JPH01259221A - 流量測定方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、流体が貫流する、弾性変形可能な測定管を用
い、該測定管を周期的に変位させ、かつ流量に対する尺
度として流れの方向において異なる所に配置されている
、前記測定管壁の部分の変位の間の位相ずれを測定する
、コリオリの原理に従って流量を測定する方法およびコ
リオリの原理に従って動作する流量測定装置に関する。

従来の技術 流量測定を唯一の測定管によって実施することは公知で
ある（特開昭５７−１３７８１８号公報）。その際測定
管は両端が固定に保持されている。測定管の、中央にお
いて流れの方向を横断する方向に曲げ振動が励振され、
すなわち測定管の内部および外部成形部が流体の流れの
方向に沿った平面において所定の周期持続時間で変形さ
れる。両端での固定保持に基いて測定管の長さ全体にわ
たって周期的に変化する膨らみを有する唯一の半波が延
在している。そこで所定の量の流体が測定管を通って流
れると、発生するコリオリの力に基いて半波の形が歪む
（位相がずれる）。しかも唯一の半波の形のこの曲げ振
動により流量測定計の重心が周期的に移動する。この重
心移動によって通例測定装置のケーシングおよび流量測
定計が挿入されている流体導管に振動が生じる。周囲に
伝播されるこの振動のため測定管の曲げ振動エネルギー
に損失を来す。エネルギー放出が例えば、測定管の固定
保持状態が異なっているため流入側と流出側で異なって
いれば、このことは測定すべき位相ずれに作用する。こ
のために殊に位相ずれの零点のずれ、従って測定精度が
損なわれることに成りかねない。

さらに、流量測定を２つの測定管を用いて実施すること
が公知である（西独国特許第３５０５１６６号明細書）
。その際２つの測定管は流入側および流出側において２
つの管接続体を用いて流体技術的に平行に接続されてい
る。測定管はそれぞれ反対方向の曲げ振動が生じ、その
結果第１の測定管の壁は第２の測定管の壁とは１８０°
位相がずれて変位される。これにより流量測定計の重心
の移動は回避される。しかし少なくとも２つの測定管を
有する振動する測定管系が必要である。

冒頭に述べた形式の流量測定計では（ＰＣＴ特許出願公
開公報ＷＯ第８７１０６６９１号）、唯一の測定管はそ
の両端が固定保持されておりかつ高次の、パ非対称の″
振動モードにおいて曲げ振動に励振される。このことは
２つの半波が測定管長全体にわたって延在する形の曲げ
振動に相応する。その際３つの所謂振動の節が測定管中
央および両測定管端部に生じ、かつ振動の節の間に相互
に反対方向の周期的な膨らみを来し、すなわち振動の節
の間に所謂振動の腹が生じる。

発明が解決しようとする問題点 確かに測定管の反対方向に同じ膨らみによって測定装置
の重心の周期的な移動は回避される。しかし測定管の、
振動振幅が最大である（振動の腹）箇所において、そこ
での曲げ抵抗を低減するために楕円形に形成された横断
面が必要である。横断面をこのように形成することによ
り製造コストが高くつく。さらに測定管端部に振動の節
を形成するために固定保持箇所が必要であり、そこに曲
げ振動に基いて回転モーメントが発生する。最終的に測
定管直径（公称幅）が大きくなればなるほど、曲げ振動
の発生が、殊に高次の振動モードにおいてますます複雑
にしてかつ困難になる。

従って本発明の課題は、まず上述の欠点が取り除かれて
、作動信頼性が高くかつその測定環境に対する障害作用
が殆ど生ぜず、なおかつ重心の周期的な移動なしに作動
可能でありしかも大きな公称幅でも問題が生じない、簡
単にしかもコストの面で有利に製造可能であって、さら
には簡単かつコンパクトに構成された測定装置を用いて
実施可能である、冒頭に述べた形式の方法を提供するこ
とである。

問題点を解決するための手段 この課題は、請求項１の特徴部分に記載の構成によって
解決される。この方法を実施するのに適している測定装
置は請求項８に記載のように構成されている。

