JPH01301151A - プリント配線検査装置 - Google Patents
プリント配線検査装置Info
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- JPH01301151A JPH01301151A JP63131927A JP13192788A JPH01301151A JP H01301151 A JPH01301151 A JP H01301151A JP 63131927 A JP63131927 A JP 63131927A JP 13192788 A JP13192788 A JP 13192788A JP H01301151 A JPH01301151 A JP H01301151A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 85
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
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- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 235000006693 Cassia laevigata Nutrition 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[目次]
概要
産業上の利用分野
従来の技術
発明が解決しようとする課題
課題を解決するための手段(第1図)
作用
実施例
一実施例(第2〜7図)
拡張
発明の効果
り概要]
堰板に形成されたプリント配線を検査するプリント配線
検査装置に関し、 疑似欠陥が致命欠陥であるかどうかを自動的に判定する
ことにより作業者の負担を軽減することをに1的と12
、 川明されたプリント配線板の各画素の輝度を検出する輝
度検出手段と、検出された該輝度を2値化する2値化手
段と、2値化された該輝度が古き込まれる2値画像記憶
手段と、該2値画像記憶手段に2丁き込まれている画素
データに対し、共通の中心画素から複数方向へ放射状に
延びた一定画素長の軸上に存在する配線部の長さを該各
軸について測定するフッアル測長手段と、該各軸の測長
値からプリント配線の幅方向中心位置を検出し、該中心
位置における複数の該軸上の配線部測長値の組み合わせ
からなるコードを作成するコード化手段と、該コードと
欠陥の種類とを対応させたテーブルが書き込まれた辞書
記憶手段と、該辞書を参照して、作成されたコードの欠
陥の種類を判別する欠陥有無判定手段と、疑似欠陥個数
の閾値を規定する閾値規定手段と、走査されるウィンド
内について、該判別完了後に、致命欠陥が1つでも存在
4−れば該ウィンド内が欠陥であると判定し、致命欠陥
が存在しなければ疑似欠陥の種類毎にその個数を計数1
71、いずれかの該計数値が該閾値具」−であれば該ウ
ィンド内が欠陥であると判定する欠陥イJ゛無判定1段
とを備えて構成する。
検査装置に関し、 疑似欠陥が致命欠陥であるかどうかを自動的に判定する
ことにより作業者の負担を軽減することをに1的と12
、 川明されたプリント配線板の各画素の輝度を検出する輝
度検出手段と、検出された該輝度を2値化する2値化手
段と、2値化された該輝度が古き込まれる2値画像記憶
手段と、該2値画像記憶手段に2丁き込まれている画素
データに対し、共通の中心画素から複数方向へ放射状に
延びた一定画素長の軸上に存在する配線部の長さを該各
軸について測定するフッアル測長手段と、該各軸の測長
値からプリント配線の幅方向中心位置を検出し、該中心
位置における複数の該軸上の配線部測長値の組み合わせ
からなるコードを作成するコード化手段と、該コードと
欠陥の種類とを対応させたテーブルが書き込まれた辞書
記憶手段と、該辞書を参照して、作成されたコードの欠
陥の種類を判別する欠陥有無判定手段と、疑似欠陥個数
の閾値を規定する閾値規定手段と、走査されるウィンド
内について、該判別完了後に、致命欠陥が1つでも存在
4−れば該ウィンド内が欠陥であると判定し、致命欠陥
が存在しなければ疑似欠陥の種類毎にその個数を計数1
71、いずれかの該計数値が該閾値具」−であれば該ウ
ィンド内が欠陥であると判定する欠陥イJ゛無判定1段
とを備えて構成する。
[産業上の利用分野]
本発明は基板に形成されたプリント配線を検査するプリ
ント配線検査装置に関する。
ント配線検査装置に関する。
[従来の技術]
従来のプリント配線検査装置では、プリント配線パター
