JPH01267517A - カラー液晶表示装置用電極板 - Google Patents
カラー液晶表示装置用電極板Info
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- JPH01267517A JPH01267517A JP63096206A JP9620688A JPH01267517A JP H01267517 A JPH01267517 A JP H01267517A JP 63096206 A JP63096206 A JP 63096206A JP 9620688 A JP9620688 A JP 9620688A JP H01267517 A JPH01267517 A JP H01267517A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー液晶表示装置用電極板に関するもので
ある。
ある。
従来のカラー液晶表示装置には、液晶層を介して対向す
る一対の透明基板のいづれか一方の透明基板の液晶層側
の面に１Ｔｏ膜などからなる透明電極を形成し、この透
明電極上に複数のカラーフィルターを所定のパターンで
配置したものと、上記透明基板の液晶層側の面に上記カ
ラーフィルターを同様に配置し、これらのカラーフィル
ター上に保護膜を介して透明電極膜を形成したものとが
ある。
る一対の透明基板のいづれか一方の透明基板の液晶層側
の面に１Ｔｏ膜などからなる透明電極を形成し、この透
明電極上に複数のカラーフィルターを所定のパターンで
配置したものと、上記透明基板の液晶層側の面に上記カ
ラーフィルターを同様に配置し、これらのカラーフィル
ター上に保護膜を介して透明電極膜を形成したものとが
ある。
従来技術の、前者の場合ξ４°高次マルティプンックス
駆動の際、電気光学特性におい兄カラーフィルター層の
容量成分により、急峻性の低下と駆動電圧の上昇が生じ
るので、実用上後者の方が望ましい、が、後者の場合で
も各カラーフィルター間で透明電極膜が凹凸部を形成し
ているため、透明電極形成の際に、前記の凹部の電極パ
′ターン精度が低下したり、配向不良が生じる欠点があ
る。
駆動の際、電気光学特性におい兄カラーフィルター層の
容量成分により、急峻性の低下と駆動電圧の上昇が生じ
るので、実用上後者の方が望ましい、が、後者の場合で
も各カラーフィルター間で透明電極膜が凹凸部を形成し
ているため、透明電極形成の際に、前記の凹部の電極パ
′ターン精度が低下したり、配向不良が生じる欠点があ
る。
この対策として、カラーフィルターを被うため、スピン
コータ及びロールコータ等を用いテ、有機高分子膜から
なる保護膜を形成する方法もあるが、透明電極膜を形成
する際に使用するエツチング液やレジスト剥離液等によ
り上記保護膜が部分的に剥離したりすることにより染色
層へのダメージ（脱色等）が生じる欠点がある。
コータ及びロールコータ等を用いテ、有機高分子膜から
なる保護膜を形成する方法もあるが、透明電極膜を形成
する際に使用するエツチング液やレジスト剥離液等によ
り上記保護膜が部分的に剥離したりすることにより染色
層へのダメージ（脱色等）が生じる欠点がある。
一方、蒸着法やスパッタ法及びプラズマＯｖＤ法で形成
した無機薄膜をカラーフィルターの保護膜として用いた
場合は、耐酸、耐アルカリ及び耐溶剤性に富み、透明電
極膜との密着性は良好であるが薄膜ゆえに、カラーフィ
ルター表面の凹凸を埋めることはできない。
した無機薄膜をカラーフィルターの保護膜として用いた
場合は、耐酸、耐アルカリ及び耐溶剤性に富み、透明電
極膜との密着性は良好であるが薄膜ゆえに、カラーフィ
ルター表面の凹凸を埋めることはできない。
また、有機高分子膜と無機簿膜との組み合せによるカラ
ーフィルターを被う耐酸、耐アルカリ及び耐溶剤性に富
む平担な保護膜を形成した場合、実装端子部にも有機高
分子膜が形成されているため実装時に透明電極膜の断線
等、取り扱いキズ等による歩留シ低下が生じる欠点があ
った。
ーフィルターを被う耐酸、耐アルカリ及び耐溶剤性に富
む平担な保護膜を形成した場合、実装端子部にも有機高
分子膜が形成されているため実装時に透明電極膜の断線
等、取り扱いキズ等による歩留シ低下が生じる欠点があ
った。
この発明は以上の事情を鑑みなされたもので、その主要
な目的は、感光性有機高分子膜と無機薄膜の組み合せに
よりシール部及び実装端子部から有機高分子膜を取り除
き、カラーフィルター形成部を被う耐酸、耐アルカリ及
び耐溶剤性に富む平担な保護膜を形成し、良好な液晶配
