜60度の範囲であればよ
い。また第３図に示すように、基台１と中間摺動
台４との間および中間摺動台４とテーブル本体３
との間のリニアベアリング２，２…；５，５…と
軌道台１の両側面との隙間は、隙間調整ボルト１
６，１６…によつて調整されている。すなわち隙
間調整ボルト１６，１６…を締め込むことによつ
てリニアベアリング２，５は軌道台６側に押圧さ
れるとともに、隙間調整ボルト１６，１６…の押
圧力の反力が中間摺動台４および軌道台６を介し
て反対側のリニアベアリング２，５に作用してそ
れらを軌道台６側に押圧して負荷ボール１５，１
５…に予圧をかけている。 一方、基台１と中間摺動台４との間、および中
間摺動台４とテーブル本体３との間にはそれぞれ
第１、第２リニアモータ２０，２１が介在されて
いる。各リニアモータ２０，２１は本実施例にお
いてはリニアパルスモータで、固定子２２と可動
子２３との組合せにより構成されており、パルス
発生源（図示せず）から可動子２２にパルスを入
力することにより作動するようになつている。 まず第１７図ａおよび第１７図ｂを参照して第
１リニアモータ２０の構成について説明すると、
中間摺動台４の下面には、磁性体よりなる平板状
の固定子２２が長手方向に配設されており、一方
基台１の上面には固定子２２に対面させて、可動
子２３が取付けられている。各可動子２３は永久
磁石２４を中心に介在させてその左右に２つの磁
気コア２５，２６を対向配置して構成されてお
り、一方の磁気コア２５には永久磁石２４により
Ｎ極に磁化された第１の磁極２７および第２の磁
極２８が形成され、他方の磁気コア２６には永久
磁石２４によりＳ極に磁化された第３の磁極２９
および第４の磁極３０が形成されている。 固定子２２には、第１７図ａに示すように長手
方向と略直交する方向に延びる断面コ字形状の固
定歯２２ａが長手方向に略全長にわたつて、同一
ピツチP1で等間隔に設けられている。各磁極２
７〜３０にも固定子２２と同一のピツチの磁極歯
２７ａ〜３０ａがそれぞれ形成されている。 Ｎ極側の第１の磁極２７および第２の磁極２８
には、第１のコイル３１および第２のコイル３２
が巻かれており、電流が流れた際に互いに逆向き
の磁束が発生するように直列に結線されており、
パルス発生源（図示せず）に電気的に接続されて
いる。一方Ｓ極側の第３の磁極２９および第４の
磁極３０にも、同様に直列に結線された第３のコ
イル３３および第４のコイル３４が巻かれてお
り、パルス発生源（図示せず）に接続されてい
る。ここで、説明の都合上、例えば第１の磁極２
７の磁極歯２７ａに対して第２の磁極２８の磁極
歯２８ａは位相が1/2ピツチ（1/2P1）だけずれ
ており、また第３の磁極２９の磁極歯２９ａに対
して第４の磁極３０の磁極歯３０ａも同様に位相
が1/2ピツチ（1/2P1）だけずれているものとし、
さらにＮ極側の第１の磁極２７および第２の磁極
２８の磁極歯２７ａ，２８ａに対してＳ極側の第
３の磁極２９および第４の磁極３０の磁極歯２９
ａ，３０ａは1/4ピツチ（1/4P1）だけ位相がず
れているものとする。 まず本実施例のリニアパルスモータの動作原理
について説明する。第１８図ａ〜ｄは、リニアパ
ルスモータの動作原理を示す概略図を示してお
り、第１のコイル３１と第２のコイル３２には端
子ａから、第３のコイル３３と第４のコイル３４
には端子ｂからパルスが入力されるようになつて
いる。第１８図ａでは、端子ａに第１の磁極２７
を励磁する方向に（モード）、第１８図ｂでは
端子ｂに第４の磁極３０を励磁する方向に（モー
ド）、第１８図ｃでは端子ａに第２の磁極２８
を励磁する方向に（モード）、第１８図ｄでは
端子ｂに第３の磁極２９を励磁する方向に（モー
ド）、それぞれパルスが入力された状態を示し
ている。 ここで第１表にモードないしの場合の各磁
極の磁気力発生状態を示す。
および速送り可能なテーブルに関する。 （従来の技術） 本発明者は、既に特願昭58−198803号明細書に
おいて、固定ベツド上に設けた軌道台にリニアベ
アリングを介して移動テーブルを移動可能に支持
し、前記固定ベツドに回転方向に可能で且つ軸方
向に固定させてボールねじ軸を軸支し、そのボー
ルねじ軸に鋼球を介してボールナツトを回転方向
および軸方向に可動に螺合するとともに該ボール
ナツトを前記移動テーブルに連結し、また前記固
定ベツドに前記ボールねじ軸に近接してボールス
プライン軸を回転可能に軸支し、そのボールスプ
ライン軸に、外筒を軸方向に可動に且つ該ボール
スプライン軸とともに回転しうるように鋼球を介
してスプライン嵌合し、該外筒を前記ボールナツ
トに連動機構を介して連動させ、さらに前記ボー
ルねじ軸とボールスプライン軸に２個の回転モー
タをそれぞれ駆動連結し、２個の回転モータの回
転方向を適当に選択することによつて移動テーブ
ルの送りを微小送りから速送りまで段階的に変更
制御できるようにしたものを提案した。 （発明が解決しようとする問題点） しかしながら上記先願の発明では、ボールねじ
やボールスプラインを使用するため、回転トルク
によりねじ軸やスプライン軸にねじれが生じた
り、ねじ軸とナツトの間あるいはスプライン軸と
外筒間に多少のバツクラツシユが発生するのは避
けられず、このため移動テーブルの応答性が悪
く、位置決め精度を大幅に高めることは困難であ
つた。 また、ボールねじやボールスプラインが移動テ
ーブルに取付けられているため、移動テーブルの
重量増を招いて慣性力が大きくなり、始動時や停
