CN111774725B - 一种机械手、激光加工设备及机械手的控制方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种机械手、激光加工设备及机械手的控制方法，涉及激光加工技术领域。机械手包括反光元件、第一驱动件、第二驱动件和依次转动连接的多个机械臂。每个机械臂上设有用于激光通过的通道。任意相邻的两个机械臂之间设有一个反光元件，反光元件用于使激光从每相邻的两个机械臂中的上一个机械臂的通道穿入每相邻的两个机械臂中的下一个机械臂的通道。第一驱动件用于对应驱动一个反光元件转动。第二驱动件用于调节每相邻的两个机械臂的角度。该机械手的运动灵活多变，各个机械臂之间产生相对运动，使得激光的穿射路径发生改变，使得采用该机械手的激光加工设备能够实现对不同位置的工件进行加工，以适应复杂多变的工件加工。

Description

一种机械手、激光加工设备及机械手的控制方法

技术领域

本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种机械手、激光加工设备及机械手的控制方法。

背景技术

目前，激光加工相对传统加工具有无接触、无应力集中以及灵活方便的特点，因此被广泛的使用。当前主要有光纤激光器，其通过光纤对光路进行传导；气体激光器和飞秒、皮秒激光器等主要依靠飞行光路进行光路的传输。但不论是光纤传导还是飞行光路，均受传统设备结构的限制，比如将光路传输到Z轴，但Z轴只能上下移动，因此营运而生出五轴甚至六轴设备，通过改变工件的位置来实现工件不同面的加工，但相对成本高且不够灵活多变，难以适应复杂多变的加工以及难以实时调整工艺。

发明内容

本申请实施例提供一种机械手、激光加工设备及机械手的控制方法，以改善现有激光加工设备难以适应复杂多变的加工的问题。

第一方面，本申请实施例提供一种机械手，包括反光元件、第一驱动件、第二驱动件和依次转动连接的多个机械臂。每个机械臂上设有用于激光通过的通道。任意相邻的两个机械臂之间设有一个反光元件，反光元件用于使激光从每相邻的两个机械臂中的上一个机械臂的通道穿入每相邻的两个机械臂中的下一个机械臂的通道。一个第一驱动件用于对应驱动一个反光元件转动。每相邻的两个机械臂设有一个第二驱动件，第二驱动件用于调节每相邻的两个机械臂的角度。

上述技术方案中，机械手包括依次连接的机械臂，使得机械手的运动灵活多变，并且多个机械臂上的通道共同构成了激光通过的穿射路径，反光元件的设置使得激光能够依次通过各个机械臂的通道，最终对工件进行激光加工，各个机械臂之间产生相对运动，使光束穿过各个机械臂之间的通达，使得采用该机械手的激光加工设备能够通过机械手各个机械臂的运动，从而改变激光的出射位置，实现对不同位置的工件进行加工，以适应复杂多变的工件加工。

另外，本申请第一方面实施例的机械臂还具有如下附加的技术特征：

在本申请第一方面的一些实施例中，机械手还包括激光检测传感器，激光检测传感器检测激光的出射角度，以检测激光是否沿各个通道通过；激光检测传感器还用于检测激光的功率。

上述技术方案中，通过激光检测传感器检测激光是否沿各个通道穿过，以便用户判断激光传输路径是否正确，是否需要对反光元件的位置进行调整，以保证能够激光能够沿正确的路径穿射，保证激光加工正常进行，还能避免激光沿非正常的路径穿射而对环境造成污染。并且激光检测传感器还能够检测激光的功率，便于对激光功率的控制调节以满足加工需要。

在本申请第一方面的一些实施例中，激光检测传感器设于多个机械臂中的位于末端的机械臂上；激光检测传感器检测激光的沿多个机械臂中的位于末端的机械臂的出射角度，以检测激光是否沿多个机械臂中的位于末端的机械臂的通道穿过。

上述技术方案中，仅在位于末端的机械臂上设置激光检测传感器，当激光沿末端的机械臂的通道内穿射时，则意味着激光依次穿过每个机械臂的通道，能够准确的获取激光传输路径信息。

在本申请第一方面的一些实施例中，多个机械臂位于末端的机械臂上与与其相邻的机械臂之间的反光元件为半透半反镜；当激光检测传感器检测到经过半透半反镜透射后的激光时，经过半透半反镜反射后的激光穿过多个机械臂中的位于末端的机械臂中的通道。

