JPH01273688A - 三次元作業用レーザ機器 - Google Patents
三次元作業用レーザ機器Info
- Publication number
- JPH01273688A JPH01273688A JP63101282A JP10128288A JPH01273688A JP H01273688 A JPH01273688 A JP H01273688A JP 63101282 A JP63101282 A JP 63101282A JP 10128288 A JP10128288 A JP 10128288A JP H01273688 A JPH01273688 A JP H01273688A
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- JP
- Japan
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- axis
- laser beam
- mirror
- intersection point
- intersection
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- Pending
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- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 6
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 12
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 9
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0876—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
- B23K26/0884—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Robotics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はレーザ光を用いそのエネルギーを利用した切
断加工、溶接あるいはその正確な収斂性、可干渉性を利
用した計測作業などを三次元的規模で行う機器に関する
。
断加工、溶接あるいはその正確な収斂性、可干渉性を利
用した計測作業などを三次元的規模で行う機器に関する
。
従来技術
機器のエンドエフェクタを三次元空間に選定した任意の
位置において任意の角度に設定するには、例えば第７図
に示すように、可動軸が最低５軸（θ、Ｕ、Ｒ，γ、β
）必要である。すなわち、第７図ではθ、Ｕ、γ、β軸
は回転軸で、Ｒ軸は伸縮軸である。
位置において任意の角度に設定するには、例えば第７図
に示すように、可動軸が最低５軸（θ、Ｕ、Ｒ，γ、β
）必要である。すなわち、第７図ではθ、Ｕ、γ、β軸
は回転軸で、Ｒ軸は伸縮軸である。
前記の事項は三次元作業用レーザｎ器においても同じで
あり、レーザ光束の径路を機器の機構部内に設定するも
のでは従来、θ軸とＵ軸の交点ａ１からレーザー光を入
射し、エンドエフェクタＥｘまで導くのに、各軸の交錯
する角度を不変のものとし、各交点（８１〜ａ４）にミ
ラー（ｍ１〜ｍ４）を入射側の軸（交点ａ１ではθ軸）
に反射面を他方の軸（交点ａ１ではＵ軸）の方向に向け
て取付は角度不変に設けている。このため、少なくとも
４枚のミラーを必要としている。
あり、レーザ光束の径路を機器の機構部内に設定するも
のでは従来、θ軸とＵ軸の交点ａ１からレーザー光を入
射し、エンドエフェクタＥｘまで導くのに、各軸の交錯
する角度を不変のものとし、各交点（８１〜ａ４）にミ
ラー（ｍ１〜ｍ４）を入射側の軸（交点ａ１ではθ軸）
