JPH01262399A - マルチチヤンネル型真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、核融合装置等に適用するマルチチャンネル型
真空ポンプに関するものである。

（従来の技術） 従来の核融合装置用真空ポンプを第５図に示した。（０
１）がターボ分子ポンプ、　（０２）が回転ポンプ。

（０１４ａ）がターボ分子ポンプ（Ｏｌ）の上部ケーシ
ング、　（０１４ｂ）が回転ポンプ（０２）の上部ケー
シング、゛（０１４ｃ）がターボ分子ポンプ（０１）及
び回転ポンプ（０２）に共通の下部ケーシングである。

まずターボ分子ポンプ（Ｏｌ）について説明すると。

（Ｏｌａ）が回転体、　（Ｏｌｂ）が同回転体（Ｏｌａ
）の上部に設けた多段の動翼、　（Ｏｌｅ）が上記多段
の動翼（Ｏｌｂ）に対向して上記上部ケーシング（０１
４ａ）の内壁面に固定した多段の静翼、　（０３）が上
記回転体（Ｏｌａ）を取り囲んで上記上部ケーシング（
０１４ａ）と上記下部ケーシング（０１４ｃ）とに仕切
る非接触シール、　（０４）が上記下部ケーシング（０
１４ｃ）の内壁面に取付けた上部ラジアル気体軸受、　
（０６）が同上部ラジアル気体軸受（０４）よりも下方
の上記下部ケーシング（０１４Ｃ）の内壁面に取付けた
下部ラジアル気体軸受、（０５）が上記回転体（０１ａ
　）の下端部に固定した気体タービン、　（０５ａ）が
上記下部ケーシング（０１４ｃ）の下部壁を貫通して同
気体タービン（０５）に開口した駆動用気体供給口、　
（０７）（０７）が同気体タービン（０５）に対向して
上記下部ケーシング（０１４ｃ）の下部内壁面に取付け
た最下部のスラスト気体軸受で１回転体（Ｏｌａ）が上
部ラジアル気体軸受（０４）と下部ラジアル気体軸受（
０６）と最下部のスラスト気体軸受（０７）　（０７）
とにより回転可能に支持されている。また（０８）が上
記下部ケーシング（０１４ｃ）の最下部壁に設けた支承
用気体供給口で、上記各部分のうち９回転部分がセラミ
ックスにより構成されている。

次に回転ポンプ（０２）について説明すると、　（０２
ａ）が回転体、　（０２ｂ）　（０２ｃ）が内周面にね
じ溝を設けた静止中空体で、同静止中空体（０２ｂ）　
（０２ｃ）が上記上部ケーシング（０１４ｂ）の内壁面
に固定され、上記回転体（０２ａ）が同静止中空体（０
２ｂ）　（０２ｃ）内に回転可能に嵌挿されている。ま
た（０９）が上記下部ケーシング（０１４ｃ）の内壁面
に取付けた上部ラジアル気体軸受、（０１１）が同上部
ラジアル気体軸受（０９）よりも下方の上記下部ケーシ
ング（０１４ｃ）の内壁面に取付けた下部ラジアル気体
軸受、　（０１０）が上記回転体（０２ａ）の下端部に
固定した気体タービン、　（０１２）　（０１２）が同
気体タービン（０１０）に対向して上記下部ケーシング
（０１４ｃ）の下部内壁面に取付けた最下部のスラスト
気体軸受で１回転体（０２ａ）が上部ラジアル気体軸受
（０９）と下部ラジアル気体軸受（０１１）と最下部の
スラスト気体軸受（０１２）　（０１２）とにより回転
可能に支持されている。また（０１０ａ）が上記気体タ
ービン（０５）と上記気体タービン（０１０）とを連絡
する送気通路、　（０１５）が上記上部ラジアル気体軸
受（０４）の直上の回転体（Ｏｌａ）の周りと上記静止
中空体（０２ｃ）の直上の回転体（０２ａ）の周りとを
連絡する送気通路で、上記各部分のうら１回転部分がセ
ラミックスにより構成されている。

