JPH01316415A - ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理装置及び方法 - Google Patents
ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理装置及び方法Info
- Publication number
- JPH01316415A JPH01316415A JP63148342A JP14834288A JPH01316415A JP H01316415 A JPH01316415 A JP H01316415A JP 63148342 A JP63148342 A JP 63148342A JP 14834288 A JP14834288 A JP 14834288A JP H01316415 A JPH01316415 A JP H01316415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- laser
- laser beam
- beams
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 125000005605 benzo group Chemical group 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
- B23K26/0608—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams in the same heat affected zone [HAZ]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はレーザによる鋼材の熱処理加工の方法と装置に
関する。
関する。
［従来の技術］
従来の、ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理加工に於
いては、−個のポリゴンミラーを用いて、ビームをスキ
ャンさせる事により、被加工物の処理を行っていた。ま
た、面処理する場合には、被加工物を、ビームのスキャ
ンと同時に、スキャンの方向と垂直に移動させる事によ
り行っていた。
いては、−個のポリゴンミラーを用いて、ビームをスキ
ャンさせる事により、被加工物の処理を行っていた。ま
た、面処理する場合には、被加工物を、ビームのスキャ
ンと同時に、スキャンの方向と垂直に移動させる事によ
り行っていた。
［発明か解決しようとする課題］
従来の、ポリゴンミラーを用いたレーザ加工に於いては
、一つのビームのスキャンにより、熱処理を行っていた
。この場合、被加工物は、レーザによる熱処理の特徴で
ある、急加熱、急冷却加工されていた。このため、鋼材
の−様な加熱による、表面温度の設定と設定温度の保持
が困難である。また、一つのビームのスキャンにより、
被加工物を面処理する場合、たとえば焼入れ処理を例に
とると、第２図で示されるとおり、すでに熱処理された
部分の直近を、次のスキャンビームか通過し熱処理する
。このため、すてに急加熱、急冷却によって熱処理され
高硬度となった周辺部分か再び熱影響を受は硬度値が低
下し、熱影響を受けない部分と硬度差が生し処理にむら
がてきる欠点かあった。
、一つのビームのスキャンにより、熱処理を行っていた
。この場合、被加工物は、レーザによる熱処理の特徴で
ある、急加熱、急冷却加工されていた。このため、鋼材
の−様な加熱による、表面温度の設定と設定温度の保持
が困難である。また、一つのビームのスキャンにより、
被加工物を面処理する場合、たとえば焼入れ処理を例に
とると、第２図で示されるとおり、すでに熱処理された
部分の直近を、次のスキャンビームか通過し熱処理する
。このため、すてに急加熱、急冷却によって熱処理され
高硬度となった周辺部分か再び熱影響を受は硬度値が低
下し、熱影響を受けない部分と硬度差が生し処理にむら
がてきる欠点かあった。
ポリゴンミラーを用いたレーザビーム加工方法としては
特開昭６２−１：ｌ：１８９号公報に記載されたスクラ
ッチ加工装置があるが、これは均一て高速加工するため
に、同時に数ケ所を照射するためのものてあって、上記
欠点は防止できない。
特開昭６２−１：ｌ：１８９号公報に記載されたスクラ
ッチ加工装置があるが、これは均一て高速加工するため
に、同時に数ケ所を照射するためのものてあって、上記
欠点は防止できない。
本発明は以上の事情を鑑みてなされたものであり、−様
な加熱により加工温度の設定と設定温度の維持ができ、
また処理にむらのない熱処理の可能な装置と方法を提供
する事を目的とする。
な加熱により加工温度の設定と設定温度の維持ができ、
また処理にむらのない熱処理の可能な装置と方法を提供
する事を目的とする。
［課題を解決するための手段］
本発明の要旨は、レーザ本体とレーザビームを反射し、
スキャンするためのポリゴンミラーからなるレーザによ
る鋼材の加工装置において、レーザビームを複数本に分
割する光学系と、前記分岐光学系から分割された複数本
のビームの方向をそれぞれ調整して反射する複数個のベ
ンゾインタミラーと、分割し反射されたビーム数に対応
した段数て毛ねられ、かつ表面ミラーの角度をお互いに
ずらして同軸て回転するポリゴンミラーと、レーザビー
