JPH0132193B2 - - Google Patents
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- JPH0132193B2 JPH0132193B2 JP59063028A JP6302884A JPH0132193B2 JP H0132193 B2 JPH0132193 B2 JP H0132193B2 JP 59063028 A JP59063028 A JP 59063028A JP 6302884 A JP6302884 A JP 6302884A JP H0132193 B2 JPH0132193 B2 JP H0132193B2
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Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
この発明は、特に被加工材や被削材が鋼および
鋳鉄である、ロール、ガイドローラー、シールリ
ング、ロツカーアームチツプ、ノズル類、及びダ
イス等の耐摩耗工具や、切削工具として用いるの
に適した表面被覆窒化珪素（以下Si3N4で示す）
基セラミツク工具部材に関するものである。 一般に、Si3N4基セラミツクは、優れた高温強
度及び耐摩耗性を有するので、高温において用い
られる耐摩耗工具や切削工具として使用されてい
る。 上記のSi3N4基セラミツクとしては、まず、重
量％で（以下％は重量％を示す）、 Al、Mg、Zr、Ｙ、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物のうちの１種以上：２〜15％、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が５容量％以下のものが
知られている。 このSi3N4基セラミツクで製造された工具部材
は、Ni基耐熱合金などの切削に対しては、実用
的な性能を発揮するものの、Si3N4は鉄との親和
性が強く、鉄と反応し易いために、鋳鉄や鋼を被
削材とする場合や、これを被加工材とする場合に
は比較的短かい工具寿命しか示さない。 また、上記のSi3N4基セラミツクに、鉄との反
応を抑制し、もつて工具寿命の延命化をはかる目
的で、元素周期表の4a族（即ちTi、Zr、及び
Hf）の炭化物、窒化物、及び炭窒化物のうちの
１種以上を５〜37％の割合で含有させたSi3N4基
セラミツク工具部材が提案され、さらにこの
Si3N4基セラミツクを基体とし、この表面にTiの
炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、及び炭窒
酸化物、並びにAlの酸化物のうちの１種の単層
または２種以上の複層からなる平均層厚：0.5〜
10μｍの被覆層を通常の化学蒸着法や物理蒸着法
を用いて形成してなる表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材が提案されている。 しかし、これらのSi3N4基セラミツク工具部材
及び表面被覆Si3N4基セラミツク工具部材にして
も、その工具寿命は充分満足できるものではない
のが現状である。 そこで、本発明者等は、特に耐摩耗工具および
切削工具として実用に供されている上記の従来表
面被覆Si3N4基セラミツク工具部材に着目し、こ
れの工具寿命の延命化をはかるべく研究を行なつ
た結果、上記の従来表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材の少なくとも摩耗を生じる面あるいは切
削面に、スパツタリング法あるいはイオンビーム
法を用い、 Ｂ／Ｎ原子比：1.0〜1.2を有する窒化硼素（以
下BNで示す）からなり、かつ非晶質BNからな
る素地に、２〜30容量％の割合で立方晶窒化硼素
（以下CBNで示す）が分散した組織を有する被覆
層を0.2〜10μｍの平均層厚で形成すると、前記被
覆層は、鉄との親和性が極めて低く、かつビツカ
ース硬さで3700〜5000Kg/mm2の高硬度をもつこと
から、耐摩耗性が一段と向上し、例えば鋳鉄の高
速切削において上記被覆層の形成がない場合に比
して２〜３倍の工具寿命を示すようになるという
知見を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、 元素周期表の4a族の炭化物、窒化物、及び炭
窒化物（以下、これらを総称して4a族の炭・窒
化物という）のうちの１種以上：５〜37％、 Al、Mg、Zr、Ｙ、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物（以下、これらを総称して酸化物・
AlNという）のうちの１種以上：２〜15％、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が５容量％以下のSi3N4
基セラミツク基体の少なくとも摩耗を生じる面あ
るいは切削面に、 Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、
及び炭窒酸化物、並びにAlの酸化物（以下、こ
