JPH01291691A - リニア誘導モータ制御装置 - Google Patents

リニア誘導モータ制御装置

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Publication number
JPH01291691A
JPH01291691A JP63119294A JP11929488A JPH01291691A JP H01291691 A JPH01291691 A JP H01291691A JP 63119294 A JP63119294 A JP 63119294A JP 11929488 A JP11929488 A JP 11929488A JP H01291691 A JPH01291691 A JP H01291691A
Authority
JP
Japan
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thrust
advance
command value
induction motor
primary side
Prior art date
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Pending
Application number
JP63119294A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshio Yuyama
湯山 吉雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH01291691A publication Critical patent/JPH01291691A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、例えば物品等の搬送システムに適用されるリ
ニア誘導モータ制御装置に関する。
(従来の技術) リニア誘導モータ(以下、rLIMJと呼ぶ」を用いた
搬送システムは非接触で機械的可動部が無い、などの理
由で保守や信頼性など多くの点で優れているため広く利
用されつつある。
第5図は固定−久方式のLIMII&送システムの概要
図である。1は固定されたLIMを構成する一次側固定
子であり、2はこの一次側固定子1を制御11するため
の制御装置である。3は搬送車両4に設けられた、LI
Mを構成する二次側誘導板である。5は搬送車両4をガ
イド走行させるためのガイドレールである。
この図に示すような搬送システムではガイドレールに沿
って分散配置された一次側固定子1に、例えば光センサ
などを用いた位置センサ(図示せず)を設け、常に搬送
車両4の車体位置を検出して、搬送車両4が通過した一
次側固定子1への励磁を切ると共に、搬送車両4の位置
している一次側固定子1とその前方の1ブロツクの一次
側固定子1を励磁して、搬送車両4の発進、走行、停止
をおこなうものである。なお、搬送車両4は各一次側固
定子1間で惰性走行をする。
(発明が解決しようとする課題) ところで上述した搬送システムの起動発進時にあっては
、搬送車両4に設けられている二次導体板3と一次側固
定子1とが対向して、重なり合う面積、すなわち対向面
積Sが大きく変化する。
一般に、LIMの推力τは一次側励磁子と二次側導体板
との対向面積Sに比例する。
τ Oc S・・・(1) ところが、従来の11M搬送システムにおいては対向面
積を一定にしておこなっていたため、対向面積の変化は
搬送車両4に与えられる推力の変化どなるため、対向面
積が大きい時には大きな推力が、一方、対向面積が小さ
い時には小さい推力が搬送車両に加わることになる。こ
のため、発進時の加速度が一定にならず特に衝撃を極度
に嫌う物品等を搬送する場合、起動発進を円滑におこな
うことが望まれていた。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的と
しては円滑に発進をおこなうことのできるリニア誘導モ
ータ制御装置を提供することにある。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 本発明は上記課題を解決するために、一次側励磁子の進
行磁界により誘導されて推進する二次側誘導の走行を制
御する装置において、前記一次側励磁子に対する前記二
次側導体の相対位置を検出するための位置検出手段と、
この検出結果に基づき前記二次導体を発進させるための
推力を制御する制御手段とを備えてなることを要旨とす
る。
(作用) 本発明のリニア誘導モータ制御装置にあっては、対向面
積が推力に比例することに着目して一次側の進行磁界に
誘導されて推進する二次側導体の相対位置を検出し、こ
の検出結果に曇づいて前記二次側導体を発進させる推力
を制御するものである。
(実施例) 以下、この発明の実施例を図に基づいて説明する。
第1図は本発明に係るリニア誘導モータ制御装置の第1
の実施例であり、固定−取方式のリニア誘導モータ搬送
装置に適用したものの概要図である。図中、第5図にお
ける構成要素と同一のものには同一符号を付して詳細な
説明は省略する。6はリニア誘導モータ(1−IM>の
一次側固定子1に取りつけられた位置検出手段を構成す
る発光および受光ダイオードアレーである。7はコント
ローラであり、LIMを駆動するための電力を供給する
駆動装置10、制御手段である制御装置9および位置検
出手段を構成する位置検出器8からなる。
第2図は本実施例の回路の構成のブロック図である。発
光ダイオードアレーから発光された光のうち二次側導体
板3により反射された光のみが受光ダイオードアレーで
受光されるようにt家っている。受光ダイオードアレー
で受光された光は受光信号に変換され、位置検出器8へ
入力される。位置検出器8は、発光および受光ダイオー
ドアレー6から供給された信号を受け、二次側導体板3
の位置を検出し、その結果を制御装置9へ出力するもの
である。制御装置9&よ、例えばマイクロコンピュータ
から構成される装置検出器8からの位置に関する信号を
第3図に示すように予めメモリに記憶されている対向面
積と、一次側固定子1に対する二次側導体板3の相対位
