JPH01301151A - プリント配線検査装置 - Google Patents

プリント配線検査装置

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JPH01301151A
JPH01301151A JP63131927A JP13192788A JPH01301151A JP H01301151 A JPH01301151 A JP H01301151A JP 63131927 A JP63131927 A JP 63131927A JP 13192788 A JP13192788 A JP 13192788A JP H01301151 A JPH01301151 A JP H01301151A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
defect
printed wiring
circuit
brightness
length
Prior art date
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Pending
Application number
JP63131927A
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English (en)
Inventor
Satoshi Iwata
敏 岩田
Koji Oka
浩司 岡
Moritoshi Ando
護俊 安藤
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [目次] 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段(第1図) 作用 実施例 一実施例(第2〜7図) 拡張 発明の効果 り概要] 堰板に形成されたプリント配線を検査するプリント配線
検査装置に関し、 疑似欠陥が致命欠陥であるかどうかを自動的に判定する
ことにより作業者の負担を軽減することをに1的と12
、 川明されたプリント配線板の各画素の輝度を検出する輝
度検出手段と、検出された該輝度を2値化する2値化手
段と、2値化された該輝度が古き込まれる2値画像記憶
手段と、該2値画像記憶手段に2丁き込まれている画素
データに対し、共通の中心画素から複数方向へ放射状に
延びた一定画素長の軸上に存在する配線部の長さを該各
軸について測定するフッアル測長手段と、該各軸の測長
値からプリント配線の幅方向中心位置を検出し、該中心
位置における複数の該軸上の配線部測長値の組み合わせ
からなるコードを作成するコード化手段と、該コードと
欠陥の種類とを対応させたテーブルが書き込まれた辞書
記憶手段と、該辞書を参照して、作成されたコードの欠
陥の種類を判別する欠陥有無判定手段と、疑似欠陥個数
の閾値を規定する閾値規定手段と、走査されるウィンド
内について、該判別完了後に、致命欠陥が1つでも存在
4−れば該ウィンド内が欠陥であると判定し、致命欠陥
が存在しなければ疑似欠陥の種類毎にその個数を計数1
71、いずれかの該計数値が該閾値具」−であれば該ウ
ィンド内が欠陥であると判定する欠陥イJ゛無判定1段
とを備えて構成する。
[産業上の利用分野] 本発明は基板に形成されたプリント配線を検査するプリ
ント配線検査装置に関する。
[従来の技術] 従来のプリント配線検査装置では、プリント配線パター
ンの画像を読み取り、ラジアルマツチング検査方法を用
いて欠陥の有無を判定していた。
[発明が解決しようとする課題〕 しかし、プリント配線幅の欠陥に関しては、この幅が下
限値以下又は上限値以上のとき欠陥と判定していたので
、実際には致命的障害に至らない欠陥も欠陥と判定して
、致命欠陥であるかどうかを作業音の判断に委ねざるを
えず、作業者の負担が大きかった。
例えば、細り欠陥の場合、配線幅が所定範囲内であれば
、その配線の長平方向に沿って一定距離以」二細りが続
いていなければ致命欠陥とする可能性は低いが、これを
一応欠陥と判定し、その後、顕微鏡を覗いて作業者が致
命欠陥であるかどうかを判定していた。
本発明の目的は、」二記問題点に鑑み、疑似欠陥が致命
