JPH01270629A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPH01270629A JPH01270629A JP9958588A JP9958588A JPH01270629A JP H01270629 A JPH01270629 A JP H01270629A JP 9958588 A JP9958588 A JP 9958588A JP 9958588 A JP9958588 A JP 9958588A JP H01270629 A JPH01270629 A JP H01270629A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、差圧測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。
である。
〈従来の技術〉
第６図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。
図において、Ａは測定流体の流れる管路である６Ｂは管
路Ａに設けられたオリフィスである６ＣはオリフィスＢ
の上流、あるいは、下流の管路Ａに取付けられた導管で
ある。Ｃ１は導管を開閉する元弁である。
路Ａに設けられたオリフィスである６ＣはオリフィスＢ
の上流、あるいは、下流の管路Ａに取付けられた導管で
ある。Ｃ１は導管を開閉する元弁である。
Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。Ｄｌは三方弁り
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。
Ｅは、三方弁りに接続された差圧測定装置である。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしなから、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管か必要となる
。また、装置か複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
タウンが図れない。
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管か必要となる
。また、装置か複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
タウンが図れない。
本発明は、この問題点を解決するものである。
本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
により、コストタウンが図れ、入力回路の切り換えの容
易な差圧測定装置を提供するにある。
により、コストタウンが図れ、入力回路の切り換えの容
易な差圧測定装置を提供するにある。
く課題を解決するための手段〉
この目的を達成するために、本発明は、過大圧保護機構
を具備する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端かそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端かそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通ずるシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受
圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベー
スブロックに設けられ前記受圧室に一端か連通され他端
が外部に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、前
記ベースブロックに設けられロータリ弁本体の周面に設
けられた連通溝により通常は該接続孔の一方を連通しゼ
ロ点調節時には前記連通溝を囲動して該一方の接続孔の
連通を切り該一方の接続孔の前記受圧室側と前記接続孔
の他方とを連通ずるロークリ形均圧弁とを具備してなる
差圧測定装置を構成したものである。
を具備する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端かそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端かそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通ずるシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受
圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベー
スブロックに設けられ前記受圧室に一端か連通され他端
が外部に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、前
記ベースブロックに設けられロータリ弁本体の周面に設
けられた連通溝により通常は該接続孔の一方を連通しゼ
ロ点調節時には前記連通溝を囲動して該一方の接続孔の
連通を切り該一方の接続孔の前記受圧室側と前記接続孔
の他方とを連通ずるロークリ形均圧弁とを具備してなる
差圧測定装置を構成したものである。
く作用〉
以上の構成において、通常は、接続孔はそれぞれ連通さ
れているので、本体の左右から、測定圧力が加わり、測
定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する。測
定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定ダイア
フラムとの静電容量か差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力か得られる。
れているので、本体の左右から、測定圧力が加わり、測
定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する。測
定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定ダイア
フラムとの静電容量か差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力か得られる。
装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、ロータリ弁本体の周面に設けられた連通溝を囲動
して一方の接続孔の連通を切り一方の接続孔の受圧室側
と接続孔の他方とを連通してから装置のゼロ点を調整す
る 以下、実施例に基つき詳細に説明する。
には、ロータリ弁本体の周面に設けられた連通溝を囲動
して一方の接続孔の連通を切り一方の接続孔の受圧室側
と接続孔の他方とを連通してから装置のゼロ点を調整す
る 以下、実施例に基つき詳細に説明する。
〈実施例〉
第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図で、第２図
は第１図の斜視図である。
は第１図の斜視図である。
図において、１は差圧センサ部である。
１１は第３図に示すごとく、金属よりなるブロック状の
本体である。
本体である。
１２は本体１１に設けられた内部室である。
］３は内部室１２を７．つの測定室１．４，１１．５に
〜 ４ − 分け移動電極として機能する測定ダイアフラムである。
〜 ４ − 分け移動電極として機能する測定ダイアフラムである。
１．３］、、１．３２は内部室１２の壁面に設けられセ
ラミックスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。こ
の場合は、０．２〜０．５ｍｍの厚さをなず。
ラミックスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。こ
の場合は、０．２〜０．５ｍｍの厚さをなず。
１３３．１３４は絶縁膜１．３１．．１３２の表面上に