置との関係曲線と比較し、その比較結果に応じた指令値
を駆動装置10へ出力するたものである。駆動装置10
は一次側固定子1の発生推力または制動力を可変する装
置で、例えば可変電圧、可変周波数のインバータ等で構
成されていて、制御装置9からの指令値を入力して、搬
送車両4の走行制御をおこなうものである。
次に本実施例の作用について説明する。
制御装置9内に予めプログラムされた走行条件にしたが
って搬送車両4が起動発進する時、発光および受光ダイ
オードアレー6により一次側固定子1に対する二次側導
体板3の相対位置が位置検出器8により読みとられる。
この結果、検出された搬送車両4の位置情報を基に、制
御装置9は予め記憶された第3図の関係曲線から、対向
面積Sを求め、この面積と式(1)とから対向面積の変
化による推力の損失を補償するような推力を演算し、駆
8装置10に指令値を送出する。この指令値を受(ブて
駆動装置10は一次側固定子1へ必要な電力の供給、低
減をおこない、搬送車両4の発進をおこなう。
したがってこの実施例によれば、搬送車両の位置を検出
し、補償された推力を指令することにより、搬送車両の
起動発進を円滑な制御でおこなうことができる。
第4図は本発明の第2の実施例の速度制御を行うリニア
誘導モータ搬送装置へ適用した場合の回路の構成のブロ
ック図である。図中、第2図における構成および動作を
行う同一構成部材に対しては同一符号を付して詳細な説
明は省略する。11は従来よりある速度検出器であり、
例えば光センナなどを用い搬送車両3の速度を検出する
ものである。12は出力リミッタであり、制御装置13
から駆動装置10へ出力される、電力に関する指令値の
最大値を制御するものである。K3は第3図に示した位
置と面積の関係を現わす関数演算器である。K+ 、に
2はそれぞれ定数である。制御gi置13は位置検出器
8とに3とから所望の補償した推力を演算すると共に、
速度基準値とフィードバックされて来た速度との偏差か
ら必要な電力を供給するための指令値を駆動装置へ出力
するものである。
本実施例の回路動作を説明する。
起動発進時に位置検出器8およびに3からの情報に基づ
き対向面積の変化により生じる損失を補償して、しかも
速度基準に一致するような推力の演算をおこなう。この
結果補償量が大きい場合、出力される指令値が予め設定
された所定値より大きくならないように出力リミッタ1
2により監視される。制御装置13からの指令値が所定
値を超える場合は、所定値を指令値とする。このように
出力リミッタ12を付加し、所定値を超えないようにす
ることにより、偏差を小さくするために極端に大きい電
力を一次側固定子に投入するなどしてシ制御ループがハ
ンチングなどにより不安定になるのを防ぐことができる
したがって、本実施例によれば安定な制御ループで、与
えられた速度基準に対し、円滑な発進をおこなうことが
できる。
なお、本実流例において速度基準によるフィードバック
制御系を用いたが本発明はこれにとられれることではな
く例えばアウタループとして位置によるフィードバック
であってもよい。
なお、本実施例において固定−久方式のLIMを用いた
が本発明はこれにとられれる訳ではなく例えば固定二次
方式であってもかまわない。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、一次側の進行磁
界に誘導されて推進する二次側導体の相対位置を検出し
、この検出結果に基づいて前記二次側導体を発進させる
推力を制御するので、円滑な発進をおこなうことができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例の概要図、第2図は第1
の実施例の回路構成のブロック図、第3図は対向面積と
位置の関係曲線を示す図、第4図は本発明の第2の実施
例の回路構成のブロック図、第5図は従来例の概要図で
ある。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一次側励磁子の進行磁界により誘導されて推進す
    る二次側導体の走行を制御する装置において、前記一次
    側励磁子に対する前記二次側導体の相対位置を検出する
    位置検出手段と、 この検出結果に基づき前記二次側導体を発進させるため
    の推力を制御する制御手段とを備えてなるリニア誘導モ
    ータ制御装置。
JP63119294A 1988-05-18 1988-05-18 リニア誘導モータ制御装置 Pending JPH01291691A (ja)

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JP63119294A JPH01291691A (ja) 1988-05-18 1988-05-18 リニア誘導モータ制御装置

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ID=14757850

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JP63119294A Pending JPH01291691A (ja) 1988-05-18 1988-05-18 リニア誘導モータ制御装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6339266B1 (en) 1998-03-19 2002-01-15 Nikon Corporation Planar motor device, stage unit, exposure apparatus and its making method, and device and its manufacturing method

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63110901A (ja) * 1986-10-28 1988-05-16 Shinko Electric Co Ltd リニアモ−タ式搬送装置

Patent Citations (1)

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