発明の作用および効果 本発明によれば測定管に対して、測定管の中心の長手軸
線（中心軸線）に対して相互に対称的に対向している、
測定管壁部分または区間が同方向または逆方向に、すな
わち相互に同相または１８０°位相がずれて変位する、
振動モードが選択される。壁の変位は測定管横断面の弾
性的−可逆的変形によって実現される。流体導管からこ
のように周期的に変形される測定管に流体が流れると、
測定管は流入側で変形振動のエネルギーを受は取りかつ
流出側でこの受は取ったエネルギーを再び放出する。す
なわち流入側で測定管の変形、従って測定管壁の変位を
遅らせかつ流出側において加速するコリオリの力が生じ
る。このようにして生じる、測定管長さにわたって異な
って分布している測定管壁部分の変位の位相のずれを、
流量の検出のために測定することができる。

本発明の流量測定では基本的にもはや、測定管に曲げ振
動を励振する必要はない。これにより、測定管壁の固定
保持および／または自由懸架の領域において回転モーメ
ントが生じないという利点が得られる。別の利点として
挙げられるのは、大きな公称幅に対して本発明の方法を
使用した場合−曲げ振動にさらされる管を用いた従来の
測定方法と比較して一一層短い長さの測定管を使用する
ことができることである。

本発明の有利な実施例によれば、横断面の変形の周期持
続時間の逆数は実質的に測定管の周囲の、半径方向にお
ける振動の固有／共振周波数の１つに一致する。これに
より、測定管の重心線の位置が実質的に一定に留どまる
ような、測定管壁の変位が生じる。従って本発明の流量
測定では測定装置の重心の周期的な移動、従って測定装
置の周囲に伝播される振動は大幅に回避され、しかもそ
の際に構造上付加的なコストは不要である。

本発明の実施例によれば測定管の周囲振動に対する共振
振動数は、高次の振動モードが生じ、すなわち測定管壁
に測定管の周方向において零より大きいｎを有する数ｎ
の波が形成されるように選択される。その際測定管の周
囲にわたって一様に分布している、それぞれｎの２倍の
数を有する振動の節とその間にある振動の腹とが生じる
。

申し分ない測定感度および／または振動の安定性を実現
することも付加的な問題点である。

この問題点に本発明の別の実施例は、測定管に周囲振動
に対して付加的に曲げ振動を惹き起こすことによって克
服している。その際一方において曲げ振動に対して、測
定管に沿って測定管の中心にある振動の節を有する２つ
の半波が（２次のモード）生じるモードを選択すると特
に有利であるようである。この振動の節によって、流量
測定が基礎としている、周囲振動の振動数の安定性が得
られる。その際周囲振動に対して３次または４次に等し
いｎ次のモードを選択すると特に有利であろう。本発明
のこの実施例では曲げ振動に基いて測定管の固定保持箇
所に交番する回転モーメントが発生するのを回避できな
い。この交番する回転モーメントの場合に応じて生じる
不都合な作用は例えば、質量要素および／またはばね要
素および／またはダンパ要素から成る機械的なフィルタ
装置によって減衰させるかまたは排除することができる
。

測定管の周期的な変形を、測定管壁を外部で発生された
、測定管壁に指向した交番する力によって変位させるこ
とによって実現すると効果的であり、その際交番する力
の周波数は測定管の周囲振動の固有／共振振動数と一致
させる。

これにより申し分ない測定効果を得るために供給すべき
振動エネルギーの消費が低減される。

本発明の特別な実施例によれば、相互に直径方向に対向
する、測定管壁部分または箇所に、相互に１８０°位相
がずれている力が加えられる。これによりこの領域にお
いて測定管はその中心軸線に対して鏡面対称に引っ張り
ないし圧縮負荷が加えられる。これにより測定管壁の、
測定管長さにわたった申し分なく検出可能な変位が生ず
る。力の加わる箇所は有利には、測定管の中央の領域に
ある。というのは中央の領域には流体質量は変形エネル
ギーを吸収もしないし放出もせず、従ってコリオリの力
が殆ど作用しないからである。さらにそこでは測定管壁
の変位に抗する、測定管の例えば固定保持箇所の影響は
最小である。