次に前記第５図に示す核融合装置用真空ポンプの作用を
説明する。支承用気体（８１）を支承用気体供給口（０
８）からターボ分子ポンプ（０１）のラジアル気体軸受
（０４）　（０６）及びスラスト気体軸受（０７）　（
０７）と１回転ポンプ（０２）のラジアル気体軸受（０
９）　（０１１）及びスラスト気体軸受（０１２）　（
０１２）とに送って。

ターボ分子ポンプ（０１）の回転体（Ｏｌａ）と回転ポ
ンプ（０２）の回転体（０２ａ）とを回転可能に支承す
る。

また駆動用気体（−）を駆動用気体供給口（０５ａ）か
ら気体タービン（０５）へ送って、高真空域で排気能力
を存するターボ分子ポンプ（０１）の回転体（Ｏｌａ）
と多段の動翼（Ｏｌｂ）とを高速回転させる一方、駆動
用気体（ｃ　ｌ）を気体タービン（０５）部から送気通
路（０１０ａ）を経て気体タービン（０１０）へ送って
、低真空域で排気能力を有する回転ポンプ（０２）の回
転体（０２ａ）を高速回転させ、ターボ分子ポンプ（０
１）の吸気口側の気体を矢印（八〇−（＾２）−（＾３
）方向に排気して、ターボ分子ポンプ（Ｏｌ）の吸気口
側を高真空にする。このとき９回転ポンプ（０２）の排
気口側では、大気圧近傍の圧力で排気している。

（発明が解決しようとする課題） 前記第５図に示す従来の核融合装置用真空ポンプでは、
　（Ｉ）ターボ分子ポンプ（Ｏｌ）の回転部分をセラミ
ックス（耐磁堪性、耐熱性、耐食性に優れているが、脆
性材料のセラミックス）により構成しており１回転強度
上、及び部材の成形、焼成上から多段の動翼（Ｏｌｂ）
を大型化するのが困難で。

高真空域において排気能力を増大させるのに限界があっ
た。（ＴＩ）支承用気体供給口（０８）からターボ分子
ポンプ（０１）のラジアル気体軸受（０４）　（０６）
及びスラスト気体軸受（０７）　Ｃ０７）と１回転ポン
プ（０２）のラジアル気体軸受（０９）　（０１１）及
びスラスト気体軸受（０１２）　（０１２）とに送られ
た支承用気体（Ｂυが下部ゲージング（０１４ｃ）外へ
排出されるので、真空ポンプ内にある放射性気体も支承
用気体（Ｂ、）とともに外部へ排出される可能性があっ
た。（［［）ターボ分子ポンプ（Ｏｌ）及び回転ポンプ
（０２）の回転部分を脆性材料のセラミックスにより構
成しており。

回転部分を金属材料により構成した真空ポンプに比べる
と、破壊される確率が高く１回転部分が破壊されると、
ケーシング（０１４ａ）　（Ｏ１４ｂ）も破壊されて、
真空ポンプ内の放射性気体が外部へ放出されてしまう危
険性があった。（１ｙ）また上部から吸気しているため
、異物が真空ポンプ内へ侵入して。

性能が低下するという問題があった。

本発明は前記の問題点に鑑み提案するものであり、その
目的とする処は、核融合装置等で必要としている大排気
速度が得られて、高真空域から吸気した気体を大気圧近
傍まで昇圧できる。また回転部分の破壊及び放射性気体
の外部への排出を防止できて、安全性を向上できる。さ
らに大排気速度から小排気速度まで任意の排気速度で運
転できて、負荷の変化に対応できるマルチチャンネル型
真空ポンプを提供しようとする点にある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために１本発明のマルチチャンネル
型真空ポンプは、吸気口を設けた外部ケーシングの内部
に複数の真空ポンプユニットを並べて配設し、同各真空
ポンプユニットのそれぞれを、ユニット用内部ケーシン
グと、同ユニット用内部ケーシング内に下方に吸気口を
設けて設置したポンプ要素とにより構成し、同ポンプ要
素を。

