JPH0127309B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は可動部材の位置制御機構に関するもの
である。この可動部材の位置が、本発明と関係の
ない他の制御を実施する事ができる。例えば前記
可動部材の位置が、ガスタービンエンジン用可変
容量燃料ポンプからの吐出量を制御する事ができ
る。

先の提案において、可動部材用のピストン／シ
リンダ等の液吐出デバイスを備え、この吐出デバ
イスの開閉弁を使用して、可動部材を解除しまた
はロツクする構造は公知である。この先行提案に
おいては、ポペツト弁を弁座と接触させる事によ
つて弁の閉鎖が実施される。この提案は、そのポ
ペツト弁が弁座に対して衝突し、特に弁がパルス
システムで作動する場合、弁の反復閉鎖が弁の衝
撃破損を生じ、その結果弁の密封閉鎖が不可能と
なり、従つて可動部材を任意位置にロツクする事
が不可能となる欠点をもつている。またこの先行
提案においては、作動時に弁をその開放位置まで
動かす力を加える事のできる電磁力原動機を備
え、またこの原動機が力を加えない時に弁をその
閉鎖位置に保持する程度に強力な予負荷バネを備
える事が提案されている。第２の欠点は、原動機
が、弁を開くためにバネの予負荷に勝つ力を出す
ほどに強力でなければならない事である。

本明細書において、予負荷バネとは、外部力を
加えない限りバネはその予負荷力をもつてストツ
パ手段上の閉鎖状態に留まる様に成されたバネと
ストツパ手段との結合体を意味する。バネをスト
ツパ手段から移動させる為に外部力が加えられる
時に、この外部力は、バネ運動が可能となる前に
バネの予負荷力を超えなければならない。

本発明は、前述の欠点のいずれかまたは双方を
防止する事のできる可動部材位置制御機構を提供
するものである。

本発明によれば、可動部材位置制御機構は、閉
鎖位置と開放位置を有する弁と、前記可動部材に
連動自在に連結された圧液吐出デバイスと、弁閉
鎖位置においては前記デバイスと可動部材が液圧
によつてロツクされ弁開放位置においては運動す
る様に前記弁とデバイスとの中間に配置された液
圧コネクシヨンとを有し、前記弁は、共働弁面を
有する一対の相対摺動弁体から成り、少なくとも
一方の弁体は弁閉鎖位置において他方の弁体によ
つて閉鎖されるポートをその平坦面上に備え、前
記弁体の平坦面を相互に摺動接触状態に保持する
弾発手段と、前記弁体間においてその平坦面に対
して平行方向に作用する予負荷バネであつてその
バネ負荷そのものが弁体を弁閉鎖位置まで移動さ
せる様に成された予負荷バネと、作動時に、前記
バネの予負荷に対抗して一方の弁体を他方の弁体
に対して弁開放位置に向かつて移動させる力を加
える事のできる駆動原動機とを含む。

前記原動機は、電気信号によつて作動される電
磁力原動機とする事ができる。

前記の吐出デバイスは液圧モータとし、または
その一部を成し、前記弁はその開放位置にある
時、前記吐出デバイスの中に圧下液流を送つてこ
の吐出デバイスを原動機として作動させる事がで
きる。

前記の弁体は閉鎖位置から二方向のいずれかに
相対運動可能であつて、その平坦面上の２ポート
のいずれかを開いて交互に２開放位置をとる事が
でき、前記吐出デバイスは複動原動機とし、また
前記一対の液圧コネクシヨンは、弁の制御下にお
いて前記吐出デバイスに向かつて、またはこのデ
バイスから、圧液を液送する事ができ、また前記
弁はその閉鎖位置においてこれらコネクシヨンの
少なくとも一方を閉鎖する。

以下本発明を図面に示す２実施例について詳細
に説明する。

第１図において、可動部材は、ガスタービンエ
ンジン用液体燃料ポンプ２の吐出量変更レバー１
である。部材１は、複動式面積差動ピストン４と
シリンダ５とから成る圧液吐出デバイスのピスト
ンロツド３に連結されている。シリンダ５の内部
においてピストン４の左側に大断面積の作動室６
が形成され、ピストン４の右側に、ピストンロツ
ド３の周囲に小断面積の作動室７が形成されてい
る。

