JPH01276161A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPH01276161A JPH01276161A JP10411188A JP10411188A JPH01276161A JP H01276161 A JPH01276161 A JP H01276161A JP 10411188 A JP10411188 A JP 10411188A JP 10411188 A JP10411188 A JP 10411188A JP H01276161 A JPH01276161 A JP H01276161A
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- halogen lamp
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Landscapes
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、電子写真プロセスを用いて画像を形成する画
像形成装置に適用される露光装置に関する。
像形成装置に適用される露光装置に関する。
(従来の技術)
通常、電子写真プロセスを用いて画像を形成する画像形
成装置に適用される露光装置は、露光光源から発した光
を原稿載置部に載置された原稿を照射し、その反射光を
像担持体に導いて前記原稿に対応した潜像を形成する構
成となっている。
成装置に適用される露光装置は、露光光源から発した光
を原稿載置部に載置された原稿を照射し、その反射光を
像担持体に導いて前記原稿に対応した潜像を形成する構
成となっている。
また、この柾の露光装置において、露光光源としてハロ
ゲンランプが広く使われている。
ゲンランプが広く使われている。
従来、ハロゲンランプを露光光源とした場合には、ハロ
ゲンランプを単にリフレクタにより囲繞した状態とする
か、さらに、リフレクタの開口部に熱吸収フィルタを配
設した構成となっている。
ゲンランプを単にリフレクタにより囲繞した状態とする
か、さらに、リフレクタの開口部に熱吸収フィルタを配
設した構成となっている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、ハロゲンランプは複数のフィラメントを
短絡棒で直列的に接続した構成となっているため、発光
部であるフィラメントと非発光部である短絡棒部による
配光むらが生じ、従来のようにハロゲンランプから発し
た光を直接あるいは単に熱吸収フィルタを通して原稿載
置部に照射した場合には、ランプ自体の配光むらがあた
かも原稿画像自体に濃度むらがあるものとして再現され
てしまうことがある。特に原稿濃度の変化にイメージ濃
度が敏感に反応する高ガンマ−の現像方式の画像形成装
置にあっては、ハーフトーン部に悪影響を与えるといっ
た重大な問題があった。
短絡棒で直列的に接続した構成となっているため、発光
部であるフィラメントと非発光部である短絡棒部による
配光むらが生じ、従来のようにハロゲンランプから発し
た光を直接あるいは単に熱吸収フィルタを通して原稿載
置部に照射した場合には、ランプ自体の配光むらがあた
かも原稿画像自体に濃度むらがあるものとして再現され
てしまうことがある。特に原稿濃度の変化にイメージ濃
度が敏感に反応する高ガンマ−の現像方式の画像形成装
置にあっては、ハーフトーン部に悪影響を与えるといっ
た重大な問題があった。
本発明は上記事情に基づきなされたもので、その目的と
するところは、簡単な構成でありながら、ハロゲンラン
プを露光光源として原稿載置部に載置された原稿を照射
し、その反射光を像担持体に導いて前記原稿に対応した
潜像を形成するようにした露光装置において、前記原稿
載置部への配光むらを確実に防止し、原稿画像に忠実な
画像形成を可能とした露光装置を提供しようとするもの
である。
するところは、簡単な構成でありながら、ハロゲンラン
プを露光光源として原稿載置部に載置された原稿を照射
し、その反射光を像担持体に導いて前記原稿に対応した
潜像を形成するようにした露光装置において、前記原稿
載置部への配光むらを確実に防止し、原稿画像に忠実な
画像形成を可能とした露光装置を提供しようとするもの