向を有する表示信頼性及び実装信頼性の高いカラー液晶
表示装置用電極板を提供することができる。
な目的は、感光性有機高分子膜と無機薄膜の組み合せに
よりシール部及び実装端子部から有機高分子膜を取り除
き、カラーフィルター形成部を被う耐酸、耐アルカリ及
び耐溶剤性に富む平担な保護膜を形成し、良好な液晶配
向を有する表示信頼性及び実装信頼性の高いカラー液晶
表示装置用電極板を提供することができる。
本発明は、液晶層を介して対向する一対の透明基板とこ
の一方の透明基板の液晶層側に所定の多数色のパターン
で配置された複数のカラーフィルターを備えたカラー液
晶表示装置において、カラーフィルターが配置された透
明基板に、カラーフィルターを被うよ５な透明な感光性
有機高分子膜、無機薄膜及び透明電極膜とがこの順に積
層されるとともに、シール部及び実装端子部には前記感
光性有機高分子膜が形成されていない構造のカラー液晶
表示装置用電極板であることを特徴とする前記感光性有
機高分子膜は、たとえば感光性アクリル樹脂ＪＭＯ−２
５，，ＴＭＯ−２５Ｔ（日本合成ゴム（株））、感光性
合成ゼラチン樹脂ＲＷ−１０１（ｌ水ファインケミカル
（株） ） 、フォトニース（東し）等からなり、カラ
ーフィルター上にスピンコータ、ロールコータ等で塗布
し、プレキュア−後所定のフォトマスクを用いて露光。
の一方の透明基板の液晶層側に所定の多数色のパターン
で配置された複数のカラーフィルターを備えたカラー液
晶表示装置において、カラーフィルターが配置された透
明基板に、カラーフィルターを被うよ５な透明な感光性
有機高分子膜、無機薄膜及び透明電極膜とがこの順に積
層されるとともに、シール部及び実装端子部には前記感
光性有機高分子膜が形成されていない構造のカラー液晶
表示装置用電極板であることを特徴とする前記感光性有
機高分子膜は、たとえば感光性アクリル樹脂ＪＭＯ−２
５，，ＴＭＯ−２５Ｔ（日本合成ゴム（株））、感光性
合成ゼラチン樹脂ＲＷ−１０１（ｌ水ファインケミカル
（株） ） 、フォトニース（東し）等からなり、カラ
ーフィルター上にスピンコータ、ロールコータ等で塗布
し、プレキュア−後所定のフォトマスクを用いて露光。
現像、リンス処理を経て゛、ポストキュアー後所定のパ
ターン塗膜面の硬化、形成される。
ターン塗膜面の硬化、形成される。
一方、無機薄膜としては、酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）、窒
化ケイ素（’Ｓ ｔ Ｎ ｘ ） ｐ 酸化アルミナ（
Ａｔ、Ｏ，） 等が好ましく、ＫＢ蒸着法、スパッタ
法及びプラズマＯＶＤ法等により形成される。
化ケイ素（’Ｓ ｔ Ｎ ｘ ） ｐ 酸化アルミナ（
Ａｔ、Ｏ，） 等が好ましく、ＫＢ蒸着法、スパッタ
法及びプラズマＯＶＤ法等により形成される。
また、透明ＩＥ電極膜、無機薄膜面に、低温スパッタや
イオンブレーティング等で形成され、パターン化するこ
とにより透明電極が形成される。
イオンブレーティング等で形成され、パターン化するこ
とにより透明電極が形成される。
（実施例１）
第１図においてカラー液晶表示装置１０は、液晶層１１
を介して上下に対向する一対の透明ガラス基板１，２と
、この下側の透明ガラス基板２の上面に所定のＲＧＢに
配置された複数のカラーフィルター５と各カラーフィル
ターを被うように感光性アクリル系樹脂高分子膜６．酸
化ケイ素（Ｓｉｎ、）薄膜７及び透明電極（工Ｔｏ）膜
８の順に積層されており、ざらに配向膜９が形成されて
いる。また、上側の透明ガラス基板１の下面には、透明
電極（工Ｔｏ）膜３及び配向膜４とから主として構成さ
れる。 ′ カラーフィルター付透明ガラス基板に、全面感光性アク
リル系樹脂高分子膜６を０４μｍ厚みとなる様にスピン
フートし、プレキュアー後、所定のフォトマスクを用い
てｔｙｖｉｉ光、現像、リンス処理し、シール部及び実
装端子部から感光性アクリル系樹脂高分子膜６を除去し
、ボストキエアーにより塗膜面を熱硬化した。この時に
、有機高分子膜の薄い被膜が形成されるため、この薄い
有機高分子膜を除去するため０２プラズマ処理を行なっ
た。
を介して上下に対向する一対の透明ガラス基板１，２と
、この下側の透明ガラス基板２の上面に所定のＲＧＢに
配置された複数のカラーフィルター５と各カラーフィル
ターを被うように感光性アクリル系樹脂高分子膜６．酸
化ケイ素（Ｓｉｎ、）薄膜７及び透明電極（工Ｔｏ）膜
８の順に積層されており、ざらに配向膜９が形成されて
いる。また、上側の透明ガラス基板１の下面には、透明
電極（工Ｔｏ）膜３及び配向膜４とから主として構成さ
