JPH01242686A - セラミツクシンチレータの製法 - Google Patents
セラミツクシンチレータの製法Info
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- JPH01242686A JPH01242686A JP63067446A JP6744688A JPH01242686A JP H01242686 A JPH01242686 A JP H01242686A JP 63067446 A JP63067446 A JP 63067446A JP 6744688 A JP6744688 A JP 6744688A JP H01242686 A JPH01242686 A JP H01242686A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は放射線検出用シンチレータ材料に関する。特に
、X線CT用シンチレータとして好適な希土類オキシ硫
化物からなるセラミックシンチレータの製造方法に関す
るものである。
、X線CT用シンチレータとして好適な希土類オキシ硫
化物からなるセラミックシンチレータの製造方法に関す
るものである。
従来、XmCTなどに用いるX線検出器としてはキセノ
ン(Xe)電離箱が用いられてきた。しかし、Xe電離
箱では装置の小型化が難しいという問題点がある。近年
、単結晶のシンチレータ材やシンチレータ材粉末を樹脂
中に分散固化したものを用いた高精度かつ小型固体検出
素子の検討が盛んである。しかしながら、従来より使用
されているBGO(ゲルマニウム酸ビスマス)、CsI
:TQ、CdWOaなどの単結晶材料にはいずれも問題
がある。BGOは発光効率が低く高価であり、CdWO
aは発光効率が低く、かつ毒性が強く、襞間性のため加
工にも難点がある。また。
ン(Xe)電離箱が用いられてきた。しかし、Xe電離
箱では装置の小型化が難しいという問題点がある。近年
、単結晶のシンチレータ材やシンチレータ材粉末を樹脂
中に分散固化したものを用いた高精度かつ小型固体検出
素子の検討が盛んである。しかしながら、従来より使用
されているBGO(ゲルマニウム酸ビスマス)、CsI
:TQ、CdWOaなどの単結晶材料にはいずれも問題
がある。BGOは発光効率が低く高価であり、CdWO
aは発光効率が低く、かつ毒性が強く、襞間性のため加
工にも難点がある。また。
CsI:Tffiは潮解性で残光現象があり、実用上問
題がある。一方、粉末樹脂分散同化体では、発光強度が
理論値よりかなり小さい、かつ透光性が小さく厚くでき
ないため、X線吸収用(イ)ガラス部材を必要とし、素
子構造が複雑となるなどの問題がある。
題がある。一方、粉末樹脂分散同化体では、発光強度が
理論値よりかなり小さい、かつ透光性が小さく厚くでき
ないため、X線吸収用(イ)ガラス部材を必要とし、素
子構造が複雑となるなどの問題がある。
最近、このような問題を克服すべく、」二記磨結晶など
に比べ発光出力が高い希土類オキシ硫化物粉末を焼結し
たセラミックシンチレータが提案されている。(特開昭
61−127670号公報、特開昭58−204088
号公報など参照。)例えば1本発明者の一部のものが希
土類オキシ硫化物を金属カプセル内に封入した後、熱間
静水圧プレス法(以下旧P法と称す)で焼結することに
より、透光性および発光出力の高いシンチレータ材料を
得ることに成功している(特開昭61−127670号
)。
に比べ発光出力が高い希土類オキシ硫化物粉末を焼結し
たセラミックシンチレータが提案されている。(特開昭
61−127670号公報、特開昭58−204088
号公報など参照。)例えば1本発明者の一部のものが希
土類オキシ硫化物を金属カプセル内に封入した後、熱間
静水圧プレス法(以下旧P法と称す)で焼結することに
より、透光性および発光出力の高いシンチレータ材料を
得ることに成功している(特開昭61−127670号
)。
しかしながら、従来、HIP法により得たセラミックス
はクラックが入りやすく、生産上歩留まりが悪いという
問題があった。そのため、本セラミックシンチレータを
実用化するには、クラック低減が必要不可欠であり、そ
の対策が切望されている。
はクラックが入りやすく、生産上歩留まりが悪いという
問題があった。そのため、本セラミックシンチレータを
実用化するには、クラック低減が必要不可欠であり、そ
の対策が切望されている。
本発明の目的は、上記実情1.[み、クラックフリーの
高品質な希土類オキシ硫化物のセラミックシンチレータ
の製法を提供することにある。
高品質な希土類オキシ硫化物のセラミックシンチレータ