上述技术方案中，半透半反镜的设置不仅能够多激光的传输路起到导向作用以使激光沿正确的通道穿过，还便于激光穿过，用于激光路径的检测，一镜多用。

在本申请第一方面的一些实施例中，机械臂还包括反射镜，反射镜用于将从半透半反镜透过的激光反射至激光检测传感器。

上述技术方案中，反射镜用于将从半透半反镜透过的光反射至激光检测传感器，用户根据激光检测传感器是否检测到激光信号，从而判断是否需要调整反光元件的姿态，反射镜将从半透半反镜透出的激光反射至激光检测传感器还能避免透出的激光对环境造成污染。

在本申请第一方面的一些实施例中，半透半反镜与反射镜平行布置。

上述技术方案中，由于激光的直线传输性能，透过半透半反镜的激光能够沿直线传输至反射镜上，由于半透半反镜与反射镜平行布置，则反射镜的反射光的传输路径和半透半反镜的反射光的传输路径一致，若是激光检测传感器能够检测到激光信号，则激光沿末端的机械臂的通道正确穿过，便于用户清楚的判断激光是否沿正确路径穿过。

在本申请第一方面的一些实施例中，通道设于机械臂内。

上述技术方案中，激光通过的通道在机械臂内部有效的减少污染，大大提高了光路的密封性。

第二方面，本申请实施例提供一种激光加工设备，包括激光源和第一方面实施例提供的机械手。

上述技术方案中，该激光加工设备包括依次连接的机械臂，使得机械手的运动灵活多变，反光元件的设置使得激光能够依次通过各个机械臂的通道，最终对工件进行激光加工，各个机械臂之间产生相对运动，使得激光的穿射路径发生改变，使得激光加工设备能够通过机械手各个机械臂的运动，从而改变激光的出射位置，实现对不同位置的工件进行加工，以适应复杂多变的工件加工。

第三方面，本申请实施例提供一种机械手的控制方法，机械手的控制方法包括：获取表征机械手的多个机械臂中每个机械臂的姿态信号；根据姿态信号调整反光元件的偏转角度，以使激光能够依次穿过所述机械手的多个机械臂的通道。

上述技术方案中，通过检测机械手的各个机械臂的姿态，从而控制反光元件动作用以实时响应机械臂不同的空间姿态，以使激光传输路径进行高精度定位与修正，以适应不同的加工位置。

在本申请第三方面的一些实施例中，机械手的控制方法还包括：

接收激光检测传感器检测到的激光信号；根据激光信号调整反光元件的姿态。

上述技术方案中，根据激光检测传感器检测的激光信号调整反光元件的姿态，进一步对激光传输路径进行高精度定位与修正，以使激光能够更加准确的定位加工位置。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请第一方面实施例提供的机械手的示意图；

图2为激光依次穿过各个机械臂的示意图；

图3为机械手的控制方法的流程图；

图4其他实施例中机械手的控制方法的流程图。

图标：100-机械手；10-机械臂；11-通道；12-激光进口；13-激光出口；20-反光元件；40-第二驱动件；50-加工元器件；60-激光检测传感器；70-反射镜；80-激光；90-激光源。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例

如图1、图2所示，本申请第一方面实施例提供一种机械手100，机械手100包括光元件、第一驱动件、第二驱动件40和依次转动连接的多个机械臂10。每个机械臂10上设有用于激光80通过的通道11。任意相邻的两个机械臂10之间设有一个反光元件20，反光元件20用于使激光80从每相邻的两个机械臂10中的上一个机械臂10的通道11穿入每相邻的两个机械臂10中的下一个机械臂10的通道11。一个第一驱动件用于对应驱动一个反光元件20转动。每相邻的两个机械臂10设有一个第二驱动件40，第二驱动件40用于调节每相邻的两个机械臂10的角度。