れる。 ′ カラーフィルター付透明ガラス基板に、全面感光性アク
リル系樹脂高分子膜６を０４μｍ厚みとなる様にスピン
フートし、プレキュアー後、所定のフォトマスクを用い
てｔｙｖｉｉ光、現像、リンス処理し、シール部及び実
装端子部から感光性アクリル系樹脂高分子膜６を除去し
、ボストキエアーにより塗膜面を熱硬化した。この時に
、有機高分子膜の薄い被膜が形成されるため、この薄い
有機高分子膜を除去するため０２プラズマ処理を行なっ
た。
次に１低温高速スパツタ装置で、９９．９９％のＳｉｎ
、ターゲットを用いてＡｒガス雰囲気中にて、全面をス
パッタし８００〜１２５０オングストロームの８１０．
としてのパシベーション膜７を形成した。更に、同一真
空下で、工ＴＯターゲットを用いて、Ａｒ、０２ガス雰
囲気中にて全面をスパッタし１０００オングストローム
の透明電極膜を形成した。
、ターゲットを用いてＡｒガス雰囲気中にて、全面をス
パッタし８００〜１２５０オングストロームの８１０．
としてのパシベーション膜７を形成した。更に、同一真
空下で、工ＴＯターゲットを用いて、Ａｒ、０２ガス雰
囲気中にて全面をスパッタし１０００オングストローム
の透明電極膜を形成した。
次に、フォトレジスト０ＩＦＰＲ−８００を用いて透明
電極膜をパターニングし、シール部及び実装端子部から
感光性有機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装
置用電極板を形成することにより、良好な液晶配向を有
する表示信頼性と実装信頼性が高いことが確認されてい
る。
電極膜をパターニングし、シール部及び実装端子部から
感光性有機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装
置用電極板を形成することにより、良好な液晶配向を有
する表示信頼性と実装信頼性が高いことが確認されてい
る。
（実施例２）
カラーフィルター付透明ガラス基板に、全面感光性合成
ゼラチン樹脂高分子膜６を０．５〜α７μｍ厚みとなる
様にスピンフートし、プレキュア−後、所定の７オトマ
スクを用いてＵＶＩ光、現像、リンス処理により、シー
ル部及び実装端子部から感光性合成ゼラチン樹脂高分子
膜６を除去後、ボストキュアー処理により塗膜面を熱硬
化処理した。
ゼラチン樹脂高分子膜６を０．５〜α７μｍ厚みとなる
様にスピンフートし、プレキュア−後、所定の７オトマ
スクを用いてＵＶＩ光、現像、リンス処理により、シー
ル部及び実装端子部から感光性合成ゼラチン樹脂高分子
膜６を除去後、ボストキュアー処理により塗膜面を熱硬
化処理した。
次に、低温高速スパッタ装置で、９９９９％の８１０、
ターゲットを用いてＡｒガス雰囲気中にて、全面スパッ
タし８００〜１０００オンゲストｏ −ムノＳ ｉ Ｏ
！としてのパシベーションｇ７を形成した。更に、同一
真空下で工ＴＯターゲットを用いて、Ａｒ、ＯＨガス雰
囲気中にて全面をスパッタし１０００オングストローム
の透明ｉｓ膜を形成した。
ターゲットを用いてＡｒガス雰囲気中にて、全面スパッ
タし８００〜１０００オンゲストｏ −ムノＳ ｉ Ｏ
！としてのパシベーションｇ７を形成した。更に、同一
真空下で工ＴＯターゲットを用いて、Ａｒ、ＯＨガス雰
囲気中にて全面をスパッタし１０００オングストローム
の透明ｉｓ膜を形成した。
次に、フォトレジスト０ＦＰＲ−８００を用いて透明電
極膜をパターニングし、シール部及び実装端子部から感
光性有機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置
用１に極板を形成することにより、良好な液晶配向を有
する表示信頼性と実装信頼性が高いことが確認されてい
る。
極膜をパターニングし、シール部及び実装端子部から感
光性有機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置
用１に極板を形成することにより、良好な液晶配向を有
する表示信頼性と実装信頼性が高いことが確認されてい
る。
以上のように本発明は、カラーフィルター上に感光性有
機高分子膜を形成し、カラーフィルター表面の凹凸をな
くす平担化膜として用いるとともに、感光性有機高分子
膜を所定のパターン化により、シール部及び実装端子部
から平担化膜を除去した構造にすることにより、耐薬品
性や実装信頼性を付与し、カラーフィルター上の透明電
極によりきわめて良好な駆動条件となり表示品質の向上
をもたらした。
機高分子膜を形成し、カラーフィルター表面の凹凸をな
くす平担化膜として用いるとともに、感光性有機高分子