止時の応答性がそれだけ悪くなるという問題があ
つた。 さらに回転モータ、ボールねじおよびボールス
プラインの取付スペースが必要になりテーブル全
体の大きさが大きくなるという問題もあつた。 そこで本発明は上記従来の問題点に着目してな
されたもので、その目的とするところは、ボール
ねじやボールスプラインを省略することにより、
テーブル本体等の移動部の軽量化を図つて、始動
時および停止時の応答性を向上させ、これにより
テーブル本体の位置決め精度を著しく向上しう
る、コンパクトな微動および速送り可能なリニア
モータ付テーブルを提供することにある。 （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため、本発明の第一発明に
係る微動および速送り可能なリニアモータ付テー
ブルにあつては、基台に中間摺動台およびテーブ
ル本体を順番に積み重ねた状態でリニアベアリン
グを介してそれぞれ同一方向に相対移動可能に配
設し、前記基台と前記中間摺動台および該中間摺
動台とテーブル本体との間にそれぞれリニアモー
タを介在させるように構成した。 また本発明の第二発明にあつては、基台の上面
または中間摺動台の下面のいずれか一方に配設し
た第一固定子の磁極歯のピツチと、中間摺動台の
上面またはテーブル本体の下面のいずれか一方に
配設された第二固定子の磁極歯のピツチとが異な
るように構成した。 （実施例） 以下、本発明に係る微動および速送り可能なリ
ニアモータ付テーブルの実施例について説明す
る。 第１図乃至第１８図には本発明の第一実施例が
示されている。この第一実施例によるリニアモー
タ付テーブルの全体構成を示す第１図乃至第３図
において、１はベツド等の固定物（図示せず）に
固定される基台で、この基台１には、左右各２対
のリニアベアリング２，２；２，２を介してテー
ブル本体３が長手方向に沿つて直線移動可能に取
付けられており、また該テーブル本体３と基台１
との間には中間摺動台４が配設され、この中間摺
動台４は左右各２対のリニアベアリング５，５；
５，５を介して長手方向に直線移動可能にテーブ
ル本体３に取付けられている。 第４図乃至第６図に示すように、基台１の上面
にはその長手方向に延びる軌道台６が一体に突出
形成され、該軌道台６の両側面には２条の負荷ボ
ール転走溝６ａ，６ａがそれぞれ形成されてい
る。また中間摺動台４は、第１０図乃至第１２図
に示されるように、扁平な板状体よりなり、その
両側面に２条の負荷ボール転走溝４ａ，４ａがそ
れぞれ形成されている。テーブル本体３は、第７
図乃至第９図に示されるように、横断面略コ字状
を呈し、その両側部内側にはボルト等の固着具
７，７…により２個のリニアベアリング２，５が
それぞれ上下に重ね合わされて固着されている。
このように、基台１に中間摺動台４およびテーブ
ル本体３が、順番に積み重ねた状態でリニアベア
リング２，５を介して同一方向に相対移動可能に
配設されている。 各リニアベアリング２，５は第１４図乃至１６
図に示すように、片側に２条のボール転走溝１
０，１０が設けられかつ内部にボール逃げ穴１
１，１１が設けられたベアリングブロツク１２
と、２条の負荷ボール列を保持する保持器１３
と、ボール転走溝１０，１０とボール逃げ穴１
１，１１とを連通する一対の側蓋１４，１４とか
ら構成されており、負荷ボール１５，１５…はボ
ール転走溝１０，１０およびボール逃げ穴１１，
１１間を循環するようになつている。このボール
転走溝１０，１０と負荷ボール１５，１５…との
接触角αはほぼ45度となつているが、45度に限定
されるものではなく30〜60度の範囲であればよ
い。また第３図に示すように、基台１と中間摺動
台４との間および中間摺動台４とテーブル本体３
との間のリニアベアリング２，２…；５，５…と
軌道台１の両側面との隙間は、隙間調整ボルト１
６，１６…によつて調整されている。すなわち隙
間調整ボルト１６，１６…を締め込むことによつ
てリニアベアリング２，５は軌道台６側に押圧さ
れるとともに、隙間調整ボルト１６，１６…の押
圧力の反力が中間摺動台４および軌道台６を介し
て反対側のリニアベアリング２，５に作用してそ
れらを軌道台６側に押圧して負荷ボール１５，１
５…に予圧をかけている。 一方、基台１と中間摺動台４との間、および中
間摺動台４とテーブル本体３との間にはそれぞれ
第１、第２リニアモータ２０，２１が介在されて
いる。各リニアモータ２０，２１は本実施例にお
いてはリニアパルスモータで、固定子２２と可動
子２３との組合せにより構成されており、パルス
発生源（図示せず）から可動子２２にパルスを入
力することにより作動するようになつている。 まず第１７図ａおよび第１７図ｂを参照して第
１リニアモータ２０の構成について説明すると、
中間摺動台４の下面には、磁性体よりなる平板状
の固定子２２が長手方向に配設されており、一方
基台１の上面には固定子２２に対面させて、可動
子２３が取付けられている。各可動子２３は永久
磁石２４を中心に介在させてその左右に２つの磁
気コア２５，２６を対向配置して構成されてお
り、一方の磁気コア２５には永久磁石２４により
Ｎ極に磁化された第１の磁極２７および第２の磁
極２８が形成され、他方の磁気コア２６には永久
磁石２４によりＳ極に磁化された第３の磁極２９
および第４の磁極３０が形成されている。 固定子２２には、第１７図ａに示すように長手
方向と略直交する方向に延びる断面コ字形状の固
