JPH0132193B2 - - Google Patents
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- JPH0132193B2 JPH0132193B2 JP59063028A JP6302884A JPH0132193B2 JP H0132193 B2 JPH0132193 B2 JP H0132193B2 JP 59063028 A JP59063028 A JP 59063028A JP 6302884 A JP6302884 A JP 6302884A JP H0132193 B2 JPH0132193 B2 JP H0132193B2
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Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
この発明は、特に被加工材や被削材が鋼および
鋳鉄である、ロール、ガイドローラー、シールリ
ング、ロツカーアームチツプ、ノズル類、及びダ
イス等の耐摩耗工具や、切削工具として用いるの
に適した表面被覆窒化珪素(以下Si3N4で示す)
基セラミツク工具部材に関するものである。 一般に、Si3N4基セラミツクは、優れた高温強
度及び耐摩耗性を有するので、高温において用い
られる耐摩耗工具や切削工具として使用されてい
る。 上記のSi3N4基セラミツクとしては、まず、重
量%で(以下%は重量%を示す)、 Al、Mg、Zr、Y、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物のうちの1種以上:2〜15%、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が5容量%以下のものが
知られている。 このSi3N4基セラミツクで製造された工具部材
は、Ni基耐熱合金などの切削に対しては、実用
的な性能を発揮するものの、Si3N4は鉄との親和
性が強く、鉄と反応し易いために、鋳鉄や鋼を被
削材とする場合や、これを被加工材とする場合に
は比較的短かい工具寿命しか示さない。 また、上記のSi3N4基セラミツクに、鉄との反
応を抑制し、もつて工具寿命の延命化をはかる目
的で、元素周期表の4a族(即ちTi、Zr、及び
Hf)の炭化物、窒化物、及び炭窒化物のうちの
1種以上を5〜37%の割合で含有させたSi3N4基
セラミツク工具部材が提案され、さらにこの
Si3N4基セラミツクを基体とし、この表面にTiの
炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、及び炭窒
酸化物、並びにAlの酸化物のうちの1種の単層
または2種以上の複層からなる平均層厚:0.5〜
10μmの被覆層を通常の化学蒸着法や物理蒸着法
を用いて形成してなる表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材が提案されている。 しかし、これらのSi3N4基セラミツク工具部材
及び表面被覆Si3N4基セラミツク工具部材にして
も、その工具寿命は充分満足できるものではない
のが現状である。 そこで、本発明者等は、特に耐摩耗工具および
切削工具として実用に供されている上記の従来表
面被覆Si3N4基セラミツク工具部材に着目し、こ
れの工具寿命の延命化をはかるべく研究を行なつ
た結果、上記の従来表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材の少なくとも摩耗を生じる面あるいは切
削面に、スパツタリング法あるいはイオンビーム
法を用い、 B/N原子比:1.0〜1.2を有する窒化硼素(以
下BNで示す)からなり、かつ非晶質BNからな
る素地に、2〜30容量%の割合で立方晶窒化硼素
(以下CBNで示す)が分散した組織を有する被覆
層を0.2〜10μmの平均層厚で形成すると、前記被
覆層は、鉄との親和性が極めて低く、かつビツカ
ース硬さで3700〜5000Kg/mm2の高硬度をもつこと
から、耐摩耗性が一段と向上し、例えば鋳鉄の高
速切削において上記被覆層の形成がない場合に比
して2〜3倍の工具寿命を示すようになるという
知見を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、 元素周期表の4a族の炭化物、窒化物、及び炭
窒化物(以下、これらを総称して4a族の炭・窒
化物という)のうちの1種以上:5〜37%、 Al、Mg、Zr、Y、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物(以下、これらを総称して酸化物・
AlNという)のうちの1種以上:2〜15%、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が5容量%以下のSi3N4
基セラミツク基体の少なくとも摩耗を生じる面あ
るいは切削面に、 Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、
及び炭窒酸化物、並びにAlの酸化物(以下、こ
れらを総称してTiの炭・窒・酸化物とAl2O3とい
