JPH01285832A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、差圧測定装置に関するものである。

更に訂述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。

〈従来の技術〉 第５図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｆ３は管路Ａに設けられたオリフィスである。

ＣはオリフィスＢの上流、あるいは、下流の管路Ａに取
付けられた導管である。Ｃ１は導管を開閉する元弁であ
る。

■）は導管Ｃに接続されたと一方弁である。Ｄｌは二方
弁■）に設けられたストップ弁、１）２は均圧弁である
。

Ｅは、三方１ｒＤに接続された差圧測定装置である。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要となる
。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
タウンが図れない。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
により、コストタウンか図れ、入力回路の切り換えが容
易で安価な差圧測定装置を提供するにある。

く課顕を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、過大圧保護機構
を具部する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通ずるシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記受圧ブロックか取付けられ該シールダイアフラムと受
圧室を構成する凹部を存するベースフロックと、該ベー
スブロックに設けられ前記受圧室に一端か連通され他端
が外部に受圧接続口として開１］する２個の接続孔と、
前記ベースブロックに設りられピストン本体の周面に設
りられた連通溝により通常は該接続孔の一方を連通しゼ
ロ点調節時には前記連通溝を前記ピストンの軸方向に摺
動して該−方の接続孔の連通を切り該一方の接続孔の前
記受圧室側と前記接続孔の他方とを連通ずるピストンシ
リンダ弁とを具備してなる差圧測定装置を構成したもの
である。

く作用〉 以上の構成において、通常は、接続孔はそれぞれ連通さ
れているので、本体の左右から、測定圧力が加わり、測
定ダイアフラムは測定圧力の長月−によって変位する。

測定タイアフラムの変位によって、固定電極と測定タイ
アフラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対応し
た電気信号出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調愁する
には、ピストンの周面に設けられた連通溝を摺動して該
一方の接続孔の連通を切り一方の接続孔の受圧室側と接
続孔の他方とを連通してから装置のゼロ点を調整する 以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図でである。

図において、１は差圧センサ部である。

１１は第２図に示すごとく、金属よりなるブロック状の
本体である。

１２は本体ＩＩに設けられた内部室である。

１３は内部室１２を二つの測定室１４．１５に分は移動
電極として機能する測定タイアフラムである。

１．３］、１３２は内部室１２の壁面に設けられセラミ
ックスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。この場
合は、０２〜０．５ｍｍの厚さをなす。

１３３．１．３４は絶縁膜１３１．１３２の表面上に、
測定ダイアフラム１３に対向して内部室１２の壁にそれ
ぞれ設りられた固定電極である。

２は差圧センサ部１に一端がそれぞれ接続され測定圧を
導圧する導圧管である。

３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
である。

３１は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロック
３と導圧管２と連通するシール室３２を構成するシール
ダイアフラムである。

４は受圧ブロック３が取付けられシールダイアフラム３
１と受圧室４１を構成する凹部４２を有するベースブロ
ックである。

４３．４４はベースブロック４に設けちれ受圧室４１に
一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口する
２個の接続孔である。

この場合は、接続孔４３は測定流体の高圧側に、接続孔
４４は低圧側に接続されている。

５はピストンシリンダ弁で、第３図に示すごとく、ベー
スブロック４に設けらなシリンダー５１の穴と、シリン
ダー５１内に設けられたピストン５２と、ピストン５２
の周面に設けられた０リング５３とよりなる。

１−か（−で、シリンダー５１．ビス１〜ン５２と０リ
シ′、／’５３とにより連通溝５４が構成される。連通
溝５・１は、通常は接続孔１１１１と連通し、ゼロ点調
節時には、連通溝５　ｚｌは摺動移動され、接続孔・１
・１ρ）連通を切り、接続孔・１・１の受圧室４２側と
接続孔・１３とを連通ずる、 ０は第１図に示す、ごとく、差圧センサ部１を覆−〕て
、〕ベースブロック１に取付（°）れなカバーである。

６１はカバー６に取（−１けられ、電子部品の取付（“
）られたプリント板ユニソ１〜である。

１（）１，１０２は、測定室１４．１５、導圧管２、シ
ール室３２とで構成される２個の室に封入される封入液
である。この場合はシリコンオイルが用いられている。

以１の構成において、通常は、接続孔４３，４．１はそ
れぞれ連通されているので、本体１１の左右かへ　（（
１す定汀力が加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力
の差圧によって変位する。測定ダイアフラムＩ３の変位
によって、固定型［ｉ　１．３３　。