である。
[発明の構成コ
(課題を解決する手段)
本発明は、上記課題を解決するために、ハロゲンランプ
を露光光源として原稿載置部に載置された原稿を照射し
、その反射光を像担持体に導いて前記原稿に対応した潜
像を形成するようにした露光装置において、露光光源と
原稿載置部との間に配光むら防止用の拡散フィルタを配
置したものである。
を露光光源として原稿載置部に載置された原稿を照射し
、その反射光を像担持体に導いて前記原稿に対応した潜
像を形成するようにした露光装置において、露光光源と
原稿載置部との間に配光むら防止用の拡散フィルタを配
置したものである。
(作用)
すなわち、本発明は上記構成とすることにより、露光光
源であるハロゲンランプから発した光が拡散フィルタを
通すことにより拡散されて、発光部と非発光部により生
じる配光むらの無い状態で原稿載置部に導びくことがで
き、原稿画像に忠実な画像形成が可能となる。
源であるハロゲンランプから発した光が拡散フィルタを
通すことにより拡散されて、発光部と非発光部により生
じる配光むらの無い状態で原稿載置部に導びくことがで
き、原稿画像に忠実な画像形成が可能となる。
(実施例)
以下、本発明を一実施例を第1図ないし第5図を参照し
て説明する。
て説明する。
第2図は、本発明の露光装置を適用した電子写真方式の
画像形成装置の内部構成を示す。図中1は装置本体であ
り、この装置本体1内の中央部には像担持体としてのド
ラム状感光体2が配置されており、この感光体2の周囲
には、その回転方向に沿って帯電装置3.露光装置4の
露光部4a。
画像形成装置の内部構成を示す。図中1は装置本体であ
り、この装置本体1内の中央部には像担持体としてのド
ラム状感光体2が配置されており、この感光体2の周囲
には、その回転方向に沿って帯電装置3.露光装置4の
露光部4a。
現像装置5.転写装置6.剥離装置7.クリーニング装
置8.および除電装置9の露光部9aが順次配設されて
いる。
置8.および除電装置9の露光部9aが順次配設されて
いる。
また、装置本体1内には、給紙カセット10から給紙手
段11を介して自動給紙された用紙Pおよび手差しトレ
イ12から手差し給紙された用紙Pを前記感光体2と転
写装置6との間の画像転写部13を経て装置本体1の左
面側に設けられた排紙トレイ14に導く用紙搬送路15
が形成されている。
段11を介して自動給紙された用紙Pおよび手差しトレ
イ12から手差し給紙された用紙Pを前記感光体2と転
写装置6との間の画像転写部13を経て装置本体1の左
面側に設けられた排紙トレイ14に導く用紙搬送路15
が形成されている。
前記用紙搬送路15の上流側には、アライニングローラ
対16が配置され、下流側には定着装置17および排紙
ローラ対18が配置されている。
対16が配置され、下流側には定着装置17および排紙
ローラ対18が配置されている。
さらに、定着装置17の配設位置の上方には、冷却ファ
ンユニット19が配設された状態となっている。なお、
アライニングローラ対16の近傍にはアライニングスイ
ッチ20が設けられているとともにアライニングローラ
対16と画像転写部13との間には搬送ガイド21が設
けられている。
ンユニット19が配設された状態となっている。なお、
アライニングローラ対16の近傍にはアライニングスイ
ッチ20が設けられているとともにアライニングローラ
対16と画像転写部13との間には搬送ガイド21が設
けられている。
また、装置本体1の上面には、原稿載置部としての原稿
載置台22およびこの原稿載置台22に重合される原稿
押え体23からなり、原稿りを保持して水平に往復移動
する原稿テーブル24が設けられている。
載置台22およびこの原稿載置台22に重合される原稿
押え体23からなり、原稿りを保持して水平に往復移動
する原稿テーブル24が設けられている。
しかして、複写開始信号を受けるとドラム状感光体2が
図中時計方向(矢印方向)に回転するとともに、感光体
2が帯電装置3により一様に帯電される。ついで、露光
装置4の後述する露光光源31が点灯した状態となると
ともに原稿りを保持した原稿テーブル24が往動して原
稿りの画像が感光体2上に走査露光され、感光体2上に
原稿りに対応した静電潜像が形成される。ついで、この
