JP2006348765A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】 ターボ分子ポンプの各ロータ翼の温度上昇を抑制する。
【解決手段】 ケーシング７内には、吸気口３Ａから排気口４Ａへ向かって、多段のロータ翼５ｃ、多段のステータ翼６および複数のスペーサリング１０（１１〜１９）が配置されている。複数のスペーサリング１０は、上下に隣接するもの同士が端面の一部分を接触させて積み上げられており、全体として筒状を呈している。隣接するスペーサリング１０の接触部分は円環状を呈している。排気口４Ａ側の後段スペーサリング群１０Ｂに属するスペーサリング１５〜１９の各下面の接触面積Ｓ２を吸気口３Ａ側の前段スペーサリング群１０Ａに属するスペーサリング１１〜１４の各下面の接触面積Ｓ１よりも大きく設定することにより、高温側のスペーサリング１１〜１４の温度上昇が抑制され、低温側のスペーサリング１５〜１９の伝熱が促進され、結果的に、各ロータ翼５ｃの温度上昇を抑制する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、半導体製造装置や分析装置などの中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用されるターボ分子ポンプに関する。

ターボ分子ポンプは、例えばドライエッチングやＣＶＤ等を行うプロセスチャンバ内のガスを排気して所定の高真空を形成する手段として用いられる。ターボ分子ポンプのロータ翼は高速回転するため、ロータ翼の温度が高いまま回転させるとクリープ変形などを生じる恐れがあるので、ステータ翼とスペーサとを互いに潰し合うように組み付け、熱伝導性を高めて熱を逃がし易くすることでロータ翼温度の低下を図っている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０００−０６４９８６号公報（第３頁、図１）

半導体製造工程では、塩素や硫化フッ素等の反応生成物が堆積するのを防止するために、ターボ分子ポンプの吸気口フランジが接続されるチャンバ側フランジを加熱している。特許文献１の技術は、ステータ翼とスペーサとを互いに潰し合う程に強固に密着させて熱伝導性を高めてロータ翼温度の低下を図っているが、逆に、チャンバ側フランジからの熱がスペーサ、ステータ翼を介してロータ翼へ伝わり易くなるので、ロータ翼の温度を低減する効果が低くなり、クリープ変形などを招く恐れがある。

（１）請求項１によるターボ分子ポンプは、回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼と、複数のロータ翼と交互に配設される、外周部に環状リブを有しない複数のステータ翼と、複数のステータ翼の各々を、その外周縁で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めする部材であって、上下面が互いに当接する複数の環状のスペーサとを備え、吸気口から吸入した気体を排気口から排出するターボ分子ポンプにおいて、複数のスペーサが互いに当接する箇所の接触面積を決定するにあたり、吸気口側から排気口側へ伝熱する際の温度勾配が吸気口側でより大きくなるように、排気口側での接触面積を吸気口側での接触面積よりも大きくしたことを特徴とする。
（２）請求項２によるターボ分子ポンプは、回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼と、複数のロータ翼と交互に配設され、外周部に環状リブを有する複数のステータ翼と、複数のステータ翼の各々を、環状リブの上下面で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めする部材であって、上下面が互いに非接触である複数の環状のスペーサとを備え、吸気口から吸入した気体を排気口から排出するターボ分子ポンプにおいて、スペーサと環状リブとを挟み込む際の両者の接触面積を決定するにあたり、吸気口側から排気口側へ伝熱する際の温度勾配が吸気口側でより大きくなるように、排気口側での接触面積を吸気口側での接触面積よりも大きくしたことを特徴とする。
（３）請求項３によるターボ分子ポンプは、回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼と、複数のロータ翼と交互に配設される複数のステータ翼と、複数のステータ翼の各々を、回転軸方向に挟み込んで位置決めする複数の環状のスペーサとを備え、吸気口から吸入した気体を排気口から排出するターボ分子ポンプにおいて、吸気口側に配設される複数のステータ翼は外周環状リブを有しないものであり、それら複数のステータ翼の各々は、複数のスペーサによりその外周縁で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めされ、このとき、複数のスペーサの上下面が互いに接触し、排気口側に配設される複数のステータ翼は外周環状リブを有するものであり、それら複数のステータ翼の各々は、複数のスペーサにより環状リブの上下面で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めされ、複数のスペーサは上下面が互いに非接触であり、吸気口側から排気口側へ伝熱する際の温度勾配が吸気口側でより大きくなるように、吸気口側において複数のスペーサが互いに当接する箇所の接触面積を、排気口側においてスペーサと環状リブとを挟み込む際の両者の接触面積よりも小さくしたことを特徴とする。
（４）請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、吸気口側の複数のスペーサは、部分的に厚肉化されていることを特徴とする。
（５）請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、複数のスペーサは、吸気口側に配設される吸気口側スペーサ群と、排気口側に配設される排気口側スペーサ群とから成り、排気口側スペーサ群での接触面積を、吸気口側スペーサ群での接触面積よりも大きくしたことを特徴とする。