ムのスキャン方向と直角方向に上記加工物を移動する移
動機構を備えたことを特徴とするレーザ熱処理装置と、 ポリゴンミラーを用いてレーザビームを鋼材表面上にス
キャンさせながら行う鋼材の加工方法に於て、レーザビ
ームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベンディ
ングミラーて調整し、多段ポリゴンミラーの各段のミラ
ー面に反射させ、複数ビームで鋼材表面を照射すること
を特徴とするレーザ熱処理方法と、 ポリゴンミラーを用いてレーザビームを鋼材表面トにス
キャンさせながら行う鋼材の加工方法に於て、レーザビ
ームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベンゾイ
ンタミラーて調整し、多段ポリゴンミラーの各段のミラ
ー面に反射させ、複数ビームを鋼材表面の同一スキャン
上に振り分けて照射する其を特徴とするレーザ熱処理方
法と、ポリゴンミラーを用いたレーザビームを鋼材表面
上にスキャンさせなから行う鋼材の加工方法に於て、レ
ーザビームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベ
ンゾインクミラーで調整し、多段ポリゴンミラーの各段
のミラー面に反射させ、複数ビームをスキャン方向に対
して角度を持たせて振り分けて照射する事を特徴とする
レーザ熱処理方法とにある。
スキャンするためのポリゴンミラーからなるレーザによ
る鋼材の加工装置において、レーザビームを複数本に分
割する光学系と、前記分岐光学系から分割された複数本
のビームの方向をそれぞれ調整して反射する複数個のベ
ンゾインタミラーと、分割し反射されたビーム数に対応
した段数て毛ねられ、かつ表面ミラーの角度をお互いに
ずらして同軸て回転するポリゴンミラーと、レーザビー
ムのスキャン方向と直角方向に上記加工物を移動する移
動機構を備えたことを特徴とするレーザ熱処理装置と、 ポリゴンミラーを用いてレーザビームを鋼材表面上にス
キャンさせながら行う鋼材の加工方法に於て、レーザビ
ームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベンディ
ングミラーて調整し、多段ポリゴンミラーの各段のミラ
ー面に反射させ、複数ビームで鋼材表面を照射すること
を特徴とするレーザ熱処理方法と、 ポリゴンミラーを用いてレーザビームを鋼材表面トにス
キャンさせながら行う鋼材の加工方法に於て、レーザビ
ームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベンゾイ
ンタミラーて調整し、多段ポリゴンミラーの各段のミラ
ー面に反射させ、複数ビームを鋼材表面の同一スキャン
上に振り分けて照射する其を特徴とするレーザ熱処理方
法と、ポリゴンミラーを用いたレーザビームを鋼材表面
上にスキャンさせなから行う鋼材の加工方法に於て、レ
ーザビームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベ
ンゾインクミラーで調整し、多段ポリゴンミラーの各段
のミラー面に反射させ、複数ビームをスキャン方向に対
して角度を持たせて振り分けて照射する事を特徴とする
レーザ熱処理方法とにある。
［作用］
以下に本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の装器の構成を示した模式図である。本
発明は第１図で示される通り、レーザ本体ｌから出射さ
れたレーザビーム３を複数のレーザビームに分割する分
岐光学系２．各々のレーザビームの方向を調整する複数
のベンディングミラー１４とその角度調整器４、複数の
レーザビームを各１１４Ｊ、光するレンズ５、上記集光
レンズ５からの上記レーザビームを各々反射し被加工物
９の表面に上記レーザビームを照射する同軸の複数のポ
リゴンミラー６、上記複数のポリゴンミラーを回転する
回転駆動機構、及び上記ポリゴンミラーの回転によって
上記レーザビームかスキャンされる方向と直角方向に上
記被加工物を移動する移動機構によって構成される。
発明は第１図で示される通り、レーザ本体ｌから出射さ
れたレーザビーム３を複数のレーザビームに分割する分
岐光学系２．各々のレーザビームの方向を調整する複数
のベンディングミラー１４とその角度調整器４、複数の
レーザビームを各１１４Ｊ、光するレンズ５、上記集光
レンズ５からの上記レーザビームを各々反射し被加工物
９の表面に上記レーザビームを照射する同軸の複数のポ
リゴンミラー６、上記複数のポリゴンミラーを回転する
回転駆動機構、及び上記ポリゴンミラーの回転によって
上記レーザビームかスキャンされる方向と直角方向に上
記被加工物を移動する移動機構によって構成される。
上記ポリゴンミラー６の回転駆動機構としては１回転数
制御の可能なコントローラ８を備えたモータ７か、又被
加工物の移動機構としては、コントローラ１】付きのＸ
−Ｙ−ＺテーブルｌＯか一例として挙げられる。尚、
１２はスキャンの遅れ、１３はスキャンの行路を示す。
制御の可能なコントローラ８を備えたモータ７か、又被
加工物の移動機構としては、コントローラ１】付きのＸ
−Ｙ−ＺテーブルｌＯか一例として挙げられる。尚、
１２はスキャンの遅れ、１３はスキャンの行路を示す。
この装置においてレーザ本体ｌより射出したレーザビー
ム３を分岐光学系２を用いて複数のレーザビームに分割