う)のうちの1種の単層または2種以上の複層か
らなる平均層厚:0.5〜10μmの中間層を介して、 B/N原子比:1.0〜1.2を有するBNからなり、
かつ非晶質BNからなる素地に、2〜30容量%の
割合でCBNが分散した組織を有する被覆層を、
0.2〜10μmの平均層厚で形成してなる表面被覆
Si3N4基セラミツク工具部材に特徴を有するもの
である。 なお、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材において、上記被覆層は、高純度のホツ
トプレス六方晶BN板材をターゲツトとして用
い、N2含有Arガス雰囲気中で高周波スパツタす
るスパツタリング法や、BとNのイオンビームを
同時に蒸着させるイオンビーム法や、さらにBの
みを通常の化学蒸着法などを用いて蒸着し、つい
でこのB膜の中にNのイオンビームを打ち込む方
法などによつて形成することができ、また、この
場合、例えばスパツタリング法であれば、基体温
度やN2含有Arガス雰囲気中のN2分圧、さらにバ
イアス電圧などを制御することにより、B/N原
子比を調整することができ、この結果として
CBNの割合が調整されるようになるものであり、
さらに上記被覆層におけるB/N原子比はオージ
エによる半定量的分析により同定することがで
き、また同CBNの割合は電子顕微鏡による電子
線回折により同定することができる。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材において、基体の成分組成、中間層の
平均層厚、並びに被覆層のB/N原子比および
CBN割合、さらに平均層厚を上記の通りに限定
した理由を説明する。 A 基体の成分組成 (a) 4a族の炭・窒化物 これらの成分には、鉄との親和性を抑制
し、もつて耐摩耗性を向上させる作用がある
が、その含有量が5%未満では前記作用に所
望の効果が得られず、一方その含有量が37%
を越えると、焼結性が低下し、常温強度が低
下するようになるほか、相対的にSi3N4含有
量が少なくなりすぎ、Si3N4によつてもたら
される優れた高温強度及び耐熱衝撃性が低下
するようになることから、その含有量を5〜
37%と定めた。 (b) 酸化物・AlN これらの成分は、焼結助剤として作用する
が、その含有量が2%未満では所望の焼結性
を確保することができず、一方その含有量が
15%を越えると、液相量が多くなりすぎ、粒
成長も著しく、強度及び硬さが低下するよう
になることから、その含有量を2〜15%と定
めた。 (c) 気孔率 基体の気孔率が5容量%を越えると、硬さ
が低下し、優れた耐摩耗性を確保するのが困
難になることから、基体の気孔率を5容量%
以下と定めた。 B 中間層の平均層厚 中間層は、通常の化学蒸着法あるいは物理蒸
着法によつて形成することができるが、その平
均層厚が0.5μm未満では所望の耐摩耗性向上効
果が得られず、一方その平均層厚が10μmを越
えると、チツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.5〜10μmと定めた。 C 被覆層 (a) B/N原子比およびCBN割合 B/N原子比は、非晶質BN素地に分散生
成されるCBNの割合に影響を及ぼすもので
あり、したがつてB/N原子比が1未満の場
合には、CBNの割合が2容量%未満になつ
てしまい、被覆層の硬さが低下し、ビツカー
ス硬さで3700Kg/mm2以上の高硬度を確保する
ことができなくなり、一方B/N原子比が
1.2を越えると、CBNの割合が30容量%を越
えて多くなり、ビツカース硬さで5000Kg/mm2
を越えた高硬度をもつようになる反面、気孔
が発生し易くなつて、緻密な被覆層が得られ
なくなるほか、中間層に対する付着強度も低
下するようになり、実用に際しては欠けや剥
離が発生し易くなることから、B/N原子比
を1.0〜1.2とし、これによつてCBNの割合を
2〜30容量%としたのである。 (b) 平均層厚 この発明にかかるBN被覆層は、上記のよ
うに高硬度を有し、かつ鉄との親和性の著し
く低いものであり、実用に際して優れた耐摩
耗性を発揮するが、その平均層厚が0.2μm未
満では所望の耐摩耗性を確保することができ
ず、一方その平均層厚が10μmを越えると、
被覆層にチツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.2〜10μmと定めた。 なお、被覆層に不可避不純物として酸素(O)
を含有する場合があるが、その含有量が多すぎる
と被覆層の特性に悪影響を及ぼすようになること
から、O/N原子比で0.15以下であることが望ま
しい。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材を実施例により具体的に説明する。 原料粉末として、いずれも0.3〜0.8μmの範囲
内の平均粒径を有するα―Si3N4粉末、各種の4a
族の炭・窒化物粉末、並びに各種の酸化物・
AlN粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ
第1表に示される配合組成に配合し、ボールミル
で50時間湿式混合し、乾燥した後、1ton/cm2の