本発明によれば、ターボ分子ポンプの排気口側のスペーサ同士の接触面積、もしくはスペーサとステータ翼との接触面積を、吸気口側よりも大きく設定することによって、吸気口側から排気口側へ伝熱する際の温度勾配が吸気口側でより大きくなるようにしたので、各ロータ翼の温度上昇を抑制できる。

以下、本発明の実施の形態によるターボ分子ポンプについて、図１〜６を参照しながら説明する。
〈第１の実施の形態〉
図１は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの概略構成を模式的に示す縦断面図である。

ターボ分子ポンプ１００は、ターボ分子ポンプ部１とねじ溝ポンプ部２と吸気側フランジ３と排気側フランジ４とを備える。吸気側フランジ３は、不図示のプロセスチャンバに配設されたチャンバ側フランジ５０にボルト３ａによって取り付けられており、ターボ分子ポンプ１００は、プロセスチャンバからのガスを吸気口３Ａから取り入れ、排気側フランジ４の排気口４Ａから外部へ排気し、プロセスチャンバ内を所定の高真空とする。ターボ分子ポンプ部１のケーシング７には、ロータ本体５ａ、回転軸５ｂおよび複数段に形成されたロータ翼（回転翼）５ｃを有するロータ５と、複数段に形成されたステータ翼（固定翼）６とが配置されている。ロータ５は、ラジアルセンサ８ａおよびラジアル電磁石８ｂを有するラジアル磁気軸受８と、スラストセンサ９ａおよびスラスト電磁石９ｂを有するスラスト磁気軸受９とによって非接触で支持されている。ロータ翼５ｃとステータ翼６とは、スペーサ１０によって交互に数ｍｍの隙間を保って配置されている。

ねじ溝ポンプ部２のベース筺体２ａには、回転軸５ｂを回転させるモータ８ｃと、吸気したガスを圧縮して排気口４Ａ側へ送出するねじステータ２ｂと、ターボ分子ポンプ１００を冷却する冷却管２ｃとが配置されている。ターボ分子ポンプ部１のケーシング７とねじ溝ポンプ部２のベース筺体２ａとは、ボルト２ｄによって気密を保って接続されている。ねじステータ２ｂは、ロータ５の下部に近接して設けられ、ロータ５の下部、ねじステータ２ｂのいずれか一方にはらせん溝が形成されている。ロータ５が数万ｒｐｍの回転数で高速回転することにより、吸気口３Ａから取り入れられたガスは、多段に形成されたロータ翼５ｃとステータ翼６との隙間を通り、この隙間と連通しているらせん溝が形成された隙間を通って排気口４Ａからポンプ外部へ排出される。

ところで、例えば半導体製造工程では、塩素や硫化フッ素等の反応生成物が装置内壁に堆積するのを防止するために、チャンバ側フランジ５０を９０〜１２０℃程度に加熱している。この熱は、チャンバ側フランジ５０から吸気側フランジ３、ケーシング７、スペーサリング１０、ステータ翼６を順次経由してロータ翼５ｃへ伝達される。ロータ翼５ｃに伝熱されると、ロータ５の寿命を短くするという問題がある。本実施の形態は、上記の熱伝達経路において、スペーサリング１０の配設位置によりスペーサリング１０同士の伝熱量をコントロールすることにより、ロータ翼５ｃの温度をその許容値以下に抑制するものであり、以下、図２および図３を用いて詳しく説明する。