第１図において、弁８は可動弁体９と固定弁体
１０として略示され、これらの弁体は、適当なス
トツパと共に予負荷バネを成す一対のバネ１１，
１２によつて弁閉鎖位置に予負荷されている。ま
たこれらの弁体はバネ１３によつて相互に弾発さ
れている。磁化コイル１４で示す電磁力原動機の
作動時には、バネ１１と１２の予負荷に対抗して
弁体９を移動させる事ができる。

前記固定弁体１０の平らな側面上に、弁室１７
の内部に連通した二個のポート１５と１６が開
き、これらポートの一方または両方は、常時、可
動弁体９の位置に応じて閉鎖されている。ポート
１５はコネクシヨン１９を通して高圧液源１８に
接続され、またポート１６はドレン２１に接続し
ている。弁室１７はコネクシヨン２０によつて作
動室６に接続され、また作動室７はコネクシヨン
１９によつて高圧液源１８に接続されている。

弁体９が右側に移動されるなら、ポート１５が
弁室１７に開き、圧液が作動室６に進む。シリン
ダ５の内部において、圧液が作動室６と７の中で
作用し、作動室６の断面積が大きいのであるか
ら、ピストン４は右向に動かされる。弁体９が左
側に移動されると、弁室１７と作動室６はドレン
に接続され、そこで作動室７の中の圧がピストン
４を左側に移動させる事ができる。弁体９がその
中心閉鎖位置にある時、作動室６は閉鎖され、作
動室７の中の圧がピストン４を押圧して、作動室
６の中の液を圧縮し、この様にしてピストン４を
固定位置に保持する。

今、第２図について述べれば、この図は本発明
の第１実施態様を示す。この実施例において、電
磁モータは電気トルクモータであつて、電気信号
がその出力軸２２を小角度づつ一方向または他方
向向に回転させる。回転方向は、加えられる電気
信号の方向に依存する。可動弁体９は、出力軸２
２に固着されたアーム２３によつて担持され、こ
の軸２２によつて加えられるトルクが弁体９に加
えられる力となる。

今、この弁について第３図と第４図を参照して
更に詳細に説明する。アーム２３はみぞ穴を備え
また締付ボルト２４を備え、これによつてアーム
２３は軸２２に対して固着されている。軸２２か
ら一定距離に、アーム２３はねじ穴２５を有し、
このねじ穴２５はプラグ２６を受け、このプラグ
は圧縮ばね２７を包囲している。このばね２７
は、エンドキヤツプ２８とボール２９を介して、
可動弁体９に作用する。この可動弁体９は、アー
ム２３の１側面に形成された長方形穴３０の中に
挿入された長方形の炭化タングステンブロツクで
ある。ばね２７の作用は可動弁体９を穴３０から
外方に押圧するにある。可動弁体９の外側面３１
は平坦で、ポートを有しない。軸２２は、アーム
２３の重心を通る様に配置されている。

固定弁体１０も炭化タングステンであつて、そ
の平らな弁面３２（第５図）は弁体９に対向し、
この弁体９の弁面３１に係合する。固定弁体１０
は２個のポート１５と１６を備え、これらのポー
トは相互に近接して弁面３２上に開き、可動弁体
９の弁面３１がその中心位置にある時（第５図に
おいて点線で示す位置）、同時にこの弁面３１に
よつてカバーされる。弁室１７は、室壁中のコネ
クシヨン２０によつて第１図の作動室６に接続さ
れている。第４図に示す様に、ばね２７の負荷は
可動弁体９を固定弁体１０の上に保持し、可動弁
体９は穴３０の中に少し緩く保持されているが故
に、可動弁体９はその平坦面３１が固定弁体１０
の弁面３２と密着する様に安定させられる。