第一驱动件为电机，电机驱动反光元件20转动。在本实施例中，每个机械臂10的通道11设于对应的机械臂10内，激光80通过的通道11在机械臂10内部有效的减少污染，大大提高了光路的密封性。每个机械臂10上的通道11贯穿每个机械臂10的轴向的两端，一端为激光进口12，另一端为激光出口13，每相邻的两个机械臂10中的一个机械臂10的激光出口13与另一个机械臂10的激光进口12相邻。相邻的两个机械臂10之间的反光元件20设于对应的激光出口13和激光进口12之间，以使从激光出口13穿出的激光80能够经过反光元件20反射至与激光出口13相邻的激光进口12，以保证激光80能够依次沿各个机械臂10的通道11穿过。

在其他实施例中，每个机械臂10的通道11也可以是设于对应的机械臂10的表面并贯穿机械臂10的轴向的两端的通槽，当激光80穿过通槽时，激光80的暴露在机械臂10外。

在本实施例中，机械手100包括四个依次转动连接的机械臂10，位于机械手100的首端的机械臂10为固定臂，即安装时，将固定臂与其他部件固定连接，固定臂的延伸方向保持固定不变。位于机械手100的末端的机械臂10为执行臂，在执行臂的激光出口13端可以安装振镜加场镜或切割头等加工元器件50。产生激光80的激光源90位于固定臂的激光进口12一侧，激光80首先穿过固定臂的通道11，最终从执行臂的激光出口13穿出后并经过安装振镜加场镜或切割头等加工元器件50用于对工件进行激光加工。

除了固定臂以外的其他机械臂10均对应设有一个第二驱动件40，第二驱动件40用于驱动对应的机械臂10转动以改变该机械臂10与与之相邻的上一个机械臂10之间的夹角大小。需要说明的是，本申请涉及到的“上一个机械臂”和“下一个机械臂”均是以相邻的两个机械臂10中激光80穿过的先后顺序定义的，即每相邻的两个机械臂10中，激光80先穿过的机械臂10为上一个机械臂，激光80后穿过的机械臂10为下一个机械臂。

在其他实施例中，机械手100的每个机械臂10均对应设有一个第二驱动件40，即位于机械手100首端的机械臂10也对应设有一个第二驱动件40，使得位于机械手100首端的机械臂10能够相对其他部件转动。

第二驱动件40可以为电机、舵机等，在本实施例中，第二驱动件40为舵机。第二驱动件40驱动对应的机械臂10转动，能够改变对应的机械臂10的空间姿态，从而改变整个机械手100的空间姿态，进而使得执行臂的空间位置发生改变，以适应不同位置的工件和工件不同部位的加工。第二驱动件40上设有编码器等角度检测元件，第二驱动件40驱动对应的机械臂10动作后，角度检测元件能够检测到第二驱动件40驱动对应机械臂10的转动角度，并将该角度值传输至控制系统，控制系统根据角度检测元件检测到的角度值计算出相邻两个机械臂10之间的角度大小。当相邻的两个机械臂10之间的夹角确定了，则每个机械臂10的通道11的延伸方向即确定。根据光的反射原理可知，反射光线、入射光线和法线位于同一平面，反射光线和入射光线分居在法线的两侧；反射角等于入射角，即三线共面，两线分居，两角相等。基于反射原理，系统根据相邻的两个机械臂10之间的角度，控制第一驱动件驱动反光元件20转动合适的角度，以使激光80在上一个机械臂10、反光元件20和下一个机械臂10传输能够满足反射原理。

进一步地，机械手100还包括激光检测传感器60，激光检测传感器60用于检测激光的出射角度，以检测激光是否沿各个通道11通过。通过激光检测传感器60检测激光80是否沿各个通道11穿过，以便用户判断激光80传输路径是否正确，是否需要对反光元件20的位置进行调整，以保证能够激光80能够沿正确的路径穿射，保证激光加工正常进行，还能避免激光80沿非正常的路径穿射而对环境造成污染。

进一步地，激光检测传感器60还用于检测激光的功率，当激光检测传感器60接收到激光信号之后能够获取该激光的功率，并将该激光的功率信息传输至控制控制系统，控制系统判断激光的功率是否是能够满足加工需要的功率，若不是，控制系统则控制调整激光的功率以满足加工的需要。

在本实施例中，激光检测传感器60设于多个机械臂10中的位于末端的机械臂10上，激光检测传感器60用于检测激光80是否沿多个机械臂10中的位于末端的机械臂10的通道11穿过，即激光检测传感器60设于执行臂。仅在位于末端的机械臂10上设置激光检测传感器60，当激光80沿末端的机械臂10的通道11内穿射时，则意味着激光80依次穿过每个机械臂10的通道11，不仅能够准确的获取激光80传输路径信息，还能减少激光检测传感器60的使用，节约成本。

