JPH01290117A - 磁気記録媒体、ヘッド及びそれを用いた磁気記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔韮莱上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体、ヘッド及びそれを用いた磁気記
録装置に係ゎり、特に耐久性に優れた保護膜を表面に持
つ磁気記録媒体、ヘッドと、それを用い友信和性の藁い
磁気記録装置に関する。

〔従来の技術〕

磁気ディスクは、大容量の情報記憶再生装置用に多くの
分野に適用されている。これら磁気ディスクは、いずれ
も記録容量の増大が期待されていると同時に、長時間の
動作に酎え得る信頼性が要求式れている。特に、画記録
密度を必要とするディスクにに磁気記録密度の高い薄膜
＆１％注媒体型の磁気ディスクが適用されている。しか
し、記憶容置の増大に、ヘッドとディスク間の間隔が狭
くなシ皮触摺動する確率が爾くなる等、薄膜磁性媒体型
では必然的に摺動条件が苛酷になる方向にあり、摺動耐
久性の向上は不可欠の要素でるる。現状で扛十分な耐久
性のある薄膜ａ性媒体型磁気ディスクは得られていない
。

現在、耐久ｇ、ヲ同上させる次めに行われている技術は
、＠滑剤の助けを借シて摺動時の摩擦、摩耗を低減させ
る手法である。一般的な方法としては、潤滑性の１９優
れ次フッ素系潤滑剤〔デュポン社：クライトックス１４
３、モンテフルオス（Ｍｏｎｔｅ　ｆｌｕｏｕｅ　）　
　社：ホンプリンＹ）１Ｂ気ディスク表面に単に塗布す
る方法（米国’［Ｆ第５４９０９４６号、同第５７７８
５０８号）がある。

ところが、この方法は初期には非常に有効であるが長期
間使用すると、ディスクが高速回転で運転されているた
め、潤滑剤はディスク表面から次第に脱落し、潤滑効果
が減少してしまうという欠点がるる。

一方、磁気デスク表面への散層性を高めたフッ素系界面
活性剤の塗布という手法が提案されている。（特開昭５
９−１１６９５１号、向５８−４１４Ｓ１号、同５８−
２９１４７号、向５７−１５４Ｓｆ９号、同５７−４４
２２６号）。まｆｃ４磁気ディスク表面へフッ素系６１
清剤を化学的に固足する方法が米国特許第４１２０９９
５号明細書、特開昭５４−５６１７１号、同５９−２０
３２５９号、同６０−５８７５０号、１町５９−１７２
１５９号、同６１−５９９１９号各公報で提案されてい
る。

これは下記一般式で表される化合物でろる：ＣｎＦＨ１
＋１−８１Ｘｓ （式中、ｎ　＝　４〜１５、Ｘはハロゲン、ニトリル及
びアルコキシグループン 又に４特開昭６０−１０９０２８号、同６Ｏ−１０１７
ｊ７号、同６０−２４６０２０号各公報で提案されてい
るリン版系かめる。これは下記−般式で表される化合物
： Ｒｆ−Ｐ（０）−（ＯＲル （式中、Ｒｆはバーフルオロア”　キ”　Ｉｋ　％　Ｒ
ｈＣＺＨ２Ｚ＋ｌ　　でｍ　ｕ　２〜５、ｚｕＯ〜５ン
であり、ディスク表面の金ｋＩ４膜、めるいは酸化膜樅
面に反応して同層するタイプの潤滑剤である。

〔発明が解決しょうとする課題〕

前記一般式で表されるフッ素系表向活性剤を磁気ディス
ク表面に塗布する方法では、７ツ索糸界而活性剤は強固
に表面に向足されないため、摺動時に摺動面工υ飛散し
てしまい、磁気ディスクの耐久性は充分に向上せず記憶
装置の耐久性は向上しない。

米国特許第４１２０９９５号明細書、特開昭５４−５６
１７１号、（ＷＪ５９−２０５２５９号、同６〇−５８
７５０号、同５９−１７２１５９号、同６１−５９９１
９号各公報に記載の方法は潤滑剤ｔ−磁気ディスク表面
に化学反応でｆｉｎｄ足してしまうため、摺動面から脱
離しに＜＜、かなりの耐久性の向上が期待されるが、反
応が困難な上、均質な反応膜が得にくい欠点があり、実
際には適用が非常に困難である。また、フッ索鎖の鎖長
がいずれも炭素数１２以下と小さすぎてＩ％Ｉｌ’ｌ効
来がろ鷹シ艮好でなく、磁気記録媒体の耐久性は充分に
向上しないＯこのように従来のフッ素糸界面活性剤及び
フッ素糸潤滑剤でに磁気ディスクの耐久性μろま夛向上
せず、また、フッ素系潤滑剤を化学的に表面に結合させ
る方＠は実用性に乏しい。