鋳鉄である、ロール、ガイドローラー、シールリ
ング、ロツカーアームチツプ、ノズル類、及びダ
イス等の耐摩耗工具や、切削工具として用いるの
に適した表面被覆窒化珪素(以下Si3N4で示す)
基セラミツク工具部材に関するものである。 一般に、Si3N4基セラミツクは、優れた高温強
度及び耐摩耗性を有するので、高温において用い
られる耐摩耗工具や切削工具として使用されてい
る。 上記のSi3N4基セラミツクとしては、まず、重
量%で(以下%は重量%を示す)、 Al、Mg、Zr、Y、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物のうちの1種以上:2〜15%、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が5容量%以下のものが
知られている。 このSi3N4基セラミツクで製造された工具部材
は、Ni基耐熱合金などの切削に対しては、実用
的な性能を発揮するものの、Si3N4は鉄との親和
性が強く、鉄と反応し易いために、鋳鉄や鋼を被
削材とする場合や、これを被加工材とする場合に
は比較的短かい工具寿命しか示さない。 また、上記のSi3N4基セラミツクに、鉄との反
応を抑制し、もつて工具寿命の延命化をはかる目
的で、元素周期表の4a族(即ちTi、Zr、及び
Hf)の炭化物、窒化物、及び炭窒化物のうちの
1種以上を5〜37%の割合で含有させたSi3N4基
セラミツク工具部材が提案され、さらにこの
Si3N4基セラミツクを基体とし、この表面にTiの
炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、及び炭窒
酸化物、並びにAlの酸化物のうちの1種の単層
または2種以上の複層からなる平均層厚:0.5〜
10μmの被覆層を通常の化学蒸着法や物理蒸着法
を用いて形成してなる表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材が提案されている。 しかし、これらのSi3N4基セラミツク工具部材
及び表面被覆Si3N4基セラミツク工具部材にして
も、その工具寿命は充分満足できるものではない
のが現状である。 そこで、本発明者等は、特に耐摩耗工具および
切削工具として実用に供されている上記の従来表
面被覆Si3N4基セラミツク工具部材に着目し、こ
れの工具寿命の延命化をはかるべく研究を行なつ
た結果、上記の従来表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材の少なくとも摩耗を生じる面あるいは切
削面に、スパツタリング法あるいはイオンビーム
法を用い、 B/N原子比:1.0〜1.2を有する窒化硼素(以
下BNで示す)からなり、かつ非晶質BNからな
る素地に、2〜30容量%の割合で立方晶窒化硼素
(以下CBNで示す)が分散した組織を有する被覆
層を0.2〜10μmの平均層厚で形成すると、前記被
覆層は、鉄との親和性が極めて低く、かつビツカ
ース硬さで3700〜5000Kg/mm2の高硬度をもつこと
から、耐摩耗性が一段と向上し、例えば鋳鉄の高
速切削において上記被覆層の形成がない場合に比
して2〜3倍の工具寿命を示すようになるという
知見を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、 元素周期表の4a族の炭化物、窒化物、及び炭
窒化物(以下、これらを総称して4a族の炭・窒
化物という)のうちの1種以上:5〜37%、 Al、Mg、Zr、Y、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物(以下、これらを総称して酸化物・
AlNという)のうちの1種以上:2〜15%、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が5容量%以下のSi3N4
基セラミツク基体の少なくとも摩耗を生じる面あ
るいは切削面に、 Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、
及び炭窒酸化物、並びにAlの酸化物(以下、こ
れらを総称してTiの炭・窒・酸化物とAl2O3とい
う)のうちの1種の単層または2種以上の複層か
らなる平均層厚:0.5〜10μmの中間層を介して、 B/N原子比:1.0〜1.2を有するBNからなり、
かつ非晶質BNからなる素地に、2〜30容量%の
割合でCBNが分散した組織を有する被覆層を、
0.2〜10μmの平均層厚で形成してなる表面被覆
Si3N4基セラミツク工具部材に特徴を有するもの
である。 なお、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材において、上記被覆層は、高純度のホツ
トプレス六方晶BN板材をターゲツトとして用
い、N2含有Arガス雰囲気中で高周波スパツタす
るスパツタリング法や、BとNのイオンビームを
同時に蒸着させるイオンビーム法や、さらにBの
みを通常の化学蒸着法などを用いて蒸着し、つい
でこのB膜の中にNのイオンビームを打ち込む方
法などによつて形成することができ、また、この