ンの画像を読み取り、ラジアルマツチング検査方法を用
いて欠陥の有無を判定していた。
ンの画像を読み取り、ラジアルマツチング検査方法を用
いて欠陥の有無を判定していた。
[発明が解決しようとする課題〕
しかし、プリント配線幅の欠陥に関しては、この幅が下
限値以下又は上限値以上のとき欠陥と判定していたので
、実際には致命的障害に至らない欠陥も欠陥と判定して
、致命欠陥であるかどうかを作業音の判断に委ねざるを
えず、作業者の負担が大きかった。
限値以下又は上限値以上のとき欠陥と判定していたので
、実際には致命的障害に至らない欠陥も欠陥と判定して
、致命欠陥であるかどうかを作業音の判断に委ねざるを
えず、作業者の負担が大きかった。
例えば、細り欠陥の場合、配線幅が所定範囲内であれば
、その配線の長平方向に沿って一定距離以」二細りが続
いていなければ致命欠陥とする可能性は低いが、これを
一応欠陥と判定し、その後、顕微鏡を覗いて作業者が致
命欠陥であるかどうかを判定していた。
、その配線の長平方向に沿って一定距離以」二細りが続
いていなければ致命欠陥とする可能性は低いが、これを
一応欠陥と判定し、その後、顕微鏡を覗いて作業者が致
命欠陥であるかどうかを判定していた。
本発明の目的は、」二記問題点に鑑み、疑似欠陥が致命
欠陥であるかどうかを自動的に判定することにより作業
音の負担を軽減することができるプリント配線検査装置
を提供することにある。
欠陥であるかどうかを自動的に判定することにより作業
音の負担を軽減することができるプリント配線検査装置
を提供することにある。
[課題を解決するだめの手段]
第1図は本発明の原理ブロック図である。
図中、1は照明されたプリント配線板の各画素の輝度を
検出ずろ。
検出ずろ。
2は2値化手段であり、検出された該輝度を2値化する
。
。
3は2値画像記憶手段であり、2値化された該輝度が書
き込まれる。
き込まれる。
4はラジアル測長手段であり、該2値画像記憶手段3に
書き込まれている画素データに対し、共通の中心画素か
ら複数方向へ放射状に延びた一定画素長の軸上に存在す
る配線部の長さを該各軸について測定する。
書き込まれている画素データに対し、共通の中心画素か
ら複数方向へ放射状に延びた一定画素長の軸上に存在す
る配線部の長さを該各軸について測定する。
5はコード化手段であり、該各軸の測長値からプリント
配線の幅方向中心位置を検出し、該中心位置における複
数の該軸上の配線部測長値の組み合わせからなるコード
を作成する。
配線の幅方向中心位置を検出し、該中心位置における複
数の該軸上の配線部測長値の組み合わせからなるコード
を作成する。
6は辞書記憶旧設で6つ、該コードと欠陥の種類とを対
応さU′だテーブルが3き込まれている。
応さU′だテーブルが3き込まれている。
7は欠陥有無判定手段であり、該辞書を参照して、作成
、きれたコー ドの欠陥の種類を判別する。
、きれたコー ドの欠陥の種類を判別する。
8は閾(It規定手段−Cあり、疑似欠陥個数の閾値を
規定する。
規定する。
9は欠陥存無判定丁段であり、走査されるウィンド内に
ついて、該判別完了後に、致命欠陥が1つでも存在すれ
ば該ウィンド内が欠陥であると判定し、致命欠陥が存在
j7なければ疑似欠陥の種類毎にその個数を計数し2、
い「れかの該11敗値が該閾値以−Lであれば該ウィン
ド内が欠陥であると判定する。
ついて、該判別完了後に、致命欠陥が1つでも存在すれ
ば該ウィンド内が欠陥であると判定し、致命欠陥が存在
j7なければ疑似欠陥の種類毎にその個数を計数し2、
い「れかの該11敗値が該閾値以−Lであれば該ウィン
ド内が欠陥であると判定する。
[作用コ
信号を反射させる二となく(≦送するためl−は、各プ
リント配線の特性インビーダ゛、・スは所定範囲内の値
でな(lhばならない1゜ プリント配線にある程度の細りゃ太りがあっても、ずな
わぢ疑似欠陥かぁ−、でも、その長さが一定(−゛(以
内であれば、特性インピーダンスは該所定範囲内に納ま
り、致命欠陥とはいえない。
リント配線の特性インビーダ゛、・スは所定範囲内の値
でな(lhばならない1゜ プリント配線にある程度の細りゃ太りがあっても、ずな
わぢ疑似欠陥かぁ−、でも、その長さが一定(−゛(以
内であれば、特性インピーダンスは該所定範囲内に納ま
り、致命欠陥とはいえない。
本発明ではこのような細りゃ太り等の疑似欠陥が致命欠
陥であるかどうかを自動的に判定する。
陥であるかどうかを自動的に判定する。
したがって、作業者の負担が軽減され、作業時間が短縮
される。
される。
[実施例]
第2図はプリント配線検査装置のブロック構成を示す。