し、各々のレーザビームの角度を目標とするポリゴンミ
ラーに入射し反射させて、被加工物の目標個所を照射で
きるよう、ベンディングミラー１４の角度調節器４によ
り調整し、集光レンズ５をとおし複数個のポリゴンミラ
ー６に各々を導く。ここでポリゴンミラーの軸方向まわ
りの角度に、第７図に示すように差（遅れ角）０を付け
る。この結果、ポリゴンミラーの反射光は、ある一定の
遅れを保ちつつ、スキャンの同一の行路をたどる複数の
レーザビームとなって、被加工物に照射される。この結
果、被加工物上ではビームは第８図の（ｅ）から順に（
ｈ）となり、被加工物上の温度は（ａ）〜（ｄ）となる
。この時、ビームの数、各々のビームのパワー、遅れを
変化させる事により、被加工物を順次加熱し、ポリゴン
ミラーの設定角と、回転数の制御によって、必要な温度
領域に、必要な時間だけ保持する事ができる。したがっ
て−本のレーザビームのみで処理される時のような急加
熱急冷却はなく、鋼材表面の熱処理後の冷却速度を任意
に制御する事ができる。なお、被加工物は、ビームのス
キャンと同時に、スキャンの方向と垂直方向に動かす。
ム３を分岐光学系２を用いて複数のレーザビームに分割
し、各々のレーザビームの角度を目標とするポリゴンミ
ラーに入射し反射させて、被加工物の目標個所を照射で
きるよう、ベンディングミラー１４の角度調節器４によ
り調整し、集光レンズ５をとおし複数個のポリゴンミラ
ー６に各々を導く。ここでポリゴンミラーの軸方向まわ
りの角度に、第７図に示すように差（遅れ角）０を付け
る。この結果、ポリゴンミラーの反射光は、ある一定の
遅れを保ちつつ、スキャンの同一の行路をたどる複数の
レーザビームとなって、被加工物に照射される。この結
果、被加工物上ではビームは第８図の（ｅ）から順に（
ｈ）となり、被加工物上の温度は（ａ）〜（ｄ）となる
。この時、ビームの数、各々のビームのパワー、遅れを
変化させる事により、被加工物を順次加熱し、ポリゴン
ミラーの設定角と、回転数の制御によって、必要な温度
領域に、必要な時間だけ保持する事ができる。したがっ
て−本のレーザビームのみで処理される時のような急加
熱急冷却はなく、鋼材表面の熱処理後の冷却速度を任意
に制御する事ができる。なお、被加工物は、ビームのス
キャンと同時に、スキャンの方向と垂直方向に動かす。
また、この装置を用いて、各１７のビームを、先頭のビ
ームがスキャンしている行路と、先頭のビームが熱影響
を与える領域に、後熱のためスキャン方向に角度をもた
せて振り分け、先頭ビームか熱影響を与える領域を、保
温する。その後、先頭ビームの熱影響か、無くなった部
分から、随時処理を終えて行く。この結果被加工物の温
度を、必要とされた温度条件に、合わせる事が可能とな
り、再加熱による処理むらを無くす事も可能となる。
ームがスキャンしている行路と、先頭のビームが熱影響
を与える領域に、後熱のためスキャン方向に角度をもた
せて振り分け、先頭ビームか熱影響を与える領域を、保
温する。その後、先頭ビームの熱影響か、無くなった部
分から、随時処理を終えて行く。この結果被加工物の温
度を、必要とされた温度条件に、合わせる事が可能とな
り、再加熱による処理むらを無くす事も可能となる。
［実施例］
実施例１
第１表に示す成分を有する板厚１．４ｍｍの熱処理強化
型鋼板の熱処理を行った。この時三枚のポリゴンミラー
を用いた。ポリゴンミラーは、鋼製で六角柱、８０霞−
φ、−片か２０ＩＩｍのミラー面を持つ物を用いた。ポ
リゴンミラーの回転数は、０．５ｒｐｍ 、角度差０を
９．２度とした。使用レーザは。
型鋼板の熱処理を行った。この時三枚のポリゴンミラー
を用いた。ポリゴンミラーは、鋼製で六角柱、８０霞−
φ、−片か２０ＩＩｍのミラー面を持つ物を用いた。ポ
リゴンミラーの回転数は、０．５ｒｐｍ 、角度差０を
９．２度とした。使用レーザは。
２ ｋＷｉ酸ガスレーザで、ビームをビームスプリッダ
−によって、三つに分割した。各々のパワーは、先ｆｆ
ｉカラ１．５ｋＷ 、 ０．２５ｋＷ、 ０．２５ｋＷ
とした。集光レンズとして、焦点距離が１１００ｈの物
を用いた。スキャンの長さは、：１００ｍｍ 、幅は２
ｍｍ、速さは、３０＋＋ｎ／ｓｅｃ、各々のビームの
遅れは、］Ｏｈ＋ｓとした。この時被加工物の、−点に
於ける温度は、第５図におけるΔ点を結んだ曲線となり
、ビッカース硬さは、第６図となった。この結果、従来
の方法より、本発明による方法か、優れている事が解る
。
−によって、三つに分割した。各々のパワーは、先ｆｆ
ｉカラ１．５ｋＷ 、 ０．２５ｋＷ、 ０．２５ｋＷ
とした。集光レンズとして、焦点距離が１１００ｈの物
を用いた。スキャンの長さは、：１００ｍｍ 、幅は２
ｍｍ、速さは、３０＋＋ｎ／ｓｅｃ、各々のビームの
遅れは、］Ｏｈ＋ｓとした。この時被加工物の、−点に
於ける温度は、第５図におけるΔ点を結んだ曲線となり
、ビッカース硬さは、第６図となった。この結果、従来
の方法より、本発明による方法か、優れている事が解る
。
実施例２
板厚３．２ｓｍの炭素鋼５４５Ｃに、三枚のポリゴンミ
ラーを用い、ｚｋ町ｚ酸ガスレーザで１面処理を行った
。ポリゴンミラーは、銅製で六角柱、８０層燻φ、−・
片が２０ｍ−のミラー面を持つ物を用いた。
ラーを用い、ｚｋ町ｚ酸ガスレーザで１面処理を行った
。ポリゴンミラーは、銅製で六角柱、８０層燻φ、−・