測定管壁の変位の、測定管長さにわたった位相のずれの
測定の際に高い精度を得るために、２つの測定箇所は出
来るだけ相互に離れた所に配設される。有利にはそれら
は測定管の流入側および流出側の端部に設けられている
。

本発明に適用するための測定装置において、測定管の周
期的な変形を発生する振動の励振装置が、測定管壁が実
質的に測定管の中心軸線ないし重心線に関して一様にか
つ流体の流れの方向に対して垂直方向に変位するように
構成されかつ配設されることが本質的な問題である。そ
の際壁の運動は相互に、測定装置の本来の、重心につい
てのバランスが実質的に保持されるように相互に補償し
合う。

このことは本発明の特別な実施例によれば、２つの例え
ば電磁的、電気音響的および／または静電式振動励振装
置をそれぞれ、相互に対向する、測定管の壁部分に作用
させることによって行われる。有利には励振装置によっ
て発生される振動は相互に１８０°位相がずれている。

これにより測定管の重心線を中心に極めて一様かつ申し
分なく検出可能な、測定管の変形が実現される。

本発明の有利な１つの実施例によれば測定管の周囲振動
は、測定管壁の少なくとも一部に作用する唯一の励振装
置によって発生される。このようにすれば流量測定装置
のコストの面で特別有利な製造が可能になる。励振装置
の構成次第では測定管にアンバランスな重量が生じる。

これに対して平衡をとるために本発明によれば励振装置
に直径をはさんで相対する、測定管壁の領域に釣り合い
体が取り付けられる。

簡単に構成されかつ簡単に使用可能な励振装置の使用を
可能にするために、その長手軸線に・対して対称的な形
、例えば円筒形を有する測定管を使用をすることができ
る。また、断面において流れの方向を横断する方向で多
角形である測定管を使用することもできる。測定管が例
えば方形の断面形状を有していれば、４つの角がそれぞ
れ、測定管壁が殆ど変位することのない（振動の節）区
域を形成する。すなわち別の見方をすれば、測定管が最
大に変位する区域は主に角によって形成される辺部分の
中央領域に発生する（振動の腹）。従って測定管壁に、
位相のずれを検出するために特別有利な前提条件を提供
する領域が形成される。

測定管の変位を測定するために有利には光学的に動作す
るセンサが使用される。センサは電気機械的な系に比し
て非常に迅速な応答特性を有し、従って固有位相ずれを
僅かしか有しない基本的には、横断面変形を発生するた
めに励振装置を測定管の外側と同時に測定管の内側にも
取り付けることも本発明の範囲内にある。

本発明の別の有利な実施例はその他の請求項に記載され
ている。

実施例 次に本発明を図示の実施例につき図面を用いて詳細に説
明する。

図において互いに相応する部分は同一の参照番号が付さ
れている。

第１Ａ図ないし第１Ｄ図に示すように、本発明の流量測
定のために測定管ｌに、その周波数が周囲振動モードに
おける測定管の固有共振振動数に相応する周囲振動が形
成される。これにより上述の、測定管１の横断面の周期
的な変形／歪みが生じる。このことは第１Ａ図ないし第
１Ｄ図には破線で示されており、一方そこには実線の円
形が振動していない休止状態にある測定管の横断面を示
している。第１Ａ図ないし第１Ｄ図に示された数ｎは振
動モードの次数を示しかつ測定管の周囲にわたって延在
する波長の数を表している。第１Ａ図ないし第１Ｄ図に
おける矢印が示すように本発明によれば測定管ｌの壁の
変位は常時半径方向において測定管横断面の中心点に向
かって生じるかまたはそこから離れる方向に生じる。は
ぼ測定管横断面に沿って生じる振動の節は第１八図ない
し第１Ｄ図においてアルファベットのＫで示されている
。第１Ａ図ないし第１Ｄ図においてそれぞれ測定管ｌの
横断面中心の回りを取り囲んだ円が示すように、液体の
流れの方向は図平面において測定管横断面に対して垂直
に延びている。