図２は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの構造を模式的に示す部分縦断面図である。図３は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプのステータ翼の構造を模式的に示す部分斜視図である。
図２を参照すると、ケーシング７内には、吸気口３Ａから排気口４Ａへ向かって、多段のロータ翼５ｃ、多段のステータ翼６および複数のスペーサリング１１〜１９（代表符号を１０で表す）が配置されている。複数のスペーサリング１０は、上下に隣接するもの同士が端面の一部分を当接させて積み上げられており、全体として筒状を呈している。隣接するスペーサリング１０の当接部分は円環状を呈している。また、隣接するスペーサリング１０により形成される段差に、ステータ翼６の外周部を挟み込むことによりステータ翼６の位置決めと固定が同時に行われる。

ステータ翼６は、図３に示されるような半円環形状の部品と、これと対称形状の半円環形状の部品とを組み合わせた円環形をなしている。すなわち、ステータ翼６は、半円環状の内周リブ６１と、内周リブ６１から放射状に突設された複数のブレード６２とを有し、全体が半円環形状の部品を２つ組み合わせた円環形状の構造を有する。各ブレード６２のハッチングで示す接触面６２ａ、換言すればステータ翼６の外周縁の部分が、上下に隣接するスペーサリング１０により形成される段差に挟み込まれる。スペーサリング１０は、各接触面６２ａと周方向に断続的に接触するだけであり、接触面積は小さいので、スペーサリング１０とステータ翼６との接触部分を通して伝わる熱量は、スペーサリング１０同士を伝わる熱量よりも小さい。

スペーサリング１０を２つの群に分けると、４個のスペーサリング１１〜１４が吸気口３Ａ側の前段スペーサリング群１０Ａに属し、５個のスペーサリング１５〜１９が排気口４Ａ側の後段スペーサリング群１０Ｂに属する。本実施の形態では、スペーサリング１１〜１４の各下面の接触面積をＳ１、スペーサリング１５〜１９の各下面の接触面積をＳ２（＞Ｓ１）とし、高温の吸気口３Ａ側から低温の排気口４Ａ側への伝熱過程をスペーサリング１０の熱伝導機能により説明する。なお、この実施の形態においては、接触面積Ｓ２を接触面積Ｓ１の１．５倍以上に設定している。

一般に、固体の熱伝導に関してはフーリエの法則として式１が成り立つ。
Ｑ＝λ×Ｓ／Ｌ×（Ｔ１−Ｔ２） ・・・・（１）
但し、Ｑは熱量［Ｗ］、λは熱伝導率［Ｗ／ｍ℃］、Ｓは伝熱断面積［ｍ^２］、Ｌは伝熱長さ［ｍ］、Ｔ１，Ｔ２は温度［℃］（Ｔ１＞Ｔ２）である。
式１を（Ｔ１−Ｔ２）について解くと、式２となる。
Ｔ１−Ｔ２＝（Ｑ×Ｌ）／（λ×Ｓ） ・・・・（２）
式２では、熱量Ｑ、熱伝導率λ、伝熱長さＬを一定としたとき、伝熱断面積Ｓを小さくするほど伝熱長さＬに対する温度勾配（Ｔ１−Ｔ２）が大きくなり、逆に、伝熱断面積Ｓを大きくするほど伝熱長さＬに対する温度勾配（Ｔ１−Ｔ２）が小さくなることが示されている。

したがって、高温側、つまり吸気口３Ａ側のスペーサリング１１〜１４の接触面積Ｓ１を狭く設定して熱伝導を抑制する、言い換えれば温度勾配（Ｔ１−Ｔ２）を急峻とすることにより、高温側のスペーサリング１１〜１４の温度上昇が抑制される。一方、低温側、つまり排気口４Ａ側のスペーサリング１５〜１９の接触面積Ｓ２を広く設定して伝熱を促進する、言い換えれば温度勾配（Ｔ１−Ｔ２）を緩やかとすることにより、スペーサリング１５〜１９の温度が均一化に向かう。以上により、各ロータ翼５ｃの温度をその許容値以下に抑制することが可能となる。