の製法を提供することにある。
上記目的は、希土類オキシ硫化物をHI P法により焼
結するにあたり、当該原料を充填する金属製カプセルと
して、該焼結物質とほぼ同じ熱膨張係数をもつ金属を用
いることにより達成される。
結するにあたり、当該原料を充填する金属製カプセルと
して、該焼結物質とほぼ同じ熱膨張係数をもつ金属を用
いることにより達成される。
本発明において、上記希土類オキシ硫化物としては5例
えば、特開昭55−62930号公報または特開昭56
−151376号公報などにより知られる組成のもの、
すなわち、組成式 %式%() ただし。
えば、特開昭55−62930号公報または特開昭56
−151376号公報などにより知られる組成のもの、
すなわち、組成式 %式%() ただし。
L nはGd、La、YおよびL +1のなかから選ば
れた少なくとも一種類の元素、 MはPrおよびTbのうちの一種または二種の元素 Xの量は、3X1.0−8≦X≦0.2゜yの量は、l
Xl0”−6≦y≦5 X 10−8゜Fの量は、重量
で0〜]、 000 [’PmFで表されるもの、 または組成式 %式%) 選ばれた少なくとも一種類の元素 Mは、PrおよびTbのうちの一種または二種の元素 aの量は、]、、 X 10−”≦a≦0.1bの量は
、 0 ≦b≦1−XIO−’で表されるものを
用いることができる。
れた少なくとも一種類の元素、 MはPrおよびTbのうちの一種または二種の元素 Xの量は、3X1.0−8≦X≦0.2゜yの量は、l
Xl0”−6≦y≦5 X 10−8゜Fの量は、重量
で0〜]、 000 [’PmFで表されるもの、 または組成式 %式%) 選ばれた少なくとも一種類の元素 Mは、PrおよびTbのうちの一種または二種の元素 aの量は、]、、 X 10−”≦a≦0.1bの量は
、 0 ≦b≦1−XIO−’で表されるものを
用いることができる。
また、本発明においては、これらのうち、特に(G
d z−x−yP rxCe y)zozs :
(F )ただし、3X10−6≦X≦0.2 1X]、O−’≦y≦5×10−δ Fの量は2〜11000pp で表される希土類オキシ硫化物がよい。
d z−x−yP rxCe y)zozs :
(F )ただし、3X10−6≦X≦0.2 1X]、O−’≦y≦5×10−δ Fの量は2〜11000pp で表される希土類オキシ硫化物がよい。
この希土類オキシ硫化物の場合のHIP用カプセルとし
ては、鉄ニツケル鋼製が最も好ましい。
ては、鉄ニツケル鋼製が最も好ましい。
さらに、本発明において、前記焼結助剤としては、それ
を添加することにより緻密化を促進し、該焼結体の発光
出力が向上する効果を有する物質であればよく、例えば
、Li F 、 L > B F4tLizGeFo、
Na5A QFs* N a P F8. N a
B F4F(Nlla)2GeFs、 M g S i
Faなどの群からなる少なくとも一種類を用いること
ができる。
を添加することにより緻密化を促進し、該焼結体の発光
出力が向上する効果を有する物質であればよく、例えば
、Li F 、 L > B F4tLizGeFo、
Na5A QFs* N a P F8. N a
B F4F(Nlla)2GeFs、 M g S i
Faなどの群からなる少なくとも一種類を用いること
ができる。
〔作用〕
希土類オキシ硫化物をHI P法により焼結するにあた
り、本発明では当該原料を焼結助剤とともに充填する金
属製カプセルとして、該焼結物質とほぼ同じ熱膨張係数
をもつ金属を用いることに特徴がある。組成式(G d
t−x−yP rxc ey)zozs:(F)(3
X10−’≦X≦0.2. I X 10−”≦y≦5
X10−8F:2〜1000ppm)で表わされる希土
類オキシ硫化物の場合には、HI P用カプセルとして
鉄ニツケル鋼製が最適である。このカプセルを用いてH
IPすることによって、グラツクフリーのセラミックシ
ンチレータを歩留まりよく作成することができる。
り、本発明では当該原料を焼結助剤とともに充填する金
属製カプセルとして、該焼結物質とほぼ同じ熱膨張係数
をもつ金属を用いることに特徴がある。組成式(G d
t−x−yP rxc ey)zozs:(F)(3
X10−’≦X≦0.2. I X 10−”≦y≦5
X10−8F:2〜1000ppm)で表わされる希土
類オキシ硫化物の場合には、HI P用カプセルとして
鉄ニツケル鋼製が最適である。このカプセルを用いてH
IPすることによって、グラツクフリーのセラミックシ
ンチレータを歩留まりよく作成することができる。
従来、HIP用金属カプセルには、鉄、ステンレス鋼な
どが用いられていた。この場合、最終焼結体にクラック