在本实施例中，激光检测传感器60设于执行臂的外壁，为了便于激光检测传感器60检测到激光信号，多个机械臂10位于末端的机械臂10上(执行臂)与与其相邻的机械臂10之间的反光元件20为半透半反镜。半透半反镜能够使得激光80同时透过和反射。机械臂10还包括反射镜70，半透半反镜与反射镜70平行布置。反射镜70用于将从半透半反镜透过的激光80反射至激光检测传感器60。当激光检测传感器60检测到经过半透半反镜透射后的激光80时，经过半透半反镜反射后的激光80穿过多个机械臂10中的位于末端的机械臂10中的通道11。半透半反镜的设置不仅能够多激光80的传输路起到导向作用以使激光80沿正确的通道11穿过，还便于激光80穿过，用于激光80路径的检测，一镜多用。反射镜70用于将从半透半反镜透过的光反射至激光检测传感器60，用户根据激光检测传感器60是否检测到激光信号，从而判断是否需要调整反光元件20的姿态，反射镜70将从半透半反镜透出的激光80反射至激光检测传感器60还能避免透出的激光80对环境造成污染。

半透半反镜与反射镜70平行布置可以是二向色镜与反射镜70共用一个第一驱动件，也可以是反射镜70由第三驱动件驱动，当第一驱动件驱动半透半反镜转动多少角度，第三驱动件也驱动反射镜70转动相同的角度，以使半透半反镜与反射镜70始终平行布置。

由于激光80的直线传输性能，透过半透半反镜的激光80能够沿直线传输至反射镜70上，由于半透半反镜与反射镜70平行布置，则反射镜70的反射光的传输路径和半透半反镜的反射光的传输路径一致，若是激光检测传感器60能够检测到激光信号，则激光80沿末端的机械臂10的通道11正确穿过，便于用户清楚的判断激光80是否沿正确路径穿过。若是激光检测传感器60未能检测到由反射镜70反射的激光80，则控制系统根据相邻两个机械臂10的夹角判断是否需要调整反光元件20的姿态并确定调整多大幅度。

激光检测传感器60上具有能够感应到激光的感应件，激光检测传感器60用于检测激光的出射角度，是指激光出射至激光检测传感器60时相对感应件的角度，比如激光是垂直感应件射入，或者是与感应件呈其他角度值。但是根据该角度值判断激光是否沿各个通道穿过，与感应件相对末端的机械臂10的布置方式有关，比如，当感应件垂直末端的机械臂的延伸方向布置，则当从反射镜70将从半透半反镜透过的激光沿垂直感应件的方向反射时，说明半透半反镜反射的激光沿末端的机械臂10的通道11正确通过，则当从反射镜70将从半透半反镜透过的激光沿与感应件呈锐角的方向反射时，说明半透半反镜反射的激光未沿末端的机械臂的通道正确通过或者半透半反镜反射的激光沿与末端的机械臂的轴线具有夹角的方向反射，则需要调整反光元件20的姿态。

当然，感应件也可以相对末端的机械臂10的延伸方向呈锐角布置，当从反射镜70将从半透半反镜透过的激光沿垂直感应件的方向反射时，说明半透半反镜反射的激光沿末端的机械臂10的通道11正确通过，则当从反射镜70将从半透半反镜透过的激光沿与感应件呈锐角的方向反射时，说明半透半反镜反射的激光未沿末端的机械臂10的通道11正确通过或者半透半反镜反射的激光沿与末端的机械臂10的轴线具有夹角的方向反射，则需要调整反光元件20的姿态。

在其他实施例中，半透半反镜与反射镜70之间也可以是呈夹角布置。

在其他实施例中，激光检测传感器60也可以设置在执行臂的通道11内，当位于执行臂的通道11内的激光检测传感器60检测到激光信号，则说明激光80沿执行臂的通道11通过，从而得知激光80依次通过了各个机械臂10的通道11，不需要进一步调整任意一个反光元件20的姿态。若是激光检测传感器60未能检测到激光信号，则系统需要进一步确认相邻的两个机械臂10的角度，并判断是否需要对反光元件20的姿态进行调整。