回転体と同回転体を回転可能に支持する気体軸受と同回
転体に設けた多段の動翼と同回転体に設けた回転体駆動
用気体タービンと同各部分を取り囲む円筒体とを有する
ターボ分子ポンプと１回転体と内周面にねじ溝を設けた
静止中空体と同回転体を同静止中空体内に回転可能に支
持する気体軸受と同回転体に設けた回転体駆動用気体タ
ービンと同各部分を取り囲む円筒体とを有する回転ポン
プと、上記ターボ分子ポンプ及び上記回転ポンプの気体
タービンへ駆動用気体を供給する駆動用気体供給管路と
、上記ターボ分子ポンプ及び上記回転ポンプの気体軸受
へ回転体支承用気体を供給する支承用気体供給管路と、
上記ターボ分子ポンプからの排気を上記回転ポンプの吸
気口へ導く送気管路と、上記回転ポンプからの排気を外
部管路へ導く一方の排気管路と、上記ターボ分子ポンプ
及び上記回転ポンプの気体タービン及び気体軸受からの
排気を外部管路へ導く他方の排気管路とにより構成して
いる。

また本発明は、前記マルチチャンネル型真空ポンプにお
いて９回転体とユニット用内部ケーシングとにより形成
される空間部若しくはユニット用内部ケーシングと外部
ケーシングとにより形成される空間部に放射線巡蔽材を
充填している。

（作用） 本発明のマルチチャンネル型真空ポンプは前記のように
構成されており、支承用気体供給管路からターボ分子ポ
ンプ及び回転ポンプの気体軸受へ回転体支承用気体を供
給して、ターボ分子ポンプの回転体と多段の動翼、及び
回転ポンプの回転体を回転可能に支承し、また駆動用気
体供給管路からターボ分子ポンプ及び回転ポンプの気体
タービンへ駆動用気体を供給して、高真空域で排気能力
を有するターボ分子ポンプの回転体と多段の動翼とを高
速回転させる一方、低真空域で排気能力を有する回転ポ
ンプの回転体を高速回転させ、ターボ分子ポンプの吸気
口側の気体をターボ分子ボンブー送気管路一回転ポンプ
ー一方の排気管路−外部管路へ排気して、ターボ分子ポ
ンプの吸気口側を高真空にするとともに１回転ポンプの
排気口側を大気圧近傍の圧力にする。このとき、ターボ
分子ポンプ及び回転ポンプの気体タービン及び気体軸受
からの排気を他方の排気管路を経て外部管路へ排気する
。以上の作用は、外部ケーシング内に設置された１つの
真空ポンプユニットについてであるが、外部ケーシング
内に設置された他の各真空ポンプユニットでも同様の作
用が行われる。

また放射性物質を取り扱うような場所において。

本発明のマルチチャンネル型真空ポンプを用いる場合に
は１回転体とユニット用内部ケーシングとにより形成さ
れる空間部若しくはユニット用内部ケーシングと外部ケ
ーシングとにより形成される空間部に放射線遮蔽材を充
填して、放射線等を遮蔽する。

（実施例） 次に本発明のマルチチャンネル型真空ポンプ（パラレル
マルチチャンネル型真空ポンプ）を核融合装置に適用し
た第１図乃至第４図に示す一実施例により説明する。ま
ずその全体を第１図乃至第４図により説明すると、（１
）がターボ分子ポンプ、（１４ａ＋）　（１４ａｚ）が
同ターボ分子ポンプ（１）の上下円筒体、　（１９）が
同ターボ分子ポンプ（１）の上下円筒体（１４ａ＋）　
（１４ａｚ）を取り囲むユニット用内部ケーシング、　
（１９ａ）が同ユニット用内部ケーシング（１９）の下
部に設けた吸気口、（２）が回転ポンプ、　（１４ｂ＋
）　（Ｎｂｚ）が同回転ポンプ（２）の上下円筒体で。