X−Yテーブル10.1には、被検青物としてのプリン
ト配線板!2が載置されている。プリニット配線板12
の広さは例えば500IX 6001Mmであり、プリ
ント配線幅は例えばl(1+1μmrin後である。
ト配線板!2が載置されている。プリニット配線板12
の広さは例えば500IX 6001Mmであり、プリ
ント配線幅は例えばl(1+1μmrin後である。
X−Yテーブル10の−h方には、リングライト■4が
周設された一次元カメラ16が、その撮像面をX−Yテ
ーブル10.)へ向けて配設されている。
周設された一次元カメラ16が、その撮像面をX−Yテ
ーブル10.)へ向けて配設されている。
−次元カメラ16は例えば4,096画素の、1次元C
CDイメージセンサを用いて構成されており、その受光
面に結像されたプリント配線板12の輝度を検出する。
CDイメージセンサを用いて構成されており、その受光
面に結像されたプリント配線板12の輝度を検出する。
このイメージせンサは第2図Y方向へ配置されており、
X−1”P−プル10がX軸方向(紙面承直方向)へ1
ステツプ、例えば5μm移動する毎に、1ライン分の輝
度データを直列信号として2値化回路18へ供給する。
X−1”P−プル10がX軸方向(紙面承直方向)へ1
ステツプ、例えば5μm移動する毎に、1ライン分の輝
度データを直列信号として2値化回路18へ供給する。
2値化回路18は、各画素毎にこの輝度データを2値化
し、これを画像メモリ20へどき込む。したがって、画
像メモリ20には、配線部のみ′1”のデータが格納さ
れ、それ以外の部分には“0“のデータが格納される。
し、これを画像メモリ20へどき込む。したがって、画
像メモリ20には、配線部のみ′1”のデータが格納さ
れ、それ以外の部分には“0“のデータが格納される。
この画像メモリ20上の画像データに対し、ノ\−ドウ
エア構成で、以下に述べるようなリアルタイム処理を施
すことによって、プリント配線の欠陥が判定される。
エア構成で、以下に述べるようなリアルタイム処理を施
すことによって、プリント配線の欠陥が判定される。
最初に、配線中心検出回路22により、プリント配線の
幅方向中心位置が検出される。これは例えば第3図に示
すようなラジアル測長センサを用いて行われる。このラ
ジアル測長センサは、33X33画素のウィンド(メモ
リ)に形成されており、中心ビットXを共通とする17
ビツト構成の放射状の軸a−rを41し、図示の如く中
心から外方へ向けてビット位置が割り付けられている。
幅方向中心位置が検出される。これは例えば第3図に示
すようなラジアル測長センサを用いて行われる。このラ
ジアル測長センサは、33X33画素のウィンド(メモ
リ)に形成されており、中心ビットXを共通とする17
ビツト構成の放射状の軸a−rを41し、図示の如く中
心から外方へ向けてビット位置が割り付けられている。
第4図に示す黒マークは、中心付近のメモリセルがどの
軸に属するかを区別するために付したものである。
軸に属するかを区別するために付したものである。
画像メモリ20内のデータは、33ビツトを1ワードと
して、例えば101AIIzでこのジノアル1IIll
l長センナ内ヘソフトされる。この際、第4図に示す如
く、各軸1〜r lの配線部の長さ(連続する“l”の
1lt)r、〜r+aが測定され、例えば、ユ軸上の配
線部の長さr’+とi軸上の配線部の長さ「8が路間−
(両者の差がO又は±1)でありかつ他の軸];の配線
部長さより6短ければ、中心ビットXが配線の幅方向中
心位置にあると判定し、(r++「、)を配線幅とする
。
して、例えば101AIIzでこのジノアル1IIll
l長センナ内ヘソフトされる。この際、第4図に示す如
く、各軸1〜r lの配線部の長さ(連続する“l”の
1lt)r、〜r+aが測定され、例えば、ユ軸上の配
線部の長さr’+とi軸上の配線部の長さ「8が路間−
(両者の差がO又は±1)でありかつ他の軸];の配線
部長さより6短ければ、中心ビットXが配線の幅方向中
心位置にあると判定し、(r++「、)を配線幅とする
。
次に、第2図に示すコード化回路24は、検出された配
線中心位置について、ラジアル測長センサの複数の軸上
の配線部測長値の組み合わせからなるコードを作成する
。これは、例えば第4図において、nn= rt、、−
++ rtn、t−1(n= 1〜4 )を計算し、こ
のR,、の値をさらにQt子化して3ビツトの値に、、
(n=! 〜4)に変換し、K 、K 、K 、K 。
線中心位置について、ラジアル測長センサの複数の軸上