膜を所定のパターン化により、シール部及び実装端子部
から平担化膜を除去した構造にすることにより、耐薬品
性や実装信頼性を付与し、カラーフィルター上の透明電
極によりきわめて良好な駆動条件となり表示品質の向上
をもたらした。
第１図は、本発明のカラー液晶表示装置用電極板を採用
したカラー液晶表示装置の模式断面図、第２図は、従来
のカラー液晶表示装置用？！！極板を用いたカラー液晶
表示装置の模晟断面図である。 １．２・・・・・・透明ガラス基板 ６．８・・・・・・透明電極膜 ５．２５・・・カラーフィルター層 ６・・・・・・・・・・・・感光性有機高分子膜７．２
７・・・無機薄膜 ４１９１２４．２９・・・配向膜 １０．５０・・・カラー液晶表示装置 １１．５１・・・液晶層 ２６・・・・・・・・・・・・有機高分子膜１２．３２
・・・シール剤 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
したカラー液晶表示装置の模式断面図、第２図は、従来
のカラー液晶表示装置用？！！極板を用いたカラー液晶
表示装置の模晟断面図である。 １．２・・・・・・透明ガラス基板 ６．８・・・・・・透明電極膜 ５．２５・・・カラーフィルター層 ６・・・・・・・・・・・・感光性有機高分子膜７．２
７・・・無機薄膜 ４１９１２４．２９・・・配向膜 １０．５０・・・カラー液晶表示装置 １１．５１・・・液晶層 ２６・・・・・・・・・・・・有機高分子膜１２．３２
・・・シール剤 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (3)
- （１）液晶層を介して対向する一方の透明基板とこの一
方の透明基板の液晶層側の面に所定の多数色のパターン
で配置された複数のカラーフィルターを備えたカラー液
晶表示装置において、カラーフィルターを被うような透
明な感光性有機高分子膜、無機薄膜及び透明電極膜がこ
の順に積層され、かつ、シール部及び実装端子部から有
機高分子膜を除去したことを特徴とするカラー液晶表示
装置用電極板。 - （２）感光性有機高分子膜が感光性アクリル系樹脂もし
くは、感光性ポリイミド樹脂及び感光性合成ゼラチン樹
脂からなる請求の範囲第１項記載のカラー液晶表示装置
用電極板。 - （３）無機薄膜が酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）、窒化ケイ素
（ＳｉＮｘ）もしくは酸化アルミニウム等からなりその
膜厚が１００〜３０００オングストローム程度である請
求の範囲第１項記載のカラー液晶表示装置用電極板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63096206A JPH01267517A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63096206A JPH01267517A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01267517A true JPH01267517A (ja) | 1989-10-25 |
Family
ID=14158793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63096206A Pending JPH01267517A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01267517A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997026583A1 (en) * | 1996-01-18 | 1997-07-24 | Flat Panel Display Co. (Fpd) B.V. | Display device |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP63096206A patent/JPH01267517A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997026583A1 (en) * | 1996-01-18 | 1997-07-24 | Flat Panel Display Co. (Fpd) B.V. | Display device |
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