第１図の二個のばね１１と１２は、第３図と第
４図において板ばね１１と１２の形状を取る。こ
れらの板ばねはボルト２４によつてアーム２３の
両側に締付けられ、板ばね１１はアーム２３上の
可動ストツプ３３と接触し、板ばね１２はアーム
２３上の可動ストツパ３５を接触している。各板
ばね１１と１２は、その自由状態において彎曲形
状をとるが、ボルト２４によつてそれぞれの可動
ストツパを係合する位置に締付けられた時、実質
真直となり、そのストツパに対して弾性予負荷を
加える。この構造において、第３図に示す様に軸
２２によつて反時計方向トルクが加えられると、
アーム２３の運動により、ばね１１は、室１７の
壁部に固着されたピン３４から成る固定ストツパ
に係合し、また駆動軸のトルクがバネ１１の負荷
に勝つのに十分とすれば、アーム２３は反時計方
向に動くので、可動ストツパ３３がばね１１から
離間し、弁体９は弁体１０上を移動してポート１
６を開く。アーム２３が時計方向に動けば、板ば
ね１２がピン３６から成る固定ストツパに係合
し、アーム２３によつて加えられるトルクがばね
負荷より強ければ可動ストツパ３５がばね１２か
ら離間する。この様な運動において、可動弁体９
が固定弁体１０上を移動し、ポート１５を開く。
板ばね１１，１２とストツパ３３，３４，３５，
３６が全体として予負荷ばねを形成する。

アーム２３の上に第３可動ストツパ３７が形成
され、この第３ストツパは固定ストツパ３４と３
６の中間を延びている。アーム２３のいずれかの
方向への運動に際して、固定ストツパ３４と３６
のいずれかが角度運動の限界を成す。モータ１５
によつてトルクが加えられていないアーム２３の
中心位置においては、両側のばね１１と１２は可
動ストツパ３３，３５と固定ストツパ３４，３６
の上に係合して、弁体９の弁面３１が完全にポー
ト１５と１６を閉鎖する様にこの弁体９を保持す
る。

アーム２３のいずれかの方向への運動は、トル
クモータに加えられる電流の方向に依存してい
る。アーム２３の実際運動は、ばねの予負荷に勝
つ力を生じる最低限値を越えるトルクモータに対
する電流に依存する。ポート１５または１６を開
けば、第１図について説明したピストンロツド３
とピストン４の運動を生じるであろう。好ましく
は、トルクモータに加えられる電流は常に、スト
ツパ３７が一方または他方の固定ストツパ３４ま
たは３６と係合する様にアーム２３を移動させる
力を発生するのに充分な程度とする。

この第１実施態様において、液吐出デバイス
は、ピストン４、シリンダ５及び作動室６，７に
よつて形成され、弁体９と１０から成る弁を閉鎖
すれば、弁室１７と作動室６との間においてコネ
クシヨン２０を通していずれの方向へも液流が生
じる事なく、これによつてピストンロツド３とレ
バー１の運動を固定する事ができる。

今第６図、第７図、及び第８図に示す本発明の
第２実施態様について説明する。これらの図の類
似パーツについて、第２図〜第５図に使用の類似
番号を使用する。モータと弁は単一ユニツトとし
て形成され、このユニツト内部において、中心壁
４３の対向側面に固着されたカバー部材によつて
２個の室４１と４２が形成されている。原動機は
室４２の中に配置され、電機子４４を有し、この
電機子の中心に弾性ピボツト４５が備えられ、ま
たこの電機子４４は一対の固定軟磁極片４６と４
７に対して可動である。これらの磁極片は永久磁
石４８によつて磁化されてＮ極性とＳ極性とを有
する。またこれらの磁極片は、電機子の一端に一
対の磁極面５１と５２を備え、また電機子の他端
に第２対の隣接磁極面５３と５４を備える。

この電機子は、電気制御信号を受ける様に適当
な方法で接続された１本の巻線５５を担持してい
る。電機子の中心から、電機子の長さ方向に対し
て直角に、弁室４１の壁４３の穴５７を通してア
ーム５６が延び、また可撓性ダイヤフラム５８
が、室４２の中の一定量の不活性液を遮断するの
に役立つ。弁室４１内部において、アーム５６
は、可動弁体９と圧縮ばね２７を担持する為の長
方形穴５９を備える。この可動弁体９と共働する
固定弁体１０は弁室４１の壁部に固定され、また
第５図に示す様なポート１５と１６を含んでい
る。

弁室４１の壁部４３上にブラケツト６０が装着
され、このブラケツトは予負荷ばねを担持する。
この予負荷ばねと一対の板ばね１１と１２を有
し、これらの板ばねは自由状態において彎曲して
いるが、第６図に示す様に固定ストツパ３４，３
６と予負荷をもつて係合し真直状態に保持され
る。またこれらのばねは、アーム５６のピボツト
４５から反対の側の末端に形成された一対の可動
ストツパ３３と３５にも係合する。更に固定スト
ツパ３４と３６の中間にアーム５６によつて担持
されたもう１つの可動ストツパ３７が配置され
る。