上記上下２段のユニット用内部ケーシング（１９）　（
２０）が組み付けられて、真空ポンプユニット（２６）
が構成されている。また（２７）が外部ケーシング、（
２７ａ）が同外部ケーシング（２７）の側面に設けた吸
気口で、複数個（本実施例の場合には１０個）の真空ポ
ンプユニット（２６）が同外部ケーシング（２７）内に
並べて配設されている。

次に前記真空ボンプユニツ）　（２６）の詳細を第１図
により説明する。

まずターボ分子ポンプ（１）について説明すると（ｌａ
）がターボ分子ポンプ（１）の回転体、　（ｌｂ）が同
回転体（１ａ）の下部に固定した多段の動翼、　（ｌｃ
）が同多段の動翼（ｌｂ）に対向して下部円筒体（１４
ａ＋）の内壁面に固定した多段の静翼、　（ｌｄ）が上
記回転体（１ａ）の上端部に固定した円板部、（３）が
上記回転体（１ａ）を取り囲んで下部円筒体（１４ａυ
と上部円筒体（１４ａｉ）とに仕切る非接触シール、（
４）が上記上部円筒体（１４ａｔ）の内壁面に取付けた
下部ラジアル気体軸受、（８ｂｌ）が上記上部円筒体（
１４ａｚ）壁を貫通して同下部ラジアル気体軸受（４）
に開口した支承用気体供給口、（６）が同下部ラジアル
気体軸受（４）よりも上方の上記上部円筒体（１４ａ２
）の内壁面に取付けた上部ラジアル気体軸受、（８ｂｚ
）が上記上部円筒体（１４ａｚ）壁を貫通して同上部ラ
ジアル気体軸受（６）に開口した支承用気体供給口、　
（５）　（５）が上記回転体（ｌａ）の中間部に固定し
た気体タービン、　（５ｂ＋）　（５ｂ＋）が上記上部
円筒体（ｔ４ａｚ）壁を貫通して同各気体タービン（５
）に開口したタービン駆動用気体供給口、（５ｂｚ）が
上記上部円筒体（１４ａｚ）壁を貫通して同上部円筒体
（１４ａｚ）外に開口した排気口、　（７）　（７）が
上記円板部（ｌｄ）に対向して上記上部円筒体（１４ａ
２）の下部内壁面に取付けた最上部のスラスト気体軸受
、　（８ｂｉ）が上記上部円筒体（１４ａ、）壁を貫通
して同最上部のスラスト気体軸受（７）に開口した支承
用気体供給口で１回転体（１ａ）が下部ラジアル気体軸
受（４）と上部ラジアル気体軸受（６）と最上部のスラ
スト気体軸受（７）　（７）とにより回転可能に支持さ
れている。また上記各部分がユニット用内部ケーシング
（１９）により取り囲まれて、上記各部分のうち１回転
部分がセラミックスにより構成されている。

次に回転ポンプ（２）について説明すると、　（２ａ）
が回転体、　（２ｂ）が内周面にねじ溝を設けた静止中
空体、　（２ｄ）が上記回転体（２ａ）の上端部に固定
した円板部で、同静止中空体（２ｂ）が上記下部円筒体
（１４ｂ、）の内壁面に固定され、上記回転体（２ａ）
が同静止中空体（２ｂ）内に回転可能に嵌挿されている
。また（９）が上記上部円筒体（１４ｂ、）の内壁面に
取付けた下部ラジアル気体軸受、（８ａｔ）が上記上部
円筒体（１４ｂｚ）壁を貫通して同下部ラジアル気体軸
受（９）に開口した支承用気体供給口、　（１１）が同
下部ラジアル気体軸受（９）よりも上方の上記上部円筒
体（１４ｂｚ）の内壁面に取付けた上部ラジアル気体軸
受。