具体的には、図４を参照しながら、伝熱過程をスペーサリング１１〜１９の温度変化として説明する。
図４は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの各スペーサリングの温度をプロットしたグラフである。このグラフでは、横軸にスペーサリング１１〜１９の段数をとり、縦軸に各スペーサリングの下面（次段のスペーサリングとの接触面）の温度をとったものである。スペーサリングの段数０に相当する箇所は、スペーサリング１１と吸気側フランジ３とが接触する箇所であり、その温度は１２０℃である。スペーサリングの段数９に相当する箇所は、スペーサリング１９とベース筐体２ａとが接触する箇所であり、その温度は４０℃である。後段スペーサリング群１０Ｂのスペーサリング１５〜１９の接触面積Ｓ２は、前段スペーサリング群１０Ａのスペーサリング１１〜１４の接触面積Ｓ１の１．５倍に設定されている。また、参考例として挙げる破線の曲線Ｂは、スペーサリングの段数はスペーサリング１１〜１９と同じ９段であるが、スペーサリング同士の接触面積を一律とした場合、すなわちＳ１＝Ｓ２とした場合の温度をプロットしたものである。

図４に示されるように、曲線Ａは、スペーサリングの段数０と９に相当する箇所では、曲線Ｂと同じ温度であるが、スペーサリングの段数０と９に相当する箇所の間で、曲線Ｂを下回っている。曲線Ａの前段スペーサリング群１０Ａの温度変化は、曲線Ｂより急勾配であり、スペーサリングの段数４に相当する箇所では温度が９℃低下している。反対に、曲線Ａの後段スペーサリング群１０Ｂの温度変化は、曲線Ｂより緩やかな勾配である。つまり、本実施の形態では、高温側のスペーサリング１１〜１４の温度上昇を抑制し、低温側のスペーサリング１５〜１９の温度の均一化を図っている。したがって、ステータ翼６、ロータ翼５ｃも低温に保持され、結果として、ロータ翼５ｃのクリープ変形、ロータ５の寿命短縮などの問題を起こすことがなくなる。

〈第２の実施の形態〉
図５は、第２の実施の形態によるターボ分子ポンプの構造を模式的に示す部分縦断面図である。図６は、第２の実施の形態によるターボ分子ポンプのステータ翼の構造を模式的に示す部分斜視図である。この第２の実施の形態のターボ分子ポンプ２００が第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１００と異なる点は下記の２つであり、その他の構成は同じであるので、主として相違点を説明する。

相違点の一つは、第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１００では、スペーサリング１０同士を接触させ、その接触部分を通して伝わる熱量をコントロールしたが、第２の実施の形態では、スペーサリング１０同士は必ずしも接触させず、スペーサリング２０とステータ翼６とを広い面積で接触させ、その接触部分を通して伝わる熱量をコントロールする。他の相違点は、第１の実施の形態のステータ翼６は、外周部が開放された構造であったが（図３参照）、第２の実施の形態のステータ翼６Ａは、図６に示されるように、外周リブ６３を有する閉鎖構造であることである。スペーサリング２０はスペーサリング２１〜２９の代表符号である。

図５に示されるように、前段スペーサリング群２０Ａでは、スペーサリング２１〜２４と各ステータ翼６Ａとの接触面積をＳ１、後段スペーサリング群２０Ｂでは、スペーサリング２５〜２９と各ステータ翼６Ａとの接触面積をＳ２とすると、外周リブ６３の接触面６３ａ（図６のハッチング部分）の面積は、隣接するスペーサリング２０との接触面積Ｓ１あるいはＳ２に等しく設定されている。接触面積の大小関係はＳ２＞Ｓ１に設定されている。このように、ターボ分子ポンプ２００では、ステータ翼６Ａがスペーサリング２０に対して外周リブ６３の接触面６３ａで全周接触となっているため、スペーサリング２０とステータ翼６Ａとの接触部分を通して熱の大部分が伝達される。