本発明の目的は、これら従来技術の問題点ｔ−解決した
磁気記録媒体、ヘッド及びそれを用いた磁気記録装ｆｉ
ｔ全提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明ｔ−概説すれば、本発明の第１の発明な磁気記録
媒体に関する発明であって、非ＩＩＢ性基材の表面に薄
膜の（ａ注ノーが形成され、該磁１！！層上に、有機薄
膜から戚る保護層が形成されｆｃａ気記像記録媒体いて
、該有機薄膜は浮式１００　ｎｍ以下で、その中に粒径
５０　ｎｍ以下のフィラーを含有していることｔ−特徴
とする。

また、本発明の第２の発明は磁気記録媒体に関する発明
でろって、第１の発明における有機薄膜表面が、下記一
般式： Ｆ（ＣｍＦａ−０−）ニーＣ３Ｆ４−　　又はＦ（Ｃ３
Ｆ、−０−）ニー（ＣＦａＯ）ｙ−（ＣＦｘ）ｚ−又は
−（Ｃｚ　Ｆ４−０−　）ｙ　−（ＣＦｚ　Ｏ）　ｚ　
−ＣＦ鵞−（式中ｂ　Ｘｂ　’！ｓ　　Ｍは１以上の整
数を示す）で表されるフッ素糸化合物で被覆されている
ことを特徴とする。

そして、本発明の第５の発明に磁気記録装置に関する発
明でｂつで、第１又は第２の発明の磁気記録媒体とヘッ
ドとの組合せからなること全特徴とする。

本発明は、ディスク表面に１１００ｎ　以下の薄膜の保
護層を構築する方法に関するもので、この薄膜の保護層
を信頼性の高いものにする友Ｊｏ、　５０ｎｍ　以下の
フィラー、特に無機フィラーを含有させることが特徴で
るり、更にヘッド側に潤滑剤を固定した薄膜を成膜する
ことにＬす、信頼性の高い磁気記録装置を完成すること
におる。

以下に、本発明の詳細な説明する。

本発明は、ヘッドと磁気記録媒体が摺動に工っで起るク
ラッシュからヘッド及び磁気記録媒体を保護するために
、（ａ性１ｍの表面に厚さ１００　ｎｍ以下の有機薄膜
から成る保護層を形成し、該有機薄膜表面又は、ヘッド
表面の潤滑薄膜にフッ素糸化合物又は、パーフルオロポ
リオキシアルキレングループをｔ有させる。わるいは該
有機薄膜中、又は更に該潤滑薄膜中に５０　ｎｍ　以下
のフィラー全分散させることによって目的を達したもの
である０ 磁気記録媒体、ヘッドの摺動耐久性を高めるには摩擦係
数を小δく、摩耗速度を小さくし得る潤滑剤を表面に介
在させる必要がめυ、従来技術で提案されて＠次反応型
のフッ素糸＠清剤な、その有効な手段と考えられてさた
。しかし、摺動耐久性が不十分であることと、固定方法
が非常に峻しいことから、本発明では、磁気記録媒体の
表面に有機薄膜から成る保護層を形成し、該有機薄膜中
に５０　ｎｍ　以下のフィラー、符に無機フィラーを分
散し、該有機薄膜中及び／又は、ヘッド側の潤滑薄膜に
フッ素系の潤滑剤ろるいはパーフルオロポリオキシアル
キレングループと非フッ素含有グループを結合した構造
の潤滑剤を含有させることによって、磁気ディスクに高
速で接触し合うヘッドと磁気記録媒体全保護する万＠を
考え几ものでめるＯ 本発明で言う無機フィラーは、セラミックス系のＡｔ２
０．．８１０．、ＴｌＯ２等である。粒径が５０　ｎｍ
以下の粒子は、レリえは日本アエロジル（株）のＩＲＯ
Ｂ　ＩＬ　−２００、ＡＥＲＯＢＩＬ−Ｒ９７４、Ａｌ
ｕｎｉｎｉ　ｕｎ０ｚｉｃＬｅ　Ｃ、Ｔｉｔａｎｉｕｍ
　Ｄｉｏｘｄｅ　Ｐ２５　等がめる。