第１Ａ図に図示のように測定管ｌの周囲は零に等しい振
動モードｎにある。すなわち、測定周囲にわたって波お
よび振動の腹および節は形成されない。測定管１の直径
は所定の共振振動数に相応する周期持続時間によって測
定管周囲を形成する測定管壁にわたって一様に縮小ない
し拡大される。

第１Ｂ図に図示のように測定管ｌの周囲はｎ−２の振動
モードにある。すなわち、測定管ｌの周囲にわたって２
つの波がそれぞれ完全な長さにおいて伝播したのであり
、その際測定管周囲にわたって一様に分布されかつ実質
的に相互に同じ間隔に存在している４つの振動の節Ｋが
形成されている。節の間に存在する振動の腹の領域にお
いて測定管１の相互に直径方向に対向する壁部はそれぞ
れ逆方向に、すなわち反対の方向に変位している。

第１Ｄ図に図示のように測定管ｌの周囲はｎ−４の振動
モードにあり、すなわち８つの振動の節を有する４つの
波が測定管ｌの周囲にわたって一様に分布している。そ
の他ここでも第１Ｂ図の例に相応することが当てはまる
。

第１ｃ図によれば、測定管１の周囲はｎ＝３の振動モー
ドにあり、このことは６つの振動の節を有する３つの波
長が測定管周囲にわたって一様に分布されていることを
表している。矢印が示すように、本発明のこの実施例で
は直径方向に対向する壁部分は、その振動の節にの領域
を除いた所では、同方向、すなわちそれぞれ同じ方向に
変位している。

ｎが２より大きいかまたは２に等しい振動の節は一般に
“フープ（Ｉ（ＯＯＰＥ）振動モード″として知られて
いる。

第２図に図示のように本発明の流量測定装置は実質的に
測定管ｌ、第１および第２の励振装置５，６並びに２つ
の光学的なセンサ装置Ｔ。

Ｒを有している。液体が流れる中空室を形成する、測定
管ｌの壁は第２図は縦断面にて図示されている。図から
れかるように、測定管ｌの流入側の端部３および流出側
の端部４はそれぞれ固定保持されている。基本的には測
定管端部３．４を自由に懸架することも可能である。測
定管ｌのほぼ中央に第１ないし第２の励振装置５．６が
、それらが互いに測定管ｌの（−点鎖線で図示されてい
る）中心軸線に対して対称的に対向配設されている。電
気機械的な励振装置５　。

、６は実質的にそれぞれ接続端子８を介して交流電流が
供給される励磁コイル９並びにこのコイルと共働する、
Ｓ極およびＮ極を備えた永久磁石ｌＯを有している。永
久磁石１０は直接測定管壁２に固定されており、一方励
磁コイル９は外部に固定されている。光学的なセンサＴ
。

Ｒは流入ないし流出側の領域に配設されておりかつ実質
的に送光器Ｔ、光導波体装置１１．受光器Ｒおよび測定
管壁２に直接取り付けられているラグ片１２から成って
いる。

作動は次の通りである：励磁コイル９に所定の周波数の
交流電流が流れると、永久磁石ｌＯは所定の周期で交互
に吸引および反発を繰り返す。これに相応して測定管壁
２に力が作用し、その結果管壁には所定の周期で交互に
引っ張りおよび圧縮作用が負荷される。これにより測定
管１の横断面の弾性−可逆的な変形が生しる。

物質が貫流するとこの変形およびこれと関連する、測定
管壁２の変位は測定管ｌの長さにわたって位相がずれて
いる。この位相のずれは測定管壁２に取り付けられたラ
グ片１２の相互に時間的にずれている運動に相応する。

ラグ片１２はそれぞれ、光導波体装置１１によって形成
されるギャップ内に突入している。図示の実施例におい
て光導波体装置は、導光性の材料、例えばサファイアロ
ンドから成っている。送光器Ｔは、光導波体装置１１お
よびこの光導波体装置によって形成される（エア）ギャ
ップを介して受光器Ｒに達する光流を発生する。その際
伝播される光流の強度はラグ片が（エアギャップ）内に
突入しているその深さに依存している。ラグ片が深く突
入すればする程、光流は僅かになる。ラグ片１２がギャ
ップ内に突入する深さは測定管壁２の変位によって決ま
る。結果的に、光学式センサＴ、Ｈによって送出される
２つの光強度の間の差が測定管の横断面の、その長さに
わたる変形の時間的なずれないし位相のずれに対する尺
度である。