感光体2上の静電潜像は、現像装置5に対向し、ここで
非磁性−成分トナーTによって現像され顕像化される。
図中時計方向(矢印方向)に回転するとともに、感光体
2が帯電装置3により一様に帯電される。ついで、露光
装置4の後述する露光光源31が点灯した状態となると
ともに原稿りを保持した原稿テーブル24が往動して原
稿りの画像が感光体2上に走査露光され、感光体2上に
原稿りに対応した静電潜像が形成される。ついで、この
感光体2上の静電潜像は、現像装置5に対向し、ここで
非磁性−成分トナーTによって現像され顕像化される。
一方、このトナー像の形成動作に同期して、給紙カセッ
ト10から取出されたり手差しトレイ12から手差し供
給された用紙Pが、アライニングローラ対16を介して
画像転写部13に送り込まれる。そして、感光体2上に
形成された上記トナー像が転写装置6の働きにより用紙
Pに転写される。ついで、用紙Pは剥離装置7の働きで
感光体2から剥離されて定着装置17に送り込まれ、前
記トナー像が用紙Pに溶融定着される。そして、この後
、排紙ローラ対18を介して排紙トレイ14に排出され
ることになる。
ト10から取出されたり手差しトレイ12から手差し供
給された用紙Pが、アライニングローラ対16を介して
画像転写部13に送り込まれる。そして、感光体2上に
形成された上記トナー像が転写装置6の働きにより用紙
Pに転写される。ついで、用紙Pは剥離装置7の働きで
感光体2から剥離されて定着装置17に送り込まれ、前
記トナー像が用紙Pに溶融定着される。そして、この後
、排紙ローラ対18を介して排紙トレイ14に排出され
ることになる。
なお、用紙P上にトナー像を転写した後、感光体2上に
残った残留トナーは、クリーニング装置8で除去される
。ついで、除電装置9の露光部9aを通過することによ
り全面露光され感光体2上の残像イメージが除去され、
1回の複写動作が完了することになる。
残った残留トナーは、クリーニング装置8で除去される
。ついで、除電装置9の露光部9aを通過することによ
り全面露光され感光体2上の残像イメージが除去され、
1回の複写動作が完了することになる。
また、前記各装置3,4,5,6,7,8,9゜17は
概略つぎのような構成となっている。
概略つぎのような構成となっている。
すなわち、前記帯電装置3は、グリッドを有するシール
ドケース25内にコロナワイヤー26を’!設したスコ
ロトロンで構成されており、コロナ放電により感光体2
上を一様に帯電するようになっている。
ドケース25内にコロナワイヤー26を’!設したスコ
ロトロンで構成されており、コロナ放電により感光体2
上を一様に帯電するようになっている。
また、前記露光装置4は、後で詳述するが、大略、リフ
レクタ30により囲繞された露光光源31ををして原稿
載置台22上の原稿りに光を照射する光源部32と、自
己集束性光伝送体アレイ(セルフォックレンズアレイ)
33を有する結像光学部34からなっている。そして、
露光光源31を点灯した状態で原稿テーブル24を一端
側から他端側に移動することにより、原稿りをスリット
露光し、その反射光を自己集束性光伝送体アレイ33を
介して感光体2上に結像させ、原稿りに対応する静電潜
像を形成するようになっている。
レクタ30により囲繞された露光光源31ををして原稿
載置台22上の原稿りに光を照射する光源部32と、自
己集束性光伝送体アレイ(セルフォックレンズアレイ)
33を有する結像光学部34からなっている。そして、
露光光源31を点灯した状態で原稿テーブル24を一端
側から他端側に移動することにより、原稿りをスリット
露光し、その反射光を自己集束性光伝送体アレイ33を
介して感光体2上に結像させ、原稿りに対応する静電潜
像を形成するようになっている。
また、現像装置5は、感光体2に対向する現像ローラ3
5と、この現象ローラ35に非磁性−成分トナーTを供
給するトナー供給ローラ36と、現像ローラ35に弾性
的に圧接して現像ローラ35の表面に所定の厚みの非磁
性−成分トナーTの層を形成させるトナー層形成ブレー
ド37と、トナー収容部38の非磁性−成分トナーTを
攪拌するトナー攪拌体3つとを有し、現像ローラ35の
表面に形成した非磁性−成分トナーTの層を静電潜像に
微小の間隙で対向させ静電的に飛翔させて現像するよう