場合、例えばスパツタリング法であれば、基体温
度やN2含有Arガス雰囲気中のN2分圧、さらにバ
イアス電圧などを制御することにより、B/N原
子比を調整することができ、この結果として
CBNの割合が調整されるようになるものであり、
さらに上記被覆層におけるB/N原子比はオージ
エによる半定量的分析により同定することがで
き、また同CBNの割合は電子顕微鏡による電子
線回折により同定することができる。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材において、基体の成分組成、中間層の
平均層厚、並びに被覆層のB/N原子比および
CBN割合、さらに平均層厚を上記の通りに限定
した理由を説明する。 A 基体の成分組成 (a) 4a族の炭・窒化物 これらの成分には、鉄との親和性を抑制
し、もつて耐摩耗性を向上させる作用がある
が、その含有量が5%未満では前記作用に所
望の効果が得られず、一方その含有量が37%
を越えると、焼結性が低下し、常温強度が低
下するようになるほか、相対的にSi3N4含有
量が少なくなりすぎ、Si3N4によつてもたら
される優れた高温強度及び耐熱衝撃性が低下
するようになることから、その含有量を5〜
37%と定めた。 (b) 酸化物・AlN これらの成分は、焼結助剤として作用する
が、その含有量が2%未満では所望の焼結性
を確保することができず、一方その含有量が
15%を越えると、液相量が多くなりすぎ、粒
成長も著しく、強度及び硬さが低下するよう
になることから、その含有量を2〜15%と定
めた。 (c) 気孔率 基体の気孔率が5容量%を越えると、硬さ
が低下し、優れた耐摩耗性を確保するのが困
難になることから、基体の気孔率を5容量%
以下と定めた。 B 中間層の平均層厚 中間層は、通常の化学蒸着法あるいは物理蒸
着法によつて形成することができるが、その平
均層厚が0.5μm未満では所望の耐摩耗性向上効
果が得られず、一方その平均層厚が10μmを越
えると、チツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.5〜10μmと定めた。 C 被覆層 (a) B/N原子比およびCBN割合 B/N原子比は、非晶質BN素地に分散生
成されるCBNの割合に影響を及ぼすもので
あり、したがつてB/N原子比が1未満の場
合には、CBNの割合が2容量%未満になつ
てしまい、被覆層の硬さが低下し、ビツカー
ス硬さで3700Kg/mm2以上の高硬度を確保する
ことができなくなり、一方B/N原子比が
1.2を越えると、CBNの割合が30容量%を越
えて多くなり、ビツカース硬さで5000Kg/mm2
を越えた高硬度をもつようになる反面、気孔
が発生し易くなつて、緻密な被覆層が得られ
なくなるほか、中間層に対する付着強度も低
下するようになり、実用に際しては欠けや剥
離が発生し易くなることから、B/N原子比
を1.0〜1.2とし、これによつてCBNの割合を
2〜30容量%としたのである。 (b) 平均層厚 この発明にかかるBN被覆層は、上記のよ
うに高硬度を有し、かつ鉄との親和性の著し
く低いものであり、実用に際して優れた耐摩
耗性を発揮するが、その平均層厚が0.2μm未
満では所望の耐摩耗性を確保することができ
ず、一方その平均層厚が10μmを越えると、
被覆層にチツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.2〜10μmと定めた。 なお、被覆層に不可避不純物として酸素(O)
を含有する場合があるが、その含有量が多すぎる
と被覆層の特性に悪影響を及ぼすようになること
から、O/N原子比で0.15以下であることが望ま
しい。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材を実施例により具体的に説明する。 原料粉末として、いずれも0.3〜0.8μmの範囲
内の平均粒径を有するα―Si3N4粉末、各種の4a
族の炭・窒化物粉末、並びに各種の酸化物・
AlN粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ
第1表に示される配合組成に配合し、ボールミル
で50時間湿式混合し、乾燥した後、1ton/cm2の
【表】
【表】
圧力で圧粉体にプレス成形し、ついでこの圧粉体
を、窒素気流中、温度:1800℃に30分間保持の条
件で焼結し、研削してISO規格SNGN432の形状
とすることにより、実質的に配合組成と同一の成
分組成、並びに第1表に示される気孔率及び硬さ
をもつたSi3N4基セラミツク基体を製造し、つぎ
にこの基体の全表面に、通常の化学蒸着装置を用
い、第1表に示される組成及び平均層厚、並びに
ビツカース硬さを有する中間層を形成し、さらに
これの片側すくい面に、六方晶BNのターゲツト
を用い、高周波スパツタリング法により、基体加
熱温度:200〜500℃、雰囲気:N2/Ar比が1/
1〜1/20のN2含有Ar、雰囲気圧力:1×10-4
〜5×10-2mmHg、バイアス電圧:50〜200V、反
応時間:0.5〜20時間の条件で、それぞれ第1表
に示される被覆層を形成することにより本発明表
面被覆Si3N4基セラミツク切削チツプ(以下、本