（８ａ−）が上記上部円筒体（１４ｂｚ）壁を貫通して
同上部ラジアル気体軸受（１１）に開口した支承用気体
供給口、　（１０）　（１０）が上記回転体（２ａ）の
中間部に固定した気体タービン、　（５ａ、）（５ａ１
）が上記上部円筒体（１４ｂ２）壁を貫通して同各気体
タービン（１ｏ）に開口した駆動用気体供給口、（５ａ
ｚ）　（５ａｚ）が上記上部円筒体（１４ｂｚ）壁を貫
通して同上部円筒体（１４ｂ２）外に開口した排気口、
　（１２）　（１２）が上記上部円筒体（１４ｂ２）の
上部内壁面に取付けた最上部のスラスト気体軸受、　（
８ａ＝）が上記上部円筒体（１４ｂ２）壁を貫通して同
最上部のスラスト気体軸受（１２）　（１２）に開口し
た支承用気体供給口で１回転体く２ａ）が下部ラジアル
気体軸受（９）と上部ラジアル気体軸受（１１）と最上
部のスラスト気体軸受（１２）　（１２）とにより回転
可能に支持されている。また上記各部分がユニット用内
部ケーシング（１９）により取り囲まれ３上記各部分の
うち２回転部分がセラミックスにより構成されている。

また第１図の（５ａ）　（５ｂ）が上記ターボ分子ポン
プ（１）及び上記回転ポンプ（２）の気体タービン（５
）（１０）へ駆動用気体を供給する駆動用気体供給管路
、　（２５）が同駆動用気体供給管路（５ａ）に設けた
自動弁で、同駆動用気体供給管路（５ａ）が上記各駆動
用気体供給口（５ａ＋）に連通し、同駆動用気体供給管
路（５ｂ）が上記各駆動用空気供給口（５ｂ＋）に連通
している。また（８ａ）　（８ｂ）が上記ターボ分子ポ
ンプ（１）及び上記回転ポンプ（２）の気体軸受へ回転
体支承用気体を供給する支承用気体供給管路、　（２５
ｂ）が同支承用気体供給管路（８ａ）に設けた自動弁で
。

同支承用気体供給管路（８ａ）が上記支承用気体供給口
（８ａ＋）　（８ａｚ）　（８ａ３）に連通し、同支承
用気体供給管路（８ｂ）が上記支承用気体供給口（８ｂ
、）　（８ｂｚ）　（８ｂ、）に連通している。また（
２Ｉ）が上記ターボ分子ポンプ（１）からの排気を上記
回転ポンプ（２）の吸気口へ導く送気管路、　（２２）
が非接触シール（３）とラジアル気体軸受（４）との間
の気体を上記回転ポンプ（２）へ導く送気管路、　（２
３）が上記回転ポンプ（２）からのυト気を外部管路へ
導く一方の排気管路。

（２５ｃ）が同排気管路（２３）に設けた自動弁、　（
２４）が上記ターボ分子ポンプ（１）の気体タービン（
５）及び気体軸受（４）　（６）　（７）と上記回転ポ
ンプ（２）の気体タービン（１０）及び気体軸受（９）
　（１１）　（１２）からの排気を外部管路へ導く他方
の排気管路、　（２５ｄ）が同排気管路（２４）に設け
た自動弁である。

また第１図乃至第４図の（２８）が上記外部ケーシング
（２７）の側面に設けた給気及び排気ユニットで。

同給気及び排気ユニッＩ−（２Ｂ）は、多層平板（２８
ａ）〜（２８ｅ）と、仕切り板（２９ａ）〜（２９ｃ）
と、上記駆動用気体供給管路（５ａ）　（５ｂ）に連通
した駆動用気体供給管路（３０）と、上記支承用気体供
給管路（８ａ）　（８ｂ）に連通した支承用気体供給管
路（３１）と、上記−方の排気管路（２３）に連通した
一方の排気管路（３２）と、上記他方の排気管路（２４
）に連通した他方の排気管路（３３）とにより構成され
ている。