有機塗膜への含量は１１〜３０重量−の範囲が良く、望
ましくは５〜２０ｇ電チが良い。無機フィラーに非常に
微細なため一久粒子に均質に分散して塗膜全作製するこ
とが難しく、各種カップリング剤を用いるか、良くせん
断し分散させてもよいＯ カンプリング剤に、有機官能基としてエポキシ基、ある
いはアミン基１ｋｒｊつ、チッソ（（社）製の商品名“
サイラエース”５５１０．８５２０，８５５０．８Ｓ１
１．８５２０，８３１％が有効な分散剤でろる０本発明
で言う該有機薄膜を被榎するフッ素糸化合物はパーフル
オロ化ポリオキシ−アルキル（又は−アルキレン）基で
１例としては下記一般式％式％ Ｆ（Ｃ３Ｆ、−０−）ニー（ＣＦ、Ｏ，）アー（ＣＦｚ
）ｚ−又は−ＣＣ＊ＦａＯ）アー（ＣＦ２０）Ｎ−ＣＦ
クー（式中ｈＸｈ　１％２は１以上の整数、望ましくは
、Ｘは５以上、７１）１０〜２５、ｆｆｉ［１０〜５６
）で示ちれるものを挙げることができる。これらのフッ
素化合物の？ｉＪは、デュポン社から市販されているク
ライトツクス１４３あるいは、モンテフルオス社のホン
プリンＶ、ホンプリン２等がある。

また本発明で言う該有機薄膜中又はヘッドの側溝薄膜中
に含有するパーフルオロポリオキシアルキレングループ
と非フッ素含有グループを結合しｆｃ構造の潤滑剤は、
例えは下記−数式：％式％） 〔式中、Ｒｆハハーフルオロ化ポリオキシアルキル基又
は、パーフルオロ化ポリオキシアルキレン基、Ｒ東　に
直接結合、−ＣＨ，−１−ＣＯ−又は−Ｃ”０ＮＨ−基
、Ｒ１μ炭素数２又は５のオキシアルキレン基％　Ｒｓ
は直接結合、−〇−１−ＣＯＯ−１−ＣＯＮＨ−１−Ｎ
ＨＣＯ−１−ＯＣ，Ｈ，、−（Ｐは１又は２のａ’を示
す）又ｔ−Ｘ　−Ｃ（Ｃ’Ｈ３）２−基で、繰返しごと
に異なついてもよい、ｍｌＸｏ以上の正の整数、ｎは１
以上の整数、ｔは１又に２の数を示す〕で表される化付
物でめる０この時のパーフルオロポリオキシアルキレン
グループと非フッ素含有グループを結合した構造の潤滑
剤の具体的なレリとしては、下記式のものが挙げられる
： Ｒｆ−ＣＨ＊−０＋べ◇ Ｒｆ−彌＋０やｈＯ＠ Ｒｆ−ＣＯＯＣ山［相］ Ｒｆ−ｃｏ（ｏｃ、ａ、）、−□ＣＨべ◇Ｒｔ−（−Ｃ
ＯＮＨ＋ｏ＠）り Ｒｒ−ｃｏｏ＋ｏ＠ Ｒｒ−ｃｏＮＨ（（訓０−＠−０（（濾ＮＨＣＯ［相］
Ｒｆ−Ｃ００＜Ｅ濾Ｃ０ＮＨ−４濾０−＠−０（（濾Ｎ
Ｈｃｏ（（訓Ｏ［相］（式中、Ｒｆ　ｕ　Ｆ（ＯＦ（Ｃ
Ｆｍ　）−ＣＦｍ　Ｏ−）ｎ−ＣＦ　（ＣＦｓ　）−又
は−（ＣＦ（ＣＦｓ）−ＣＦｍ０−）Ｂ−ＣＦ（ＣＦ１
片で、ｎ＝平均７〜１４）本発＃１４は次の様な形態で
使用することができる。

谷実施態様を断面概略図として示す。

なお、図中の符号１はＡｔ　ｆｉ板、２は下地膜、３は
磁性薄膜層、４に有機薄膜層、５は無機フィラー、６に
フッ素系潤滑層、７はパーフルオロポリオキシアルキレ
ングループと非フッ素含有グル−１全結合した構造の潤
滑剤含′；４ｆ膚、８μヘツド、９は潤滑薄膜層を意味
する。