１３４１と測定ダイアフラム１３との静電客員が差動的
に変化し、差圧に対応しな電気信月出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を１ＩｉＪ
　ｇするには、第４図に示すごとく、ビスｌ−ン５２の
周面に設Ｈられな連通溝５４を摺動して接続孔４４の連
通を切り、接続孔４４の受圧室４２側と接続孔４３とを
連通してから装置のゼロ点を調整する この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
なので、ボルト、本体フランジ、取付（ｊブラケット等
が不要となり、小型、軒量、コストダウンか図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と切換弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部１は、導圧Ｉ！−２によりベースブ
ロック４から離されて空気中に支持されている、））て
、測定流体が高温であっでも、測定流体の温肛α）彩蛭
８受けにりく、測定ｌＩ′能温崩範囲の広い装置力゛が
得られる。

（・１）入力回路の切換えは、ピストン５２を、摺動ず
れはよいのて、ワンタッチて出来る。

（５）ビスｌ−フシリンダ−弁５は、円柱状のシリンダ
ー５１の穴と、円柱状のピストン５１とＯリンク５′３
とで構成されるので、安価に作る。−とが出来る。

（６）絶縁膜１３１，１３２として、セラミックスの溶
射膜を用いているので、極めて薄くできるので一本体１
１を大きく挾る必要はなく、本体１１の強度と＋けるこ
とが出来るのて、本体１］を小形化でき、装置全体を小
形化できる。

なお、前述の実施例においては、ピストンシリンダー弁
は、マニアル操作のものについて説明したが、電磁弁等
を使用したリモ−１−式の弁でも良い、ことは勿論であ
る。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、過大圧保護機−一　　
８　−− 構を具備する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端が
それぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管
の他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブ
ロックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管
と連通ずるシール室を構成するシールタイアフラムと、
前記受圧ブロックが取付けられ該シールタイアフラムと
受圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベ
ースブロックに設りられ前記受圧室に一端が連通され他
端が外部に受圧接続に１として開１」する２個の接続孔
と、前記ベースブロックに設けられピストン本体の周面
に設けられた連通溝により通常は該接続孔の一方を連通
しゼロ点調節時には前記連通溝を前記ピストンの軸方向
に摺動して該−一方の接続孔の連通を切り該一方の接続
孔の前記受圧室側と前記接続孔の他方とを連通ずるピス
トンシリンダ弁とを具備してなる差圧測定装置を構成し
た。

この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と切換弁を−・体に構成で
さたので、ポル１〜、本体フランジ、取イ１１ζリブラ
ケット等が不要となり、小型、軽量、ニス１〜ダウンか
図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と切換弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部は、導圧管によりベースブロックか
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）入力回路の切換えは、ピストンを、摺動すればよ
いので、ワンタッヂで出来る。

（５）ピストンシリンダー弁は、円柱状のシリンダーの
穴と、円柱状のピストンとＯリングとで構成されるので
、安価に作ることが出来る。

（６）絶縁膜として、セラミックスの溶射膜を用いてい
るので、極めて薄くできるので、本体を大きく袂る必要
はなく、本体の強度を上げることが出来るので、本体を
小形化でき、装置全体を小形化できる。

従って、本発明によれば、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等によりコストタウンが図れ、入力回路の切り換
えの容易で安価な差圧測定装置を実現することができる
６

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図、第４図、は第１図の要部構成説明図、第５図は
従来より一般に使用されている従来例の構成説明図であ
る。 Ｉ・・・差圧センサ部、１．ｏｉ、ｉｏ２．・・・封入
液、１１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測
定ダイアフラム、１３１，１３２・・・絶縁膜、１３３
、ｉ　３４・・・固定電極、１４．１５・・・測定室、
２・・・導圧管、３・・・受圧ブロック、３１・・・シ
ールダイアフラム、３２・・・シール室、４・・・ベー
スブロック、４１・・・受圧室、４２・・・凹部、４３
，４．４・・・接続孔、５・・・ピストンシリンダー弁
、５１・・・シリンダー、５２・・・ピストン、５３・
・・０リング、５４・・・連通溝、６・・・カバー、６
１・・・プリント板ユニッ１〜。 代理人　　弁理士　　　小　沢　信　助〜　１２− 第４図 ５／ジノ）り゛　　５ｚと°スＬン 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 過大圧保護機構を具備する差圧センサ部と、該差圧セン
   サ部に一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管
   と、該導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
   と、該受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロック
   と前記導圧管と連通するシール室を構成するシールダイ
   アフラムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダ
   イアフラムと受圧室を構成する凹部を有するベースブロ
   ックと、該ベースブロックに設けられ前記受圧室に一端
   が連通され他端が外部に受圧接続口として開口する２個
   の接続孔と、前記ベースブロックに設けられピストン本
   体の周面に設けられた連通溝により通常は該接続孔の一
   方を連通しゼロ点調節時には前記連通溝を前記ピストン
   の軸方向に摺動して該一方の接続孔の連通を切り該一方
   の接続孔の前記受圧室側と前記接続孔の他方とを連通す
   るピストンシリンダ弁とを具備してなる差圧測定装置。