次に前記第１図乃至第４図に示すマルチチャンネル型真
空ポンプ（パラレルマルチチャンネル型真空ポンプ）の
作用を具体的に説明する。支承用気体（Ｂ１）を給気及
び排気ユニツｌ−（２Ｂ）の支承用気体供給管路（３１
）から支承用気体供給管路（８ａ）−支承用気体供給口
（８ａ、）（８ａ、）　（８ａ、）一回転ポンプ（２）
のラジアル気体軸受（９）（１１）及びスラスト気体軸
受（１２）　（１２）へ送る（矢印（Ｂ　ｌ）　−（Ｂ
２）　−（Ｂｌ）参照）とともに、上記支承用気体供給
管路（８ａ）から支承用気体供給管路（８ｂ）−支承用
気体供給口（８ｂ＋）（８ｂｚ）　（８ｂ：＋）−ター
ボ分子ポンプ（１）のラジアル気体軸受（４）　（６）
及びスラスト気体軸受（７）　（７）へ送って（矢印（
Ｂ＋）−（Ｂｚ）　−（Ｂ４）参照）、ターボ分子ポン
プ（１）の回転体（１ａ）と回転ポンプ（２）の回転体
（２ａ）とを回転可能に支承する。また駆動用気体（Ｃ
１）を給気及び排気ユニツｌ−（２８）の駆動用気体供
給管路（３０）から駆動用気体供給管路（５ａ）−駆動
用気体供給口（５ａ＋）　（５ａ＋）一回転ポンプ（２
）の気体タービン（１０）へ送る（矢印（ｃ＋）　−（
ｃｚ）　−（ｔＬｚ）参照）とともに、上記駆動用気体
供給管路（５ａ）から駆動用気体供給管路（５ｂ）−駆
動用気体供給口（５ｂ１）（５ｂυ−ターボ分子ポンプ
（１）の気体タービン（５）へ送って（矢印（Ｃｔ）　
−（Ｃ２）　−（Ｃｔ）参照）、高真空域で排気能力を
有するターボ分子ポンプ（１）−の回転体（１ａ）と多
段の動翼（１ｂ）とを高速回転させるとともに、低真空
域で排気能力ををする回転ポンプ（２）の回転体（２ａ
）を高速回転させる。このとき、外部ケーシング（２７
）の吸気口（２７ａ）側の気体をターボ分子ポンプ（１
）−送気管路（２１）一回転ポンプ（２）−一方の排気
管路（２３）−給気及び排気ユニツｌ−（２８）の一方
の排気管路（３２）へ排気する（矢印（八、）　−（Ａ
、）　−（Ａ３）　−（Ａ４）　−（八、）−（八、）
容置０　とともに、非接触シール（３）とラジアル気体
軸受（４）との間の気体を送気管路（２２）を経て回転
ポンプ（２）へ送り、上記排気とともに一方の排気管路
（２３）−給気及び排気ユニツ）　（２Ｂ）の一方の排
気管路（３２）へ排気して、真空ボンプユニッｌ−（２
６）の吸気口（１９ａ）側を高真空にする。このとき９
回転ポンプ（２）の排気口側では、大気圧近傍の圧力で
排気している。また回転ポンプ（２）の気体軸受（９）
（１１）　（１２）　（１２）へ送った支承用気体、及
び同回転ポンプ（２）の気体タービン（１０）へ送った
駆動用気体を排気口（５ａｚ）　（５ａ２）から他方の
排気管路（２４）　−給気及び排気ユニツｌ−（２８）
の他方の排気管路（３３）へ排気する（矢印（ｏ＋）　
−（Ｄ３）　−（Ｄ４）参照）。またターボ分子ポンプ
（１）の気体軸受（４）　（６）　（７）　（７）へ送
った支承用気体、及び同ターボ分子ポンプ（１）の気体
タービン（５）へ送った駆動用気体を排気口（５ｂｚ）
　（５ｂＺ）から他方の排気管路（２４）→給気及び排
気ユニッ）　（２８）の他方の排気管路（３３）へ排気
する（矢印（Ｄ２）→（Ｄ、）→（Ｄ４）参照）。以上
の作用は。