第３図に図示のように、励振を唯一の励振装置６を用い
て行うことも本発明の範囲内にある。励振装置が第２図
のように励磁コイルおよび測定管壁２に取り付けられて
いる永久磁石ｌＯによって電磁的に実現されていれば、
永久磁石１０の質量との重量的な釣り合いが肝心である
。このために第３図に示すように釣り合い体２０が設け
られている。この釣り合い体は外側から測定管１の壁２
に、永久磁石１０が固定されている壁領域に直径を挟ん
で対向する領域に固定することができる。釣り合い体２
０の質量体／重量は本発明によれば、永久磁石が原因で
生じる不均等な重量が補償されるように選定されている
。その他第３図には図示されていない測定装置部分は第
２図と同様に構成することができる。

本発明の流量測定の作動法は第４八図ないし第４Ｃ図お
よび第５Ａ図および第５Ｂ図に詳しく示されている。

第４Ａ図には流量測定装置の測定管の主要な長手部分が
暗示されている。その際（−点鎖線にて図示されている
）切断線■−■は測定管のほぼ真ん中の領域にあるもの
と仮定する。有利にはそこには第２図または第３図の実
施例において構成されているような励振装置が取り付け
られている。切断線Ｉ−Ｉおよび■−■は、測定管長さ
にわたる位相のずれを検出するためのセンサが存在して
いる箇所を特徴付けている。

さらに第４Ａ図では、測定管を介して物質が貫流してい
ないことを前提としている。励振装置が作動されると、
第４Ｂ図および第４ｃ図が示しているように、測定管の
横断面はその長さ全体にわたって近似的に楕円形に変形
される。そこにおいて横断面の、第４Ａ図の線Ｉ−Ｉ、
　Ｉｔ−■および■−■に沿った変形は実線で示されて
いる。破線によって、励振装置が作動していないときに
横断面が呈するはずの横断面が示されている。第４Ｂ図
および第４Ｃ図は時間的に相互にずれている別個の状態
を瞬時的に捕らえたものであり、その際時間的なずれは
励振された測定管振動の位相のずれ約１８０°に相応す
る。すなわち、破線で示す出発横断面に比して第４Ｂ図
では外側に変位している、測定管壁の周囲部分は第４Ｃ
図の場合測定管内部に向かってへこんでいる。測定管の
横断面の変形は図示のように線Ｉ−Ｉ、ＩＩ−ＩＩおよ
びＩ［［−１１［の領域において相互に実質的に同相に
ある。というのは物質が貫流していない場合にはコリオ
リの力が作用しないからである。