定歯２２ａが長手方向に略全長にわたつて、同一
ピツチP1で等間隔に設けられている。各磁極２
７〜３０にも固定子２２と同一のピツチの磁極歯
２７ａ〜３０ａがそれぞれ形成されている。 Ｎ極側の第１の磁極２７および第２の磁極２８
には、第１のコイル３１および第２のコイル３２
が巻かれており、電流が流れた際に互いに逆向き
の磁束が発生するように直列に結線されており、
パルス発生源（図示せず）に電気的に接続されて
いる。一方Ｓ極側の第３の磁極２９および第４の
磁極３０にも、同様に直列に結線された第３のコ
イル３３および第４のコイル３４が巻かれてお
り、パルス発生源（図示せず）に接続されてい
る。ここで、説明の都合上、例えば第１の磁極２
７の磁極歯２７ａに対して第２の磁極２８の磁極
歯２８ａは位相が1/2ピツチ（1/2P1）だけずれ
ており、また第３の磁極２９の磁極歯２９ａに対
して第４の磁極３０の磁極歯３０ａも同様に位相
が1/2ピツチ（1/2P1）だけずれているものとし、
さらにＮ極側の第１の磁極２７および第２の磁極
２８の磁極歯２７ａ，２８ａに対してＳ極側の第
３の磁極２９および第４の磁極３０の磁極歯２９
ａ，３０ａは1/4ピツチ（1/4P1）だけ位相がず
れているものとする。 まず本実施例のリニアパルスモータの動作原理
について説明する。第１８図ａ〜ｄは、リニアパ
ルスモータの動作原理を示す概略図を示してお
り、第１のコイル３１と第２のコイル３２には端
子ａから、第３のコイル３３と第４のコイル３４
には端子ｂからパルスが入力されるようになつて
いる。第１８図ａでは、端子ａに第１の磁極２７
を励磁する方向に（モード）、第１８図ｂでは
端子ｂに第４の磁極３０を励磁する方向に（モー
ド）、第１８図ｃでは端子ａに第２の磁極２８
を励磁する方向に（モード）、第１８図ｄでは
端子ｂに第３の磁極２９を励磁する方向に（モー
ド）、それぞれパルスが入力された状態を示し
ている。 ここで第１表にモードないしの場合の各磁
極の磁気力発生状態を示す。
【表】
【表】
第１表に示すようにモードの場合にはＮ極側
の第１の磁極２７の磁力が強力で、第１の磁極２
７と固定子２２の固定歯２２ａとの間の吸引力に
より可動子２３は保持され安定状態にある。一方
Ｓ極側の第３および第４の磁極２９，３０はそれ
ぞれ固定子２２の固定歯２２ａに対して1/4ピツ
チだけ位相がずれている。モードでは第１の磁
極２７のコイル３１による磁力はなくなり、代つ
てＳ極側の第４の磁極３０の磁力が強力になつ
て、可動子２３は第４の磁極３０が固定子２２の
固定歯２２ａと位相が合致する方向に相対的に移
動して1/4ピツチ（1/4P1）だけ進むことになる。
このときＮ極側の第１および第２の磁極２７，２
８が1/4ピツチ（1/4P1）だけ位相がずれる。 さらにモードではＮ極側の第２の磁極２８の
磁力が強力になり、第２の磁極２８が固定子２２
の固定歯２２ａと位相が合致する方向に可動子２
３は相対的に移動して1/4ピツチ（1/4P1）進み、
Ｓ極側の第３および第４の磁極２９，３０は1/4
ピツチ（1/4P1）だけ位相がずれる。モードで
はＳ極側の第３の磁極２９の磁力が強力となり、
第３の磁極２９が固定子２２の固定歯２２ａと位
相が合致する方向に可動子２３は相対的に移動し
て1/4ピツチ（1/4P1）進む。さらに再びモード
に戻つてＮ極側の第１の磁極２７の磁力が強力
となつて可動子２３は1/4ピツチ（1/4P1）だけ
相対的に進み第１８図ａの状態となる。このよう
にモードからの繰り返しによつて１パルス当
り1/4ピツチ（1/4P1）ずつ移動するようになつ
ている。 一方中間摺動台４とテーブル本体３との間に配
設された第２リニアモータ２１も、第１図乃至第
３図および第７図乃至第１２図に示すように、中
間摺動台４の上面側に長手方向に配設された固定
子４０と、テーブル本体３の下面側に配設された
可動子４１とからなり、可動子４１には前記した
可動子２３と同様に永久磁石４２によつて磁化さ
れたＮ極側の第１の磁極４３および第２の磁極４
３と、Ｓ極側の第３の磁極４４および第４の磁極
４５が形成されており、それぞれの磁極に第１の
コイル４６、第２のコイル４７、第３のコイル４
８および第４のコイル４９が巻かれている。さら
にこの第１のコイル４６、第２のコイル４７、第
３のコイル４８および第４のコイル４９はパルス
発生源（図示せず）に電気的に接続されており、
パルス発生源からのパルススによりテーブル本体
３を中間摺動台４に対して基台１の長手方向に駆
動するようになつている。 第１３図に示すように、中間摺動台４の上、下
面に配設された固定子４０，２２は、上側の固定
子４０の磁極歯４０ａのピツチ（P2）と下側の
固定子２２の磁極歯２２ａのピツチ（P1）とが
異なつている。また、説明の都合上、第２リニア
モータ２１でも、例えば第１の磁極４３に対して
第２の磁極４４は磁極歯の位相が1/2ピツチ（1/2
P2）だけずれており、第３の磁極４５に対して
第４の磁極４６も同様に磁極歯の位相が1/2ピツ
チ（1/2P2）だけずれているものとし、さらにＮ
極側の第１の磁極４３および第２の磁極４４の磁
極歯に対してＳ極側の第３の磁極４５および第４
の磁極４６の磁極歯は1/4ピツチ（1/4P2）だけ
位相がずれているものとする。従つて、この場
合、第１リニアモータ２０と同様に、可動子４１
は固定子４０に対して１パルス当り1/4ピツチ
（1/4P2）ずつ移動する。 つぎに、本実施例のリニアモータ付テーブルの