（第１図の構造） Ａｔ基板１上に形成された薄膜の磁性層Ｓの表向に有機
薄膜４を形成し、その有機薄膜中に無機フィラー５を分
散させ、保護層を形成する。

（第２図の構造） Ａｔｆｉ板１上に形成場れ九薄膜の磁性層５の表面に有
機薄膜４を形成し、その有機薄膜中に無機フィ２−５を
分散させ、有機薄膜上にはフッ紫糸潤滑剤６を塗布し、
保護ＩＩを形成する。

（第５図の構造ン ＡＡ基板１上に形成場れた薄膜の磁性層３０衣而に有機
薄膜４を形成し、その有機薄膜中に無機フィラー５全分
散させる。有機保護膜の表面層に（＆記ｆｉ１のパーフ
ルオロポリオキシアルキレングループと非フッ素官有グ
ループを結合した構造の＠隋剤宮Ｍ層７を形成する。

（第４図の構造］ Ａｔ基板１上に形成され次薄膜の磁性！−５の表而に有
機薄膜４に形成し、その有機薄膜中に無機フィラー５を
分散させ、保、ｌ１１層を形成する。一方、ヘッド８の
下部摺動部に潤滑薄膜層９を形成する。

＠滑薄膜層としては有機の薄膜表面に、パーフルオロポ
リオキシアルキレングループと非フッ素含有グループを
結合した構造の潤滑／Ｉを形成する。

〔実施例〕

以下、実施例で本発明の効果を詳しくＨ５？、関するが
、本発明はこれら実施向に限足されない。

実施向１ ５．２５インチのＡｔ合金ディスク表面にＮｉ　−Ｐ層
とその上にＣｒ層を設け、更にこの上にＮ１−Ｃ。

の磁性層を５０ＯＡ厚さに蒸看しディスク基板を準備す
る。

一方、デュポン社製のエポキシ樹脂（商品名二ＥＰ−１
００４）　４４　ｆ、フェノール樹脂であるマルカリン
カーＭ〔丸善石油化学（株）ｍ）　Ａ　Ｑ　ｔ、硬化促
進剤であるトリエチルアンモニウムカリボール塩〔北興
化学（（転）製　藺品名：　ＴＥＡ−Ｋ　）α０４ｅｌ
ｆメチルエテルケトン１３５０１Ｆとｎ−ブナルセロン
ルプアセテ−１−１５０９の混合溶剤に溶解し、溶液〔
１〕を作成する。次に無機フィラーとして平均粒径が１
２℃ｍのＡＲＲＯ８ＩＬ−Ｒ−９７４［日本アエロジル
（東製〕α００１ｆを浴液［１）に刃口えた後、ホモジ
ナイザー（１５０００ｒｐｍ−１０５ｊ−）で充分にか
くはんしｆｃ浴溶液川〕を作製した。

次に、２５００ｒｐｍに設定したスピン塗布機を用いて
ディスク基板上に浴液（１）ｔ−塗布し、膜厚５０′５
０ｎｍに成膜する０成膜後、８０℃−５０分子備加熱後
、２３０℃−１時間加熱硬化し、ディスク〔１〕を完成
させる。

こうして得られたディスク〔１〕の摺動耐久性を球面摺
動試験機で評価した。すなわちす７アイヤ球面摺動子に
荷重２０ｆを加え、周速２０　ｍ　／　ａ、雰囲気−度
２５℃、相対湿度５０％ＲＨ以下の条件でディスクを回
転させ、有機転換が破損するまでの飴１ｇ１転数を評価
した。

比較ガ１として次のディスクを用いた。すなわち、２５
００ｒｐｍに設定したスピン塗布機を用いてディスク基
板上に浴液（１）　ｋ塗布し、膜厚３０〜５０　ｎｍ　
に成膜し、次に８０℃−５０分子備加熱後、２３０℃−
１時間加熱硬化し、比較用ディスク〔１〕を完成させ次
。これらの結果を表１に示す０ 表　１ 表１の実２１Ｉｌｉ例から明らかな様に、本発明の磁気
記録媒体は比１５！Ｎ１と比べ有機薄膜層が破損するｌ
での総回転数が大きく、摺動耐久性に優れていたＯ 実施例２ 実施例１と同様にしてディスク〔１〕を作表後、ディス
ク〔１〕上にフッ素糸潤滑剤でるる米国特許第５４９８
９４６号明細書記載の下式のクライトツクス１４３ＡＣ Ｆ（ＣＦ（ＣＦＩ）ＣＦ２−０−３．−ＣＦ（ＣＦ３）
ＣＦｌ　　（ｎｉ；（平均２８）を塗布し、ディスク〔
２〕を完成させた。