、測定ダイアフラム１３に対向して内部室１２の壁にそ
れぞれ設けられた固定電極である。
、測定ダイアフラム１３に対向して内部室１２の壁にそ
れぞれ設けられた固定電極である。
２は差圧センサ部１に一端かそれぞれ接続され測定圧を
導圧する導圧管である。
導圧する導圧管である。
３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
である。
である。
３１は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロック
３と導圧管２と連通ずるシール室３２を構成するシール
ダイアフラムである。
３と導圧管２と連通ずるシール室３２を構成するシール
ダイアフラムである。
４は受圧ブロック３が取付けられシールダイアフラム３
１と受圧室４１を構成する凹部４２を有するベースブロ
ックである。
１と受圧室４１を構成する凹部４２を有するベースブロ
ックである。
４３．４．４はベースブロック４に設けられ受圧室４１
に一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口す
る２個の接続孔である。
に一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口す
る２個の接続孔である。
この場合は、接続孔４３は高圧側に、接続孔４４は低圧
側に接続されている。
側に接続されている。
５は第４図に示すごとく、ベースブロック４に設けられ
、ロータリ弁本体５１の周面に設けられた連通溝５２に
より、通常は接続孔４４を連通し、ゼロ点調節時には、
連通溝５２を回動して接続孔４４の連通を切り接続孔４
４の受圧室４２側と接続孔４３とを連通ずるロータリ形
均圧弁である。
、ロータリ弁本体５１の周面に設けられた連通溝５２に
より、通常は接続孔４４を連通し、ゼロ点調節時には、
連通溝５２を回動して接続孔４４の連通を切り接続孔４
４の受圧室４２側と接続孔４３とを連通ずるロータリ形
均圧弁である。
６は第１図に示すごとく、差圧センサ部１を覆って、ベ
ースブロック４に取付けれたカバーである。
ースブロック４に取付けれたカバーである。
６１はカバー６に取付けられ、電子部品の取付けられた
プリント板ユニットである。
プリント板ユニットである。
１０１．１０２は、測定室１４，１５、導圧管２、シー
ル室３２とで構成される２個の室に封入される封入液で
ある。この場合はシリコンオイルか用いられている。
ル室３２とで構成される２個の室に封入される封入液で
ある。この場合はシリコンオイルか用いられている。
以上の構成において、通常は、接続孔４３．４４はそれ
ぞれ連通されているので、本体１１の左右から、測定圧
力か加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力の差圧に
よって変位する。測定ダイアフラム１３の変位によって
、固定電極１３３゜１３４と測定ダイアフラム１３との
静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出
力か得られる。
ぞれ連通されているので、本体１１の左右から、測定圧
力か加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力の差圧に
よって変位する。測定ダイアフラム１３の変位によって
、固定電極１３３゜１３４と測定ダイアフラム１３との
静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出
力か得られる。
装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、第５図に示すごとく、ロータリ弁本体５１の周面
に設けられた連通溝５２を回動して接続孔４４の連通を
切り接続孔４４の受圧室４２側と接続孔４３とを連通し
てから装置のゼロ点を調整する この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。
には、第５図に示すごとく、ロータリ弁本体５１の周面
に設けられた連通溝５２を回動して接続孔４４の連通を
切り接続孔４４の受圧室４２側と接続孔４３とを連通し
てから装置のゼロ点を調整する この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。
（２）差圧測定装置本体部分と切換弁間の配管が不要に
なる。
なる。
（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりベースブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けに＜
＜、測定可能温度範囲の広い装置か得られる。
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けに＜
＜、測定可能温度範囲の広い装置か得られる。
（４）入力回路の切換えは、ロータリー弁の本体５１を
、回動ずればよいので、ワンタッチで出来る。
、回動ずればよいので、ワンタッチで出来る。
（５）絶縁膜１３１．１３２として、セラミックスの溶
射膜を用いれは、極めて薄くできるので、本体１１を大
きく挾る必要はなく、本体１１の強度を上げることが出
来るので、本体１１を小形化出来る。
射膜を用いれは、極めて薄くできるので、本体１１を大
きく挾る必要はなく、本体１１の強度を上げることが出
来るので、本体１１を小形化出来る。
なお、前述の実施例においては、ロータリ形均圧弁５は
、マニアル操作のものについて説明したが、電磁弁等を
使用したリモート式の弁でも良いことは勿論である。
、マニアル操作のものについて説明したが、電磁弁等を
使用したリモート式の弁でも良いことは勿論である。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明は、過大圧保護機構を具備
する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端かそれぞれ
接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端が
それぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの
外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通ず
るシール室を構成するシールダイアフラムと、前記受圧
ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受圧室を
構成する凹部を有するベースブロックと、該ベースブロ
ックに設けられ前記受圧室に一端か連通され他端が外部
に受圧接続！」として開口する２個の接続孔と、前記ベ
ースブロックに設けられロータリ弁本体の周面に設けら
れた連通溝により通常は該接続孔の一方を連通しゼロ点
調節時には前記連通溝を回動して該一方の接続孔の連通
を切り該−方の接続孔の前記受圧室側と前記接続孔の他
方とを連通するロータリ形均圧弁とを具備゛してなる差
圧測定装置を構成した。
する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端かそれぞれ
接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端が
それぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの
外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通ず
るシール室を構成するシールダイアフラムと、前記受圧
ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受圧室を
構成する凹部を有するベースブロックと、該ベースブロ
ックに設けられ前記受圧室に一端か連通され他端が外部