発明被覆チツプという)1〜9及び比較表面被覆
Si3N4基セラミツク切削チツプ(以下、比較被覆
チツプという)1〜4をそれぞれ製造した。 なお、比較被覆チツプ1〜4は、いずれも被覆
層の条件(第1表に※印を付す)がこの発明の範
囲から外れたものである。 また、被覆層のB/N原子比及びCBN割合は、
オージエ分析と透過電子線回折により測定した。 つぎに、この結果得られた各種の被覆チツプ及
び上記被覆層の形成を行なう前の中間層を形成し
た状態の上記表面被覆Si3N4基セラミツク工具部
材のうちの5種(以下従来被覆チツプ1〜5とい
う)について、 被削材:HB230を有するFC30の丸棒、 切削速度:600m/min、 送り:0.2mm/rev.、 切込み:3mm、 切削油エマルジヨンタイプ、 の条件で鋳鉄の高速連続切削試験を行ない、使用
寿命とされる切刃のすくい面摩耗深さが200μm
に至るまでの切削時間を測定した。これらの測定
結果を第1表に示した。 第1表に示される結果から、本発明被覆チツプ
1〜9は、被覆層の形成がない従来被覆チツプ1
〜5に比して一段と長い使用寿命を示すのに対し
て、比較被覆チツプ1〜4に見られるように、被
覆層の条件のうちのいずれかの条件でもこの発明
の範囲から外れると満足な切削性能を示さないこ
とが明らかである。 上述のように、この発明の表面被覆Si3N4基セ
ラミツク工具部材は、これを構成する被覆層が高
硬度を有し、基体表面に形成された中間層に対す
る密着性に優れ、かつ鉄に対する親和性の著しく
低いものであることから、特に被加工材や被削材
が鋳鉄や鋼である場合に優れた耐摩耗性を示し、
したがつて、耐摩耗工具や切削工具として用いた
場合に、極めて長期に亘つて優れた性能を発揮す
るのである。
を、窒素気流中、温度:1800℃に30分間保持の条
件で焼結し、研削してISO規格SNGN432の形状
とすることにより、実質的に配合組成と同一の成
分組成、並びに第1表に示される気孔率及び硬さ
をもつたSi3N4基セラミツク基体を製造し、つぎ
にこの基体の全表面に、通常の化学蒸着装置を用
い、第1表に示される組成及び平均層厚、並びに
ビツカース硬さを有する中間層を形成し、さらに
これの片側すくい面に、六方晶BNのターゲツト
を用い、高周波スパツタリング法により、基体加
熱温度:200〜500℃、雰囲気:N2/Ar比が1/
1〜1/20のN2含有Ar、雰囲気圧力:1×10-4
〜5×10-2mmHg、バイアス電圧:50〜200V、反
応時間:0.5〜20時間の条件で、それぞれ第1表
に示される被覆層を形成することにより本発明表
面被覆Si3N4基セラミツク切削チツプ(以下、本
発明被覆チツプという)1〜9及び比較表面被覆
Si3N4基セラミツク切削チツプ(以下、比較被覆
チツプという)1〜4をそれぞれ製造した。 なお、比較被覆チツプ1〜4は、いずれも被覆
層の条件(第1表に※印を付す)がこの発明の範
囲から外れたものである。 また、被覆層のB/N原子比及びCBN割合は、
オージエ分析と透過電子線回折により測定した。 つぎに、この結果得られた各種の被覆チツプ及
び上記被覆層の形成を行なう前の中間層を形成し
た状態の上記表面被覆Si3N4基セラミツク工具部
材のうちの5種(以下従来被覆チツプ1〜5とい
う)について、 被削材:HB230を有するFC30の丸棒、 切削速度:600m/min、 送り:0.2mm/rev.、 切込み:3mm、 切削油エマルジヨンタイプ、 の条件で鋳鉄の高速連続切削試験を行ない、使用
寿命とされる切刃のすくい面摩耗深さが200μm
に至るまでの切削時間を測定した。これらの測定
結果を第1表に示した。 第1表に示される結果から、本発明被覆チツプ
1〜9は、被覆層の形成がない従来被覆チツプ1
〜5に比して一段と長い使用寿命を示すのに対し
て、比較被覆チツプ1〜4に見られるように、被
覆層の条件のうちのいずれかの条件でもこの発明
の範囲から外れると満足な切削性能を示さないこ
とが明らかである。 上述のように、この発明の表面被覆Si3N4基セ
ラミツク工具部材は、これを構成する被覆層が高
硬度を有し、基体表面に形成された中間層に対す
る密着性に優れ、かつ鉄に対する親和性の著しく
低いものであることから、特に被加工材や被削材
が鋳鉄や鋼である場合に優れた耐摩耗性を示し、
したがつて、耐摩耗工具や切削工具として用いた
場合に、極めて長期に亘つて優れた性能を発揮す
るのである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 元素周期表の4a族の炭化物、窒化物及び炭
窒化物のうちの1種以上:5〜37%、 Al、Mg、Zr、Y、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物のうちの1種以上:2〜15%、 を含有し、残りが窒化珪素と不可避不純物からな
る組成(以上重量%)を有し、かつ気孔率が5容
量%以下の窒化珪素基セラミツク基体の少なくと
も摩耗を生じる面あるいは切削面に、 Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、
及び炭窒酸化物、並びにAlの酸化物のうちの1