こうして得られ友ディスク〔２〕の摺動耐久性を実施例
１と同じ方法で評価した。

比＠例２として比較用ディスク〔１〕上にフッ素糸潤滑
剤である米国時許帛５４９０９４６号８Ａａ沓記載のク
ライトックス１４５ＡＣ全１！！布し比較用ディスク〔
２〕を完成させた。これらの結果を表２に示す。

表　　２ 表２の実施例から明らかな様に、本発明の磁気記録媒体
は比較例２と比べ有機薄膜層が破損するまでの総回転数
が大さく％摺動耐久性に優れていたＯ 実２１Ｉｌｉ例５ 実施例１．２と同様にして１２５インチのディスク基板
を準備する。

一方、表３の８ａ類のフッ素糸潤滑剤をＱ、７ｔとデュ
ポン社製のエポキシ樹脂（商品名：ＥＰ−１００４）４
．４Ｆ、フェノール樹脂でるるマルカリンカーＭ〔丸善
石油化学（（社）製）ＡＯｆ、硬化促進剤でめるトリエ
チルアンモニウムカリボール塩〔北興化学（株ン製　商
品名：　’Ｉ’ＥＡ−Ｋ　）　（Ｌ　０４　ｆをメデル
エテルケトン１５５０ｆとｎ−プチルセロンルブアセテ
ート１５０ｆの混合浴剤に浴解し、浴液Ｅｌ）を作成す
る。次に無機フィラーとして平均粒径が１６　ｎｍ、の
／１ＲＯ８１Ｌ−Ｒ９７２（日本アエロジル（株）製）
［ＬＯＯｌｆｌに浴液〔皇〕に加えた後、ホモジナイザ
ー（１５０００ｒｐｍ−１０分ンで充分にかくはんした
溶液〔１ｖ）を作製した。

（式中、ＲｆはＦ（ＣＦ（ＣＦ’３）−ＣＦｓＯ−：ｌ
ニーＣＦ（ＣＦ３）−又は−（ＣＦ（ＣＦ、、）−Ｃ’
Ｆ２０−〕、−ＣＦ’（ＣＦ３）−で、ｎ＝平均１４）
次にｂ２５００ｒｐｍに設足し次スピン塗布機を用いて
ディスク基板上に浴ｇ　（ＩＶ）　ｌｉ−塗布し、膜厚
５０〜５０　ｎｍ　Ｋｆｆ、膜する。成膜後、８０℃−
５０分子備加熱後％　２３０℃−１時間加熱硬化し、デ
ィスク〔５〕を完成させる。

こうして得られたディスク〔３〕の摺動耐入江を実施ｆ
ｌＪ１．２と同様にして球面摺動試験機で評価した。比
較例３μ比較用デイスク〔２〕を用いて評価し九〇 表　　４ 表４の実施例から明らかな様に、本発明の磁気記録媒体
は比ｌ！！！例３と比べ有機薄膜層が破損するまでのｍ
回転数が大きく、摺動耐入江に優れてい７ｔ。

実施ガ４ 実施＄ｉ１と同様にしてディスク〔１〕を作製する。

−万、　Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなるヘッドを、実施
例６で作製し７’Ｃ浴猷〔皇〕中に浸漬後、静かに引上
げて表面に潤滑薄膜全作表する。その後、８０℃−５０
分の予備加熱し、更に２５０℃−１時間熱硬化する〇 こうして得られたディスクとヘッド１ａ２５インチのデ
ィスクドライブに組込み、実装試験を実施した。ヘッド
浮上スペーシング１ｃＬ１５／Ｊｍ、ヘッドとディスク
の相対速＃、ｋｆ　Ｏｆｎ　／　ｓｅｃ　ｂヘッド負荷
全３０気、ヘッド無負荷を５０ｓｅｃに設足し、ディス
クの摩耗状況を観察し、摩耗こんの発生時点の摺動回数
を針久注と規定し友。