欠陥であるかどうかを自動的に判定することにより作業
音の負担を軽減することができるプリント配線検査装置
を提供することにある。
[課題を解決するだめの手段] 第1図は本発明の原理ブロック図である。
図中、1は照明されたプリント配線板の各画素の輝度を
検出ずろ。
2は2値化手段であり、検出された該輝度を2値化する
3は2値画像記憶手段であり、2値化された該輝度が書
き込まれる。
4はラジアル測長手段であり、該2値画像記憶手段3に
書き込まれている画素データに対し、共通の中心画素か
ら複数方向へ放射状に延びた一定画素長の軸上に存在す
る配線部の長さを該各軸について測定する。
5はコード化手段であり、該各軸の測長値からプリント
配線の幅方向中心位置を検出し、該中心位置における複
数の該軸上の配線部測長値の組み合わせからなるコード
を作成する。
6は辞書記憶旧設で6つ、該コードと欠陥の種類とを対
応さU′だテーブルが3き込まれている。
7は欠陥有無判定手段であり、該辞書を参照して、作成
、きれたコー ドの欠陥の種類を判別する。
8は閾(It規定手段−Cあり、疑似欠陥個数の閾値を
規定する。
9は欠陥存無判定丁段であり、走査されるウィンド内に
ついて、該判別完了後に、致命欠陥が1つでも存在すれ
ば該ウィンド内が欠陥であると判定し、致命欠陥が存在
j7なければ疑似欠陥の種類毎にその個数を計数し2、
い「れかの該11敗値が該閾値以−Lであれば該ウィン
ド内が欠陥であると判定する。
[作用コ 信号を反射させる二となく(≦送するためl−は、各プ
リント配線の特性インビーダ゛、・スは所定範囲内の値
でな(lhばならない1゜ プリント配線にある程度の細りゃ太りがあっても、ずな
わぢ疑似欠陥かぁ−、でも、その長さが一定(−゛(以
内であれば、特性インピーダンスは該所定範囲内に納ま
り、致命欠陥とはいえない。
本発明ではこのような細りゃ太り等の疑似欠陥が致命欠
陥であるかどうかを自動的に判定する。
したがって、作業者の負担が軽減され、作業時間が短縮
される。
[実施例] 第2図はプリント配線検査装置のブロック構成を示す。
X−Yテーブル10.1には、被検青物としてのプリン
ト配線板!2が載置されている。プリニット配線板12
の広さは例えば500IX 6001Mmであり、プリ
ント配線幅は例えばl(1+1μmrin後である。
X−Yテーブル10の−h方には、リングライト■4が
周設された一次元カメラ16が、その撮像面をX−Yテ
ーブル10.)へ向けて配設されている。
−次元カメラ16は例えば4,096画素の、1次元C
CDイメージセンサを用いて構成されており、その受光
面に結像されたプリント配線板12の輝度を検出する。
このイメージせンサは第2図Y方向へ配置されており、
X−1”P−プル10がX軸方向(紙面承直方向)へ1
ステツプ、例えば5μm移動する毎に、1ライン分の輝
度データを直列信号として2値化回路18へ供給する。
2値化回路18は、各画素毎にこの輝度データを2値化
し、これを画像メモリ20へどき込む。したがって、画
像メモリ20には、配線部のみ′1”のデータが格納さ
れ、それ以外の部分には“0“のデータが格納される。
この画像メモリ20上の画像データに対し、ノ\−ドウ
エア構成で、以下に述べるようなリアルタイム処理を施
すことによって、プリント配線の欠陥が判定される。
最初に、配線中心検出回路22により、プリント配線の
幅方向中心位置が検出される。これは例えば第3図に示
すようなラジアル測長センサを用いて行われる。このラ
ジアル測長センサは、33X33画素のウィンド(メモ
リ)に形成されており、中心ビットXを共通とする17
ビツト構成の放射状の軸a−rを41し、図示の如く中
心から外方へ向けてビット位置が割り付けられている。
第4図に示す黒マークは、中心付近のメモリセルがどの
軸に属するかを区別するために付したものである。
画像メモリ20内のデータは、33ビツトを1ワードと
して、例えば101AIIzでこのジノアル1IIll
l長センナ内ヘソフトされる。この際、第4図に示す如
く、各軸1〜r lの配線部の長さ(連続する“l”の
1lt)r、〜r+aが測定され、例えば、ユ軸上の配
線部の長さr’+とi軸上の配線部の長さ「8が路間−
