JPH01304338A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれは、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。

〈従来の技術〉 第４図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｂは管路Ａに設けられたオリフィスである。

ＣはオリフィスＢの上流、あるいは、下流の管路Ａに取
付けられた導管である。Ｃ１は導管を開閉する元弁であ
る。

Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。Ｄｌは三方弁り
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。

Ｅは、三方弁りに接続された差圧測定装置である。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要となる
。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
タウンか図れない。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
によりコストタウンを図り得る簡易安価な差圧測定装置
を提供するにある６ く課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、過大圧保護機構
を具備する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通ずるシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記受圧ブロックか取付けられ該シールダイアフラムと受
圧室を構成する四部を有するベースブロックと、該ベー
スブロックに設げられ前記受圧室に一端か連通され他端
か外部に受圧接続に１として開］］する２個の接続孔と
、該接続孔を相互に連通ずる均圧孔と、該均圧孔の途中
に設けられた均圧弁とを具備してなる差圧測定装置を構
成したものである。

く作用〉 以上の構成において、ストップ弁を開放し、均圧弁を閉
とすることにより、本体の左右から、測定圧力が加わり
、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する
。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定ダ
イアフラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対応
した電気信号出力か得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁を開にしてから装置のゼロ点を脚盤する 以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。

図において、１は差圧センサ部である。

１１は、第２図に示すごとく、金属よりなるブロック状
の本体である。

１２は本体１１に設けられた内部室である。

１３は内部室１２を二つの測定室１．４．１５に分（Ｊ
移動電極として機能する測定ダイアフラムである。

１３１、．３．３２は内部室１２の壁面に設けられセラ
ミックスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。この
場合は、０．２〜０．５ｍｍの厚さをなす。

１３３．１３４は絶縁膜１．３１．１３２の表面上に、
測定ダイアフラム１２に対向して内部室］２の壁にそれ
ぞれ設Ｃすられた固定電極である。

２は差圧センサ部１に一端がそれぞれ接続され測定圧を
導圧する導圧管である。

３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロッつ
てある。

３１は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロック
３と導圧ｇ２と連通するシール室３２を構成するシール
タイ７゛プラムである。

４は受圧ブロック３か取付けられシールダイアフラム３
１と受圧室４１を構成する凹部４２を有するベースブロ
ックである。

４．３．４４はベースブロック４に設げられ受圧室４１
１こ一端が連通され他端か外部に受圧接続口として開１
］する２個の接続孔である。

５は第３図に示すごとく、接続孔４３．４４の途中にそ
れぞれ設けられ、接続孔４３．４４を相互に連通ずる均
圧孔である。

６は第３図に示すごとく、均圧孔５の途中に設けられた
均圧弁である。

７は第１図に示すごとく、差圧センサ部１を覆って、ベ
ースブロック４に取付けれたカバーである。７１はカバ
ー７に取付けられ、電子部品の取付けられたプリンＩ・
板ユニツ１−である。

］、Ｏ］、、１０２は、測定室１．／１，１．５、導圧
管２、シール室３２とで構成される２個の室に封入され
る封入液である。この場合はシリコンオイルか用いられ
ている。

以」−の構成において、ストップ弁５を開放し、均圧弁
６を閉とすることにより、本体１１の左右から、測定圧
力が加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力の差圧に
よって変位する。測定ダイアフラム１３の変位によって
、固定電１１３３．１３４と測定ダイアフラム１３との
静電容量か差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出
力か得られる。

装置の面測定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁６を開にしてから装置のゼロ点を調整する この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はプラケッ１へ等
が不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりベースブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体か高温であっても、測定流体の温度の影響を受りにく
く測定可能温度範囲の広い装置か得られる。

（４）装置のゼロ点調整用の機構として、均圧孔５と均
圧弁６のみで構成したので、安価簡易にすることか出来
る。

（５）絶縁Ｍ１３１，１３２として、セラミックスの溶
射膜を用いれは、極めて薄くできるので、本体１１を大
きく挾る必要はなく、本体１１の強度を上げることか出
来るので、本体１１を小形化出来る。

なお、前述の実施例においては、均圧弁６は、マニアル
操作のものについて説明したが、電磁弁等を使用したリ
モー１〜式の弁でも良いことは勿論である。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、過大圧保護機構を具備
する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそれぞれ
接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端が
それぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの
外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通ず
るシール室を構成するシールダイアフラムと、前記受圧
ブロックが取付りられ該シールダイアフラムと受圧室を
構成する凹部を有するベースブロックと、該べ一スブロ
ックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端か外部
に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、該接続孔
を相互に連通ずる均圧孔と、該均圧孔の途中に設けられ
た均圧弁とを具備してなる差圧測定装置を構成しな。

この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
なので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケッ１〜等
か不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部は、導圧管によりベースブロックか
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体か高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置か得られる。

（４）装置のゼロ点調整用の機構として、均圧孔と均圧
弁のみで構成しなので、安価簡易にすることか出来る。

従って、本発明によれは、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等により、コストダウンを図り得る簡易安価な差
圧測定装置を実現することかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図は第１図の要部構成説明図、第４図は従来より一
般に使用されている従来例の構成説明図である。 １・・・差圧センサ部、１．Ｏｌ、、］、０２．・・・
封入液、１１−・・・本体、１２・・・内部室、１３・
・・測定ダイアフラム、１３１．１３２・・・絶縁膜、
１３３，１３４・・・固定電極、１．４，１．５・・・
測定室、２・・・導圧管、３・・・受圧ブロック、３１
・・・シールダイアフラム、３２・・・シール室、４・
・・ベースブロック、４１・・・受圧室、４２・・・凹
部、４３．４４・・・接続孔、５・・・均圧孔、５・・
・均圧弁、７・・・カバー、プリント板ユニット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 過大圧保護機構を具備する差圧センサ部と、該差圧セン
   サ部に一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管
   と、該導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
   と、該受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロック
   と前記導圧管と連通するシール室を構成するシールダイ
   アフラムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダ
   イアフラムと受圧室を構成する凹部を有するベースブロ
   ックと、該ベースブロックに設けられ前記受圧室に一端
   が連通され他端が外部に受圧接続口として開口する２個
   の接続孔と、該接続孔を相互に連通する均圧孔と、該均
   圧孔の途中に設けられた均圧弁とを具備してなる差圧測
   定装置。