れらを総称してTiの炭・窒・酸化物とAl2O3とい
う）のうちの１種の単層または２種以上の複層か
らなる平均層厚：0.5〜10μｍの中間層を介して、 Ｂ／Ｎ原子比：1.0〜1.2を有するBNからなり、
かつ非晶質BNからなる素地に、２〜30容量％の
割合でCBNが分散した組織を有する被覆層を、
0.2〜10μｍの平均層厚で形成してなる表面被覆
Si3N4基セラミツク工具部材に特徴を有するもの
である。 なお、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材において、上記被覆層は、高純度のホツ
トプレス六方晶BN板材をターゲツトとして用
い、N2含有Arガス雰囲気中で高周波スパツタす
るスパツタリング法や、ＢとＮのイオンビームを
同時に蒸着させるイオンビーム法や、さらにＢの
みを通常の化学蒸着法などを用いて蒸着し、つい
でこのＢ膜の中にＮのイオンビームを打ち込む方
法などによつて形成することができ、また、この
場合、例えばスパツタリング法であれば、基体温
度やN2含有Arガス雰囲気中のN2分圧、さらにバ
イアス電圧などを制御することにより、Ｂ／Ｎ原
子比を調整することができ、この結果として
CBNの割合が調整されるようになるものであり、
さらに上記被覆層におけるＢ／Ｎ原子比はオージ
エによる半定量的分析により同定することがで
き、また同CBNの割合は電子顕微鏡による電子
線回折により同定することができる。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材において、基体の成分組成、中間層の
平均層厚、並びに被覆層のＢ／Ｎ原子比および
CBN割合、さらに平均層厚を上記の通りに限定
した理由を説明する。 Ａ 基体の成分組成 (a) 4a族の炭・窒化物 これらの成分には、鉄との親和性を抑制
し、もつて耐摩耗性を向上させる作用がある
が、その含有量が５％未満では前記作用に所
望の効果が得られず、一方その含有量が37％
を越えると、焼結性が低下し、常温強度が低
下するようになるほか、相対的にSi3N4含有
量が少なくなりすぎ、Si3N4によつてもたら
される優れた高温強度及び耐熱衝撃性が低下
するようになることから、その含有量を５〜
37％と定めた。 (b) 酸化物・AlN これらの成分は、焼結助剤として作用する
が、その含有量が２％未満では所望の焼結性
を確保することができず、一方その含有量が
15％を越えると、液相量が多くなりすぎ、粒
成長も著しく、強度及び硬さが低下するよう
になることから、その含有量を２〜15％と定
めた。 (c) 気孔率 基体の気孔率が５容量％を越えると、硬さ
が低下し、優れた耐摩耗性を確保するのが困
難になることから、基体の気孔率を５容量％
以下と定めた。 Ｂ 中間層の平均層厚 中間層は、通常の化学蒸着法あるいは物理蒸
着法によつて形成することができるが、その平
均層厚が0.5μｍ未満では所望の耐摩耗性向上効
果が得られず、一方その平均層厚が10μｍを越
えると、チツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.5〜10μｍと定めた。 Ｃ 被覆層 (a) Ｂ／Ｎ原子比およびCBN割合 Ｂ／Ｎ原子比は、非晶質BN素地に分散生
成されるCBNの割合に影響を及ぼすもので
あり、したがつてＢ／Ｎ原子比が１未満の場
合には、CBNの割合が２容量％未満になつ
てしまい、被覆層の硬さが低下し、ビツカー
ス硬さで3700Kg/mm2以上の高硬度を確保する
ことができなくなり、一方Ｂ／Ｎ原子比が
1.2を越えると、CBNの割合が30容量％を越
えて多くなり、ビツカース硬さで5000Kg/mm2
を越えた高硬度をもつようになる反面、気孔
が発生し易くなつて、緻密な被覆層が得られ
なくなるほか、中間層に対する付着強度も低
下するようになり、実用に際しては欠けや剥
離が発生し易くなることから、Ｂ／Ｎ原子比
を1.0〜1.2とし、これによつてCBNの割合を
２〜30容量％としたのである。 (b) 平均層厚 この発明にかかるBN被覆層は、上記のよ
うに高硬度を有し、かつ鉄との親和性の著し
く低いものであり、実用に際して優れた耐摩
耗性を発揮するが、その平均層厚が0.2μｍ未
満では所望の耐摩耗性を確保することができ
ず、一方その平均層厚が10μｍを越えると、
被覆層にチツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.2〜10μｍと定めた。 なお、被覆層に不可避不純物として酸素（Ｏ）
を含有する場合があるが、その含有量が多すぎる
と被覆層の特性に悪影響を及ぼすようになること
から、Ｏ／Ｎ原子比で0.15以下であることが望ま
しい。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材を実施例により具体的に説明する。 原料粉末として、いずれも0.3〜0.8μｍの範囲
内の平均粒径を有するα―Si3N4粉末、各種の4a
族の炭・窒化物粉末、並びに各種の酸化物・
AlN粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ
第１表に示される配合組成に配合し、ボールミル
で50時間湿式混合し、乾燥した後、１ton/cm2の
鋳鉄である、ロール、ガイドローラー、シールリ
ング、ロツカーアームチツプ、ノズル類、及びダ
イス等の耐摩耗工具や、切削工具として用いるの
に適した表面被覆窒化珪素（以下Si3N4で示す）
基セラミツク工具部材に関するものである。 一般に、Si3N4基セラミツクは、優れた高温強
度及び耐摩耗性を有するので、高温において用い
られる耐摩耗工具や切削工具として使用されてい
る。 上記のSi3N4基セラミツクとしては、まず、重
量％で（以下％は重量％を示す）、 Al、Mg、Zr、Ｙ、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物のうちの１種以上：２〜15％、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が５容量％以下のものが
知られている。 このSi3N4基セラミツクで製造された工具部材
は、Ni基耐熱合金などの切削に対しては、実用
的な性能を発揮するものの、Si3N4は鉄との親和
性が強く、鉄と反応し易いために、鋳鉄や鋼を被
削材とする場合や、これを被加工材とする場合に
は比較的短かい工具寿命しか示さない。 また、上記のSi3N4基セラミツクに、鉄との反
応を抑制し、もつて工具寿命の延命化をはかる目
的で、元素周期表の4a族（即ちTi、Zr、及び
Hf）の炭化物、窒化物、及び炭窒化物のうちの
１種以上を５〜37％の割合で含有させたSi3N4基
セラミツク工具部材が提案され、さらにこの
Si3N4基セラミツクを基体とし、この表面にTiの
炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、及び炭窒
酸化物、並びにAlの酸化物のうちの１種の単層
または２種以上の複層からなる平均層厚：0.5〜
10μｍの被覆層を通常の化学蒸着法や物理蒸着法
を用いて形成してなる表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材が提案されている。 しかし、これらのSi3N4基セラミツク工具部材
及び表面被覆Si3N4基セラミツク工具部材にして
も、その工具寿命は充分満足できるものではない
のが現状である。 そこで、本発明者等は、特に耐摩耗工具および
切削工具として実用に供されている上記の従来表
面被覆Si3N4基セラミツク工具部材に着目し、こ
れの工具寿命の延命化をはかるべく研究を行なつ
た結果、上記の従来表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材の少なくとも摩耗を生じる面あるいは切
削面に、スパツタリング法あるいはイオンビーム
法を用い、 Ｂ／Ｎ原子比：1.0〜1.2を有する窒化硼素（以
下BNで示す）からなり、かつ非晶質BNからな
る素地に、２〜30容量％の割合で立方晶窒化硼素
（以下CBNで示す）が分散した組織を有する被覆
層を0.2〜10μｍの平均層厚で形成すると、前記被
覆層は、鉄との親和性が極めて低く、かつビツカ
ース硬さで3700〜5000Kg/mm2の高硬度をもつこと
から、耐摩耗性が一段と向上し、例えば鋳鉄の高
速切削において上記被覆層の形成がない場合に比
して２〜３倍の工具寿命を示すようになるという
知見を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、 元素周期表の4a族の炭化物、窒化物、及び炭
窒化物（以下、これらを総称して4a族の炭・窒
化物という）のうちの１種以上：５〜37％、 Al、Mg、Zr、Ｙ、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物（以下、これらを総称して酸化物・
AlNという）のうちの１種以上：２〜15％、 を含有し、残りがSi3N4と不可避不純物からなる
組成を有し、かつ気孔率が５容量％以下のSi3N4
基セラミツク基体の少なくとも摩耗を生じる面あ
るいは切削面に、 Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、
及び炭窒酸化物、並びにAlの酸化物（以下、こ
れらを総称してTiの炭・窒・酸化物とAl2O3とい
う）のうちの１種の単層または２種以上の複層か
らなる平均層厚：0.5〜10μｍの中間層を介して、 Ｂ／Ｎ原子比：1.0〜1.2を有するBNからなり、
かつ非晶質BNからなる素地に、２〜30容量％の
割合でCBNが分散した組織を有する被覆層を、
0.2〜10μｍの平均層厚で形成してなる表面被覆
Si3N4基セラミツク工具部材に特徴を有するもの
である。 なお、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツク
工具部材において、上記被覆層は、高純度のホツ
トプレス六方晶BN板材をターゲツトとして用
い、N2含有Arガス雰囲気中で高周波スパツタす
るスパツタリング法や、ＢとＮのイオンビームを
同時に蒸着させるイオンビーム法や、さらにＢの
みを通常の化学蒸着法などを用いて蒸着し、つい