作用について説明する。まずテーブル本体３を基
台１に対して早送りする場合には、第１リニアモ
ータ２０（基台１側）の可動子２３にパルス発生
源（図示せず）よりパルスを入力すると、該可動
子２３は中間摺動台４の下側の固定子２２に対し
て１パルスにつき1/4ピツチ（1/4P1）ずつ相対
移動し、従つて中間摺動台４とともにテーブル本
体３は基台１の長手方向に１パルス当り1/4ピツ
チ（1/4P1）ずつ移送され、一方第２リニアモー
タ２１（テーブル本体３側）の可動子４１にパル
ス発生源（図示せず）より逆極性のパルスを入力
すると、該可動子４１は中間摺動台４の上側の固
定子４０に対してパルスにつき1/4ピツチ（1/4
P2）ずつ第１リニアモータ２０の移動方向と同
方向に相対移動し、従つてテーブル本体３は中間
摺動台４に対して第１リニアモータ２０による移
動方向と同方向に相対的に移動される。この結
果、テーブル本体３は基台１に対して１パルスに
つき距離（1/4P1＋1/4P2）だけ移動、すなわち
速送りされる。 つぎに微動送りする場合には、第１リニアモー
タ２０の可動子２３および第２リニアモータ２１
の可動子４１に同一極性のパルスを入力すると、
第１リニアモータ２０によりテーブル本体３は中
間摺動台４とともに基台１の長手方向に１パルス
当り1/4ピツチ（1/4P1）ずつ移送され、一方第
２リニアモータ２１によりテーブル本体３は中間
摺動台４に対して第１リニアモータ２０による移
動方向と逆方向に１パルス当り1/4ピツチ（1/4
P2）ずつ移動されるので、結局該テーブル本体
３は基台１に対して距離（1/4P1−1/4P2）だけ
移動、すなわち微動送りされる。 なおテーブル本体３の移送速度は、パルスの周
波数を高くすると速くなり、低くすることにより
遅くなる。また入力するパルスの数により移送距
離が調整される。 さらにテーブル本体３に負荷がかかつた場合で
も、リニアベアリング２，２…，５，５…には予
圧がかけられているので、テーブル本体３と中間
摺動台４並びに中間摺動台４と基台１との間にガ
タつきが生じることはなく、さらにボール転走溝
１０と負荷ボール１５との接触角を45度付近にと
つているので、上下左右の四方向からの荷重を均
一に支承することができ、リニアモータの可動子
と固定子との隙間寸法は一定に保たれ、常に推力
および停止保持力は一定に保持される。また転が
り軸受であるリニアベアリング２，２…；５，５
…を使用しているので摩耗が少ないため、テーブ
ル本体３に負荷がかかつた場合でも可動子と固定
子が干渉するおそれは無く、したがつて可動子と
固定子との隙間を狭くして大きな推力および停止
保持力を得ることができる。 また本実施例のリニアパルスモータにおいて
は、１パルス当り固定歯の1/4ピツチずつ移動す
るようになつているが、１パルス当り一定量だけ
移動するモータであればよく、また、リニアパル
スモータに限るものではなくリニア直流モータ、
リニア同期モータ等他の方式のものでもよい。 第１９図は本発明の第二実施例を示しており、
この実施例は、基台１に、リニアクロスローラー
ベアリングよりなるリニアベアリング２′，２′
…；５′，５′…を介して中間摺動台４およびテー
ブル本体３を長手方向に移動可能に取付けたもの
で、その他の構成および作用は前記第一実施例と
略同様であり、従つてその詳細な説明は省略す
る。 第２０図は本発明の第三実施例を示し、この実
施例は、基台１上にリニアボールベアリングより
なるリニアベアリング５，５…を介して断面Ｉ字
形の中間摺動台４を長手方向に移動可能に支承
し、その中間摺動台４にリニアボールベアリング
よりなるリニアベアリング２，２…を介してテー
ブル本体３を長手方向に移動可能に取付け、第１
および第２リニアモータ２０，２１の可動子２
３，４１を中間摺動台４の上下両側面に配設する
とともに、固定子２２，４０を基台１の上面およ
びテーブル本体３の下面にそれぞれ配置したもの
で、その他の構成および作用は前記第一実施例と
略同様である。 尚、第１９図および第２０図に示した上記第
二、第三実施例において、第一実施例と同様の部
材には同一の符号を付した。 以上の実施例の説明において、第１および第２
リニアモータ２０，２１の固定子２２，４０およ
び可動子２３，４１は、図示例のように配設する
ばかりでなく基台１、テーブル本体３および中間
摺動台４のいずれに配設してもよいことは勿論で
ある。 （発明の効果） 本発明の第一発明に係る微動および速送り可能
なリニアモータ付テーブルは、基台に中間摺動台
およびテーブル本体を積み重ねた状態でリニアベ
アリングを介して相対移動自在に支持することに
より、テーブル本体に加わる重量をバランスよく
支持することができ、しかもリニアモータの駆動
を有効に伝達することができる。また２個のリニ
アモータを適当に制御することにより、基台に対
して中間摺動台を移動させるとともに該中間摺動
台に対してテーブル本体を相対移動させて、基台
に対する中間摺動台の移動量と該中間摺動台に対
するテーブル本体の移動量との差あるいは和によ
つてテーブル本体を基台に対して極めて正確に微
小送り、あるいは速送りして高精度の位置決めを
行なうことができる。 さらに、リニアモータを使用することによりボ
ールねじやボールスプライン等を使使用する必要
がなくなつて軽量化を図ることができるので、テ
ーブル本体等の移動部の慣性力が小さくなり始動
時および停止時の応答性が向上し、位置決め精度
