JPH01285807A

JPH01285807A - 光学式被測定物検査装置

Info

Publication number: JPH01285807A
Application number: JP11477388A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Fukuoka; 福岡　雅彦
Original assignee: Yasunaga Corp
Current assignee: Yasunaga Corp
Priority date: 1988-05-13
Filing date: 1988-05-13
Publication date: 1989-11-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、ＩＣパッケージリード、歯車、段付チューブ
等のように複数の突起部が繰返し設けられた被測定物の
突起部間のピッチ及び突起部間における突起部の高さの
差を検出し、製品の品質を検査する光学式被測定物検査
装置に関する。

（従来の技術）従来の被測定物に繰返して設けられた複数の突起部の状
態を検査する方法としては、コンベア等の搬送装置によ
り搬送される被測定物を一旦停止せしめ、イメージセン
サ、信号処理等により画像処理を行い、実施していた。

従来例を被測定物がＩＣパッケージに適用した場合につ
いて説明すると、ＩＣパッケージは第７図に示すように
ＩＣパッケージ本体Ｗにリードｗａ、ｗａ・・・が繰返
して複数個並設しである。リードｗａ、ｗａ・・・は列
設して開口するコネクタ（図示せず）に嵌入することに
より装着される。しかしながらリードｗａ。

ｗａ・・・が内方又は外方へ倒れ、リードＨｚ　；３　
、　Ｗ　ａ・・・が直線的に配列されずに位置しである
場合や、リードｗａ、ｗａ・・・間のピッチＰ１．Ｐ、
・・・の取付誤差が許容範囲以トにある場合にはり一ト
’　ｗ　ａ　。

Ｗａ・・・をスムースにコネクタ（図示・ヒず）に嵌入
するこ古ができない等の問題がある。この対策とＵ２て
ＩＣ，／ぐ、・ケージリー１”ｗａ、ｗａ・・・の倒れ
や、ピッチＰＩＩＰＫ・・・等を画像処理により検査を
実施していた。リードｗａ、ｗａ・・・の倒れ状態の検
査には第７図に示す矢印入方向からテレビカメラ等のイ
メージセンサにより第８図に示すように２次元の画像処
理により、リードｗａ、ｗａ・・・のエツジがｌ　Ｃバ
ノゲージ本体Ｗからどのくらい出ているか出具合を判断
し、良、不良を判別し２ていた。またり−ｉ’ｗａ、ｗ
ａ・・・間のピッチＰ＋、Ｐ２・・・を測定するフッ法
としては、第７図に示す矢印Ｂ方向からの命し・ピカメ
ラ等のイメージセンサを用い、第９Ｈ６こ示ずよ・）に
２次元処理又は、１次元処理による画像処理により、リ
ー１’ｗａ、ｗａ・・・の各ピッチＰ、、Ｐ、！・・・
を判別していた。

（発明が解決しようとする課題）」１記従来例にあっては、ＩＣパッケージリードの倒れ
、及びピッチを上方及び側方からの２台のテレビカメラ
等のイメージセンサによる撮影に基づく画像処理により
効果的に実施でき、特に第１０図に示すようにリードｗ
ａがＩＣパッケージ本体Ｗより外方側へ倒れている場合
は、矢印Ａ方向からの撮影により検査することができる
。しかしながら第１１図に示すようにリードｗａが内方
側へ倒れた場合リードｗａの先端部が折曲部ｗｂの影部
に位置し、リートｗａの倒れの検査が不可能であった。

更に画像処理を行うにはＩＣパッケージの搬送を一旦停
止する必要があり、作業効率が悪く、更に上方からの撮
影に基づき検査を行うので検査精度が悪い。またリーＦ
ｗａ、ｗａ・・・間のピッチＰｌ、Ｐ２・・・を検査す
るにも画像処理により行うのでリードｗａ、ｗａ・・・
の倒れ及びピッチＰＩ、Ｐ２・・・の検査にそれぞれ別
個の画像処理装置を設けなければならず、広い占有場所
を要するばかりでなく設備費の高騰を招来する等の問題
があった。

本発明は−に記問題点に鑑み、リードが外方へ倒れてい
る場合は勿論内方へ倒れている場合も高精度で検査でき
、設備費の安価な、しかも小占有場所に設置できる被測
定物検査装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段）本発明は被測定物を一定速度で１殻送する搬送装置と、
搬送装置の近傍に被測定物に繰返し設けられた複数の突
起部の有無及び突起部までの距離を測定する光学式変位
計と、光学的変位計の測定値に水づいて突起部間のピッ
チ及び複数の突起部と光学式変位計間の距離を演算する
演算装置と、演算装置の演算値が所定範囲内にあるか否
かを判断する判定装置からなることを特徴とする。

