JPH01316902A - 感温電気抵抗体及びその製造方法 - Google Patents

感温電気抵抗体及びその製造方法

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JPH01316902A
JPH01316902A JP14678688A JP14678688A JPH01316902A JP H01316902 A JPH01316902 A JP H01316902A JP 14678688 A JP14678688 A JP 14678688A JP 14678688 A JP14678688 A JP 14678688A JP H01316902 A JPH01316902 A JP H01316902A
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JP
Japan
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nickel
film
temperature
based alloy
nickel alloy
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JP14678688A
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Inventor
Toshio Ono
寿男 大野
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Tama Electric Co Ltd
Original Assignee
Tama Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、温度測定装置や電子回路の温度補償などに用
いられる感温電気抵抗体に関するものである。
〔従来の技術及びその問題点〕
従来の感温電気抵抗体には、ニッケルまたはニッケル系
合金等を用いたものがあるが、高抵抗値の製品が得られ
なかった。
また、セラミック等の電気絶縁性基体の表面に形成した
ニッケルまたはニッケル系合金膜を用いた感温電気抵抗
体は、膜厚が1500Å以下になると電気的過負荷に弱
くなる傾向がある。
本発明は、従来のニッケルまたはニッケル系合金膜の抵
抗温度特性を損なうことなく、電気的過負荷に対する特
性を改善しようとするものである。
[問題点を解決するだめの手段] 従来の方法でニッケルまたはニッケル系合金を電気絶縁
性基体上に着膜して得られた、膜厚が1500Å以下の
感温抵抗体は、電気的過負荷に弱い欠点がある。
本発明は、電気絶縁性基体表面にまずニッケルまたはニ
ッケル系合金膜を@膜してこれを酸化させた後、この酸
化膜の上にニッケルまたはニッケル系合金を着膜し、熱
処理を施して感温抵抗膜を得ることによって、上記の問
題を解決したものである。
[実施例] 本発明の実施例を、第1図に基づいて説明する。
この実施例に於ては、直径1.53mmで長さ6.0m
mのムライト系磁器を電気絶縁性基体1とし、その表面
に、マグネトロンスパッタ法によってニッケルまたはニ
ッケル系合金膜を被着した後、大気中でこれを1000
°Cに加熱して該膜を酸化膜2とする(第一の工程)。
次いで、上記酸化膜2の上に、マグネトロンスパッタ法
によって、ニッケルまたはニッケル系合金膜3を被着す
る(第二の工程)。
上記第−及び第二の工程によって形成された膜には、所
定の抵抗温度係数を得る為に熱処理を施す。
熱処理後、内径1.5mm、高さ1.4mm、厚さ0.
25mmの鉄に錫メツキを施したキャップを両端に挿入
して電極4とする。
レーザ光により、ピッチ]、 50 u m、溝幅60
LLmのスパイラル溝5を所定の抵抗値になる進入れて
から、直径0.65mmの半田メツキを施した軟銅線を
リード線6として、両端の電極4に溶接する。
最後に、基体及び電極にエポキシ系塗料によるコーテイ
ング膜7を施して、感温電気抵抗体を得る。
このようにして作成した試料(試料A)の10個につい
て特性試験を行ない、結果の平均値を求めたどころ表1
中央欄に示す値を得た。
比較のため同一膜厚、同一形状に仕上げた従来品(試料
B)の10個についても同様の試験を行なったところ、
結果の平均値は表1右欄に示す値を得た。
試験条件 抵抗温度係数は、25°Cと65°Cの油中における試
料の抵抗値をそれぞれ測定し、計算により1°C当りの
抵抗値変化率を求めた6耐パルス電圧は、試料にパルス
電圧を印加し、抵抗値変化が2%を超えるときの電圧値
を求めた。
パルス電圧の印加は、LOOpFのコンデンサに直流電
圧を加えて充電した後、該コンデンサを電源から切り離
し、その両端電圧を試料の両端に印加する方法により行
なった。
表1 試験結果 〔本発明の効果1 上記表1に示す特性試験結果から明らかなように、本発
明に係る実施例の感温電気抵抗体は、膜厚にかかわらず
抵抗値及び抵抗温度係数で従来の特性を保ち、しかも感
温抵抗膜の膜厚が1500Å以下であっても、電気的過
負荷に対する特性を大幅に向上せしめるという優れた効
果を実現したものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例である感温電気抵抗体の断面
図を示すものであって、図中の各符号は、それぞれ下記
のものを示す。 1:電気絶縁性基体 2:ニッケルまたはニッケル系合金酸化膜3:ニッケル
またはニッケル系合金感温抵抗膜 4、キャップ電極 5:スパイラル溝 6: リード線 7:コーテイング膜

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、電気絶縁性基体の表面に、ニッケルまたはニッケル
    系合金の酸化被膜層を有し、該酸化被膜層の上に、ニッ
    ケルまたはニッケル系合金の感温抵抗膜層を有すること
    を特徴とする感温電気抵抗体。 2、電気絶縁性基体の表面に、ニッケルまたはニッケル
    系合金の膜を形成した後、これを酸化させる第一の工程
    と、この酸化膜の上にニッケルまたはニッケル系合金の
    膜を形成して感温抵抗膜とする第二の工程からなる感温
    電気抵抗体の製造方法。
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