片が２０ｍ−のミラー面を持つ物を用いた。
ポリゴンミラーの回転数は、 ０．５ ｒｐｓ 、角度
差０を４．２度とした。ビームスプリッタ−により。
差０を４．２度とした。ビームスプリッタ−により。
ビームを三つに分割し、各々のパワーをｌ ｋＷ、０．
５ｋＷ 、 ０．５ｋＷとした。レンズは、１０００■
■の焦点距離の物を用いた。スキャンの長さは３００ｍ
ｍ 、幅は２ｍｍ、速さは、３０■麿／ｓｅｅ、各々の
ビーム遅れは３５０ｍｍ （スキャンの行路−本と５
０■■の遅れ）とし、スキャン方向に直角方向には１２
ｍｍ／ｓｅｅとした。この時の、スキャンに垂直方向の
、ビッカース硬さの分布は、第４図に示すようになった
。この結果、第３図に示す従来の一つのポリゴンミラー
による処理の硬度分布と比べて、処理むらが、改善され
た事か解る。
５ｋＷ 、 ０．５ｋＷとした。レンズは、１０００■
■の焦点距離の物を用いた。スキャンの長さは３００ｍ
ｍ 、幅は２ｍｍ、速さは、３０■麿／ｓｅｅ、各々の
ビーム遅れは３５０ｍｍ （スキャンの行路−本と５
０■■の遅れ）とし、スキャン方向に直角方向には１２
ｍｍ／ｓｅｅとした。この時の、スキャンに垂直方向の
、ビッカース硬さの分布は、第４図に示すようになった
。この結果、第３図に示す従来の一つのポリゴンミラー
による処理の硬度分布と比べて、処理むらが、改善され
た事か解る。
［発明の効果］
実施例でも示した通り１本発明によれば、レーザを用い
た入熱加工に於て、必要な温度条件に、必要な時間、被
加工物を維持する事が可能となった。また、−個のポリ
ゴンミラーを用いた熱処理系の問題点でもあった。スキ
ャン方向に垂直な方向での処理むらも改善する事が可能
となった。
た入熱加工に於て、必要な温度条件に、必要な時間、被
加工物を維持する事が可能となった。また、−個のポリ
ゴンミラーを用いた熱処理系の問題点でもあった。スキ
ャン方向に垂直な方向での処理むらも改善する事が可能
となった。
第１図は本発明の構成の一例を示す模式図、第２図はス
キャンの概念図、第３図は従来のポリゴンミラーを用い
た熱処理装置による焼入れ後の被加工物の硬度値のグラ
フ、第４図は本発明の装置による焼入後の被加工物の硬
度値のグラフ、第５図は被加工物の定点における温度の
プロフィール、第６図は加工後の硬度のグラフ、第７図
はポリゴンミラーの設定の概念図、第８図は加工物上の
ビームの位置と温度分布の概念図である。 １・・・レーザ本体、２・・・分岐光学系、３・・・レ
ーザビーム、４・・・角度調整器、５・・・レンズ、６
・・・ポリゴンミラー、７・・・モータ、８・・・コン
トローラ、９・・・被加工物、ｌＯ・・・Ｘ−Ｙ−Ｚテ
ーブル、１１・・・コントローラ、１２・・・スキャン
の遅れ、１３・・・スキャンの行路、１４・・・ベンデ
ィングミラー。
キャンの概念図、第３図は従来のポリゴンミラーを用い
た熱処理装置による焼入れ後の被加工物の硬度値のグラ
フ、第４図は本発明の装置による焼入後の被加工物の硬
度値のグラフ、第５図は被加工物の定点における温度の
プロフィール、第６図は加工後の硬度のグラフ、第７図
はポリゴンミラーの設定の概念図、第８図は加工物上の
ビームの位置と温度分布の概念図である。 １・・・レーザ本体、２・・・分岐光学系、３・・・レ
ーザビーム、４・・・角度調整器、５・・・レンズ、６
・・・ポリゴンミラー、７・・・モータ、８・・・コン
トローラ、９・・・被加工物、ｌＯ・・・Ｘ−Ｙ−Ｚテ
ーブル、１１・・・コントローラ、１２・・・スキャン
の遅れ、１３・・・スキャンの行路、１４・・・ベンデ
ィングミラー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ本体とレーザビームを反射し、スキャンする
ためのポリゴンミラーからなるレーザによる鋼材の加工
装置において、レーザビームを複数本に分割する光学系
と、前記分岐光学系から分割された複数本のビームの方
向をそれぞれ調整して反射する複数個のベンディングミ
ラーと、分割されたレーザビームを集光するためのレン
ズと、分割し反射されたビーム数に対応した段数で重ね
られ、かつポリゴンミラーの反射面の角度をお互いにず
らした、同軸で回転するポリゴンミラーと、レーザビー
ムのスキャン方向と直角方向に上記加工物を移動する移
動機構を備えたことを特徴とするポリゴンミラーを用い
たレーザ熱処理装置。 ２、ポリゴンミラーを用いてレーザビームを鋼材表面上
にスキャンさせながら行う鋼材の加工方法に於て、レー
ザビームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベン
ディングミラーで調整し、多段ポリゴンミラーの各段の
ミラー面に反射させ、複数ビームで鋼材表面を照射する
ことを特徴とするポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理
方法。 ３、ポリゴンミラーを用いてレーザビームを鋼材表面上
にスキャンさせながら行う鋼材の加工方法に於て、レー
ザビームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベン
ディングミラーで調整し、多段ポリゴンミラーの各段の
ミラー面に反射させ、複数ビームを鋼材表面の同一スキ
ャン上に振り分けて照射する事を特徴とするポリゴンミ
ラーを用いたレーザ熱処理方法。 ４、ポリゴンミラーを用いたレーザビームを鋼材表面上