種の単層または2種以上の複層からなる平均層
厚:0.5〜10μmの中間層を介して、 B/N原子比:1.0〜1.2を有する窒化珪素から
なり、かつ非晶質窒化硼素からなる素地に、2〜
30容量%の割合で立方晶窒化硼素が分散した組織
を有する被覆層を、0.2〜10μmの平均層厚で形成
してなる表面被覆窒化珪素基セラミツク工具部
材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6302884A JPS60204687A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 表面被覆窒化珪素基セラミック工具部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6302884A JPS60204687A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 表面被覆窒化珪素基セラミック工具部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60204687A JPS60204687A (ja) | 1985-10-16 |
JPH0132193B2 true JPH0132193B2 (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=13217462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6302884A Granted JPS60204687A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 表面被覆窒化珪素基セラミック工具部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60204687A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108568649A (zh) * | 2018-04-29 | 2018-09-25 | 江苏刘刀精密机械有限公司 | 焊接式螺旋刀体制作工艺 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62162683A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-18 | 住友電気工業株式会社 | 被覆窒化硅素部品 |
DE3924998A1 (de) * | 1989-07-28 | 1991-02-07 | Mapal Fab Praezision | Einmesser-reibahle |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155080A (en) * | 1980-04-30 | 1981-12-01 | Sumitomo Electric Industries | Coated cutting tool |
JPS5751175A (en) * | 1980-07-09 | 1982-03-25 | Gte Laboratories Inc | Silicon nitride-base abrasion-resistant product |
JPS5795881A (en) * | 1980-12-03 | 1982-06-14 | Sumitomo Electric Industries | Coated ceramic tool |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6302884A patent/JPS60204687A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155080A (en) * | 1980-04-30 | 1981-12-01 | Sumitomo Electric Industries | Coated cutting tool |
JPS5751175A (en) * | 1980-07-09 | 1982-03-25 | Gte Laboratories Inc | Silicon nitride-base abrasion-resistant product |
JPS5795881A (en) * | 1980-12-03 | 1982-06-14 | Sumitomo Electric Industries | Coated ceramic tool |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108568649A (zh) * | 2018-04-29 | 2018-09-25 | 江苏刘刀精密机械有限公司 | 焊接式螺旋刀体制作工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60204687A (ja) | 1985-10-16 |
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