弾性ピボツト４５は電機子４４に対して、摩擦
なしの限定角度運動を与えるためのものである。
その目的から上記弾性ピボツト４５は、電機子か
ら突設され室４２の壁部の穴６２の中に挿入され
た部分円筒形延長部６１と、室４２の壁部から電
機子の穴６３の中に延びる第２の部分円筒形延長
部６４と、電機子４４と室４２の壁部との間を連
接する３枚の弾性ストリツプ６５，６６，６７と
からなつている。これらのストリツプは実際上、
穴６２，６３と前記延長部６１．６４に連接され
ている。即ちストリツプ６５は延長部６１と穴６
２との間に連結され、ストリツプ６６は延長部６
１と６４との間に連結され、またストリツプ６７
は延長部６４と穴６３との間に連結されている。
ストリツプ６５と６７は同一面の中に配置され、
ストリツプ６６は他のストリツプ６５と６７の中
間において、これらストリツプに対して直角の面
の中に配置されている。これらのストリツプは、
穴６２と６３の軸線回りの枢転運動以外の運動を
成さない様に電機子を保持している。この様な電
機子の枢転はストリツプの曲げによつて可能とさ
れ、またこれらのストリツプは、アーム５６が第
６図の弁閉鎖位置にある時に、弾性的に曲げられ
ない様に設定されている。また、弁の線加速感度
を低減するため、実際枢転軸が電機子とアームの
重心を通る様に構成される。

第６図〜第８図のモータ／弁ユニツトはその使
用中第１図の回路に接続される。電機子４４は、
巻線５５に加えられる電流方向に従つて、第６図
の位置から時計方向または反時計方向に傾斜する
事ができる。加えられる電流強さは、常にバネス
トリツプ１１と１２の予負荷に対抗してアーム５
６を傾斜させ、可動ストツパ３７が一方または他
方の固定ストツパ３４または３６と係合するのに
充分な程度とする。第６図において時計回りの場
合、アームのストツパ３５が板ばね１２に係合し
てこれを固定ストツパ３６から離脱させるのに対
して、ばね１１は固定ストツパ３４によつて保持
されている。同じく第６図において反時計回りの
場合、アームのストツパ３３が板ばね１１に係合
してこれを固定ストツパ３４から離脱させるのに
対して、板ばね１２は固定ストツパ３６によつて
保持される。アーム５６の時計回り運動はポート
１５を弁室４１に対して開き、反時計運動はポー
ト１６を弁室４１に開き、それぞれ第１図におい
て述べた様に可動部材１の運動を生じる。また第
６図に示す様にアーム５６と弁体９が中心位置に
ある場合、ポート１５と１６が閉鎖され、第１図
について述べた様に可動部材１をロツクする。第
６図の場合、弁体９が閉鎖位置にある時に可動部
材１を動かそうとする傾向は、コネクシヨン２０
を通して弁室４１と連通したシリンダ５のスペー
ス６内部に液圧を発生させる事は理解されよう。
この弁室４１、コネクシヨン２０及び作動室６を
満した圧液と駆動原動機中の不活性液は、有効に
液圧ロツクを成すので、可動部材１の運動を不可
能にする。

前記の２実施例において、ピストン４とシリン
ダ５は、レバー１をロツクする為の吐出デバイス
の役割を成すと共に、レバー１を運動させるため
の液圧原動機を成している。しかしながら本発明
の主旨の範囲内において、レバー１を運動させる
手段を吐出デバイスと分離させる事ができる。た
だしその場合、レバー運動手段とレバーロツク用
吐出デバイスを共にレバーに対して連結する。故
に本発明は、弁が開かれている時以外は可動部材
１の運動を防止するロツクを成すものである。

前記の各実施例において液吐出デバイスは二方
向の運動部材の運動を制御する意味において複動
式であるが、本発明の主旨の範囲内において、可
動部材の一方向の運動のみを制御する構造を成す
事もできる。

本発明、特に前記の２実施例は、一連の電気パ
ルスによつて可動部材の正確な位置を制御する様
にした電気パルスシステムによる操作に好適であ
つて、その場合、各パルスにおいて電流強さが可
動部材を全開位置まで動かすのに充分である限
り、各パルスのこの電流強さよりはパルス間隔と
パルス方向が可動部材の許容運動量を決定する。
この様に可動部材の位置制御は、アナログ原理よ
りはデイジタル原理で実施される。