比４５！ＰＪ４としてディスク〔１〕と、未処理のＭｎ
−Ｚｎ　　ヘッドとの組合せの実装試験を実施した。こ
れらの結果全衣５に示す。

表　５ 表５の実施的４から明らかな様に、本発明の磁気記録媒
体とヘッドの組合せに、比較例４と比ベディスクの摩耗
こんが発生するまでの摺切回数が大さく、摺動耐久性に
優れていた。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明の磁気記録媒体
及び、ヘッドは摺動耐久性に優れ、それ上用いた磁気記
録装置の信１ｌｉｉ注を向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図μ本発明の磁気記録媒体の一例の曲面構
造概略図、第４図は本発明の磁気記録媒体とヘッドとの
組合せの１例の曲面構造概略図である。 １：Ａｌ４板、２：下ｍｇ、５：ｉａ薄ｍ層、４：有機
薄膜層、５：無機フィラー、６：フッ累糸詞滑層、７：
パーフルオロポリオキシアルキレングループと非フッ素
含有グループ′ｔ−結合し次構造の潤滑剤含有層、８：
ヘッド、９：潤滑薄Ｍ＆層 特許出願人　株式会社日立製作所

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、非磁性基材の表面に薄膜の磁性層が形成され、該磁
   性層上に、有機薄膜から成る保護層が形成された磁気記
   録媒体において、該有機薄膜は厚さ１００ｎｍ以下で、
   その中に粒径５０ｎｍ以下のフィラーを含有しているこ
   とを特徴とする磁気記録媒体。 ２、該有機薄膜表面が、下記一般式： Ｆ（Ｃ＿３Ｆ＿６−Ｏ−）＿ｘ−Ｃ＿２Ｆ＿４−又はＦ
   （Ｃ＿３Ｆ＿６−Ｏ−）＿ｘ−（ＣＦ＿２Ｏ）＿ｙ−（
   ＣＦ＿２）＿ｚ−又は−（Ｃ＿２Ｆ＿４−Ｏ−）＿ｙ−
   （ＣＦ＿２Ｏ）＿ｚ−ＣＦ＿２−（式中、ｘ、ｙ、ｚは
   １以上の整数を示す）で表されるフッ素系化合物で被覆
   されている請求項１記載の磁気記録媒体。 ３、該有機薄膜は、有機バインダーと、パーフルオロポ
   リオキシアルキレングループと非フッ素含有グループと
   が結合した構造の潤滑剤と、該フィラーとを含有してい
   る請求項１又は２記載の磁気記録媒体。 ４　該潤滑剤が、下記一般式： ▲数式、化学式、表等があります▼ 〔式中、Ｒｆはパーフルオロ化ポリオキシアルキル基又
   はパーフルオロ化ポリオキシアルキレン基、Ｒ＿１は直
   接結合、−ＣＨ＿２、−ＣＯ−又は−ＣＯＮＨ−基、Ｒ
   ＿２は炭素数２又は３のオキシアルキレン基、Ｒ＿３は
   直接結合、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＮＨ
   ＣＯ−、−ＯＣ＿ｐＨ＿２＿ｐ−（ｐは１又は２の数を
   示す）又は−Ｃ（ＣＨ＿３）＿２−基で、繰返しごとに
   異なつていてもよい、ｍは０以上の正の整数、ｎは１以
   上の整数、ｌは１又は２の数を示す〕で表されるもので
   ある請求項３記載の磁気記録媒体。 ５、請求項１又は２記載の磁気記録媒体とヘッドとの組
   合せからなることを特徴とする磁気記録装置。 ６、該ヘッドの表面が潤滑薄膜でコーティングされてい
   る請求項５記載の磁気記録装置。 ７、該潤滑薄膜が、有機バインダーと、パーフルオロポ
   リオキシアルキレングループと非フッ素含有グループと
   が結合した構造の潤滑剤とを含有している請求項６記載
   の磁気記録装置。 ８、該潤滑剤が、下記一般式： ▲数式、化学式、表等があります▼ 〔式中、Ｒ＿ｆはパーフルオロ化ポリオキシアルキル基
   又はパーフルオロ化ポリオキシアルキレン基、Ｒ＿１は
   直接結合、−ＣＨ＿２、−ＣＯ−又は−ＣＯＮＨ−基、
   Ｒ＿２は炭素数２又は３のオキシアルキレン基、Ｒ＿３
   は直接結合、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯＮＨ−、−Ｎ
   ＨＣＯ−、−ＯＣ＿ｐＨ＿２＿ｐ−（ｐは１又は２の数
   を示す）又は−Ｃ（ＣＨ＿３）＿２−基で、繰返しごと
   に異なつていてもよい、ｍは０以上の正の整数、ｎは１
   以上の整数、ｌは１又は２の数を示す〕で表されるもの
   である請求項７記載の磁気記録装置。 ９、該潤滑薄膜が、粒径５０ｎｍ以下のフィラーを含有
   している請求項６〜８のいずれか１項に記載の磁気記録
   装置。