（作用）繰返し複数の突起部が設けられた被測定物の突起部に対
Ｕ２、光学式変位計によって突起部と光学式変位計との
間の距離を測定し、この測定データに基づいて１個の被
測定物内における複数の突起部と光学式変位計との間の
距離の最大値と最小値との差を演算装置により演算する
とともに、各突起部間のピッチを求め、その演算値が所
定範囲内にあるか否かを判定装置により判断する。

（実施例）以下本発明の光学式被測定物検査装置を被測定物をＩＣ
パッケージリードの倒れ及びピッチ検査に適用した一実
施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本実施例の被測定物であるＩＣパッケージ（
以下被測定物）と光学式変位針の概要を示す説明図、第
２図は被測定物の検査の概要説明図、第３図は被測定物
を搬送する搬送装置の説明図である。

被測定物Ｗは第３図に示す搬送装置であるワーク送り用
ガイド１の−に面に形成した凹部１ａに嵌入し、被測定
物Ｗのリード（以下突起部）ｗａがワーク送り用ガイド
１を跨ぐように載置し、被測定物Ｗをワーク送り用ガイ
ド１により一定速度で搬送する。

第１図においてワーク送り用ガイド（図示せず）の近傍
にワーク送り用ガイドに向けて光学式変位計２が設けで
ある。光学式変位計２の光源（図示」Ｊず）からワーク
送りガイドによって矢印Ｃ方向乙こ−・定速度で搬送さ
れる被測定物Ｗに向けてレーザー光線等の光ビーム２ａ
が送出される。

送出された光ビーノ、２ａは被測定物Ｗに繰返し設けら
れた突起部ｗａの測定ラインｐの高さ位置に当って反射
される。反射された光ビーム２ａが位置検出素子（図示
−已ず）に達し、被測定物Ｗの突起部ｗａと光学式変位
計２と距離を演算するためのデータが得られる。なお検
査の精度及び適度の確実な作動を得るために光ビーム２
ａの測定物Ｗへの照射面は、光ビーム２ａをレンズ（図
示せず）等で絞り、直径が３０〜５０μ程度の測定点と
することが望ましい。

距離データは第４図（Ａ）に示すように被測定物Ｗの移
動に従って光学式変位計２と測定物Ｗの突起部ｗａまで
の距離と時間の関係値として得ら＋する。距離データは
第２図に示す演算装置３に導かれ、−個の被測定物Ｗの
一例に繰返し設けられた突起部ｗａ、ｗａ・・・と光学
式変位計２までの距離の最大値と最小値との差（第４図
（Ａ）に示すＰ−Ｐ）が演算装置３の引き算器によって
求められ、測定物Ｗに設けられた突起部ｗａの倒れ、例
えば突起部ｗａの外向きの倒れ、及び内向きの倒れ等の
差の値が演算される。

突起部ｗａの測定個所は第４図（Ａ）に示すように距離
データの立上りから−・定時間経過後の安定した範囲Ｍ
、Ｍ・・・の位置を検知することにより光学式変位計２
から突起部ｗａまでの距離を正確に計測することができ
る。

一方光学式変位計２により得られて、演算装置３に導か
れた距離データは、その値の変移により被測定物Ｗに設
けられた突起部ｗａの有無が検知される。距離データの
値が一定の値に立上がった位置Ｌ（第４図（Ｂ）参照）
に達するに要する時間を測定し、その時間と、ワーク送
り用ガイド１による被測定物Ｗの搬送速度に基づき、繰
返し設けられた突起部ｗａ、ｗａ・・・間のピッチｈ、
ｈ・・・を演算装置３により演算される。

演算装置３により演算された突起部ｗａ、ｗａ・・・の
ピッチＰ、、Ｐ２・・・の演算値は、判定装置４により
導かれ、演算値が予め設定された所定範囲内にあるか否
かを判定する。

判別装置４により一被測定物Ｗ内における突起部ｗａ、
ｗａ・・・と光学式変位計２までの距離の最大値と最小
値との差が予め設定された所定範囲内にあり、かつ突起
部ｗａ、ｗａ・・・間のピッチＰｌ＋Ｐ２・・・が所定
範囲内にあると判断された被測定物Ｗは規定内の正常晶
と判断し、また突起部ｗａ。

