JPH0238936A

JPH0238936A - 差圧測定装置

Info

Publication number: JPH0238936A
Application number: JP18985488A
Authority: JP
Inventors: Saichiro Morita; 森田　佐一郎
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1988-07-29
Filing date: 1988-07-29
Publication date: 1990-02-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明は、差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。

〈従来の技術〉第５図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｂは管路Ａに設けられたオリフィスである。

ＣはオリフィスＢの上流、あるいは、下流の管１ｉＡに
取付けられた導管である。ＣＩは導管を開閉する元弁で
ある。

Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。Ｄｌは三方弁り
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。

Ｅは、三方弁りに接続された差圧測定装置である。

〈発明が解決しようとする課題〉しかしながら、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要となる
。また、装置が複雑となり、装置の小型ｕ化、コストダ
ウンが図れない。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
によりコストダウンが図れ、センサ部を非接地構造とす
ることにより電気回路を簡略化出来る差圧測定装置を提
供するにある。

く課悲を解決するための手段〉この目的を達成するなめに、本発明は、ブロック状の本
体と該本体内部に設けられ対向する球面よりなる内部室
と該内部室を測定圧が導入される２個の測定室に分け移
動電極として機能する測定ダイアフラムと前記内部室の
壁面に設けられセラミックスのプラズマ溶射膜よりなる
絶縁膜と該絶縁膜の表面上に前記測定ダイアフラムに対
向して設けられた固定電極とを備える差圧センサ部と、
該差圧センサ部に一端が絶縁体を介してそれぞれ接続さ
れ測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端がそれぞ
れ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの外側面
に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通ずるシー
ル室を構成するシールダイアフラムと、前記受圧ブロッ
クが取付けられ該シールダイアフラムと受圧室を構成す
る凹部を有するベースブロックと、該ベースブロックに
設けられ前記受圧室に一端が連通され他端が外部に受圧
接続口として開口する２個の接続孔と、該接続孔の途中
にそれぞれ設けられ該接続孔を開閉するストップ弁と、
前記２個の接続孔の該ストップ弁と前記受圧室間の途中
を相互に連通ずる均圧孔と、該均圧孔の途中に設けられ
た均圧弁とを具備してなる差圧測定装置を構成したもの
である。

〈作用〉以上の構成において、ストップ弁を開放し、均圧弁を閉
とすることにより、本体の左右から、測定圧力が加わり
、測定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する
。測定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定ダ
イアプラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対応
した電気信号出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁を開にした後、高圧側のストップ弁を閉に
し、次に、低圧側のストップ弁を閉めてから装置のゼロ
点を調整する以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図である。

図において、１は差圧センサ部である。

１１は、第２図に示すごとく、金属よりなるブロック状
の本体である。

１２は本体１１に設けられた内部室である。

１３は内部室１２を二つの測定室１４．１５に分け移動
電極として機能する測定ダイアフラムである。

１３１．１３２は内部室１２の壁面に設けられセラミッ
クスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。この場合
は、０．２〜０．５ｍｍの厚さをなす。

１３３．１３４は絶縁膜１３１．１３゛２の表面上に、
測定ダイアフラム１３に対向して内部室１２の壁にそれ
ぞれ設けられた固定電極である。

２は差圧センサ部１に一端が絶縁体２１を介してそれぞ
れ接続され測定圧を導圧する導圧管である。絶縁体２１
はこの場合は、ガラスが用いシれている。

３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
である。

３１は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロック
３と導圧管２と連通するシール室３２を構成するシー／
Ｌ＝−ダイアフラムである。

４は受圧ブロック３が取付けられシールダイアフラム３
１と受圧室４１を構成する凹部４２を有するベースブロ
ックである。

４３．４４はベースブロック４に設けられ受圧室４１に
一端が連通されａ端が外部に受圧接続口として開口する
２個の接続孔である。

５は第３図に示すごとく、接続孔４３．４４の途中にそ
れぞれ設けられ、接続孔４３．４４を開閉するストップ
弁である。

４５は２個の受圧室４１を相互に連通ずる均圧孔である
。

６は第４図に示すごとく、均圧孔４５の途中に設けられ
た均圧弁である。

７は第１図に示すごとく、差圧センサ部１を覆って、ベ
ースブロック４に取付けれたカバーである。７１はカバ
ー７に取付けられ、電子部品の取付けられたプリント板
ユニットである。