第５Ａ図の管の暗示されている長手部分には、そこに右
を向いている矢印によって示されているように物質が貫
流している。さらに測定管の横断面が周囲振動によって
第４Ｂ図および第４Ｃ図に示すように実質的に測定管長
さ全体にわたって変形されるものと仮定している。とこ
ろで測定管を通って流れる流体は流入側で周囲振動に基
いてエイ・ルギーを受取りかつ流出側においてこの受取
ったエネルギーを再び放出しなければならない。このた
めに、測定管の流入側の半部の領域で測定管壁の変位を
遅延しかつ測定管の流出側の半部で測定管壁の変位を加
速するコリオリの力が生ずる。このことから結果的に測
定管の流れの通った長さに沿った壁部分の変位間に位相
のずれが生じる。これに相応して第５Ａ図の線Ｉ−Ｉに
沿った測定管の横断面は第５Ａ図の線■−■に沿った横
断面とは異なって変形されている。このことは第５Ｂ図
において太目の実線で示されている通りである。第５Ｂ
図の破線は、変形振動が形成されていないときに呈する
はずの測定管横断面を示す。第５Ｂ図に図示されている
ように第５Ａ図の線■−■に沿った断面図において変形
振動なしの横断面は変形振動が形成された場合の横断面
と一致する。これは、切断線■−■が測定管の中央にあ
り、かつそこでは流れる流体質量が振動エネルギーを吸
収しもしないし、それを放出することもないということ
に基いている。従って測定管の中央にはコリオリの力は
発生しないので、位相ずれの基準点および／または零点
と見なすことができる。高度な測定精度を実現するため
に、位相ずれはを利には切断線Ｉ−Ｉおよび■−■によ
って示された壁部分において測定される。位相ずれは流
量が増大するに従って大きくなり、また流量が減少する
に従って小さくなる。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図ないし第１Ｄ図は、種々異なった振動モードの
周囲振動において異なっている測定管横断面を瞬時的に
捕らえてみた略図であり、第２図は、本発明の測定装置
を部分的に断面にて示す概略図であり、第３図は第２図
に図示の装置の励振に対して選ｖ３的に使用できる、励
振装置の別の実施例を示す略図であり、第４Ａ図は、物
質が貫流していない場合の測定管の縦断面図であり、第
４Ｂ図は、第４Ａ図の線Ｉ−Ｉ、ｎ−ｕおよびＩ［Ｉ−
Ｉに沿った本発明により使用される測定管のある時点で
の横断面図であり、第４Ｃ図は第４Ａ図の線Ｉ−Ｉ、Ｉ
Ｉ−Ｉｔおよびｍ−■に沿った本発明により使用される
測定管＝２７− の別の時点での横断面図であり、第５Ａ図は、物質の貫
流を略示しである測定管の縦断面図であり、第５Ｂ図は
第５Ａ図の線Ｉ−Ｉ、　ＩＩ−ＩＩおよび■−■に沿っ
た本発明により使用される測定管のある時点での横断面
を示す図である。 ｌ・・・測定管、２・・・測定管壁、５，６・・・励振
装置、９・・・励磁コイル、１０・・・永久磁石、１１
・・・光導波体装置、１２・・・ラグ片、Ｔ・・・送光
器、Ｒ・・・受光器、Ｋ・・・振動の節、２０・・・釣
り合い体代理人　弁理士　　矢　野　敏　雄 Ｌ　　　　　　　　　　　　Ｌ ＬＬ　　　　　　　、ＬＬ　　　　　　　　　　　　ム
ー手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示　　昭和６３年特許願第２９２５５０号
２発明の名称 流量測定方法および装置 ３補正をする渚 事件との関係特許出願人 名　称　　フローチック・アクチェンゲゼルシャフト４
、代　理　人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、流体が貫流する、弾性変形可能な測定管（１）を用
   い、該測定管を周期的に変位させ、かつ流量に対する尺
   度として流れの方向において異なる所に位置する、前記
   測定管壁（２）の部分の変位間の位相ずれを測定する、
   コリオリの原理に従って流量を測定する方法において、 前記測定管（１）の横断面を、相互に直径をはさんで相
   対する、前記測定管壁（２）の部分がそれぞれほぼ同じ
   距離をおいて相互に反対または同じ方向において流体の
   流れの方向を横断する方向に変位するように、周期的に
   変形することを特徴とする流量測定方法。 ２、周期的な横断面変形の周波数は測定管（１）の半径
   方向における周囲振動の固有共振振動数の領域にある請
   求項１記載の流量測定方。 ３、測定管（１）の半径方向の周囲振動に、その振動数
   が測定管（１）の固有共振振動数の領域にある曲げ振動
   を重畳する請求項２記載の流量測定方法。 ４、３次または４次の固有共振振動数を有する半径方向
   の周囲振動に２次の固有共振振動数を有する曲げ振動を
