JPH01268693A - 有機金属化合物の精製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、エーテル化合物を含有するアルキルガリウム
又はインジウム等の有機金属化合物の精製方法に関する
。

高純度の上記有機金属化合物は、電子工業における化合
物半導体の原料、有機合成での出発原料や触媒等に用い
られている。

［従来の技術］ アルキルガリウム又はインジウム等の有機金属化合物は
１次式のようなグリニヤール反応等によりエーテル系溶
媒を反応溶媒に用いて合成される場合が多い。

ＭＸ３＋ａＲＭｇＸ’　−＋　Ｒ，Ｍ＋３ＭｇＸＸ’こ
のようなエーテル系溶媒を用いる合成方法においては１
合成された有機金属化合物に溶媒であるエーテル化合物
が配位してエーテラートを形成し、単なる蒸留操作では
、これを解離させることは困難であった。

特に、最近、これらの有機金属化合物は、Ｍ　ＯＣＶ　
Ｄ　（Ｍｅｔａｌｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｈｅｍｉｃａｌ　
ＶａｐｅｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）をはじめとした化合
物半導体の原料或いはドーパントとして用いられること
が多くなってきた。しかし、上記エーテル化合物が配位
したエーテラートを含む有機金属化合物をこのような用
途に用いると、結晶成長過程に酸素を同伴することにな
り、結晶の特性を低下させる原因となっていると考えら
れている。

このためこの種の用途に用いられる有機金属化合物は、
もっばらエーテル系溶媒を用いない、アルキルアルミニ
ウムとの置換反応を利用する方法が採用されている。

［発明が解決しようとする問題点コ 上記エーテル系溶媒を用いない方法は、反応速度が遅く
、また収率が悪く、筆だアルキルアルミニウムが不純物
として含まれ、この除去のため複雑な操作を要するとい
う問題点がある。

本発明者は、この問題を解決するために、鋭意研究を進
めた結果、驚くべきことに、アルキルガリウム又はアル
キルインジウムに配位しているエーテル化合物は、アル
キルアルミニウムを添加することにより、アルキルアル
ミニウムと配位してアルキルアルミニウムエーテラート
を形成し、アルキルガリウム又はアルキルインジウムか
ら容易に解離し、除去できることを見い出した。

本発明は、このような知見に基づいてなされたもので、
本発明の目的は、収率良く、効率的に、しかもエーテル
化合物の混入が極めて少ない高純度のアルキルガリウム
又はアルキルインジウムを得るための精製方法を提供す
ることにある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、エーテル系溶媒を含有するアルキルガリウム
又はアルキルインジウムにアルキルアルミニウムを添加
して精製することから構成されるものである。

本発明にいうアルキルガリウムとは、トリメチルガリウ
ム、トリエチルガリウム、トリプロピルガリウム、トリ
ブチルガリウム、メチルジエチルガリウム、ジメチルエ
チルガリウム、メチルジプロピルガリウム、ジメチルプ
ロピルガリウム、エチルジプロピルガリウム、ジエチル
プロピルガリウム、メチルエチルプロピルガリウム等を
例示しうる。またアルキルインジウムとしては、トリメ
チルインジウム、トリエチルインジウム、トリプロピル
インジウム、トリブチルインジウム、メチルジエチルイ
ンジウム、ジメチルエチルインジウム、メチルジプロピ
ルインジウム、ジメチルプロピルインジウム、エチルジ
プロピルインジウム、ジエチルプロピルインジウム、メ
チルエチルプロピルインジウム等を例示しろる。

これらの化合物は、エーテル系溶媒を用いてグリニヤー
ル反応により合成した場合、エーテル化合物を含有する
。従って、このような反応生成物が、本発明の精製の対
象となる。また、上記有機金属化合物中からシリコン等
の不純物を除去するために、これらの有機金属化合物と
エーテル化合物とでエーテラートを形成させ、蒸留等に
より分離、精製する方法が行なわれるが、このような場
合も、これらの有機金属化合物にはエーテル化合物が含
まれ、本発明を適用できる。すなわち、エーテル化合物
が含まれている上記有機金属化合物に対しては、いずれ
の場合でも、すなわち有機金属化合物と配位してエーテ
ラートを形成していても、或いは有機金属化合物とエー
テル化合物が単なる混和状態にある場合でも本発明を適
用できることはいうまでもない。尚、エーテル化合物と
しては、例えば、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテ
ル、ジブチルエーテル、ジイソペンチルエーテル、ジエ
チルエーテル、ジフェニルエーテル、アニソール、フェ
ネトール、ジベンジルエーテル。