でこのＢ膜の中にＮのイオンビームを打ち込む方
法などによつて形成することができ、また、この
場合、例えばスパツタリング法であれば、基体温
度やN2含有Arガス雰囲気中のN2分圧、さらにバ
イアス電圧などを制御することにより、Ｂ／Ｎ原
子比を調整することができ、この結果として
CBNの割合が調整されるようになるものであり、
さらに上記被覆層におけるＢ／Ｎ原子比はオージ
エによる半定量的分析により同定することがで
き、また同CBNの割合は電子顕微鏡による電子
線回折により同定することができる。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材において、基体の成分組成、中間層の
平均層厚、並びに被覆層のＢ／Ｎ原子比および
CBN割合、さらに平均層厚を上記の通りに限定
した理由を説明する。 Ａ 基体の成分組成 (a) 4a族の炭・窒化物 これらの成分には、鉄との親和性を抑制
し、もつて耐摩耗性を向上させる作用がある
が、その含有量が５％未満では前記作用に所
望の効果が得られず、一方その含有量が37％
を越えると、焼結性が低下し、常温強度が低
下するようになるほか、相対的にSi3N4含有
量が少なくなりすぎ、Si3N4によつてもたら
される優れた高温強度及び耐熱衝撃性が低下
するようになることから、その含有量を５〜
37％と定めた。 (b) 酸化物・AlN これらの成分は、焼結助剤として作用する
が、その含有量が２％未満では所望の焼結性
を確保することができず、一方その含有量が
15％を越えると、液相量が多くなりすぎ、粒
成長も著しく、強度及び硬さが低下するよう
になることから、その含有量を２〜15％と定
めた。 (c) 気孔率 基体の気孔率が５容量％を越えると、硬さ
が低下し、優れた耐摩耗性を確保するのが困
難になることから、基体の気孔率を５容量％
以下と定めた。 Ｂ 中間層の平均層厚 中間層は、通常の化学蒸着法あるいは物理蒸
着法によつて形成することができるが、その平
均層厚が0.5μｍ未満では所望の耐摩耗性向上効
果が得られず、一方その平均層厚が10μｍを越
えると、チツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.5〜10μｍと定めた。 Ｃ 被覆層 (a) Ｂ／Ｎ原子比およびCBN割合 Ｂ／Ｎ原子比は、非晶質BN素地に分散生
成されるCBNの割合に影響を及ぼすもので
あり、したがつてＢ／Ｎ原子比が１未満の場
合には、CBNの割合が２容量％未満になつ
てしまい、被覆層の硬さが低下し、ビツカー
ス硬さで3700Kg/mm2以上の高硬度を確保する
ことができなくなり、一方Ｂ／Ｎ原子比が
1.2を越えると、CBNの割合が30容量％を越
えて多くなり、ビツカース硬さで5000Kg/mm2
を越えた高硬度をもつようになる反面、気孔
が発生し易くなつて、緻密な被覆層が得られ
なくなるほか、中間層に対する付着強度も低
下するようになり、実用に際しては欠けや剥
離が発生し易くなることから、Ｂ／Ｎ原子比
を1.0〜1.2とし、これによつてCBNの割合を
２〜30容量％としたのである。 (b) 平均層厚 この発明にかかるBN被覆層は、上記のよ
うに高硬度を有し、かつ鉄との親和性の著し
く低いものであり、実用に際して優れた耐摩
耗性を発揮するが、その平均層厚が0.2μｍ未
満では所望の耐摩耗性を確保することができ
ず、一方その平均層厚が10μｍを越えると、
被覆層にチツピングが発生し易くなることか
ら、その平均層厚を0.2〜10μｍと定めた。 なお、被覆層に不可避不純物として酸素（Ｏ）
を含有する場合があるが、その含有量が多すぎる
と被覆層の特性に悪影響を及ぼすようになること
から、Ｏ／Ｎ原子比で0.15以下であることが望ま
しい。 つぎに、この発明の表面被覆Si3N4基セラミツ
ク工具部材を実施例により具体的に説明する。 原料粉末として、いずれも0.3〜0.8μｍの範囲
内の平均粒径を有するα―Si3N4粉末、各種の4a
族の炭・窒化物粉末、並びに各種の酸化物・
AlN粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ
第１表に示される配合組成に配合し、ボールミル
で50時間湿式混合し、乾燥した後、１ton/cm2の
【表】
【表】
圧力で圧粉体にプレス成形し、ついでこの圧粉体
を、窒素気流中、温度：1800℃に30分間保持の条
件で焼結し、研削してISO規格SNGN432の形状
とすることにより、実質的に配合組成と同一の成
分組成、並びに第１表に示される気孔率及び硬さ
をもつたSi3N4基セラミツク基体を製造し、つぎ
にこの基体の全表面に、通常の化学蒸着装置を用
い、第１表に示される組成及び平均層厚、並びに
ビツカース硬さを有する中間層を形成し、さらに
これの片側すくい面に、六方晶BNのターゲツト
を用い、高周波スパツタリング法により、基体加
熱温度：200〜500℃、雰囲気：N2／Ar比が１／
１〜１／20のN2含有Ar、雰囲気圧力：１×10-4
〜５×10-2mmHg、バイアス電圧：50〜200V、反
応時間：0.5〜20時間の条件で、それぞれ第１表
に示される被覆層を形成することにより本発明表