在其他实施中，也可以每个机械臂10的通道11中均设有一个激光检测传感器60以检测每个机械臂10中是否有激光80通过。

本申请第二方面实施例中提供一种激光加工设备，激光加工设备包括基座、激光源90和第一方面实施例提供的机械手100，机械手100的固定臂安装于基座，激光源90设于固定臂的激光进口12所在的一侧，机械手100的执行臂上安装有与执行臂的激光出口13连通的振镜加强镜或切割头等加工元器件50。激光源90产生的激光80从固定臂的激光进口12进入固定臂的通道11，在各个反光元件20的作用下依次穿过各个机械臂10通道11，最终从加工元器件50出射至加工工件。该激光加工设备的机械手100的运动灵活多变，反光元件20的设置使得激光80能够依次通过各个机械臂10的通道11，最终对工件进行激光加工，各个机械臂10之间产生相对运动，使得激光80的穿射路径发生改变，使得激光加工设备能够通过机械手100各个机械臂10的运动，从而改变激光80的出射位置，实现对不同位置的工件和工件的不同位置进行加工，以适应复杂多变的工件加工。

本申请第三方面提供一种机械手的控制方法，该机械手的控制方法基于第一方面中的机械手100实施，该机械手100的控制方法包括接收激光检测传感器60的到的激光信号和获取表征机械手100的姿态的姿态信号，根据激光信号控制第一驱动件动作以调整反光元件20的姿态(反光元件20的偏转角度)和根据姿态信号调整反光元件20的姿态(反光元件20的偏转角度)，以使激光80能够依次穿过机械手100的多个机械臂10的通道11。根据激光检测传感器60检测的激光信号控制反光元件20动作，对激光80传输路径进行高精度定位与修正，以使激光80能够更加准确的定位加工位置。

需要说明的是，表征机械手100的姿态的姿态信号是通过表征机械手100的多个机械臂10中每相邻的两个机械臂10的空间角度大小的角度信号来体现，因此获取表征机械手100的多个机械臂10中每个机械臂10的姿态的姿态信号可以理解为获取表征机械手100的多个机械臂10中每相邻的两个机械臂10的空间角度大小的角度信号；调整反光元件20的姿态可以理解为使通过第一驱动件驱动对应的反光元件20转动以使出射至该反光元件20上的激光能够被反射并沿下一个机械臂10的通道11穿过。通过检测机械手100的各个机械臂10的姿态，从而控制反光元件20动作用以实时响应机械臂10不同的空间姿态，以使激光80传输路径进行高精度定位与修正，以适应不同的加工位置。

在本实施例中，如图3所示，控制第二驱动件40驱动对应的机械臂10动作，以使末端的机械臂10(执行臂)上的加工元器件50运动到待加工位置，控制激光源90出射激光80，当激光检测传感器60检测到激光信号或者激光检测传感器60检测到激光信号且反射镜70反射至激光检测传感器60的感应件的激光的出射角度与激光检测传感器60的感应件相对末端的机械臂10的布置方式匹配，并且控制系统获取到该激光信号，说明激光80传输路径正确，不需要控制第一驱动件调整反光元件20的姿态。当激光检测传感器60未检测到激光信号或激光检测传感器60检测到激光信号但反射镜70反射至激光检测传感器60的感应件的激光的出射角度与激光检测传感器60的感应件相对末端的机械臂10的布置方式不匹配，则说明激光80未按照各个机械臂10的通道11共同形成穿射路径传输。需要调整反光元件20的姿态，因此，控制系统获取相邻的两个机械臂10之间的夹角并根据相邻的两个机械臂10之间的夹角信号控制是否要控制第一驱动件驱动反光元件20动作和反光元件20动作的幅度，以使激光80在上一个机械臂10和下一个机械臂10之间传输满足反射原理。即，控制第二驱动件40驱动对应的机械臂10动作，以使末端的机械臂10(执行臂)上的加工元器件50运动到待加工位置，控制激光源90出射激光80，若是激光检测传感器60未获取到激光信号，说明激光80未按照各个机械臂10的通道11共同形成穿射路径传输，则需要调整通过相邻两个机械臂10的空间夹角控制调整反光元件20的姿态；若是激光检测传感器60获取到激光信号，则判断激光检测传感器60检测到的反射镜70反射至激光检测传感器60的感应件的激光的出射角度与激光检测传感器60的感应件相对末端的机械臂10的布置方式是否匹配，若是则激光80按照各个机械臂10的通道11共同形成穿射路径传输，若不是激光80未按照各个机械臂10的通道11共同形成穿射路径传输，则需要调整通过相邻两个机械臂10的空间夹角控制调整反光元件20的姿态。