に反射面を他方の軸（交点ａ１ではＵ軸）の方向に向け
て取付は角度不変に設けている。このため、少なくとも
４枚のミラーを必要としている。
一般にレーザー光利用の機器ではミラーの配置を考慮し
ないと多数のミラーを必要とし、これら多数のミラーに
よって伝達エネルギーの減衰が生じる上、ミラー位置の
較正や交換の頻度が増大するものであり、三次元作業用
レーザ機器においてもこの点の改善が望まれている。
ないと多数のミラーを必要とし、これら多数のミラーに
よって伝達エネルギーの減衰が生じる上、ミラー位置の
較正や交換の頻度が増大するものであり、三次元作業用
レーザ機器においてもこの点の改善が望まれている。
発明が解決しようとする課題
この発明は、レーザ光束を反射し誘導するミラーの枚数
を減らした三次元作業用レーザ機器の促供を課題とする
。
を減らした三次元作業用レーザ機器の促供を課題とする
。
課題を解決するための手段
レーザ光束の径路を機器の機構部内に設定する三次元作
業用レーザ機器における任意の関節あるいはすべての間
接構造を次のように構成する。
業用レーザ機器における任意の関節あるいはすべての間
接構造を次のように構成する。
関節を構成する第１軸に沿う第１部材、第２軸に沿う第
２部材としての軸部材および第２軸により第１軸の端部
に俯仰可能に連結され第３＠に沿う第３部材としての可
動部材を、それぞれ内部をレーザ光束が貫通可能とする
。
２部材としての軸部材および第２軸により第１軸の端部
に俯仰可能に連結され第３＠に沿う第３部材としての可
動部材を、それぞれ内部をレーザ光束が貫通可能とする
。
前記３軸は一つの交点に交わるものとし、該関節に第２
軸と前記交点を包含し第３軸方向に向けた反射面を有す
るミラーを備え、前記交点にレーザ光束が入射されるも
のとする。
軸と前記交点を包含し第３軸方向に向けた反射面を有す
るミラーを備え、前記交点にレーザ光束が入射されるも
のとする。
前記ミラーに該ミラーの前記交点を通る法線をレーザ光
束と第３軸が成す角度の２等分線に一致させ追従させる
角度設定！５１横を付設する。
束と第３軸が成す角度の２等分線に一致させ追従させる
角度設定！５１横を付設する。
作 用
ミラーは、関節における第１部材に対する第３の可動部
材の俯仰角度の変化に追従して、入射レーザ光束を第３
の可動部材を貫通ずる方向に誘導する。
材の俯仰角度の変化に追従して、入射レーザ光束を第３
の可動部材を貫通ずる方向に誘導する。
実施例
第１図はレーザ光を利用した溶接ロボットを示し、三次
元作業用レーザ機器の一例である。
元作業用レーザ機器の一例である。
溶接ロボット１（以下、単にロボットという）は基盤２
、コラム３、アーム４および手首部５を備える。
、コラム３、アーム４および手首部５を備える。
コラム３は垂直方向の第１＠θの回りに回転ず第１部材
で、アーム４は第３軸Ｒに沿った第３部材としての可動
部材であり、コラム３とアーム４は第１軸θの一端であ
る土切に第２軸Ｕに沿う第２部材としての軸部材６によ
って俯仰可能に取付けられ、これらは前記３＠が一つの
交点ａ１に交わる第１の関節Ｊ１を構成している。なお
、アーム４は第３軸Ｒ方向に伸縮可能な構造とされてい
る。
で、アーム４は第３軸Ｒに沿った第３部材としての可動
部材であり、コラム３とアーム４は第１軸θの一端であ
る土切に第２軸Ｕに沿う第２部材としての軸部材６によ
って俯仰可能に取付けられ、これらは前記３＠が一つの
交点ａ１に交わる第１の関節Ｊ１を構成している。なお
、アーム４は第３軸Ｒ方向に伸縮可能な構造とされてい
る。
手首部５はアーム４の先端に構成され、第３軸Ｒに一致
した第４軸γの回りに回転可能な手首７とさらに、その
先端に第４軸γと交点ａ２で交錯する第５軸βの回りに
軸部材８で俯仰可能に取付けられたエンドエフェクタ９
とから構成され、これらは第４軸γ、第５軸βおよびエ
ンドエフェクタ９の＠ｌｌｅが一つの交点ａ２で交わる