にスキャンさせながら行う鋼材の加工方法に於て、レー
ザビームを複数本に分割し、各ビームの反射角度をベン
ディングミラーで調整し、多段ポリゴンミラーの各段の
ミラー面に反射させ、複数ビームをスキャン方向に対し
て角度を持たせて振り分けて照射する事を特徴とするポ
リゴンミラーを用いたレーザ熱処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148342A JPH01316415A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148342A JPH01316415A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316415A true JPH01316415A (ja) | 1989-12-21 |
| JPH0557329B2 JPH0557329B2 (ja) | 1993-08-23 |
Family
ID=15450626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63148342A Granted JPH01316415A (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 | ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01316415A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05107186A (ja) * | 1991-04-10 | 1993-04-27 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | 固体発光分光分析装置 |
| WO2003039803A3 (de) * | 2001-11-07 | 2003-11-27 | Mlt Micro Laser Technology Gmb | Vorrichtung zur substratbehandlung mittels laserstrahlung |
| EP1451907A2 (en) * | 2001-06-13 | 2004-09-01 | Orbotech Ltd. | Multi-beam micro-machining system and method |
| US7164519B2 (en) | 2004-08-18 | 2007-01-16 | Eo Technics Co., Ltd. | Laser processing apparatus and method using polygon mirror |
| KR100709171B1 (ko) * | 2005-11-08 | 2007-04-18 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 빔 분할을 이용한 레이저 가공 장치 |
| CN101804518A (zh) * | 2010-04-02 | 2010-08-18 | 苏州市博海激光科技有限公司 | 多激光器并联式卷烟接装纸激光打孔方法及设备 |
| EP1972694A3 (en) * | 2007-03-23 | 2010-11-10 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Crankshaft, internal combustion engine, transportation apparatus, and production method for crankshaft |
| WO2011060582A1 (zh) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 多头激光加工方法及其装置 |
| WO2012105326A1 (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | 三菱重工業株式会社 | 溶接方法及び溶接装置 |
| CN110434470A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-11-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种大幅面透明曲面零件减反功能微纳结构加工方法及系统 |
| US10940641B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Multi-light beam energy delivery with rotating polygon for additive manufacturing |
| US10981323B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-04-20 | Applied Materials, Inc. | Energy delivery with rotating polygon and multiple light beams on same path for additive manufacturing |
