JPH01100178A - トリアルキルインジウムの精製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、トリアルキルインジウムの精製方法に係り、
特には、インジウムとＶａ族との化合物半導体をＭ　Ｏ
ＣＶ　Ｄ　（Ｍｅｔａｌ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｔｌｅｍ
ｉｃａｌ　Ｖａｐｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）による
エピタキシャル結晶成長法で製造する際の原料として用
いられるファイブナイン以上の高純度のトリアルキルイ
ンジウムを得るための精製方法に関する。

［従来の技術］ 従来、上記高純度のトリエチルインジウムの製造方法と
して、特定の合成法で合成してシリコン含有量を４　ｐ
ｐｍ以下としたトリエチルアルミニウムとハロゲン化イ
ンジウムとを反応させる方法が提案されている（特開昭
５０−５３３３１号公報）。これは、高純度のハロゲン
化インジウム１モルに対して前記トリエチルアルミニウ
ム３〜４モルを溶媒の存在下に０〜１５０℃の温度で交
換反応させ、これに塩化カリウムや弗化ナトリウムを添
加して副生ジエチルアルミニウムハライドを錯体として
固定し、真空蒸留により精留する方法である。

［発明が解決しようとする問題点コ しかしながら、上記方法では１反応生成物中にトリエチ
ルアルミニウムが未反応物として残存する。ところで、
トリエチルインジウムはトリエチルガリウムとは異なっ
て、トリエチルアルミニウムと沸点が極めて近接してお
り、しかも分解温度が低いため高度な真空下での蒸留を
必要とすることと相まって分留時の沸点差がさらに小さ
くなる。このため真空蒸留によりトリエチルアルミニウ
ムの残存量を下げるには１反応の際にハロゲン化インジ
ウムを量論比に対し著しく多くして未反応のトリエチル
アルミニウムをできるだけ減少させるとともに、蒸留の
際に蒸留釜残として多量のトリエチルインジウムをトリ
エチルアルミニウムとともに残存させておく必要がある
。従って、高純度のトリエチルインジウムを得るには、
その収率を極端に落さなければならず、製造効率が悪い
という欠点があった。

本発明者は、かかる問題を解決するために、鋭意、検討
した結果、１へリアルキルアルミニウムを含むトリアル
キルインジウムにアルコールを添加すると、トリアルキ
ルアルミニウムがアルコキシアルミニウムとして固定さ
れ、真空蒸留によりファイブナイン以上の高純度のトリ
アルキルインジウムが得られることを見い出した。

この発明は、かかる知見に基づいてなされたもので、こ
の発明の目的は、高収率で、効率良く高純度のトリアル
キルインジウムを製造するための精製方法を提供するこ
とにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するための手段としてのこの発明は、
トリアルキルアルミニウムを含有するトリアルキルイン
ジウムにアルコールを添加し、蒸留分離して精製するこ
とからなる。

本発明の出発原料であるトリアルキルインジウムは、こ
れに含まれるトリアルキルアルミニウムの量が、少なけ
れば少ないほど精製により。

より高純度のトリアルキルインジウムを得ることができ
る。しかし、前記従来技術に記載したハロゲン化インジ
ウム、例えば、塩化インジウム、臭化インジウム、沃化
インジウム等と、トリアルキルアルミニウムとの交換反
応後、真空蒸留して得られたものは、反応或いは蒸留条
件にもよるが、トリアルキルアルミニウムの含有量が５
％以上に達するものもあるが、かかる高含有量のもので
も充分にファイブナイン以上の高純度のトリアルキルイ
ンジウムを得ることができる。

尚、本発明で用いられるトリアルキルインジウム或いは
トリアルキルアルミニウム化合物のアルキル基は、メチ
ル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブ
チル等が好ましい。

本発明においては、上記化合物にアルコールを添加し、
トリアルキルアルミニウムと反応させ、これをアルミニ
ウムアルコラードに変えるが、このときのアルコールと
しては、メチルアルコール、エチルアルコール、プロプ
ルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコ
ール、イソブチルアルコール及び炭素数５〜１０の脂肪
族炭化水素からなるアルコール等のいずれか、或いは、
これらの混合物を用いることできる。この場合のアルコ
ールの添加量は、混入しているトリアルキルアルミニウ
ムの量により決められ、混入トリアルキルアルミニウム
１モルに対し１〜５モルの範囲で適宜選定することが好
ましい。１モル以下の添加では、混入したトリアルキル
アルミニウムを充分に除くことができず、また５モル以
上としても、添加量の増加の割には除去の効果が上がら
ないためである。