本発明による主利点は、弁操作が弁体間の衝撃
を含まず、故に特の電気パルスシステムで操作さ
れる場合に、弁の長寿命をもたらすにある。その
他下記の利点がある。

(a) 弁体の弁面において生じる摩損分は、２弁体
を相互に接触保持する弾発力によつて補償され
る。

(b) 予負荷ばねは一方の弁体を他方の弁体に対し
て着座保持する必要がないので、このばねの予
負荷力はきわめて小さくする事ができ、故に弁
体駆動原動機は比較的小さな応力を加える事に
よつてばねの予負荷に勝つ事ができる。故に弁
体駆動原動機は比較的小型であつて、その消費
する出力も従つて小さい。

(c) 両方の弁体を炭化タングステン等の高硬質耐
摩性素材で作る事により、弁は非常に長い寿命
を持つ。

(d) 釣合つた角度運動を成すアームの上に可動弁
体を配置する事により、弁全体の線加速による
弁操作事故の可能性が低限される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の二実施例に使用される弁と液
吐出デバイスの概略説明図、第２図は第１実施例
の弁と弁体駆動原動機の全体配置図、第３図は第
１実施例の一方の弁体と予負荷ばね機構の拡大側
面図、第４図は第３図の―線に沿つた断面
図、第５図は第２図と第４図の固定弁体の接触面
を示す図、第６図は第２実施例の弁及び弁体駆動
原動機の断面図、第７図は第６図の―線に沿
つた断面図、また第８図は第７図の―線に沿
つた断面図である。 １…可動部材（レバー）、２…燃料ポンプ、３
…ピストンロツド、４…ピストン、５…シリン
ダ、６…大断面作動室、７…小断面作動室、８…
弁、９…可動弁体、１０…固定弁体、１１，１２
…予負荷ばね、１３…ばね、１４…弁駆動原動機
（コイル）、１５，１６…ポート、１７…弁室、１
８…圧液ソース、１９，２０…コネクシヨン、２
３…アーム、２７…ばね、２８…エンドキヤツ
プ、３１，３２…弁体の摺動面、３３，３４，３
５，３６，３７…ストツパ、４１…弁室、４２…
原動機室、４４…弁駆動原動機（電機子）、４５
…ピボツト、６５，６６，６７…弾性ストリツ
プ、５６…アーム、５８…シール（ダイヤフラ
ム）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 閉鎖位置と開放位置とを有する弁と、可動部
   材と連動自在に固着された圧液吐出デバイスと、
   前記弁閉鎖位置において前記デバイスと可動部材
   が液圧的にロツクされ弁開放位置において前記可
   動部材とデバイスが動きうる様に前記弁とデバイ
   スとの間に配設された液圧コネクシヨンとを含
   み、前記弁は、共働平坦面を有する一対の相互摺
   動弁体９，１０から成り、少なくとも一方の弁体
   １０は、弁閉鎖位置において他方の弁体９によつ
   て閉鎖されるポート１５または１６をその平坦面
   に備え、前記弁体をその平坦面の摺動接触状態に
   保持する様に配設された弾発手段２７，２８と、
   前記弁体間においてその平坦面に対して平行な方
   向に作用する予負荷バネ１１，１２，３３，３
   ４，３５，３６であつて、そのバネ負荷そのもの
   が弁体を弁閉鎖位置まで動かす事ができる様に成
   された予負荷バネと、作動時に前記バネの予負荷
   に対抗して弁開放位置に向かつて一方の弁体を他
   方の弁体に対して動かす力を加える事のできる弁
   体駆動原動機１４または４４とを含む事を特徴と
   する可動部材の位置制御機構。 ２ 前記の駆動原動機１４または４４は電気信号
   によつて作動される電磁力原動機である事を特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の可動部材の位
   置制御機構。 ３ 前記の吐出デバイス４，５は液圧原動機であ
   りまたはその一部を成し、また弁体９，１０は弁
   開放位置において、吐出デバイスの中に圧下液を
   流入させてこの吐出デバイスを原動機として作用
   させる事を特徴とする特許請求の範囲第１項また
   は第２項記載の可動部材の位置制御機構。 ４ 弁体９，１０は弁閉鎖位置から二方向のいず
   れか一方に相対運動可能であつて、弁体の平坦面