| US11065689B2 (en) * | 2017-06-23 | 2021-07-20 | Applied Materials, Inc. | Additive manufacturing with polygon and galvo mirror scanners |
| US11518100B2 (en) | 2018-05-09 | 2022-12-06 | Applied Materials, Inc. | Additive manufacturing with a polygon scanner |
| KR20230057987A (ko) * | 2021-10-22 | 2023-05-02 | 에이치씨에스테크놀로지 주식회사 | 정밀 패터닝을 위한 레이저 롤 패터닝 장치 |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP63148342A patent/JPH01316415A/ja active Granted
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05107186A (ja) * | 1991-04-10 | 1993-04-27 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | 固体発光分光分析装置 |
| EP1451907A2 (en) * | 2001-06-13 | 2004-09-01 | Orbotech Ltd. | Multi-beam micro-machining system and method |
| EP1451907A4 (en) * | 2001-06-13 | 2007-05-09 | Orbotech Ltd | MULTI-RAY MICRO-PROCESSING SYSTEM AND METHOD |
| WO2003039803A3 (de) * | 2001-11-07 | 2003-11-27 | Mlt Micro Laser Technology Gmb | Vorrichtung zur substratbehandlung mittels laserstrahlung |
| US7215454B2 (en) | 2001-11-07 | 2007-05-08 | Mlt Micro Laser Technology Gmbh | Device for substrate treatment by means of laser radiation |
| EP1427563B2 (de) † | 2001-11-07 | 2010-08-04 | MLT Micro Laser Technology GmbH | Vorrichtung zur substratbehandlung mittels laserstrahlung |
| US7164519B2 (en) | 2004-08-18 | 2007-01-16 | Eo Technics Co., Ltd. | Laser processing apparatus and method using polygon mirror |
| KR100709171B1 (ko) * | 2005-11-08 | 2007-04-18 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 빔 분할을 이용한 레이저 가공 장치 |
| WO2007055452A1 (en) * | 2005-11-08 | 2007-05-18 | Eo Technics Co., Ltd. | Laser processing apparatus using laser beam splitting |
| EP1972694A3 (en) * | 2007-03-23 | 2010-11-10 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Crankshaft, internal combustion engine, transportation apparatus, and production method for crankshaft |
| WO2011060582A1 (zh) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 多头激光加工方法及其装置 |
| CN101804518A (zh) * | 2010-04-02 | 2010-08-18 | 苏州市博海激光科技有限公司 | 多激光器并联式卷烟接装纸激光打孔方法及设备 |
| WO2012105326A1 (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | 三菱重工業株式会社 | 溶接方法及び溶接装置 |
| JP2012161808A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 溶接方法及び溶接装置 |
| US10940641B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Multi-light beam energy delivery with rotating polygon for additive manufacturing |