が著しく向上する。 また、従来のようにボールねじのねじ軸やボー
ルスプラインのスプライン軸等の捩れや、ねじ軸
とナツトあるいはスプライン軸と外筒とのバツク
ラツシユが無いので、位置決め精度を一層向上さ
せることができる。 さらに、回転モータ、ねじ軸およびスプライン
軸等の配置スペースが不要になるので薄形コンパ
クトで汎用性の高い移送用のテーブルが得られる
ばかりでなく、部品点数を削減することができる
ので、コストダウンが可能であるとともに組立精
度が向上し、さらに構造が単純化されるので故障
の発生を極力防止することができる。 本第二発明によれば、上記した第一発明による
効果に加えて、基台と中間摺動台間に配設された
リニアモータの固定子の磁極歯のピツチと、中間
摺動台とテーブル間に配設されたリニアモータの
固定子の磁極歯のピツチとを異ならせたので、ピ
ツチ差を適当に設定することによつて微小送り時
や速送り時の送り量を任意に変更することができ
る上、構成自体も極めて簡単であるという効果が
得られる。
の第１の磁極２７の磁力が強力で、第１の磁極２
７と固定子２２の固定歯２２ａとの間の吸引力に
より可動子２３は保持され安定状態にある。一方
Ｓ極側の第３および第４の磁極２９，３０はそれ
ぞれ固定子２２の固定歯２２ａに対して1/4ピツ
チだけ位相がずれている。モードでは第１の磁
極２７のコイル３１による磁力はなくなり、代つ
てＳ極側の第４の磁極３０の磁力が強力になつ
て、可動子２３は第４の磁極３０が固定子２２の
固定歯２２ａと位相が合致する方向に相対的に移
動して1/4ピツチ（1/4P1）だけ進むことになる。
このときＮ極側の第１および第２の磁極２７，２
８が1/4ピツチ（1/4P1）だけ位相がずれる。 さらにモードではＮ極側の第２の磁極２８の
磁力が強力になり、第２の磁極２８が固定子２２
の固定歯２２ａと位相が合致する方向に可動子２
３は相対的に移動して1/4ピツチ（1/4P1）進み、
Ｓ極側の第３および第４の磁極２９，３０は1/4
ピツチ（1/4P1）だけ位相がずれる。モードで
はＳ極側の第３の磁極２９の磁力が強力となり、
第３の磁極２９が固定子２２の固定歯２２ａと位
相が合致する方向に可動子２３は相対的に移動し
て1/4ピツチ（1/4P1）進む。さらに再びモード
に戻つてＮ極側の第１の磁極２７の磁力が強力
となつて可動子２３は1/4ピツチ（1/4P1）だけ
相対的に進み第１８図ａの状態となる。このよう
にモードからの繰り返しによつて１パルス当
り1/4ピツチ（1/4P1）ずつ移動するようになつ
ている。 一方中間摺動台４とテーブル本体３との間に配
設された第２リニアモータ２１も、第１図乃至第
３図および第７図乃至第１２図に示すように、中
間摺動台４の上面側に長手方向に配設された固定
子４０と、テーブル本体３の下面側に配設された
可動子４１とからなり、可動子４１には前記した
可動子２３と同様に永久磁石４２によつて磁化さ
れたＮ極側の第１の磁極４３および第２の磁極４
３と、Ｓ極側の第３の磁極４４および第４の磁極
４５が形成されており、それぞれの磁極に第１の
コイル４６、第２のコイル４７、第３のコイル４
８および第４のコイル４９が巻かれている。さら
にこの第１のコイル４６、第２のコイル４７、第
３のコイル４８および第４のコイル４９はパルス
発生源（図示せず）に電気的に接続されており、
パルス発生源からのパルススによりテーブル本体
３を中間摺動台４に対して基台１の長手方向に駆
動するようになつている。 第１３図に示すように、中間摺動台４の上、下
面に配設された固定子４０，２２は、上側の固定
子４０の磁極歯４０ａのピツチ（P2）と下側の
固定子２２の磁極歯２２ａのピツチ（P1）とが
異なつている。また、説明の都合上、第２リニア
モータ２１でも、例えば第１の磁極４３に対して
第２の磁極４４は磁極歯の位相が1/2ピツチ（1/2
P2）だけずれており、第３の磁極４５に対して
第４の磁極４６も同様に磁極歯の位相が1/2ピツ
チ（1/2P2）だけずれているものとし、さらにＮ
極側の第１の磁極４３および第２の磁極４４の磁
極歯に対してＳ極側の第３の磁極４５および第４
の磁極４６の磁極歯は1/4ピツチ（1/4P2）だけ
位相がずれているものとする。従つて、この場
合、第１リニアモータ２０と同様に、可動子４１
は固定子４０に対して１パルス当り1/4ピツチ
（1/4P2）ずつ移動する。 つぎに、本実施例のリニアモータ付テーブルの
作用について説明する。まずテーブル本体３を基
台１に対して早送りする場合には、第１リニアモ
ータ２０（基台１側）の可動子２３にパルス発生
源（図示せず）よりパルスを入力すると、該可動
子２３は中間摺動台４の下側の固定子２２に対し
て１パルスにつき1/4ピツチ（1/4P1）ずつ相対
移動し、従つて中間摺動台４とともにテーブル本
体３は基台１の長手方向に１パルス当り1/4ピツ
チ（1/4P1）ずつ移送され、一方第２リニアモー
タ２１（テーブル本体３側）の可動子４１にパル
ス発生源（図示せず）より逆極性のパルスを入力
すると、該可動子４１は中間摺動台４の上側の固
定子４０に対してパルスにつき1/4ピツチ（1/4
P2）ずつ第１リニアモータ２０の移動方向と同
方向に相対移動し、従つてテーブル本体３は中間
摺動台４に対して第１リニアモータ２０による移
動方向と同方向に相対的に移動される。この結
果、テーブル本体３は基台１に対して１パルスに