   の中に２ポート１５または１６のいずれか一方を
   開いて、交互に２開放位置を生じる事ができ、ま
   た前記吐出デバイスは複動式原動機４，５であ
   り、また一対の液圧コネクシヨン１９，２０が弁
   の制御下に、吐出デバイスへ、または吐出デバイ
   スから、圧液を送液し、弁はその閉鎖位置におい
   て前記コネクシヨンの少なくとも一方の閉鎖を成
   すことを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載
   の可動部材の位置制御機構。 ５ 一方の弁体９は枢転自在に装着されたアーム
   ２３または５６によつて担持され、他方の弁体１
   ０は固定され、前記アームの角度運動が固定弁体
   上の可動弁体の摺動運動を生じる事を特徴とする
   特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記
   載の可動部材の位置制御機構。 ６ 前記の予負荷バネは一対の板バネ１１，１２
   を含み、これらの板バネは、前記アームによつて
   担持された一対のストツパ３３，３５と、これら
   アームストツパに近接した位置において前記板バ
   ネと接触する様に成された一対の固定ストツパ３
   ４，３６とに両側から予負荷をもつて圧着する様
   に取付けられ、この様にして、アームの一方への
   角度運動により一方のアームストツパ３３が一方
   の板バネ１１に係合してこの板バネ１１を一方の
   固定ストツパ３４から離間させ、またアームの他
   方向運動により、他方のアームストツパ３５が他
   方の板バネ１２に係合して、この板バネ１２を他
   方の固定ストツパ３６から離間させ、アームの角
   度運動の方向に従つて一方または他方の板バネが
   弾性的に曲げられる事を特徴とする特許請求の範
   囲第３項、第４項または第５項のいずれかに記載
   の可動部材の位置制御機構。 ７ 前記吐出デバイスは複動式面積差動ピスト
   ン／シリンダユニツト４，５を有し、前記ユニツ
   トの小断面積の作動室７に接続された高圧液源１
   ８を備え、前記ユニツト４，５の大断面積の作動
   室６はコネクシヨン２０を介して弁体９，１０に
   接続され、この弁体は、一方の弁開放位置におい
   てコネクシヨン２０を前記高圧源に接続し、他方
   の弁開放位置においてコネクシヨン２０を低圧ゾ
   ーン２１に接続し、また弁閉鎖位置においては前
   記コネクシヨン２０を閉鎖する事を特徴とする特
   許請求の範囲第４項に記載の可動部材の位置制御
   機構。 ８ 一方の弁体１０はその平坦面に開く２つのポ
   ート１５，１６を有して弁室４１の壁に固定さ
   れ、また前記可動弁体９は、前記弁室４１内部に
   おいて、一方の弁開放位置において一方の前記ポ
   ートが弁室に接続され、他方の弁開放位置におい
   て、他方の前記ポートが弁室に接続される様に配
   置され、前記弁室４１は前記液圧コネクシヨン２
   ０に接続される事を特徴とする特許請求の範囲第
   ７項の記載の可動部材の位置制御機構。 ９ 枢着されたアーム５６は角度的弾性ピボツト
   ４５によつて担持される事を特徴とする特許請求
   の範囲第５項に記載の可動部材の位置制御機構。 １０ 角度的弾性ピボツト４５は複数の弾性スト
   リツプ６５，６６，６７を含み、各ストリツプは
   アーム５６を装着しまた配置し、またアーム５６
   の角度運動中に弾性的に湾曲する様に成された事
   を特徴とする特許請求の範囲第９項に記載の可動
   部材の位置制御機構。 １１ 弁体駆動原動機室４２が前記弁室４１に固
   着され、枢着されたアーム５６が前記原動機室４
   ２中の原動機４４から前記弁室４１の中まで延び
   て、可動弁体９を固定弁体１０に対して当接支承
   し、シールが前記弁室４１を前記弁体駆動原動機
   室４２から遮断し、また前記原動機室４２内部に
   圧力が発生した時に前記シールの歪みを殆どまた
   は全く生じない様にするため、不活性液が前記原
   動機室４２を充填する事を特徴とする特許請求の
   範囲第７項に記載の可動部材の位置制御機構。