外部ケーシング（２７）内に設置された１つの真空ポン
プユニット（２６）についてであるが、外部ケーシング
（２７）内に設置された他の各真空ポンプユニット（２
６）においても同様の作用が行われる。

また放射性物質を取り扱うような場所において。

本発明のマルチチャンネル型真空ポンプを用いる場合に
は、放射線遮蔽材例えば水を供給口（図示せず）から２
回転体（ｌａ）　（２ａ）とユニット用内部ケーシング
（１９）　（２０）とにより形成される空間部、若しく
はユニット用内部ケーシング（１９）　（２０）と外部
ケーシング（２７）により形成される空間部へ供給。

充填して、放射線等を遮蔽すると同時にこれらケーシン
グの冷却を行う。なおこの場合、排気口（５８ｘ）　（
５ｂｚ）は排気管路（図示せず）を介してユニット用内
部ケーシング（１９）　（２０）外の排気管路に接続さ
れる。

（発明の効果） 本発明のマルチチャンネル型真空ポンプは前記のように
吸気口を設けた外部ケーシングの内部に複数の真空ポン
プユニットを並べて配設し、同各真空ポンプユニットの
それぞれを、ユニット用内部ケーシングと、同ユニット
用内部ケーシング内に下方に吸気口を設けて設置したポ
ンプ要素とにより構成し、同ポンプ要素を９回転体と同
回転体を回転可能に支持する気体軸受と同回転体に設け
た多段の動翼と同回転体に設けた回転体駆動用気体ター
ビンと同各部分を取り囲む円筒体とををするターボ分子
ポンプと２回転体と内周面にねじ溝を設けた静止中空体
と同回転体を同静止中空体内に回転可能に支持する気体
軸受と同回転体に設けた回転体駆動用気体タービンと同
各部分を取り囲む円筒体とを有する回転ポンプと、上記
ターボ分子ポンプ及び上記回転ポンプの気体タービンへ
駆動用気体を供給する駆動用気体供給管路と、上記ター
ボ分子ポンプ及び上記回転ポンプの気体軸受へ回転体支
承用気体を供給する支承用気体供給管路と、上記ターボ
分子ポンプからの排気を上記回転ポンプの吸気口へ導く
送気管路と、上記回転ポンプからの排気を外部管路へ導
く一方の排気管路と、上記ターボ分子ポンプ及び上記回
転ポンプの気体タービン及び気体軸受からの排気を外部
管路へ導く他方の排気管路とにより構成しており、ター
ボ分子ポンプの脆性材料製動翼を小径化しても。

真空ポンプの全体としては、核融合装置等で必要として
いる大排気速度を得られて、高真空域から吸気した気体
を大気圧近傍まで昇圧できる。また上記のようにターボ
分子ポンプの脆性材料製動翼を小径化できるので、同動
翼の破壊を防止できる上に、異物の混入を防止できて、
マルチチャンネル型真空ポンプの安全性を向上できる。

また動翼が万一破壊しても、その周りにユニット用内部
ケーシングがあって、動翼の破片を隣接する真空ポンプ
ユニットへ飛散させない。しかも各真空ポンプユニット
を外部ケーシングにより取り囲んでいるので、放射性気
体の外部への放出を防止できて。

この点でもマルチチャンネル型真空ポンプの安全性を向
上できる。

また本発明のマルチチャンネル型真空ポンプでは、外部
ケーシング内に排気速度の異なる各真空ポンプユニット
を設置する一方、同各真空ポンプユニットを選択的に使
用することが可能であり。