つき距離（1/4P1＋1/4P2）だけ移動、すなわち
速送りされる。 つぎに微動送りする場合には、第１リニアモー
タ２０の可動子２３および第２リニアモータ２１
の可動子４１に同一極性のパルスを入力すると、
第１リニアモータ２０によりテーブル本体３は中
間摺動台４とともに基台１の長手方向に１パルス
当り1/4ピツチ（1/4P1）ずつ移送され、一方第
２リニアモータ２１によりテーブル本体３は中間
摺動台４に対して第１リニアモータ２０による移
動方向と逆方向に１パルス当り1/4ピツチ（1/4
P2）ずつ移動されるので、結局該テーブル本体
３は基台１に対して距離（1/4P1−1/4P2）だけ
移動、すなわち微動送りされる。 なおテーブル本体３の移送速度は、パルスの周
波数を高くすると速くなり、低くすることにより
遅くなる。また入力するパルスの数により移送距
離が調整される。 さらにテーブル本体３に負荷がかかつた場合で
も、リニアベアリング２，２…，５，５…には予
圧がかけられているので、テーブル本体３と中間
摺動台４並びに中間摺動台４と基台１との間にガ
タつきが生じることはなく、さらにボール転走溝
１０と負荷ボール１５との接触角を45度付近にと
つているので、上下左右の四方向からの荷重を均
一に支承することができ、リニアモータの可動子
と固定子との隙間寸法は一定に保たれ、常に推力
および停止保持力は一定に保持される。また転が
り軸受であるリニアベアリング２，２…；５，５
…を使用しているので摩耗が少ないため、テーブ
ル本体３に負荷がかかつた場合でも可動子と固定
子が干渉するおそれは無く、したがつて可動子と
固定子との隙間を狭くして大きな推力および停止
保持力を得ることができる。 また本実施例のリニアパルスモータにおいて
は、１パルス当り固定歯の1/4ピツチずつ移動す
るようになつているが、１パルス当り一定量だけ
移動するモータであればよく、また、リニアパル
スモータに限るものではなくリニア直流モータ、
リニア同期モータ等他の方式のものでもよい。 第１９図は本発明の第二実施例を示しており、
この実施例は、基台１に、リニアクロスローラー
ベアリングよりなるリニアベアリング２′，２′
…；５′，５′…を介して中間摺動台４およびテー
ブル本体３を長手方向に移動可能に取付けたもの
で、その他の構成および作用は前記第一実施例と
略同様であり、従つてその詳細な説明は省略す
る。 第２０図は本発明の第三実施例を示し、この実
施例は、基台１上にリニアボールベアリングより
なるリニアベアリング５，５…を介して断面Ｉ字
形の中間摺動台４を長手方向に移動可能に支承
し、その中間摺動台４にリニアボールベアリング
よりなるリニアベアリング２，２…を介してテー
ブル本体３を長手方向に移動可能に取付け、第１
および第２リニアモータ２０，２１の可動子２
３，４１を中間摺動台４の上下両側面に配設する
とともに、固定子２２，４０を基台１の上面およ
びテーブル本体３の下面にそれぞれ配置したもの
で、その他の構成および作用は前記第一実施例と
略同様である。 尚、第１９図および第２０図に示した上記第
二、第三実施例において、第一実施例と同様の部
材には同一の符号を付した。 以上の実施例の説明において、第１および第２
リニアモータ２０，２１の固定子２２，４０およ
び可動子２３，４１は、図示例のように配設する
ばかりでなく基台１、テーブル本体３および中間
摺動台４のいずれに配設してもよいことは勿論で
ある。 （発明の効果） 本発明の第一発明に係る微動および速送り可能
なリニアモータ付テーブルは、基台に中間摺動台
およびテーブル本体を積み重ねた状態でリニアベ
アリングを介して相対移動自在に支持することに
より、テーブル本体に加わる重量をバランスよく
支持することができ、しかもリニアモータの駆動
を有効に伝達することができる。また２個のリニ
アモータを適当に制御することにより、基台に対
して中間摺動台を移動させるとともに該中間摺動
台に対してテーブル本体を相対移動させて、基台
に対する中間摺動台の移動量と該中間摺動台に対
するテーブル本体の移動量との差あるいは和によ
つてテーブル本体を基台に対して極めて正確に微
小送り、あるいは速送りして高精度の位置決めを
行なうことができる。 さらに、リニアモータを使用することによりボ
ールねじやボールスプライン等を使使用する必要
がなくなつて軽量化を図ることができるので、テ
ーブル本体等の移動部の慣性力が小さくなり始動
時および停止時の応答性が向上し、位置決め精度
が著しく向上する。 また、従来のようにボールねじのねじ軸やボー
ルスプラインのスプライン軸等の捩れや、ねじ軸
とナツトあるいはスプライン軸と外筒とのバツク
ラツシユが無いので、位置決め精度を一層向上さ
せることができる。 さらに、回転モータ、ねじ軸およびスプライン
軸等の配置スペースが不要になるので薄形コンパ
クトで汎用性の高い移送用のテーブルが得られる
ばかりでなく、部品点数を削減することができる
ので、コストダウンが可能であるとともに組立精
度が向上し、さらに構造が単純化されるので故障
の発生を極力防止することができる。 本第二発明によれば、上記した第一発明による
効果に加えて、基台と中間摺動台間に配設された
リニアモータの固定子の磁極歯のピツチと、中間
摺動台とテーブル間に配設されたリニアモータの
固定子の磁極歯のピツチとを異ならせたので、ピ
ツチ差を適当に設定することによつて微小送り時
や速送り時の送り量を任意に変更することができ