になっている。
5と、この現象ローラ35に非磁性−成分トナーTを供
給するトナー供給ローラ36と、現像ローラ35に弾性
的に圧接して現像ローラ35の表面に所定の厚みの非磁
性−成分トナーTの層を形成させるトナー層形成ブレー
ド37と、トナー収容部38の非磁性−成分トナーTを
攪拌するトナー攪拌体3つとを有し、現像ローラ35の
表面に形成した非磁性−成分トナーTの層を静電潜像に
微小の間隙で対向させ静電的に飛翔させて現像するよう
になっている。
また、転写装置6は、前記帯電装置3と同様な構成とな
っていて、用紙Pに電荷を与え感光体2上のトナー像を
静電的に用紙Pに転写するものである。また、剥離装置
7は、用紙Pに電荷を与え感光体2に吸着する用紙Pを
静電的に剥離するものである。
っていて、用紙Pに電荷を与え感光体2上のトナー像を
静電的に用紙Pに転写するものである。また、剥離装置
7は、用紙Pに電荷を与え感光体2に吸着する用紙Pを
静電的に剥離するものである。
また、クリーニング装置8は、感光体2に残留するトナ
ーTをクリーニングブレード40で掻落とし、これをト
ナーオーガ41により外部に形成された排トナーボック
ス(図示しない)に回収する構成となっている。
ーTをクリーニングブレード40で掻落とし、これをト
ナーオーガ41により外部に形成された排トナーボック
ス(図示しない)に回収する構成となっている。
また、除電装置9は、前記露光装置4の露光光#t31
の光の一部をリフレクタ、30に形成された除電光透過
窓42から取出して感光体2に照射する構成となってい
る。
の光の一部をリフレクタ、30に形成された除電光透過
窓42から取出して感光体2に照射する構成となってい
る。
また、前記定着装置17は、ヒータランプ45を内蔵し
たヒートローラ46と、このヒートローラ46に圧接さ
れた加圧ローラ47を備え、これらローラ46,47間
を用紙Pが通過することによりトナー像が用紙Pに溶融
定着されるようになっている。
たヒートローラ46と、このヒートローラ46に圧接さ
れた加圧ローラ47を備え、これらローラ46,47間
を用紙Pが通過することによりトナー像が用紙Pに溶融
定着されるようになっている。
また、前記露光装置4は、第1図および第3図に示すよ
うに光学系フレーム50に各構成部品を一体に組込むこ
とによりユニット化され、露光装置4全体が装置本体1
に対して着脱自在となっている。
うに光学系フレーム50に各構成部品を一体に組込むこ
とによりユニット化され、露光装置4全体が装置本体1
に対して着脱自在となっている。
すなわち、光学系フレーム50の上面には、リフレクタ
30、配光調整板ホルダ51,51、および給電ブラケ
ット52.52が取付けられているとともに、前記配光
調整板ホルダ51に配光調整板53がスライド可能にね
じ止めされ、また、給電ブラケット52.52を介して
露光光[31としてのハロゲンランプの両端部が給電可
能に保持されている。なお、リフレクタ30は、光学系
フレーム50に形成された切起こしからなるリフレクタ
取付部50a、50aに取付けられている。
30、配光調整板ホルダ51,51、および給電ブラケ
ット52.52が取付けられているとともに、前記配光
調整板ホルダ51に配光調整板53がスライド可能にね
じ止めされ、また、給電ブラケット52.52を介して
露光光[31としてのハロゲンランプの両端部が給電可
能に保持されている。なお、リフレクタ30は、光学系
フレーム50に形成された切起こしからなるリフレクタ
取付部50a、50aに取付けられている。
また、光学系フレーム50の他端側には切起しからなる
サブリフレクタ55が形成されているとともにアレイホ
ルダ56が取付けられていて自己集束性光伝送体アレイ
33が迷光防止用シール57.57を介して装着されて
いる。
サブリフレクタ55が形成されているとともにアレイホ
ルダ56が取付けられていて自己集束性光伝送体アレイ
33が迷光防止用シール57.57を介して装着されて
いる。
なお、第3図に示す58は、配光調整板51゜51の相
互対向面に形成されるサイドリフレクタであり、59.
59は自己集束性光伝送体アレイ33を所定位置に固定
すべくその両端上面を押えるアレイ押えである。
互対向面に形成されるサイドリフレクタであり、59.