控制系统获取相邻的两个机械臂10之间的夹角信号可以是在激光检测传感器60检测到激光信号之前也可以是在激光检测传感器60检测到激光信号之后。当加工元器件50运动至下一个待加工位置时，继续重复上述控制过程，以形成闭环反馈控制以及实时检测激光的传输角度和功率，有利于反光元件的姿态调整。

在一些实施例中，如图4所示，控制第二驱动件40驱动对应的机械臂10动作，以使末端的机械臂10(执行臂)上的加工元器件50运动到待加工位置，控制系统可以先获取相邻的两个机械臂10之间的角度信号，并根据角度信号调整反光元件20的姿态，以使激光80能够依次穿过各个机械臂10的通道11。再通过激光源90出射激光80，由于机械手100由于结构加工误差等因素，可能存在激光80在工件上的定位精度不高，因此，可以通过激光检测传感器60是否检测到激光信号，当激光检测传感器60检测到激光信号，说明激光80不仅依次通过了各个机械臂10的通道11，还在工件上具有较高的定位精度。若激光检测传感器60未检测到激光信号，则说明激光80在工件上的定位精度不高，控制系统可以根据激光信号对反光元件20的姿态进一步微调，以提高激光80在工件上的定位精度。

在另一些实施例中，也可以仅仅根据相邻两个机械臂10的夹角信号来控制反光元件20动作。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种机械手，其特征在于，包括：

依次转动连接的多个机械臂，每个机械臂上设有用于激光通过的通道；

反光元件，任意相邻的两个机械臂之间设有一个反光元件，所述反光元件用于使激光从每相邻的两个机械臂中的上一个机械臂的通道穿入每相邻的两个机械臂中的下一个机械臂的通道；

第一驱动件，一个所述第一驱动件用于对应驱动一个所述反光元件转动；

第二驱动件，每相邻的两个机械臂设有一个第二驱动件，所述第二驱动件用于调节每相邻的两个机械臂的角度；

所述机械手还包括激光检测传感器，所述激光检测传感器用于检测激光的出射角度，以检测激光是否沿各个通道通过；所述激光检测传感器还用于检测激光的功率；

所述激光检测传感器设于所述多个机械臂中的位于末端的机械臂上；所述激光检测传感器检测激光的沿所述多个机械臂中的位于末端的机械臂的出射角度，以检测激光是否沿所述多个机械臂中的位于末端的机械臂的通道穿过；

所述多个机械臂位于末端的机械臂上与与其相邻的机械臂之间的反光元件为半透半反镜；

当所述激光检测传感器检测到经过所述半透半反镜透射后的激光时，经过所述半透半反镜反射后的激光穿过所述多个机械臂中的位于末端的机械臂中的通道。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械臂还包括反射镜，所述反射镜用于将从所述半透半反镜透过的激光反射至所述激光检测传感器。

3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述半透半反镜与所述反射镜平行布置。

4.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述通道设于所述机械臂内。

5.一种激光加工设备，其特征在于，包括激光源和权利要求1-4任一项所述的机械手。

6.一种机械手的控制方法，其特征在于，所述机械手的控制方法包括：

获取表征机械手的多个机械臂中每个机械臂的姿态信号；

根据所述姿态信号调整反光元件的偏转角度，以使激光能够依次穿过所述机械手的多个机械臂的通道；

所述机械手的控制方法还包括：

接收激光检测传感器检测到的激光信号，所述激光检测 传感器用于检测激光的功率；

根据所述激光信号调整反光元件的姿态；

其中，所述多个机械臂位于末端的机械臂上与与其相邻的机械臂之间的反光元件为半透半反镜；

当所述激光检测传感器检测到经过所述半透半反镜透射后的激光时，经过所述半透半反镜反射后的激光穿过所述多个机械臂中的位于末端的机械臂中的通道。

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