る上、構成自体も極めて簡単であるという効果が
得られる。
図面は本発明に係るリニアモータ付テーブルの
実施例を表わすもので、第１図乃至第１８図は本
発明の第一実施例を示し、第１図はその全体平面
図、第２図は第１図―線断面図、第３図は第
１図―線断面図、第４図は基台の平面図、第
５図は基台の側面図、第６図は第４図―線断
面図、第７図はテーブル本体の底面図、第８図は
第７図―線断面図、第９図は第７図―線
断面図、第１０図は中間摺動台の平面図、第１１
図は中間摺動台の側面図、第１２図は第１０図XII
―XII線断面図、第１３図は第１２図―線
断面図、第１４図はリニアベアリングの正面図、
第１５図はリニアベアリングの一部を破断した平
面図、第１６図は第１５図―線断面図、
第１７図ａは第１リニアモータの拡大側断面、第
１７図ｂは第１７図ａのＢ―Ｂ線断面図、第１８
図ａ乃至ｄは第１リニアモータの作動原理を示す
部分側面図、第１９図は本発明の第二実施例を示
す、第３図と同様の断面図、第２０図は本発明の
第三実施例を示す、第３図と同様の断面図であ
る。 １……基台、２，２′……リニアベアリング、
３……テーブル本体、４……中間摺動台、５，
５′……リニアベアリング、２０，２１……リニ
アモータ、２２……第１固定子、２３……第１可
動子、４０……第２固定子、４１……第２可動
子、P1……第１固定子の磁極歯のピツチ、P2…
…第２固定子の磁極歯のピツチ。
実施例を表わすもので、第１図乃至第１８図は本
発明の第一実施例を示し、第１図はその全体平面
図、第２図は第１図―線断面図、第３図は第
１図―線断面図、第４図は基台の平面図、第
５図は基台の側面図、第６図は第４図―線断
面図、第７図はテーブル本体の底面図、第８図は
第７図―線断面図、第９図は第７図―線
断面図、第１０図は中間摺動台の平面図、第１１
図は中間摺動台の側面図、第１２図は第１０図XII
―XII線断面図、第１３図は第１２図―線
断面図、第１４図はリニアベアリングの正面図、
第１５図はリニアベアリングの一部を破断した平
面図、第１６図は第１５図―線断面図、
第１７図ａは第１リニアモータの拡大側断面、第
１７図ｂは第１７図ａのＢ―Ｂ線断面図、第１８
図ａ乃至ｄは第１リニアモータの作動原理を示す
部分側面図、第１９図は本発明の第二実施例を示
す、第３図と同様の断面図、第２０図は本発明の
第三実施例を示す、第３図と同様の断面図であ
る。 １……基台、２，２′……リニアベアリング、
３……テーブル本体、４……中間摺動台、５，
５′……リニアベアリング、２０，２１……リニ
アモータ、２２……第１固定子、２３……第１可
動子、４０……第２固定子、４１……第２可動
子、P1……第１固定子の磁極歯のピツチ、P2…
…第２固定子の磁極歯のピツチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基台に中間摺動台およびテーブル本体を順番
に積み重ねた状態でリニアベアリングを介してそ
れぞれ同一方向に相対移動可能に配設し、前記基
台と前記中間摺動台および該中間摺動台と前記テ
ーブル本体との間にそれぞれリニアモータを介在
させたことを特徴とする微動および速送り可能な
リニアモータ付テーブル。 ２ 基台に中間摺動台およびテーブル本体を順番
に積み重ねた状態でリニアベアリングを介してそ
れぞれ同一方向に相対移動可能に配設し、前記基
台と前記中間摺動台および該中間摺動台と前記テ
ーブル本体との間にそれぞれリニアモータを介在
させたものであつて、前記基台の上面または中間
摺動台の下面のいずれか一方に第一固定子を長手
方向に沿つて配設するとともに、他方に該第一固
定子と対応する第一可動子を配設し、前記中間摺
動台の上面またはテーブル本体の下面のいずれか
一方に第二固定子を長手方向に沿つて配設すると
ともに、他方に該第二固定子と対応する第二可動
子を配設し、前記第一固定子の磁極歯のピツチと
前記第二固定子の磁極歯のピツチとを異ならしめ
るようにしたことを特徴とする微動および速送り
可能なリニアモータ付テーブル。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14493779A JPS5668265A (en) | 1979-11-10 | 1979-11-10 | Linear pulse motor |
| JP58198803A JPS6090648A (ja) | 1979-11-10 | 1983-10-24 | 微動および早送り可能な移送装置 |
| JP59221295A JPS61100334A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 微動および速送り可能なリニアモ−タ付テ−ブル |
| JP60085430A JPS61244439A (ja) | 1979-11-10 | 1985-04-23 | 微動および早送り可能なリニアモ−タ付テ−ブル |
| GB08525022A GB2167982B (en) | 1984-10-23 | 1985-10-10 | Motor-driven table apparatus capable of operating both in fine-feed and coarse-feed modes |
| DE19853537728 DE3537728A1 (de) | 1979-11-10 | 1985-10-23 | Linearmotorgetriebene tischvorrichtung mit grob- und feintrieb |