(両者の差がO又は±1)でありかつ他の軸];の配線
部長さより6短ければ、中心ビットXが配線の幅方向中
心位置にあると判定し、(r++「、)を配線幅とする
次に、第2図に示すコード化回路24は、検出された配
線中心位置について、ラジアル測長センサの複数の軸上
の配線部測長値の組み合わせからなるコードを作成する
。これは、例えば第4図において、nn= rt、、−
++ rtn、t−1(n= 1〜4 )を計算し、こ
のR,、の値をさらにQt子化して3ビツトの値に、、
(n=! 〜4)に変換し、K 、K 、K 、K 。
からなる12ビツトをコートとする。
このTh12子化は、例えば第5図に示す如く、プリン
ト配線25の幅Wとの関係で行う。すなわち、R,、≦
W、であればに、、−“000”(短)とし、w 、<
 R。
≦W、であればに、、−“00ビ(細り)とし、W t
 < R−≦W3であればK n−”010−(正常)
とし、W3≦R。
<W、であればに、−“100−(太り)とし、W4≦
rt。
であればに、、−“III”(長)とする。これら()
内はfl、が配線幅に対応する場合の欠陥の種類じ正常
”を含む)をひ味する。
Rnが配線幅に対応する場合、Kn−“000”または
に、、−“Ill“であれば致命欠陥と判定すべきであ
り、K、、−“00ビまたはに、、−“100”の場合
には疑似欠陥と判定すべきである。また、Ko−“00
1”が所定範囲内に一定個数以上あれば致命欠陥と判定
ケへきであり、そうでない場合には欠陥でないと判定す
べきである。
第2図に示す辞書メモリ26には、アドレスK 、K 
、K 、K 、に、このアドレスが示すコードの欠陥の
種類が書き込まれている。したがって、コード化回路2
4で作成されたコードK 、K 、K 、K 、を辞占
メモリ26のアドレスとして指定することにより、辞書
メモリ26から欠陥の種類が出力される。
欠陥有無判定回路28はこの欠陥の種類を読み取り、第
6図に示すように該種類をプリント配線25の中心位置
に対応して格納する。第6図において、28Aはm x
 n画素からなるウィンドである。このウィンド28A
内の全ての配線中心位置に関して欠陥の種類が判別され
た後に、欠陥有無判定回路28はウィンド28A内が欠
陥であるかどうかを次のようにして判定する。
すなわち、ウィンド28A内に致命欠陥が1つでもあれ
ば欠陥aりと判定し、致命欠陥及び疑似欠陥が無ければ
欠陥無しと判定し、疑似欠陥が存在する場合には第7図
に示す如く、横軸を疑似欠陥の種類とするヒストグラム
を作成し、いずれかの疑似欠陥の個数(頻度)が閾値設
定器30により設定される閾値以上であれば欠陥有りと
判定する。
欠陥有無判定回路28は、欠陥有りと判定すると、欠陥
有信号を欠陥位置出力装置32へ供給するとともに、検
査位置作成回路34へ画像メモリ20上のウィンド28
Aの位置を供給する。検査位置作成回路34は、この位
置及びX−YテーブルIOからの座標(X、Y)を用い
てプリント配線板12上の検査位置を作成し、欠陥位置
出力装置32へ供給する。
欠陥位置出力装置32は例えばX−Yブロックであり、
透明シート」二の、プリント配線、板12上の欠陥位置
に対応する位置に欠陥マークを記入する。
作業者はこの透明ンートをプリント配線板■2へ重ね合
わせることにより欠陥位置を知る。
このような処理により、例えば第5図において配線の細
り長L1または太り長し、が一定長以下であれば欠陥で
ないと判定され、作業者が欠陥であるかどうかを判定す
る必要はなく、作業者の負担を従来の1/2乃至1/4
に軽減することができる。
(2)拡張 なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。
例えば、1次元カメラの代わりに、拡大レンズを介し2
次元カメラを配設してらよい。
また、第5図に示す細り及び太すの範囲を分割してラン
ク分けし、各ランクに対応して第7図に示す閾値を変え
る(複数の閾(〆(を用いる)構成であってもよい。
さらに、第6図に示すウィンド28Aは、画像メモリ2
0」二で例えばウィンド28Aの18ずつ重複して走査
する構成であってもよい。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、疑似欠陥が致命