１０１．１０２は、測定室１４，１５、導圧管２、シー
ル室３２とで構成される２個の室に封入される封入液で
ある。この場合はシリコンオイルが用いられている。

以上の構成において、ストップ弁５を開放し、均圧弁６
を閉とすることにより、本体１１の左右から、測定圧力
が加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力の差圧によ
って変位する。ｍ定ダイアフラム１３の変位によって、
固定電極１３３．Ｌ３４と測定ダイアフラム１３との静
電容量が差動的に変化し、差圧に対応した電気信号出力
が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、均圧弁６を開にした後、高圧側のストップ弁５を
閉にし、次に、低圧側のストップ弁５を閉めてから装置
のゼロ点を調整するこの結果、（１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置水＃部分と三方弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりベースブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
木が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けにく
く測定可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）導圧管２は差圧センサ部１に一端が絶縁体２１を
介してそれぞれ接続されているので、センサ部を非接地
構造とすることができ電気回路を簡略化出来る。

（５）絶縁１１！１３１，１３２として、セラミックス
の溶射膜を用いれば、極めて薄くできるので、本体１１
を大きく挾る必要はなく、本体１１の強度を上げること
が出来るので、本体１１を小形化出来る。

なお、前述の実施例においては、ストップ弁５と均圧弁
６とは、マニアル操作のものについて説明したが、電磁
弁等を使用したリモート式の弁でも良いことは勿論であ
る。

〈発明の効果〉以上説明したように、本発明は、ブロック状の本体と該
本体内部に設けられ対向する球面よりなる内部室と該内
部室を測定圧が導入される２個の測定室に分け移動電極
として機能する測定ダイアフラムと前記内部室の壁面に
設けられセラミックスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜
と該絶縁膜の表面上に前記測定ダイアフラムに対向して
設けられた固定電極とを備える差圧センサ部と、該差圧
センサ部に一端が絶縁体を介してそれぞれ接続され測定
圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端がそれぞれ固定
される受圧ブロックと、該受圧ブロックの外側面に設け
られ該受圧ブロックと前記導圧管と連通ずるシール室を
構成するシールダイアフラムと、前記受圧ブロックが取
付けられ該シールダイアフラムと受圧室を構成する凹部
を有するベースブロックと、該ベースブロックに設けら
れ前記受圧室に一端が連通され他端が外部に受圧接続口
として開口する２個の接続孔と、該接続孔の途中にそれ
ぞれ設けられ該接続孔を開閉するストップ弁と、前記２
個の接続孔の該ストップ弁と前記受圧室間の途中を相互
に連通ずる均圧孔と、該均圧孔の途中に設けられた均圧
弁とを具備してなる差圧測定装置を構成した。

この結果、（１）差圧測定装置本体部分と三方弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部は、導圧管によりベースブロックか
らＭされて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）導圧管は差圧センサ部に一端が絶縁体を介してそ
れぞれ接続されているので、センサ部を非接地構造とす
ることができ電気回路を簡略化出来る。

従って、本発明によれば、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等によりコストダウンが図れ、センサ部を非接地
構造とすることにより電気回路を簡略化出来る差圧測定
装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図、第４図は第１図の要部構成説明図、第５図は従
来より一般に使用されている従来例の構成説明図である
。１・・・差圧センサ部、１０１，１０２．・・・封入液
、１１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測定
ダイアフラム、１３１，１３２・・・絶縁膜、１３３，
１３４・・・固定電極、１４．１５・・・側鎖基、２・
・・導圧管、２１・・・絶縁体、３・・・受圧ブロック
、３１・・・シールダイアフラム、３２・・・シール室
、４・・・ベースブロック、４１・・・受圧室、４２・
・・凹部、４３．４４・・・接続孔、４５・・・均圧孔
、５・・・ストップ弁、６・・・均圧弁。第図４暫カ図

Claims

【特許請求の範囲】

ブロック状の本体と該本体内部に設けられ対向する球面
よりなる内部室と該内部室を測定圧が導入される２個の
測定室に分け移動電極として機能する測定ダイアフラム
と前記内部室の壁面に設けられセラミックスのプラズマ
溶射膜よりなる絶縁膜と該絶縁膜の表面上に前記測定ダ
イアフラムに対向して設けられた固定電極とを備える差
圧センサ部と、該差圧センサ部に一端が絶縁体を介して
それぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管
の他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブ
ロックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管
と連通するシール室を構成するシールダイアフラムと、
前記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと
受圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベ
ースブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他
端が外部に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、
該接続孔の途中にそれぞれ設けられ該接続孔を開閉する
ストップ弁と、前記２個の接続孔の該ストップ弁と前記
受圧室間の途中を相互に連通する均圧孔と、該均圧孔の
途中に設けられた均圧弁とを具備してなる差圧測定装置
。