第２の関節Ｊ２を構成している。なお、第２の関１１０
Ｊ２の機構は前記第１の関節Ｊ１に対し、第４軸γが第
１軸θに、第５軸βが第２軸Ｕに、また、エンドエフェ
クタ９の軸ＪＩＩｅが第３軸Ｒにそれぞれ相当する（た
だし、軸線ｅは回転可能としていない）。
した第４軸γの回りに回転可能な手首７とさらに、その
先端に第４軸γと交点ａ２で交錯する第５軸βの回りに
軸部材８で俯仰可能に取付けられたエンドエフェクタ９
とから構成され、これらは第４軸γ、第５軸βおよびエ
ンドエフェクタ９の＠ｌｌｅが一つの交点ａ２で交わる
第２の関節Ｊ２を構成している。なお、第２の関１１０
Ｊ２の機構は前記第１の関節Ｊ１に対し、第４軸γが第
１軸θに、第５軸βが第２軸Ｕに、また、エンドエフェ
クタ９の軸ＪＩＩｅが第３軸Ｒにそれぞれ相当する（た
だし、軸線ｅは回転可能としていない）。
すなわち、このロボット１は、第３軸Ｒが伸縮可能とさ
れている５軸２関節ロボットである。
れている５軸２関節ロボットである。
そして、このロボット１は前記の関節Ｊ１．Ｊ２内部の
交点ａ１．ａ２にミラーｍ１．第２を備えると共に、交
点ａ１の真上に当る位置から交点ａ１にレーザ光束Ｂｍ
の入射を受け、これを前記ミラーｍｉ、ｍ２を介してエ
ンドエフェクタ９に、ロボット１の機構部内を径路とし
て誘導するものである。したがって、少なくとも第１関
節Ｊ１の軸部材６、アーム４、手首７、第２閏節Ｊ２の
軸部材８およびエンドエフェクタ９は内部をレーザ光束
Ｂｍが貫通可能な構造どなっている。
交点ａ１．ａ２にミラーｍ１．第２を備えると共に、交
点ａ１の真上に当る位置から交点ａ１にレーザ光束Ｂｍ
の入射を受け、これを前記ミラーｍｉ、ｍ２を介してエ
ンドエフェクタ９に、ロボット１の機構部内を径路とし
て誘導するものである。したがって、少なくとも第１関
節Ｊ１の軸部材６、アーム４、手首７、第２閏節Ｊ２の
軸部材８およびエンドエフェクタ９は内部をレーザ光束
Ｂｍが貫通可能な構造どなっている。
以上の構成を機構的に単純化すると第２図のようになり
、ミラーｍ１は反射面に第２軸Ｕと交点ａ１を包含させ
、かつ、該反射面を第３軸Ｒ方向に向けて第１軸θ側、
すなわち、コラム３側に取りつけ、ミラーｍ２は反射面
に第５軸βと交点ａ２を包含させ、かつ、該反射面をエ
ンドエフェクタ９の軸線ｅ方向に向けて第４＠γ側、す
なわち、手首７側に取りつける。
、ミラーｍ１は反射面に第２軸Ｕと交点ａ１を包含させ
、かつ、該反射面を第３軸Ｒ方向に向けて第１軸θ側、
すなわち、コラム３側に取りつけ、ミラーｍ２は反射面
に第５軸βと交点ａ２を包含させ、かつ、該反射面をエ
ンドエフェクタ９の軸線ｅ方向に向けて第４＠γ側、す
なわち、手首７側に取りつける。
ミラーｍ１には前記交点ａ１を通る法線を、入射するレ
ーザ光束Ｂｍと第３軸Ｒとが成す角度の２等分Ｉ！ｆに
一致させ追従させる角度設定機構１０が付設されている
。
ーザ光束Ｂｍと第３軸Ｒとが成す角度の２等分Ｉ！ｆに
一致させ追従させる角度設定機構１０が付設されている
。
ミラーｍ１の角度設定機構１０は第３図に示すように、
つぎの構成を有する。
つぎの構成を有する。
コラム３側に固定された第ルバー１１とアーム４側に固
定された第２レバー１２とを第２＠Ｕ上の枢着点Ｃ１で
回動可能に組付け、第１、第２レバー１１．１２の前記
枢着点Ｃ１から等距離の位置に枢着点Ｃ２，Ｃ３を設定
し、この枢着点Ｃ２、Ｃ３に第１．第２の連結リンク１
３．１４の一端をそれぞれ回動自在に取付け、第１．第
２の連結リンク１３．ｉ４の他端を滑り筒１５を介して
相互に回動可能に連結されている。そして、ミラーｍ１
を第２軸Ｕ（第３図において、枢着点Ｃ１に一致する）
の回りに回転可能に取付け、該ミラーｍ１の裏面から反
射面に対し垂直方向に、支持軸１６を一端を固定して延
設し、他端を滑り筒１５に形成した貫通孔１７へ層動自
在に挿通する。
定された第２レバー１２とを第２＠Ｕ上の枢着点Ｃ１で