の配線部測長値の組み合わせからなるコードを作成する
。これは、例えば第4図において、nn= rt、、−
++ rtn、t−1(n= 1〜4 )を計算し、こ
のR,、の値をさらにQt子化して3ビツトの値に、、
(n=! 〜4)に変換し、K 、K 、K 、K 。
からなる12ビツトをコートとする。
このTh12子化は、例えば第5図に示す如く、プリン
ト配線25の幅Wとの関係で行う。すなわち、R,、≦
W、であればに、、−“000”(短)とし、w 、<
R。
ト配線25の幅Wとの関係で行う。すなわち、R,、≦
W、であればに、、−“000”(短)とし、w 、<
R。
≦W、であればに、、−“00ビ(細り)とし、W t
< R−≦W3であればK n−”010−(正常)
とし、W3≦R。
< R−≦W3であればK n−”010−(正常)
とし、W3≦R。
<W、であればに、−“100−(太り)とし、W4≦
rt。
rt。
であればに、、−“III”(長)とする。これら()
内はfl、が配線幅に対応する場合の欠陥の種類じ正常
”を含む)をひ味する。
内はfl、が配線幅に対応する場合の欠陥の種類じ正常
”を含む)をひ味する。
Rnが配線幅に対応する場合、Kn−“000”または
に、、−“Ill“であれば致命欠陥と判定すべきであ
り、K、、−“00ビまたはに、、−“100”の場合
には疑似欠陥と判定すべきである。また、Ko−“00
1”が所定範囲内に一定個数以上あれば致命欠陥と判定
ケへきであり、そうでない場合には欠陥でないと判定す
べきである。
に、、−“Ill“であれば致命欠陥と判定すべきであ
り、K、、−“00ビまたはに、、−“100”の場合
には疑似欠陥と判定すべきである。また、Ko−“00
1”が所定範囲内に一定個数以上あれば致命欠陥と判定
ケへきであり、そうでない場合には欠陥でないと判定す
べきである。
第2図に示す辞書メモリ26には、アドレスK 、K
、K 、K 、に、このアドレスが示すコードの欠陥の
種類が書き込まれている。したがって、コード化回路2
4で作成されたコードK 、K 、K 、K 、を辞占
メモリ26のアドレスとして指定することにより、辞書
メモリ26から欠陥の種類が出力される。
、K 、K 、に、このアドレスが示すコードの欠陥の
種類が書き込まれている。したがって、コード化回路2
4で作成されたコードK 、K 、K 、K 、を辞占
メモリ26のアドレスとして指定することにより、辞書
メモリ26から欠陥の種類が出力される。
欠陥有無判定回路28はこの欠陥の種類を読み取り、第
6図に示すように該種類をプリント配線25の中心位置
に対応して格納する。第6図において、28Aはm x
n画素からなるウィンドである。このウィンド28A
内の全ての配線中心位置に関して欠陥の種類が判別され
た後に、欠陥有無判定回路28はウィンド28A内が欠
陥であるかどうかを次のようにして判定する。
6図に示すように該種類をプリント配線25の中心位置
に対応して格納する。第6図において、28Aはm x
n画素からなるウィンドである。このウィンド28A
内の全ての配線中心位置に関して欠陥の種類が判別され
た後に、欠陥有無判定回路28はウィンド28A内が欠
陥であるかどうかを次のようにして判定する。
すなわち、ウィンド28A内に致命欠陥が1つでもあれ
ば欠陥aりと判定し、致命欠陥及び疑似欠陥が無ければ
欠陥無しと判定し、疑似欠陥が存在する場合には第7図
に示す如く、横軸を疑似欠陥の種類とするヒストグラム
を作成し、いずれかの疑似欠陥の個数(頻度)が閾値設
定器30により設定される閾値以上であれば欠陥有りと
判定する。
ば欠陥aりと判定し、致命欠陥及び疑似欠陥が無ければ
欠陥無しと判定し、疑似欠陥が存在する場合には第7図
に示す如く、横軸を疑似欠陥の種類とするヒストグラム
を作成し、いずれかの疑似欠陥の個数(頻度)が閾値設
定器30により設定される閾値以上であれば欠陥有りと
判定する。
欠陥有無判定回路28は、欠陥有りと判定すると、欠陥
有信号を欠陥位置出力装置32へ供給するとともに、検
査位置作成回路34へ画像メモリ20上のウィンド28
Aの位置を供給する。検査位置作成回路34は、この位
置及びX−YテーブルIOからの座標(X、Y)を用い
てプリント配線板12上の検査位置を作成し、欠陥位置
出力装置32へ供給する。
有信号を欠陥位置出力装置32へ供給するとともに、検
査位置作成回路34へ画像メモリ20上のウィンド28
Aの位置を供給する。検査位置作成回路34は、この位
置及びX−YテーブルIOからの座標(X、Y)を用い
てプリント配線板12上の検査位置を作成し、欠陥位置