面被覆Si3N4基セラミツク切削チツプ（以下、本
発明被覆チツプという）１〜９及び比較表面被覆
Si3N4基セラミツク切削チツプ（以下、比較被覆
チツプという）１〜４をそれぞれ製造した。 なお、比較被覆チツプ１〜４は、いずれも被覆
層の条件（第１表に※印を付す）がこの発明の範
囲から外れたものである。 また、被覆層のＢ／Ｎ原子比及びCBN割合は、
オージエ分析と透過電子線回折により測定した。 つぎに、この結果得られた各種の被覆チツプ及
び上記被覆層の形成を行なう前の中間層を形成し
た状態の上記表面被覆Si3N4基セラミツク工具部
材のうちの５種（以下従来被覆チツプ１〜５とい
う）について、 被削材：HB230を有するFC30の丸棒、 切削速度：600m/min、 送り：0.2mm/rev.、 切込み：３mm、 切削油エマルジヨンタイプ、 の条件で鋳鉄の高速連続切削試験を行ない、使用
寿命とされる切刃のすくい面摩耗深さが200μｍ
に至るまでの切削時間を測定した。これらの測定
結果を第１表に示した。 第１表に示される結果から、本発明被覆チツプ
１〜９は、被覆層の形成がない従来被覆チツプ１
〜５に比して一段と長い使用寿命を示すのに対し
て、比較被覆チツプ１〜４に見られるように、被
覆層の条件のうちのいずれかの条件でもこの発明
の範囲から外れると満足な切削性能を示さないこ
とが明らかである。 上述のように、この発明の表面被覆Si3N4基セ
ラミツク工具部材は、これを構成する被覆層が高
硬度を有し、基体表面に形成された中間層に対す
る密着性に優れ、かつ鉄に対する親和性の著しく
低いものであることから、特に被加工材や被削材
が鋳鉄や鋼である場合に優れた耐摩耗性を示し、
したがつて、耐摩耗工具や切削工具として用いた
場合に、極めて長期に亘つて優れた性能を発揮す
るのである。
を、窒素気流中、温度：1800℃に30分間保持の条
件で焼結し、研削してISO規格SNGN432の形状
とすることにより、実質的に配合組成と同一の成
分組成、並びに第１表に示される気孔率及び硬さ
をもつたSi3N4基セラミツク基体を製造し、つぎ
にこの基体の全表面に、通常の化学蒸着装置を用
い、第１表に示される組成及び平均層厚、並びに
ビツカース硬さを有する中間層を形成し、さらに
これの片側すくい面に、六方晶BNのターゲツト
を用い、高周波スパツタリング法により、基体加
熱温度：200〜500℃、雰囲気：N2／Ar比が１／
１〜１／20のN2含有Ar、雰囲気圧力：１×10-4
〜５×10-2mmHg、バイアス電圧：50〜200V、反
応時間：0.5〜20時間の条件で、それぞれ第１表
に示される被覆層を形成することにより本発明表
面被覆Si3N4基セラミツク切削チツプ（以下、本
発明被覆チツプという）１〜９及び比較表面被覆
Si3N4基セラミツク切削チツプ（以下、比較被覆
チツプという）１〜４をそれぞれ製造した。 なお、比較被覆チツプ１〜４は、いずれも被覆
層の条件（第１表に※印を付す）がこの発明の範
囲から外れたものである。 また、被覆層のＢ／Ｎ原子比及びCBN割合は、
オージエ分析と透過電子線回折により測定した。 つぎに、この結果得られた各種の被覆チツプ及
び上記被覆層の形成を行なう前の中間層を形成し
た状態の上記表面被覆Si3N4基セラミツク工具部
材のうちの５種（以下従来被覆チツプ１〜５とい
う）について、 被削材：HB230を有するFC30の丸棒、 切削速度：600m/min、 送り：0.2mm/rev.、 切込み：３mm、 切削油エマルジヨンタイプ、 の条件で鋳鉄の高速連続切削試験を行ない、使用
寿命とされる切刃のすくい面摩耗深さが200μｍ
に至るまでの切削時間を測定した。これらの測定
結果を第１表に示した。 第１表に示される結果から、本発明被覆チツプ
１〜９は、被覆層の形成がない従来被覆チツプ１
〜５に比して一段と長い使用寿命を示すのに対し
て、比較被覆チツプ１〜４に見られるように、被
覆層の条件のうちのいずれかの条件でもこの発明
の範囲から外れると満足な切削性能を示さないこ
とが明らかである。 上述のように、この発明の表面被覆Si3N4基セ
ラミツク工具部材は、これを構成する被覆層が高
硬度を有し、基体表面に形成された中間層に対す
る密着性に優れ、かつ鉄に対する親和性の著しく
低いものであることから、特に被加工材や被削材
が鋳鉄や鋼である場合に優れた耐摩耗性を示し、
したがつて、耐摩耗工具や切削工具として用いた
場合に、極めて長期に亘つて優れた性能を発揮す
るのである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 元素周期表の4a族の炭化物、窒化物及び炭
窒化物のうちの１種以上：５〜37％、 Al、Mg、Zr、Ｙ、及びSiの酸化物、並びにAl
の窒化物のうちの１種以上：２〜15％、 を含有し、残りが窒化珪素と不可避不純物からな
る組成（以上重量％）を有し、かつ気孔率が５容
量％以下の窒化珪素基セラミツク基体の少なくと
も摩耗を生じる面あるいは切削面に、 Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、
及び炭窒酸化物、並びにAlの酸化物のうちの１
種の単層または２種以上の複層からなる平均層