上記トリアルキルアルミニウムとアルコールとの反応は
、一般に、０〜１５０℃の温度範囲で、また常圧下、必
要ならば加圧下或いは減圧下で行なうことができる。こ
の反応の速度は。

比較的速いため、反応時間は、１０分〜２時間程度とれ
ば充分である。

反応終了後に、蒸留により、トリアルキルインジウムを
留出させて回収するが、この化合物は分解温度が比較的
低いため、真空蒸留とすることが好ましい。この蒸留条
件は、アルキル基の種類、すなわち、化合物の沸点と分
解温度を勘案して適宜選定される。この蒸留において。

アルミニウムアルコラードは釜残として残留し、ファイ
ブナイン以上の高純度のトリアルキルインジウムが留分
として得られる。

［実施例］ （実施例１） パイレックス製反応装置に乾燥した純度８９゜０％の塩
化インジウム１８．５ｇ（０，０８モ／Ｌ／）を入れ、
ｎ−ヘキサン４０ｍ１を加えた。これに、純度９３．４
．％のトリエチルアルミニウム３５耐を３０分間かけて
滴下し、さらに３０分撹拌後、乾燥した塩化カリウム６
４．２ｇを加え、さらに９０℃の温度で、３０分間撹拌
、還流した。次に、常温で、真空蒸留してｎ−ヘキサン
を留去した後、加熱し、１７ｍｍＨｇで蒸留し、９５〜
１１０’Ｃの留分を１２．５ｇ得た。この留分を誘導結
合高周波プラズマ（ＩＣＰ）を用いた原子発光法により
分析した結果、アルミニウムはインジウムに対し３．９
％含まれていた。

この留分１２．２ｇに高純度キシレン１１０ｍ１加えた
後、高純度エチルアルコール３ｍｌを加えて、３０分間
撹拌した。室温、１７＋＋＋＋＋＋Ｈｇで真空蒸留して
キシレンを留去した後、加熱し、９５〜１１０℃の留分
を５．４ｇ得た。この留分を上記と同様の原子吸光法に
より分析した結果、アルミニウムは４４ｐｐｍであった
。

（比較例１） 実施例１の後段のエチルアルコールを加えて反応させる
ことはせずに、そのまま真空蒸留を行なった以外は、実
施例１とまったく同様の操作を行なった結果１、最終留
分中のアルミニウムは、インジウムに対し２．８％であ
った。

（実施例２） 実施例１と同様の条件でトリエチルアルミニウム３７ｍ
１（０，２７モル）に塩化インジウム１９．３７ｇ（０
，０８モル）をｎ−ヘキサン４０＋＋＋１に溶解した液
を滴下して反応を行なわせ、真空蒸留し留分を採取した
。次いで、この留分に塩化カリウム８．６４ｇ及び９．
６１を添加して実施例１と同様に撹拌し、真空蒸留して
、９５〜１１０℃の留分を１２．５８ｇ得た。この留分
を分析した結果、アルミニウムはインジウムに対し４．
２％含まれていた。

この留分１１．４ｇに高純度キシレン１１０ｍ１を加え
た後、高純度メチルアルコール１．５ｍｌを加え、１０
分間撹拌した。次いで、実施例１と同様に真空蒸留し、
９５〜１１０℃の留分を１０．３ｇ得た。この留分を原
子吸光法により分析した結果、アルミニウムは３０ｐｐ
ｍであった。

（比較例２） 実施例２の後段のメチルアルコールを加えて反応させる
ことはせずに、そのまま真空蒸留を行なった以外は、実
施例２とまったく同様の操作を行なった結果、最終留分
中のアルミニウムは、インジウムに対し３．４％であっ
た。

［発明の効果］ 本発明は、アルコールを添加して、未反応残留分あるト
リエチルアルミニウムをアルミニウムアルコラードとし
て固定し、蒸留分離して精製するため、高収率で、効率
良く高純度のトリアルキルインジウムを製造できるとい
う格別の効果を奏する。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）トリアルキルアルミニウムを含有するトリアルキ
   ルインジウムにアルコールを添加し、蒸留分離すること
   を特徴とするトリアルキルインジウムの精製方法。
2. （２）トリアルキルアルミニウムを含有するトリアルキ
   ルインジウムが、ハロゲン化インジウムとトリアルキル
   アルミニウムとの交換反応により生成させ、これを蒸留
   分離して得られたものであることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のトリアルキルインジウムの精製方法
   。
3. （３）トリアルキルインジウムが、トリエチルインジウ
   ムであることを特徴とする特許請求の範囲第１項及び第
   ２項記載のトリアルキルインジウムの精製方法。