59は自己集束性光伝送体アレイ33を所定位置に固定
すべくその両端上面を押えるアレイ押えである。
また、光学フレーム50には、リフレクタ30に形成さ
れた除電光透過窓42に対向して除電フィルタ60で閉
塞された除電光透過窓61が形成され、露光光源31の
その一部を感光体2上に導くようになっているとともに
前記リフレクタ30の両側縁部には黒色の合成樹脂フィ
ルム62が貼付けられている。
れた除電光透過窓42に対向して除電フィルタ60で閉
塞された除電光透過窓61が形成され、露光光源31の
その一部を感光体2上に導くようになっているとともに
前記リフレクタ30の両側縁部には黒色の合成樹脂フィ
ルム62が貼付けられている。
また、露光光源31と原稿裁置台22との間には、後述
する配光むら防止用拡散フィルタ65が設けられている
。
する配光むら防止用拡散フィルタ65が設けられている
。
このように構成されたユニット構造の露光装置4は、第
3図に示すように、アレイホルダ56の両端面に突設さ
れた位置決めピン66.66(−方のみ図示)が、また
、光学系フレーム50の一端両側部には取付孔67.6
7 (一方のみ図示)が形成された状態となっている。
3図に示すように、アレイホルダ56の両端面に突設さ
れた位置決めピン66.66(−方のみ図示)が、また
、光学系フレーム50の一端両側部には取付孔67.6
7 (一方のみ図示)が形成された状態となっている。
そして、第4図に示すように前記位置決ピン66を装置
本体2のフロントフレーム68およびリアフレーム6つ
に形成されたL字状の係合孔70.70に係合させると
ともに光学系フレーム50の一端両側部を装置本体2の
フロントフレーム68およびリアフレーム69に切起し
形成された取付片71.71上に載せ、取付ねじ72.
72を介して取付片71゜71に固定するようになって
いる。
本体2のフロントフレーム68およびリアフレーム6つ
に形成されたL字状の係合孔70.70に係合させると
ともに光学系フレーム50の一端両側部を装置本体2の
フロントフレーム68およびリアフレーム69に切起し
形成された取付片71.71上に載せ、取付ねじ72.
72を介して取付片71゜71に固定するようになって
いる。
また、前記拡散フィルタ65は、第5図に示すように熱
吸収ガラス73の片面に数百−のアルミニウムの粉74
を蒸着したものであり、拡散フィルタ65と露光光源3
1との間の距離りは露光光源31から発生する熱の影響
を強く受けないように十分な距離を取っている。
吸収ガラス73の片面に数百−のアルミニウムの粉74
を蒸着したものであり、拡散フィルタ65と露光光源3
1との間の距離りは露光光源31から発生する熱の影響
を強く受けないように十分な距離を取っている。
しかして、露光光源31としてハロゲンランプを使用し
た場合には、ハロゲンランプが複数のフィラメントを短
絡棒で直列的に接続した構成となっているため、発光部
であるフィラメントと非発光部である短絡棒部による配
光むらが生じ、ランプ自体の配光むらがあたかも原稿画
像自体に濃度むらがあるものとして再現されてしまうこ
とがある。特に原稿濃度の変化にイメージ濃度が敏感に
反応する高ガンマ−の現像方式の画像形成装置にあって
は、ハーフトーン部に悪影響を与えるといった重大な問
題がある。しかし、本発明の露光装置4にあっては、露
光光源31と原稿載置台22との間に配光むら防止用の
拡散フィルタ65を配置したから、露光光源31である
ハロゲンランプから発した光を拡散フィルタ65を通す
ことにより拡散して、ハロゲンランプの発光部と非発光
部により生じる配光むらの無い状態で原稿載置台22に
導びくことができ、原稿りの画像に忠実な画像形成が可
能となる。
た場合には、ハロゲンランプが複数のフィラメントを短
絡棒で直列的に接続した構成となっているため、発光部
であるフィラメントと非発光部である短絡棒部による配
光むらが生じ、ランプ自体の配光むらがあたかも原稿画
像自体に濃度むらがあるものとして再現されてしまうこ
とがある。特に原稿濃度の変化にイメージ濃度が敏感に
反応する高ガンマ−の現像方式の画像形成装置にあって
は、ハーフトーン部に悪影響を与えるといった重大な問
題がある。しかし、本発明の露光装置4にあっては、露
光光源31と原稿載置台22との間に配光むら防止用の
拡散フィルタ65を配置したから、露光光源31である
ハロゲンランプから発した光を拡散フィルタ65を通す
ことにより拡散して、ハロゲンランプの発光部と非発光
部により生じる配光むらの無い状態で原稿載置台22に
導びくことができ、原稿りの画像に忠実な画像形成が可
能となる。
なお、本発明は上述の一実施例において、拡散フィルタ
65を熱吸収フィルタ73の片面にアルミニュームの粉
74を蒸着することにより構成したものに付いて説明し
たが、本発明はこれに限らず、たとえば、第6図に示す