このターボ分子ポンプ２００においても、第１の実施の形態で説明した理論が適用でき、高温側のスペーサリング２１〜２４の温度上昇を抑制し、低温側のスペーサリング２５〜２９の温度の均一化を図っている。したがって、ステータ翼６Ａ、ロータ翼５ｃも低温に保持され、結果として、ロータ翼５ｃのクリープ変形、ロータ５の寿命短縮などの問題を起こすことがなくなる。

次に、図７、図８を参照しながら、第１、第２の実施の形態の変形例について説明する。図７は、ターボ分子ポンプの第１の変形例を模式的に示す部分縦断面図である。この第１変形例のターボ分子ポンプ３００のスペーサリング３０は、第１の実施形態のターボ分子ポンプ１００に用いられる前段スペーサリング群１０Ａ（図２参照）と、第２の実施の形態のターボ分子ポンプ２００に用いられる後段スペーサリング群２０Ｂ（図５参照）との複合型である。すなわち、前段スペーサリング群１０Ａのスペーサリング１１〜１４の各下面の接触面積をＳ１、後段スペーサリング群２０Ｂのスペーサリング２５〜２９と各ステータ翼６Ａとの接触面積をＳ２とすると、接触面積の大小関係はＳ２＞Ｓ１に設定される。このターボ分子ポンプ３００においても、第１の実施の形態で説明した理論が適用でき、第１、第２の実施の形態によるターボ分子ポンプ１００，２００と同様の作用効果を奏する。

図８は、ターボ分子ポンプの第２の変形例を模式的に示す部分縦断面図である。この第２変形例のターボ分子ポンプ４００のスペーサリング４０は、前段スペーサリング群４０Ａと、第２の実施の形態のターボ分子ポンプ２００に用いられる後段スペーサリング群２０Ｂ（図５参照）との複合型である。前段スペーサリング群４０Ａのスペーサリング４１〜４４は、ターボ分子ポンプ１００に用いられる前段スペーサリング群１０Ａのスペーサリング１１〜１４（図２参照）をそれぞれ厚肉化した断面形状を呈している。前段スペーサリング群４０Ａのスペーサリング４１〜４４の各下面の接触面積をＳ１、後段スペーサリング群２０Ｂのスペーサリング２５〜２９と各ステータ翼６Ａとの接触面積をＳ２とすると、接触面積の大小関係はＳ２＞Ｓ１に設定される。このターボ分子ポンプ４００においても、第１の実施の形態で説明した理論が適用でき、第１、第２の実施の形態によるターボ分子ポンプ１００，２００と同様の作用効果を奏する。さらに、スペーサリング４１〜４４の肉厚を増したことにより、仮にロータ５ｃが遠心破壊を起こしてその破断片が飛散した場合でもケーシング７を保護する効果が大きい。

本発明は、その特徴を損なわない限り、以上説明した実施の形態に何ら限定されない。第１および第２の実施の形態では、スペーサリング１０，２０を９段構成とし、ステータ翼６，６Ａも９段構成としたが、９段以外の多段構成にも本発明が適用でき、同様の作用効果を奏する。また、第１および第２の実施の形態では、前段スペーサリング群１０Ａ，２０Ａが４つのスペーサリング、後段スペーサリング群１０Ｂ，２０Ｂが５つのスペーサリングで構成されたが、各群の構成数は変えてもよい。さらに、接触面積の大小関係がＳ２＞Ｓ１を満たしていれば、外周リブを有するステータ翼６Ａと有しないステータ翼６の配置を任意としてもよい。さらにまた、吸気口３Ａ側の温度勾配が排気口４Ａ側の温度勾配よりも大きいならば、スペーサリング群の構成は、前段と後段の２段階に限らず、３段階以上としてもよい。