回動可能に組付け、第１、第２レバー１１．１２の前記
枢着点Ｃ１から等距離の位置に枢着点Ｃ２，Ｃ３を設定
し、この枢着点Ｃ２、Ｃ３に第１．第２の連結リンク１
３．１４の一端をそれぞれ回動自在に取付け、第１．第
２の連結リンク１３．ｉ４の他端を滑り筒１５を介して
相互に回動可能に連結されている。そして、ミラーｍ１
を第２軸Ｕ（第３図において、枢着点Ｃ１に一致する）
の回りに回転可能に取付け、該ミラーｍ１の裏面から反
射面に対し垂直方向に、支持軸１６を一端を固定して延
設し、他端を滑り筒１５に形成した貫通孔１７へ層動自
在に挿通する。
ミラーｍ２の角度設定機構は前記したミラーｍ１の場合
と同様であり、第ルバー１１が手首７側に固定され、第
２レバー１２がエンドエフェクタ９側に固定される点が
異なるだけである。
と同様であり、第ルバー１１が手首７側に固定され、第
２レバー１２がエンドエフェクタ９側に固定される点が
異なるだけである。
また、角度設定機構１０は第４図に示すサーボ機構で達
成することもできる。この例では、コラム３側に固定さ
れた二叉部材１８の一方の立ち上り部１９にミラー回転
用サーボモータ２０を固定し、その駆動軸２１にミラー
ｍ１を取付け、他方の立上り部２２に固定されたアーム
４の回動用モータ２３を固定し、該モータ２３にアーム
回動量検出器２４を協え、検出したアーム４の回動角度
に基づき通常のサーボ制御により前記サーボモータ２０
をアーム４の回動角度の１／２最だけ同方向に回転させ
るものである。
成することもできる。この例では、コラム３側に固定さ
れた二叉部材１８の一方の立ち上り部１９にミラー回転
用サーボモータ２０を固定し、その駆動軸２１にミラー
ｍ１を取付け、他方の立上り部２２に固定されたアーム
４の回動用モータ２３を固定し、該モータ２３にアーム
回動量検出器２４を協え、検出したアーム４の回動角度
に基づき通常のサーボ制御により前記サーボモータ２０
をアーム４の回動角度の１／２最だけ同方向に回転させ
るものである。
ロボット１は前記の第１軸θ、第２軸Ｕ、第４軸γ、第
５軸βを回動するそれぞれのサーボモータおよび第３＠
Ｒを伸縮するサーボモータくいずれも図示していない）
をＣＮ Ｃ１Ｉｉ１１ｔｌｌ装置により駆動して、エン
ドエフェクタ９を三次元空間の任意な位置に任意の角度
で配置し、その位置で出射されるレーザ光束Ｂｍによる
作業を行う。
５軸βを回動するそれぞれのサーボモータおよび第３＠
Ｒを伸縮するサーボモータくいずれも図示していない）
をＣＮ Ｃ１Ｉｉ１１ｔｌｌ装置により駆動して、エン
ドエフェクタ９を三次元空間の任意な位置に任意の角度
で配置し、その位置で出射されるレーザ光束Ｂｍによる
作業を行う。
この場合に、第１．第２の関節Ｊ１．Ｊ２では第１軸θ
に対し第３＠Ｒが角度変位し、第４＠γに対し第５軸β
が角度変位するが、ミラーｍ１゜第２は角度設定機構１
０によりその法線が常時、入射するレーザ光束Ｂｍと前
記第３軸Ｒあるいは第５軸βが成す角度の２等分線ｆに
一致し追従されるので、ロボット１が三次元作業用に５
軸２１Ｗ節を備えたものであるにもかかわらず、レーザ
ー光束３ｍは２枚のミラーｍ１．第２で常に支障なく、
ロボット１に対する入射点（ａｌ）からエンドエフェク
タ９の先端まで誘導される。
に対し第３＠Ｒが角度変位し、第４＠γに対し第５軸β
が角度変位するが、ミラーｍ１゜第２は角度設定機構１
０によりその法線が常時、入射するレーザ光束Ｂｍと前
記第３軸Ｒあるいは第５軸βが成す角度の２等分線ｆに
一致し追従されるので、ロボット１が三次元作業用に５
軸２１Ｗ節を備えたものであるにもかかわらず、レーザ
ー光束３ｍは２枚のミラーｍ１．第２で常に支障なく、
ロボット１に対する入射点（ａｌ）からエンドエフェク
タ９の先端まで誘導される。
実施例において、関節Ｊｌ、Ｊ２は基本的に同じであり
、この実施例の構造は本発明の構成を２個所に備えたも
のに相当する。
、この実施例の構造は本発明の構成を２個所に備えたも