に受圧接続！」として開口する２個の接続孔と、前記ベ
ースブロックに設けられロータリ弁本体の周面に設けら
れた連通溝により通常は該接続孔の一方を連通しゼロ点
調節時には前記連通溝を回動して該一方の接続孔の連通
を切り該−方の接続孔の前記受圧室側と前記接続孔の他
方とを連通するロータリ形均圧弁とを具備゛してなる差
圧測定装置を構成した。
この結果、
（１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダランが図れる。
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダランが図れる。
（２）差圧測定装置本体部分と切換弁間の配管が不要に
なる。
なる。
（３）差圧センザ部は、導圧管によりベースブロックか
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置か得られる。
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置か得られる。
（４）入力回路の切換えは、ロータリー弁本体を回動す
ればよいので、ワンタッチで出来る。
ればよいので、ワンタッチで出来る。
従って、本発明によれば、小型軒量化、配管等の部品の
不要化等によりコストタウンが図れ、入力回路の切り換
えの容易な差圧測定装置を実現することかできる。
不要化等によりコストタウンが図れ、入力回路の切り換
えの容易な差圧測定装置を実現することかできる。
第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図、第４図、第５図は第１図の要部構成説明図、第
６図は従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図である。 １・・・差圧センサ部、］、Ｏ］、、１０２．・・・封
入液、−ｒ−１−− １１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測定ダ
イアフラム、１３１，１３２・・・絶縁膜、１３３，１
３４・・・固定電極、１．４．１５・・・測定室、２・
・・導圧管、３・・・受圧ブロック、−３１・・・シー
ルダイアフラム、３２・・・シール室、４・・・ベース
ブロック、４１・・・受圧室、４２・・・凹部、４．３
．４４・・・接続孔、５・・・ロータリー均圧弁、５１
・・・ロータリー弁本体、５２・・・連通溝、６・・・
カバー、６１・・・プリント板ユニット。
第３図、第４図、第５図は第１図の要部構成説明図、第
６図は従来より一般に使用されている従来例の構成説明
図である。 １・・・差圧センサ部、］、Ｏ］、、１０２．・・・封
入液、−ｒ−１−− １１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測定ダ
イアフラム、１３１，１３２・・・絶縁膜、１３３，１
３４・・・固定電極、１．４．１５・・・測定室、２・
・・導圧管、３・・・受圧ブロック、−３１・・・シー
ルダイアフラム、３２・・・シール室、４・・・ベース
ブロック、４１・・・受圧室、４２・・・凹部、４．３
．４４・・・接続孔、５・・・ロータリー均圧弁、５１
・・・ロータリー弁本体、５２・・・連通溝、６・・・
カバー、６１・・・プリント板ユニット。
Claims (2)
- （１）過大圧保護機構を具備する差圧センサ部と、該差
圧センサ部に一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧する
導圧管と、該導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブ
ロックと、該受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブ
ロックと前記導圧管と連通するシール室を構成するシー
ルダイアフラムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シ
ールダイアフラムと受圧室を構成する凹部を有するベー
スブロックと、該ベースブロックに設けられ前記受圧室
に一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口す
る２個の接続孔と、前記ベースブロックに設けられロー
タリ弁本体の周面に設けられた連通溝により通常は該接
続孔の一方を連通しゼロ点調節時には前記連通溝を回動
して該一方の接続孔の連通を切り該一方の接続孔の前記
受圧室側と前記接続孔の他方とを連通するロータリ形均
圧弁とを具備してなる差圧測定装置。 - （２）差圧センサ部として、ブロック状の本体と、該本
体内部に設けられ対向する球面よりなる内部室と、該内
部室を測定圧が導入される２個の測定室に分け移動電極
として機能する測定ダイアフラムと、前記内部室の壁面
に設けられセラミックスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁
膜と、該絶縁膜の表面上に前記測定ダイアフラムに対向
して設けられた固定電極とを具備してなる実用新案登録
請求の範囲第１項記載の差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9958588A JPH0820327B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9958588A JPH0820327B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01270629A true JPH01270629A (ja) | 1989-10-27 |
| JPH0820327B2 JPH0820327B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=14251174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9958588A Expired - Lifetime JPH0820327B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820327B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257934A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-27 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| JP2010523972A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | ローズマウント インコーポレイテッド | 産業用プロセス制御システム用フランジレス差圧トランスミッター |
-
1988
- 1988-04-22 JP JP9958588A patent/JPH0820327B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257934A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-27 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| JP2010523972A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | ローズマウント インコーポレイテッド | 産業用プロセス制御システム用フランジレス差圧トランスミッター |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0820327B2 (ja) | 1996-03-04 |
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