| US10981323B2 (en) | 2017-05-26 | 2021-04-20 | Applied Materials, Inc. | Energy delivery with rotating polygon and multiple light beams on same path for additive manufacturing |
| US11065689B2 (en) * | 2017-06-23 | 2021-07-20 | Applied Materials, Inc. | Additive manufacturing with polygon and galvo mirror scanners |
| US11518100B2 (en) | 2018-05-09 | 2022-12-06 | Applied Materials, Inc. | Additive manufacturing with a polygon scanner |
| CN110434470A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-11-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种大幅面透明曲面零件减反功能微纳结构加工方法及系统 |
| KR20230057987A (ko) * | 2021-10-22 | 2023-05-02 | 에이치씨에스테크놀로지 주식회사 | 정밀 패터닝을 위한 레이저 롤 패터닝 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0557329B2 (ja) | 1993-08-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH01316415A (ja) | ポリゴンミラーを用いたレーザ熱処理装置及び方法 | |
| US4533400A (en) | Method and apparatus for laser hardening of steel | |
| CN104822849B (zh) | 用于对工件的表面进行激光硬化的方法及系统 | |
| US4456811A (en) | Method of and apparatus for heat treating axisymmetric surfaces with an annular laser beam | |
| EP0147190A1 (en) | Method and apparatus for laser gear hardening | |
| US4250372A (en) | Process and apparatus for the heat treatment by high energy beams of surfaces of steel products | |
| CN106755756A (zh) | 一种轴承表面无回火软带的激光淬火装置及方法 | |
| CN107922989B (zh) | 利用能量束热处理含铁材料的方法和设备 | |
| US20190009370A1 (en) | Laser texturing of steel strip | |
| US20220379402A1 (en) | Machining apparatus for laser machining a workpiece, method for laser machining a workpiece | |
| JP2004035953A (ja) | レーザー光を利用した焼入れ方法及び装置 | |
| CN117403046A (zh) | 一种光斑尺寸可调式双光束激光热处理方法 | |
| JP2680256B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2901138B2 (ja) | ベンディング金型に焼入れを行う金型焼入れ方法並びにその装置 | |
| JPH064892B2 (ja) | レーザ照射によるねじ軸表面硬化方法 | |
| JPH03188212A (ja) | レーザ熱処理方法 | |
| CN117604202B (zh) | 一种基于温度场的激光热处理系统及其控制方法 | |
| JPH0790358A (ja) | レーザ焼入れ装置 | |
| Bloehs et al. | Recent progress in laser surface treatment: II. Adopted processing for high efficiency and quality | |
| RU2675884C1 (ru) | Способ лазерного термоупрочнения резьбовых соединений | |
| JPH07252521A (ja) | レーザ焼入れ方法 | |
| JPH0639575A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2965419B2 (ja) | 鋳片鋳造用冷却ドラムのディンプル加工装置 | |
| JPH02101112A (ja) | 加工物の熱処理方法および装置 | |
| JPH0377252B2 (ja) |