のに相当する。
すなわち、本発明はこの基本的な構成を要旨とし、５図
に示すように、三次元作業用レーザ機器として一般的に
、第１軸（実施例のθ、γ・・・以下同じ）に沿う第１
部材（コラム３、手首７）、第１軸の一端部に交錯する
第２軸（ｔＪ、β）に沿う第２部材としての軸部材（６
，８）および第３軸（Ｒ，軸線ｅ）に沿う第３部材とし
ての可動部材（アーム４．エンドエフェクタ９）を備え
、第１部材に前記の軸部材を介して第３の可動部材を、
前記３軸が一つの交点に交わる関節構造（Ｊｌ。
に示すように、三次元作業用レーザ機器として一般的に
、第１軸（実施例のθ、γ・・・以下同じ）に沿う第１
部材（コラム３、手首７）、第１軸の一端部に交錯する
第２軸（ｔＪ、β）に沿う第２部材としての軸部材（６
，８）および第３軸（Ｒ，軸線ｅ）に沿う第３部材とし
ての可動部材（アーム４．エンドエフェクタ９）を備え
、第１部材に前記の軸部材を介して第３の可動部材を、
前記３軸が一つの交点に交わる関節構造（Ｊｌ。
Ｊ２）として俯仰可能に連結し、該関節に第２軸と前記
交点を包含し第３軸方向に向けた反射面を有するミラー
を備え、前記交点にレーザ光束が入射されるものとし、
前記ミラーに該ミラーの前記交点を通る法線をレーザ光
束と第３軸が成す角度の２等分線（ｆ）に一致させ追従
させる角度設定機構（１０）を付設した構成である。
交点を包含し第３軸方向に向けた反射面を有するミラー
を備え、前記交点にレーザ光束が入射されるものとし、
前記ミラーに該ミラーの前記交点を通る法線をレーザ光
束と第３軸が成す角度の２等分線（ｆ）に一致させ追従
させる角度設定機構（１０）を付設した構成である。
もちろん、この前提としてこの構成を備える三次元作業
用レーザ機器は機構部内にレーザー光束の径路を設定で
きる構造を備えている必要がある。
用レーザ機器は機構部内にレーザー光束の径路を設定で
きる構造を備えている必要がある。
また、第１部材は可動部材であることもあり、さらに、
第５図における第３軸Ｒは第６図のように回転する軸Ｒ
′であっても良い。
第５図における第３軸Ｒは第６図のように回転する軸Ｒ
′であっても良い。
発明の効果
三次元作業用レーザ機器におけるミラーの枚数が減少し
、ミラーによるレーザ光束エネルギーの減衰を低く抑え
ることができる。
、ミラーによるレーザ光束エネルギーの減衰を低く抑え
ることができる。
ミラーの枚数が減少することにより、ミラーの較正、交
換などミラーに関するｍ節・保守・点検の作業を軽減で
きる。
換などミラーに関するｍ節・保守・点検の作業を軽減で
きる。
第１図は透視的に示した斜視図、第２図は斜視的に示す
機構図、第３図は要部の正面図、第４図は要部の斜視図
、第５図は斜視的に示す機構図、第６図は斜視的に示す
機構図、第７図は斜視的に示した従来例の機構図である
。 １・・・溶接ロボット、２・・・基板、３・・・コラム
、４・・・アーム、５・・・手首部、６・・・軸部材、
７・・・手首、８・・・軸部材、９・・・エンドエフェ
クタ、１０・・・角度設定機構、１１・・・第ルバー、
１２・・・第２レバー、１３・・・第１連結リンク、１
４・・・第２連結リンク、１５・・・滑り筒、１６・・
・支持軸、１７・・・貫通孔、１８・・・二叉部材、１
９・・・一方の立上り部、２０・・・ミラー回転用サー
ボモータ、２１・・・駆ｖＪ＠、２２・・・他方の立上
り部、２３・・・アーム回動用モータ、２４・・・アー
ム回動量検出器、 ａｌ、ａ２・・・交点、ｍｌ、ｍ２・・・ミラー、Ｊｌ
、Ｊ２−・・関節、ＣＩ、Ｃ２，Ｃ３−・・枢着点。 第 １ 図 ８ｍ θ 第１烏 中 θ 第 ７ 図 第 ５ 図 第 ６０
機構図、第３図は要部の正面図、第４図は要部の斜視図
、第５図は斜視的に示す機構図、第６図は斜視的に示す
機構図、第７図は斜視的に示した従来例の機構図である
。 １・・・溶接ロボット、２・・・基板、３・・・コラム
、４・・・アーム、５・・・手首部、６・・・軸部材、