出力装置32へ供給する。
欠陥位置出力装置32は例えばX−Yブロックであり、
透明シート」二の、プリント配線、板12上の欠陥位置
に対応する位置に欠陥マークを記入する。
透明シート」二の、プリント配線、板12上の欠陥位置
に対応する位置に欠陥マークを記入する。
作業者はこの透明ンートをプリント配線板■2へ重ね合
わせることにより欠陥位置を知る。
わせることにより欠陥位置を知る。
このような処理により、例えば第5図において配線の細
り長L1または太り長し、が一定長以下であれば欠陥で
ないと判定され、作業者が欠陥であるかどうかを判定す
る必要はなく、作業者の負担を従来の1/2乃至1/4
に軽減することができる。
り長L1または太り長し、が一定長以下であれば欠陥で
ないと判定され、作業者が欠陥であるかどうかを判定す
る必要はなく、作業者の負担を従来の1/2乃至1/4
に軽減することができる。
(2)拡張
なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。
例えば、1次元カメラの代わりに、拡大レンズを介し2
次元カメラを配設してらよい。
次元カメラを配設してらよい。
また、第5図に示す細り及び太すの範囲を分割してラン
ク分けし、各ランクに対応して第7図に示す閾値を変え
る(複数の閾(〆(を用いる)構成であってもよい。
ク分けし、各ランクに対応して第7図に示す閾値を変え
る(複数の閾(〆(を用いる)構成であってもよい。
さらに、第6図に示すウィンド28Aは、画像メモリ2
0」二で例えばウィンド28Aの18ずつ重複して走査
する構成であってもよい。
0」二で例えばウィンド28Aの18ずつ重複して走査
する構成であってもよい。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、疑似欠陥が致命
欠陥であるかどうかが自動的に判定されるので、プリン
ト配線検査における作業者の負担が大幅に軽減されると
いう優れた効果を奏し、また、作業者の不注意や疲労度
による欠陥の誤判定がなくなるのでプリント配線板の信
頼性の向上に寄与するところが大きい。
欠陥であるかどうかが自動的に判定されるので、プリン
ト配線検査における作業者の負担が大幅に軽減されると
いう優れた効果を奏し、また、作業者の不注意や疲労度
による欠陥の誤判定がなくなるのでプリント配線板の信
頼性の向上に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理ブロック図である。
第2図乃至第7図は本発明の一実施例に係り、第2図は
プリント配線検査装置の構成を示すブロック図、 第3図はプリント配線の中心を検出し、コード化するだ
めのラジアル測長センナの説明図、第4図はプリント配
線中心検出及びコード化の説明図、 第5図はラジアル測長センナの軸上の配線部長さの量子
化説明図、 第6図は欠陥有無判定回路28の動作説明に供するウィ
ンド内の状態図、 第7図はウィンド内の疑似欠陥が致命欠陥であるかどう
かを判定するためのヒストグラムである。 図中、 10 : X−Yテーブル I2ニブリント配線板 I4ニリングライド 16二−次元カメラ 18・2値化回路 20:画像メモリ 22、配線中心検出回路 24・コード化回路 26、辞11丁メモリ 28、欠陥(f無判定回路 30、閾値設定器 32:欠陥位置出力装置 34:検査位置作成回路 プリント配線検査装置 第2図 ラノアル測長セッサ説明図 第3図 プリント配線中心検出及びコード化の説明図第4図 第5図 m1景 ウィンド内状凰図 第6 図
プリント配線検査装置の構成を示すブロック図、 第3図はプリント配線の中心を検出し、コード化するだ
めのラジアル測長センナの説明図、第4図はプリント配
線中心検出及びコード化の説明図、 第5図はラジアル測長センナの軸上の配線部長さの量子
化説明図、 第6図は欠陥有無判定回路28の動作説明に供するウィ
ンド内の状態図、 第7図はウィンド内の疑似欠陥が致命欠陥であるかどう
かを判定するためのヒストグラムである。 図中、 10 : X−Yテーブル I2ニブリント配線板 I4ニリングライド 16二−次元カメラ 18・2値化回路 20:画像メモリ 22、配線中心検出回路 24・コード化回路 26、辞11丁メモリ 28、欠陥(f無判定回路 30、閾値設定器 32:欠陥位置出力装置 34:検査位置作成回路 プリント配線検査装置 第2図 ラノアル測長セッサ説明図 第3図 プリント配線中心検出及びコード化の説明図第4図 第5図 m1景 ウィンド内状凰図 第6 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 照明されたプリント配線板の各画素の輝度を検出する輝