| US07/063,711 US4774447A (en) | 1984-10-23 | 1987-06-15 | Linear motor-driven table apparatus capable of operating both in fine-feed and large-feed modes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221295A JPS61100334A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 微動および速送り可能なリニアモ−タ付テ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100334A JPS61100334A (ja) | 1986-05-19 |
| JPH0152137B2 true JPH0152137B2 (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=16764545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59221295A Granted JPS61100334A (ja) | 1979-11-10 | 1984-10-23 | 微動および速送り可能なリニアモ−タ付テ−ブル |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4774447A (ja) |
| JP (1) | JPS61100334A (ja) |
| GB (1) | GB2167982B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2194907A (en) * | 1986-09-10 | 1988-03-23 | W R Vaughan & Associates Limit | Machine tools and automatic loading equipment therefor |
| AT398179B (de) * | 1987-08-17 | 1994-10-25 | Inocon Prod Tech | Lineartransfervorrichtung für werkstückträger |
| KR960004199B1 (ko) * | 1993-12-21 | 1996-03-28 | 한국과학기술연구원 | 직선분할기 |
| DE102008015049B4 (de) * | 2008-03-19 | 2014-11-06 | Schneider Gmbh & Co. Kg | Linearantrieb für eine Werkzeugmaschine |
| US20130082545A1 (en) * | 2010-06-08 | 2013-04-04 | Kengo Goto | Linear Motor |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3268747A (en) * | 1964-02-28 | 1966-08-23 | Superior Electric Co | Linear electric motor |
| US3716731A (en) * | 1971-07-19 | 1973-02-13 | Skf Ind Trading & Dev | Arrangement for rectilinear guiding of a machine member along a beam |
| JPS5053605U (ja) * | 1973-09-14 | 1975-05-22 | ||
| US4315171A (en) * | 1977-05-23 | 1982-02-09 | Ernest Schaeffer | Step motors |
| DD134900A1 (de) * | 1978-02-28 | 1979-03-28 | Eberhard Riessland | Zweikoordinatenpositioniereinrichtung |
-
1984
- 1984-10-23 JP JP59221295A patent/JPS61100334A/ja active Granted
-
1985
- 1985-10-10 GB GB08525022A patent/GB2167982B/en not_active Expired
-
1987
- 1987-06-15 US US07/063,711 patent/US4774447A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2167982A (en) | 1986-06-11 |
| US4774447A (en) | 1988-09-27 |
| GB2167982B (en) | 1987-07-22 |
| JPS61100334A (ja) | 1986-05-19 |
| GB8525022D0 (en) | 1985-11-13 |
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