欠陥であるかどうかが自動的に判定されるので、プリン
ト配線検査における作業者の負担が大幅に軽減されると
いう優れた効果を奏し、また、作業者の不注意や疲労度
による欠陥の誤判定がなくなるのでプリント配線板の信
頼性の向上に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の原理ブロック図である。 第2図乃至第7図は本発明の一実施例に係り、第2図は
プリント配線検査装置の構成を示すブロック図、 第3図はプリント配線の中心を検出し、コード化するだ
めのラジアル測長センナの説明図、第4図はプリント配
線中心検出及びコード化の説明図、 第5図はラジアル測長センナの軸上の配線部長さの量子
化説明図、 第6図は欠陥有無判定回路28の動作説明に供するウィ
ンド内の状態図、 第7図はウィンド内の疑似欠陥が致命欠陥であるかどう
かを判定するためのヒストグラムである。 図中、 10 : X−Yテーブル I2ニブリント配線板 I4ニリングライド 16二−次元カメラ 18・2値化回路 20:画像メモリ 22、配線中心検出回路 24・コード化回路 26、辞11丁メモリ 28、欠陥(f無判定回路 30、閾値設定器 32:欠陥位置出力装置 34:検査位置作成回路 プリント配線検査装置 第2図 ラノアル測長セッサ説明図 第3図 プリント配線中心検出及びコード化の説明図第4図 第5図 m1景 ウィンド内状凰図 第6 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 照明されたプリント配線板の各画素の輝度を検出する輝
    度検出手段(1)と、 検出された該輝度を2値化する2値化手段(2)と、 2値化された該輝度が書き込まれる2値画像記憶手段(
    3)と、 該2値画像記憶手段(3)に書き込まれている画素デー
    タに対し、共通の中心画素から複数方向へ放射状に延び
    た一定画素長の軸上に存在する配線部の長さを該各軸に
    ついて測定するラジアル測長手段(4)と、 該各軸の測長値からプリント配線の幅方向中心位置を検
    出し、該中心位置における複数の該軸上の配線部測長値
    の組み合わせからなるコードを作成するコード化手段(
    5)と、 該コードと欠陥の種類とを対応させたテーブルが書き込
    まれた辞書記憶手段(6)と、 該辞書を参照して、作成されたコードの欠陥の種類を判
    別する欠陥種類判別手段(7)と、疑似欠陥個数の閾値
    を規定する閾値規定手段(8)と、 走査されるウインド内について、該判別完了後に、致命
    欠陥が1つでも存在すれば該ウインド内が欠陥であると
    判定し、致命欠陥が存在しなければ疑似欠陥の種類毎に
    その個数を計数し、いずれかの該計数値が該閾値以上で
    あれば該ウインド内が欠陥であると判定する欠陥有無判
    定手段(9)と、を有することを特徴とするプリント配
    線検査装置。
JP63131927A 1988-05-30 1988-05-30 プリント配線検査装置 Pending JPH01301151A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002520591A (ja) * 1998-07-08 2002-07-09 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 不変のコアクラスでの自動欠陥分類
WO2021201205A1 (ja) * 2020-04-03 2021-10-07 パナソニックIpマネジメント株式会社 表面状態の評価方法、表面状態の評価装置、及び、プログラム

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WO2021201205A1 (ja) * 2020-04-03 2021-10-07 パナソニックIpマネジメント株式会社 表面状態の評価方法、表面状態の評価装置、及び、プログラム

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