厚：0.5〜10μｍの中間層を介して、 Ｂ／Ｎ原子比：1.0〜1.2を有する窒化珪素から
なり、かつ非晶質窒化硼素からなる素地に、２〜
30容量％の割合で立方晶窒化硼素が分散した組織
を有する被覆層を、0.2〜10μｍの平均層厚で形成
してなる表面被覆窒化珪素基セラミツク工具部
材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6302884A JPS60204687A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 表面被覆窒化珪素基セラミック工具部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6302884A JPS60204687A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 表面被覆窒化珪素基セラミック工具部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60204687A JPS60204687A (ja) | 1985-10-16 |
| JPH0132193B2 true JPH0132193B2 (ja) | 1989-06-29 |
Family
ID=13217462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6302884A Granted JPS60204687A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 表面被覆窒化珪素基セラミック工具部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60204687A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108568649A (zh) * | 2018-04-29 | 2018-09-25 | 江苏刘刀精密机械有限公司 | 焊接式螺旋刀体制作工艺 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62162683A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-18 | 住友電気工業株式会社 | 被覆窒化硅素部品 |
| DE3924998A1 (de) * | 1989-07-28 | 1991-02-07 | Mapal Fab Praezision | Einmesser-reibahle |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56155080A (en) * | 1980-04-30 | 1981-12-01 | Sumitomo Electric Industries | Coated cutting tool |
| JPS5751175A (en) * | 1980-07-09 | 1982-03-25 | Gte Laboratories Inc | Silicon nitride-base abrasion-resistant product |
| JPS5795881A (en) * | 1980-12-03 | 1982-06-14 | Sumitomo Electric Industries | Coated ceramic tool |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6302884A patent/JPS60204687A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56155080A (en) * | 1980-04-30 | 1981-12-01 | Sumitomo Electric Industries | Coated cutting tool |
| JPS5751175A (en) * | 1980-07-09 | 1982-03-25 | Gte Laboratories Inc | Silicon nitride-base abrasion-resistant product |
| JPS5795881A (en) * | 1980-12-03 | 1982-06-14 | Sumitomo Electric Industries | Coated ceramic tool |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108568649A (zh) * | 2018-04-29 | 2018-09-25 | 江苏刘刀精密机械有限公司 | 焊接式螺旋刀体制作工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60204687A (ja) | 1985-10-16 |
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