ようにアクリル板75の片面に微細な溝66を連続的に
形成するようにしたものであっても良い。さらに、第7
図に示すように露光光源31としての2本の710ゲン
ランプを、その発光部であるフィラメント31a・・・
と非発光部である短絡棒部31bとが交互になるように
配置して配光むらをより少なくするようにしてもよい。
65を熱吸収フィルタ73の片面にアルミニュームの粉
74を蒸着することにより構成したものに付いて説明し
たが、本発明はこれに限らず、たとえば、第6図に示す
ようにアクリル板75の片面に微細な溝66を連続的に
形成するようにしたものであっても良い。さらに、第7
図に示すように露光光源31としての2本の710ゲン
ランプを、その発光部であるフィラメント31a・・・
と非発光部である短絡棒部31bとが交互になるように
配置して配光むらをより少なくするようにしてもよい。
その他、本発明は要旨を変えない範囲で種々変形実施可
能なことは勿論である。
能なことは勿論である。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、簡単な構成であ
りながら、露光光源であるハロゲンランプから発した光
が拡散フィルタを通すことにより拡散されて、発光部と
非発光部により生じる配光むらの無い状態で原稿載置部
に導びくことができ、原稿画像に忠実な画像形成が可能
な露光装置を提供できるといった効果を奏する。
りながら、露光光源であるハロゲンランプから発した光
が拡散フィルタを通すことにより拡散されて、発光部と
非発光部により生じる配光むらの無い状態で原稿載置部
に導びくことができ、原稿画像に忠実な画像形成が可能
な露光装置を提供できるといった効果を奏する。
第1図ないし第5図は本発明の一実施例を示すもので、
第1図は露光装置およびその周辺の構成説明図、第2図
は本発明の露光装置を適用した画像形成装置全体の概略
的縦断正面図、第3図は露光装置の概略的斜視図、第4
図は露光装置の装置本体への取付は状悪を説明するため
の概略的分解斜視図、第5図は要部である拡散フィルタ
の斜視図、第6図は拡散フィルタの他の例を示す斜視図
、第7図(a)(b)は露光光源を2本配置した例を示
す説明図である。 2・・・像担持体(感光体)、4・・・露光装置、22
・・・原稿載置部、31・・・露光光源(ハロゲンラン
プ)、65・・・拡散フィルタ、D・・・原稿。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第4図
第1図は露光装置およびその周辺の構成説明図、第2図
は本発明の露光装置を適用した画像形成装置全体の概略
的縦断正面図、第3図は露光装置の概略的斜視図、第4
図は露光装置の装置本体への取付は状悪を説明するため
の概略的分解斜視図、第5図は要部である拡散フィルタ
の斜視図、第6図は拡散フィルタの他の例を示す斜視図
、第7図(a)(b)は露光光源を2本配置した例を示
す説明図である。 2・・・像担持体(感光体)、4・・・露光装置、22
・・・原稿載置部、31・・・露光光源(ハロゲンラン
プ)、65・・・拡散フィルタ、D・・・原稿。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第4図
Claims (1)
- ハロゲンランプを露光光源として原稿載置部に載置さ
れた原稿を照射し、その反射光を像担持体に導いて前記
原稿に対応した潜像を形成するようにした露光装置にお
いて、露光光源と原稿載置部との間に配光むら防止用の
拡散フィルタを配置したことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10411188A JPH01276161A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10411188A JPH01276161A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01276161A true JPH01276161A (ja) | 1989-11-06 |
Family
ID=14372017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10411188A Pending JPH01276161A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01276161A (ja) |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP10411188A patent/JPH01276161A/ja active Pending
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