ベンジルエチルエーテル、ジメチルフラン、テトラヒド
ロフラン、ジオキサン、トリオキサン等が挙げられる。

一方、アルキルアルミニウムは、上記有機金属化合物と
分離が容易なものが適宜選定される。

一般には、上記有機金属化合物と当該アルキルアルミニ
ウム及びエーテル化合物が配位したアルキルアルミニウ
ムエーテラートとの沸点差ができるだけ大きくなるよう
に、アルキルアルミニウムが選ばれる。また、分離手段
として、再結晶法を用いる場合は、融点或いは溶解度等
を考慮して選定される。尚、このアルキルアルミニウム
としては、トリメチルアルミニウム、ジメチルアルミニ
ウムクロライド、トリエチルアルミニウム、ジエチルア
ルミニウムクロライド、トリプロピルアルミニウム、ジ
プロピルアルミニウムクロライド、トリブチルアルミニ
ウム、ジブチルアルミニウムクロライド等を例示しうる
。このアルキルアルミニウムの添加量は、当該有機金属
化合物中のエーテル含有量及び所望する除去量等を考慮
して適宜決定されるが、−般には、当該エーテル量に対
し当量以上とすることが好ましい。

エーテル化合物を含有する上記有機金属化合物へのアル
キルアルミニウムの添加は１発熱を伴うことがある場合
は、滴下すれば良い。添加後は、必要において加熱或い
は冷却により反応を制御することが好ましい。反応終了
後は、精密蒸留、蒸発、再結晶或いは晶析等の手段によ
り、前記有機金属化合物と残存するアルキルアルミニウ
ム及びエーテル化合物が配位したアルキルアルミニウム
等を分離する。

［作　用］ エーテル化合物を含有するアルキルガリウム又はアルキ
ルインジウムにアルキルアルミニウムを添加し、当該エ
ーテル化合物をアルキルアルミニウム配位させ、エーテ
ラートとして除去することにより、エーテル化合物の混
入が極めて少ない高純度のアルキルガリウム又はアルキ
ルインジウムを得ることができる。

Ｃ実施例コ 去１ｊ１２ ジエチルエーテルを１５％含有するトリエチルガリウム
６．０ｇ（０，０３８ｍｏｌ）に、トリエチルアルミニ
ウム８．７ｇ（０，０７６ｍｏｌ）を１時間で滴下した
１滴下終了後、９０℃の温度で、２時間加熱攪拌した。

反応終了後、これをガラス製うッとリングを充填した長
さ５０ｃｍ、内径１．５ｃｍの精留部を有する蒸留装置
を用い、５０ｍｍＨｇで減圧蒸留を行ない、５２〜５６
℃の留分を分取した。この留分をトルエンで希釈した後
。

エチルアルコールを添加し、ガスクロマトグラフ−マス
スペクトロメーターにより、ジエチルエーテルの量を分
析した。この結果、ジエチルエーテルの含有量は、１　
ｐｐｍ以下であった。

ル敗旌よ 実施例１において、トリエチルアルミニウムの添加は行
なわず、他は、実施例１と同様の操作を行なった結果、
ジエチルエーテルの含有量は、０．９％までしか除去さ
れなかった。

失凰Ａ蛮 ジエチルエーテルを２０％（０，０２７ｍｏｌ）含有す
るトリエチルインジウムＬｏｇに、トリエチルアルミニ
ウム６．２ｇ（０，０５４ｍｏｌ）を１時間で滴下した
。滴下終了後、９０℃の温度で、１時間加熱攪拌した。

反応終了後、これをガラス製うッヒリングを充填した長
さ５０ｃｓ、内径１．５ｃ＋ｓの精留部を有する蒸留装
置を用い、１７ｒｓｍＨｇで減圧蒸留を行ない、７７〜
８３℃の留分を分取した。実施例１と同様の方法で分析
した結果、ジエチルエーテルの含有量は、Ｉ　ＰＰ１１
以下であった。

共遣Ｕ１λ 実施例２において、トリエチルアルミニウムの添加は行
なわず、他は、実施′ｆ１１１と同様の操作を行なった
結果、ジエチルエーテルの含有量は、７００ｐｐｍまで
しか除去されなかった。

［５Ｉ！明の効果コ 本発明は、エーテル化合物を含有するアルキルガリウム
又はアルキルインジウムにアルキルアルミニウムを添加
して精製するようにしたため、収率良く、効率的に、し
かもエーテル化合物の混入が極めて少ない高純度の前記
金属化合物を得ることができるという格別の効果を奏す
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. エーテル化合物を含有するアルキルガリウム又はアルキ
   ルインジウムにアルキルアルミニウムを添加して精製す
   ることを特徴とする有機金属の精製方法。