７・・・手首、８・・・軸部材、９・・・エンドエフェ
クタ、１０・・・角度設定機構、１１・・・第ルバー、
１２・・・第２レバー、１３・・・第１連結リンク、１
４・・・第２連結リンク、１５・・・滑り筒、１６・・
・支持軸、１７・・・貫通孔、１８・・・二叉部材、１
９・・・一方の立上り部、２０・・・ミラー回転用サー
ボモータ、２１・・・駆ｖＪ＠、２２・・・他方の立上
り部、２３・・・アーム回動用モータ、２４・・・アー
ム回動量検出器、 ａｌ、ａ２・・・交点、ｍｌ、ｍ２・・・ミラー、Ｊｌ
、Ｊ２−・・関節、ＣＩ、Ｃ２，Ｃ３−・・枢着点。 第 １ 図 ８ｍ θ 第１烏 中 θ 第 ７ 図 第 ５ 図 第 ６０
Claims (1)
- それぞれ内部をレーザ光束が貫通可能とした、第１軸に
沿う第１部材、第１軸の一端部に交錯する第２軸に沿つ
た第２部材としての軸部材および第３軸に沿う第３部材
としての可動部材を備え、第１部材に前記軸部材を介し
て第３の可動部材を前記３軸が一つの交点に交わる関節
構造として俯仰可能に連結し、該関節に第２軸と前記交
点を包含し第３軸方向に向けた反射面を有するミラーを
備え、前記交点にレーザ光束が入射されるものとし、前
記ミラーに該ミラーの前記交点を通る法線をレーザ光束
と第３軸が成す角度の２等分線に一致させ追従させる角
度設定機構を付設してあることを特徴としたレーザー光
束の径路を機構部内に設定した三次元作業用レーザ機器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101282A JPH01273688A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 三次元作業用レーザ機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101282A JPH01273688A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 三次元作業用レーザ機器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01273688A true JPH01273688A (ja) | 1989-11-01 |
Family
ID=14296504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63101282A Pending JPH01273688A (ja) | 1988-04-26 | 1988-04-26 | 三次元作業用レーザ機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01273688A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107030379A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-08-11 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光加工头、激光加工装置及其加工方法 |
-
1988
- 1988-04-26 JP JP63101282A patent/JPH01273688A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107030379A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-08-11 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种激光加工头、激光加工装置及其加工方法 |
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