ｗａ・・・と光学式変位計２までの距離の最大値と最小
値との差または突起部ｗａ、ｗａ・・・間のピッチＰＩ
、Ｐ２・・・の少なくとも一方が所定範囲外にある場合
は突起部ｗａ、ｗａ・・・間にばらつきがあり不良品と
判断し、シュート（図示せず）によりそれぞれ選別され
て、正常晶収納部６または不良品収納部７に収納する。

なお、Ｉｃパッケージのように左右各々に突起部を有す
る被測定物にあっては、光学式変位計を被測定物を挟ん
で対向設置することにより更に効果的に検査を実施する
ことができる。

以上説明では被測定物とし、ＩＣパッケージの検査に適
用した実施例について記載したが、第５図に示すよう歯
車の検査に適用することができる。

歯車Ｗ１の検査をするにあたっては、歯車Ｗ１を回転駆
動する回転駆動装置（図示せず）の回転軸ｗ２により歯
車ｗ１を一定速度で矢印り方向へ回転せしめ、その近傍
位置に光学式変位計２を設け、演算装置、判別装置（図
示せず）に接続し、歯車Ｗ１の外周に繰返して設けられ
た歯Ｗ３すなわち突起部のピッチＰ１．Ｐ２・・・及び
歯Ｗ３の頂部と光学式変位計２までの距離の最大値と最
小値の差を演算し、歯車の検査に適用できる。

更に第６図に示すように突起部ｗ５．ｗ５・・・が繰返
し設けられたブロー成形による段付チューブＷ４の破れ
、変形などの検査をするには、段付チューブＷ４を軸線
方Ｅに一定速度で移動せしめ、光学式変位計２により突
起部ｗ５．ｗ５・・・を検知し、演算装置、判別装置に
より前記１Ｇパツケージリードの検査同様に実施するこ
とができる。

以」一実施例では、ＩＣパッケージ、歯車、段付子ユー
ブに”ついて説明しまたが、これら実施例に限定するこ
となく、繰返し突起部が形成された他の加］に７品等の
被測定物の検査に広〈実施できる。

（効果）本発明による光学式被測定物検査装置によれば１個の光
学式変位計を使用することにより被測定物に繰返し設け
られた突起部のピッチの変位量の検査、判別が高精度で
実施でき、狭い占有場所にも設置可能であって、設備費
を安く、更に、測定にあたり、被測定物の搬送を停止す
るこ吉なく連続的に被測定物の検査が行なえる等の効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である被測定物としてＩｃベ
ノケージと光学式変位計の概要を示す説明図、第２図は
被測定物の検査の概要説明図、第３図は被測定物の搬送
装置を説明する説明図、第４図（Ａ）　、　（Ｒ）は本
実施例の作用を説明する説明図、第５図は他の実施例で
ある歯車を検査する説明図、第１Ｓ図は更に他の実施で
ある段付チューブ検査す１する説明図、第７図〜１１図は従来例を説明する説明図で
ある。 ■・・・ワーク送り用ガイド、２・・・光学式変位計、
３・・・演算装置、４・・・判別装置、Ｗ・・・ＩＣパ
ッケージ、ｗ　ａ・−リード、Ｐ、、Ｐ２．Ｐ３・・・
ピッチ。代理人　弁理士　　１）代　蒸　治、　　第３図第４図（Ａ）＝１バ針ｌ書−・１ｊｕＬＪＵ口し第４図（Ｂ）＝５７−

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被測定物を一定速度で搬送する搬送装置と、搬送
装置の近傍に被測定物に繰返し設けられた複数の突起部
の有無及び突起部までの距離を測定する光学式変位計と
、光学式変位計の測定値に基づいて突起部間のピッチ及
び複数の突起部と光学式変位計間の距離を演算する演算
装置と、演算装置の演算値が所定範囲内にあるか否かを
判断する判別装置とからなることを特徴とする光学式被
測定物検査装置。
（２）被測定物を一定速度で回転駆動する回転駆動装置
と、回転駆動装置の近傍に被測定物の外周に繰返し設け
られた複数の突起部の有無及び突起部までの距離を測定
する光学式変位計と、光学式変位計の測定値に基づいて
突起部間のピッチ及び複数の突起部と光学式変位計間の
距離を演算する演算装置と、演算装置の演算値が所定範
囲内にあるか否かを判断する判別装置とからなることを
特徴とする光学式被測定物検査装置。