度検出手段(1)と、 検出された該輝度を2値化する2値化手段(2)と、 2値化された該輝度が書き込まれる2値画像記憶手段(
3)と、 該2値画像記憶手段(3)に書き込まれている画素デー
タに対し、共通の中心画素から複数方向へ放射状に延び
た一定画素長の軸上に存在する配線部の長さを該各軸に
ついて測定するラジアル測長手段(4)と、 該各軸の測長値からプリント配線の幅方向中心位置を検
出し、該中心位置における複数の該軸上の配線部測長値
の組み合わせからなるコードを作成するコード化手段(
5)と、 該コードと欠陥の種類とを対応させたテーブルが書き込
まれた辞書記憶手段(6)と、 該辞書を参照して、作成されたコードの欠陥の種類を判
別する欠陥種類判別手段(7)と、疑似欠陥個数の閾値
を規定する閾値規定手段(8)と、 走査されるウインド内について、該判別完了後に、致命
欠陥が1つでも存在すれば該ウインド内が欠陥であると
判定し、致命欠陥が存在しなければ疑似欠陥の種類毎に
その個数を計数し、いずれかの該計数値が該閾値以上で
あれば該ウインド内が欠陥であると判定する欠陥有無判
定手段(9)と、を有することを特徴とするプリント配
線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63131927A JPH01301151A (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | プリント配線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63131927A JPH01301151A (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | プリント配線検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01301151A true JPH01301151A (ja) | 1989-12-05 |
Family
ID=15069459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63131927A Pending JPH01301151A (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | プリント配線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01301151A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002520591A (ja) * | 1998-07-08 | 2002-07-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 不変のコアクラスでの自動欠陥分類 |
WO2021201205A1 (ja) * | 2020-04-03 | 2021-10-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 表面状態の評価方法、表面状態の評価装置、及び、プログラム |
-
1988
- 1988-05-30 JP JP63131927A patent/JPH01301151A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002520591A (ja) * | 1998-07-08 | 2002-07-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 不変のコアクラスでの自動欠陥分類 |
JP4763130B2 (ja) * | 1998-07-08 | 2011-08-31 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 不変のコアクラスでの自動欠陥分類 |
WO2021201205A1 (ja) * | 2020-04-03 | 2021-10-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 表面状態の評価方法、表面状態の評価装置、及び、プログラム |
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