本発明の第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプの概略構成を模式的に示す縦断面図である。 第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構造を模式的に示す部分縦断面図である。 第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプのステータ翼の構造を模式的に示す部分斜視図である。 第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプの各スペーサリングの温度をプロットしたグラフである。 第２の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構造を模式的に示す部分縦断面図である。 第２の実施の形態に係るターボ分子ポンプのステータ翼の構造を模式的に示す部分斜視図である。 実施の形態によるターボ分子ポンプの第１の変形例を模式的に示す部分縦断面図である。 実施の形態によるターボ分子ポンプの第２の変形例を模式的に示す部分縦断面図である。

符号の説明

１：ターボ分子ポンプ部 ２：ねじ溝ポンプ部
３：吸気側フランジ ４：排気側フランジ
５：ロータ ５ｃ：ロータ翼
６，６Ａ：ステータ翼 ７：ケーシング
１０，２０，３０，４０：スペーサリング
１１〜１９，２１〜２９，４１〜４４：スペーサリング
１０Ａ，２０Ａ，４０Ａ：前段スペーサリング群
１０Ｂ，２０Ｂ：後段スペーサリング群
６１：内周リブ ６２：ブレード
６３：外周リブ ６２ａ，６３ａ：接触面
１００，２００，３００，４００：ターボ分子ポンプ
Ｓ１，Ｓ２：接触面積

Claims (5)

1. 回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼と、
   前記複数のロータ翼と交互に配設され、外周部に環状リブを有しない複数のステータ翼と、
   前記複数のステータ翼の各々を、その外周縁で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めする部材であって、上下面が互いに当接する複数の環状のスペーサとを備え、
   吸気口から吸入した気体を排気口から排出するターボ分子ポンプにおいて、
   前記複数のスペーサが互いに当接する箇所の接触面積を決定するにあたり、前記吸気口側から前記排気口側へ伝熱する際の温度勾配が前記吸気口側でより大きくなるように、前記排気口側での接触面積を前記吸気口側での接触面積よりも大きくしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. 回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼と、
   前記複数のロータ翼と交互に配設され、外周部に環状リブを有する複数のステータ翼と、
   前記複数のステータ翼の各々を、前記環状リブの上下面で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めする部材であって、上下面が互いに非接触である複数の環状のスペーサとを備え、
   吸気口から吸入した気体を排気口から排出するターボ分子ポンプにおいて、
   前記スペーサと前記環状リブとを挟み込む際の両者の接触面積を決定するにあたり、前記吸気口側から前記排気口側へ伝熱する際の温度勾配が前記吸気口側でより大きくなるように、前記排気口側での接触面積を前記吸気口側での接触面積よりも大きくしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
3. 回転軸方向に多段に配設される複数のロータ翼と、
   前記複数のロータ翼と交互に配設される複数のステータ翼と、
   前記複数のステータ翼の各々を、回転軸方向に挟み込んで位置決めする複数の環状のスペーサとを備え、
   吸気口から吸入した気体を排気口から排出するターボ分子ポンプにおいて、
   前記吸気口側に配設される複数のステータ翼は外周環状リブを有しないものであり、
   それら複数のステータ翼の各々は、前記複数のスペーサによりその外周縁で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めされ、このとき、複数のスペーサの上下面が互いに接触し、
   前記排気口側に配設される複数のステータ翼は外周環状リブを有するものであり、
   それら複数のステータ翼の各々は、前記複数のスペーサにより前記環状リブの上下面で回転軸方向にそれぞれ挟み込んで位置決めされ、前記複数のスペーサは上下面が互いに非接触であり、
   前記吸気口側から前記排気口側へ伝熱する際の温度勾配が前記吸気口側でより大きくなるように、前記吸気口側において前記複数のスペーサが互いに当接する箇所の接触面積を、前記排気口側において前記スペーサと前記環状リブとを挟み込む際の両者の接触面積よりも小さくしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記吸気口側の複数のスペーサは、部分的に厚肉化されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記複数のスペーサは、前記吸気口側に配設される吸気口側スペーサ群と、前記排気口側に配設される排気口側スペーサ群とから成り、前記排気口側スペーサ群での前記接触面積を、前記吸気口側スペーサ群での前記接触面積よりも大きくしたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

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