マルチチャンネル型真空ポンプを大排気速度から小排気
速度まで任意の排気速度で運転できて、負荷の変化に対
応できる。

される空間部若しくはユニット用内部ケーシングと外部
ケーシングとにより形成される空間部に水等の放射線遮
蔽材を充填するので２本マルチチャンネル型真空ポンプ
を放射性物質を取り扱うような場合で使用する場合、放
射線の遮蔽とケーシングの冷却とを同時に行うことがで
きる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わるマルチチャンネル型真空ポンプ
の真空ポンプユニットの一実施例を示す縦断側面図、第
２図はマルチチャンネル型真空ポンプの排気ユニット部
を示す横断平面図、第３図はその縦断側面図、第４図は
その平面図、第５図は従来の真空ポンプを示す縦断側面
図である。 （１）　　・・・ターボ分子ポンプ、　（ｌａ）　　・
・・回転体。 （１ｂ）・・・多段の動翼、　（４）　（６）　（７）
・・・回転体（１ａ）の気体軸受、（５）・・・回転体
（ｌａ）の回転体駆動用気体タービン、（１４ａ＋）　
（１４ａｚ）　　・・・ターボ分子ポンプ（１）の円筒
体、（２）・・・回転ポンプ。 （２ａ）・・・回転体、　（２ｂ）　　・・・静止中空
体、（９）（１１）（１２）　・−−回転体（２ａ）の
気体軸受、（１０）　　・・・回転体（２ａ）の回転体
駆動用気体タービン、　（１４ｂ＋）＜１４ｂｚ）　　
−・・回転ポンプ（２）の円筒体、　（５ａ）（５ｂ）
・・・駆動用気体供給管路、　（８ａ）　（８ｂ）　　
・・・支承用気体供給管路、　（１９）　（２０）　　
・・・ユニット用内部ケーシング、　（２１）（２２）
・・・送気管路、（２３）・・・一方の排気管路、　（
２４）　　・・・他方の排気管路、　（２６）　　・・
・真空ボンプユニツｌ−、（２７）　　・・・外部ケー
シング。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）吸気口を設けた外部ケーシングの内部に複数の真
   空ポンプユニットを並べて配設し、同各真空ポンプユニ
   ットのそれぞれを、ユニット用内部ケーシングと、同ユ
   ニット用内部ケーシング内に下方に吸気口を設けて設置
   したポンプ要素とにより構成し、同ポンプ要素を、回転
   体と同回転体を回転可能に支持する気体軸受と同回転体
   に設けた多段の動翼と同回転体に設けた回転体駆動用気
   体タービンと同各部分を取り囲む円筒体とを有するター
   ボ分子ポンプと、回転体と内周面にねじ溝を設けた静止
   中空体と同回転体を同静止中空体内に回転可能に支持す
   る気体軸受と同回転体に設けた回転体駆動用気体タービ
   ンと同各部分を取り囲む円筒体とを有する回転ポンプと
   、上記ターボ分子ポンプ及び上記回転ポンプの気体ター
   ビンへ駆動用気体を供給する駆動用気体供給管路と、上
   記ターボ分子ポンプ及び上記回転ポンプの気体軸受へ回
   転体支承用気体を供給する支承用気体供給管路と、上記
   ターボ分子ポンプからの排気を上記回転ポンプの吸気口
   へ導く送気管路と、上記回転ポンプからの排気を外部管
   路へ導く一方の排気管路と、上記ターボ分子ポンプ及び
   上記回転ポンプの気体タービン及び気体軸受からの排気
   を外部管路へ導く他方の排気管路とにより構成したこと
   を特徴とするマルチチャンネル型真空ポンプ。
2. （２）ターボ分子ポンプ、回転ポンプ等とユニット用内
   部ケーシングとにより形成される空間部若しくはユニッ
   ト用内部ケーシングと外部ケーシングとにより形成され
   る空間部に放射線遮蔽材を充填したことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載のマルチチャンネル型真空ポン
   プ。