   重畳する請求項３記載の流量測定方法。 ５、少なくとも、その方向を測定管（１）の固有共振振
   動数に相応する周波数で反転する力を測定管（１）の内
   部または外部の壁（２）のある箇所に加える請求項１か
   ら４までのいずれか１項記載の流量測定方法。 ６、力を測定管（１）の長さ方向のほぼ中央において加
   える請求項５記載の流量測定方法。 ７、測定管壁（２）の対向する部分の少なくとも１対に
   それぞれ少なくとも、流れの方向に対してそこで垂直に
   作用する力を作用させ、その際前記力の方向は常に相互
   に反対になるようにする請求項５または６記載の流量測
   定方法。 ８、流体導管中に挿入可能な少なくとも１つの測定管（
   １）を備えた、コリオリの原理に従って動作する流量測
   定装置において、 前記測定管（１）に取り付けられているかまたは測定管
   （１）中に配設されている少なくとも１つの振動の励振
   装置（５、６）を備え、該励振装置が前記測定管に、該
   測定管（１）の壁（２）の、流れの方向に延在する、前
   記測定管（１）の中心軸線に対して対毎に対称的に相互
   に対向する部分が同じにまたは反対方向に同じにありか
   つ流れの方向に対して実質的に垂直方向に変位するよう
   に作用することを特徴とする流量測定装置。 ９、流れの方向において直線的に延在する測定管（１）
   を備え、該測定管は流れの方向を横断する方向の断面に
   おいて円形である請求項８記載の流量測定装置。 １０、１つまたは複数の測定管（１）は流れの方向に対
   して横断する方向の断面において複数の角を有する内部
   および／または外部成形部を有している請求項８記載の
   流量測定装置。 １１、角の数は２の２倍または数倍である請求項１０記
   載の流量測定装置。 １２、振動の励振装置が配設されている、測定管（１）
   の壁の部分に関してそれぞれ９０°だけ周方向にずらし
   て配設されている少なくとも２つのセンサから成る位相
   検出器系（Ｔ、Ｒ）を備えた請求項８から１１までのい
   ずれか１項記載の流量測定装置。 １３、２つの角によって形成される区間の中央にそれぞ
   れ配設されている少なくとも２つの位相検出器系（Ｔ、
   Ｒ）を備えた請求項１０または１１記載の流量測定装置
   。 １４、送光器（Ｔ）、受光器（Ｒ）並びに該送光器の光
   を前記受光器に伝播する光導波体装置（１１）から成る
   少なくとも１つのセンサ装置（Ｔ、Ｒ、１１、１２）を
   備え、前記光導波体装置は、伝播された光流の強度が測
   定管（１）の壁（２）の変位によって影響されるように
   構成されている請求項８から１３までのいずれか１項記
   載の流量測定装置。 １５、光導波体装置（１１）は２つのサファイアロッド
   を有し、該サファイアロッドのうち一方のサファイアロ
   ッドの一端は送光器（Ｔ）に接続されておりかつ他方の
   サファイアロッドの一端は受光器（Ｒ）に接続されてお
   り、かつ両方のサファイアロッドの他端が全反射プリズ
   ムとして形成されておりかつ間隔をおいて相互に、前記
   送光器から一方のサファイアロッドを通って出てくる光
   流が他方のサファイアロッドに入りかつ該他方のサファ
   イアロッドから受光器（Ｒ）に転送されるように対向し
   ており、かつ前記測定管（１）の壁（２）に少なくとも
   １つのラグが、該ラグが前記壁（２）の変位に依存して
   前記サファイアロッドのプリズム形に形成された端部の
   間の形成されるギャップに多かれ少なかれ入り込んで突
   入するように取り付けられている請求項１４記載の流量
   測定装置。 １６、機械的振動の励振は電磁、静電および／または電
   気音響変換器を用いて実施される請求項８から１５まで
   のいずれか１項記載の流量測定装置。 １７、実質的に、測定管の外部に固定的に取り付けられ
   ている電磁石（９）と該電磁石に対向して測定管壁（２
   ）に固定されている永久磁石（１０）とから成る電気機
   械式の励振装置と、測定管壁（２）に前記永久磁石（１
   ０）に直径をはさんで相対的に配設されておりかつその
   質量が前記永久磁石の質量にほぼ相応する釣り合い体（
   ２０）とを備えている請求項１６記載の流量測定装置。 １８、測定管（１）の壁（２）の相互に直径方向に対向
   している部分に配設されており、かつ発生される振動は
   相互に１８０°だけ位相がずれている少なくとも２つの
   励振装置（５、６）を備えている請求項８から１７まで
   のいずれか１項記載の流量測定装置。 １９、請求項１から８までのいずれか１項に記載の方法
   を実施するために使用される請求項８から１８までのい
   ずれか１項記載の流量測定装置。