が入りやすいという問題があったが、その原因として、
熱膨張係数が試料とカプセルで異なることが考えられる
。
どが用いられていた。この場合、最終焼結体にクラック
が入りやすいという問題があったが、その原因として、
熱膨張係数が試料とカプセルで異なることが考えられる
。
(Gdt−x−yPrxcey)zozs : (F
)の熱膨張係数は8〜9X10”−8であるのに対して
、鉄の場合11〜12X10”−’、ステレンス鋼で1
8X10−6と大きい、この差が一要因となって、冷却
時にクラック発生をもたらすものと思われる。
)の熱膨張係数は8〜9X10”−8であるのに対して
、鉄の場合11〜12X10”−’、ステレンス鋼で1
8X10−6と大きい、この差が一要因となって、冷却
時にクラック発生をもたらすものと思われる。
これらに対して、本発明で用いた鉄ニツケル鋼(30〜
50%Ni)の熱膨張係数は8〜9X10−6であり、
(G d z−x−yP rx(: ey)zozs
:(F)のそれとほぼ同じであることから、これをカプ
セルに用いた場合、冷却時の熱ひずみがなくなり、クラ
ック発生を抑止することができる。
50%Ni)の熱膨張係数は8〜9X10−6であり、
(G d z−x−yP rx(: ey)zozs
:(F)のそれとほぼ同じであることから、これをカプ
セルに用いた場合、冷却時の熱ひずみがなくなり、クラ
ック発生を抑止することができる。
以下本発明を実施例を用いてより詳細に説明する。
(実施例1)
平均粒径40μmのシンチレータ粉末
(G do、eoeP ro、oolc esXso″
″’)sows : (F)に焼結助剤としてLiz
GeFeを0.1wt %添加し、これを鉄ニツケル
鋼(36%Ni) 製カプセルの中に充填する。この時
の充填かさ密度は〜55%であった。このカプセルを加
熱脱気しながら真空封止した後、HIP装置に装入し、
1300℃。
″’)sows : (F)に焼結助剤としてLiz
GeFeを0.1wt %添加し、これを鉄ニツケル
鋼(36%Ni) 製カプセルの中に充填する。この時
の充填かさ密度は〜55%であった。このカプセルを加
熱脱気しながら真空封止した後、HIP装置に装入し、
1300℃。
1000気圧のアルゴンガス中で3時間HIP処理を施
した。
した。
得られた焼結体はクラックがなく、またミクロな欠陥も
ない極めて緻密(相対密度99%以上)なものであった
。それらの試料のX線照射による発光出力およびその出
力の焼結ロット内とロット間ばらつき、さらにクラック
フリーロットの歩留まりの値を従来の鉄あるいはステン
レス製カプセルを用いてHIP処理した試料のそれと比
較して第1表に示す、なお、発光出力は同一組成の粉末
を用いて作製した粉末樹脂中分散固化体のそれに対する
出力比として表わす。
ない極めて緻密(相対密度99%以上)なものであった
。それらの試料のX線照射による発光出力およびその出
力の焼結ロット内とロット間ばらつき、さらにクラック
フリーロットの歩留まりの値を従来の鉄あるいはステン
レス製カプセルを用いてHIP処理した試料のそれと比
較して第1表に示す、なお、発光出力は同一組成の粉末
を用いて作製した粉末樹脂中分散固化体のそれに対する
出力比として表わす。
第1表
第1表から明らかなように1本発明によれば。
発光出力を損なうことなく、出力ばらつきがロット内と
ロット間いずれも低減し、かつクラックフリーロットの
歩留まりを著しく向上させることができる。
ロット間いずれも低減し、かつクラックフリーロットの
歩留まりを著しく向上させることができる。
(実施例2)
平均粒径40μmのシンチレータ粉末
(G d o、see P r o、oot Ce e
Xxo−6)sows:(F)に焼結助剤としてLi2
GeF6を0.1 wt%添加し、これを鉄ニツケル
鋼製カプセル(43%Ni)に直接加圧成形充填する。
Xxo−6)sows:(F)に焼結助剤としてLi2
GeF6を0.1 wt%添加し、これを鉄ニツケル
鋼製カプセル(43%Ni)に直接加圧成形充填する。
この時の圧力は200 kg/fflであり、充填かさ
密度は60%であった。これを加熱脱気しながら真空封
止後、実施例1と同条件でHIP処理をおこなった。得
られた焼結体はクラックフリーの極めて緻密(相対密度
99%以上)なものであった、それらの発光出力および
出力ばらつき、クラックフリーロットの歩留まりの値を
従来のカプセルを用いて同一プロセスでHIPした試料
と比較して第2表に示す。
密度は60%であった。これを加熱脱気しながら真空封
止後、実施例1と同条件でHIP処理をおこなった。得
られた焼結体はクラックフリーの極めて緻密(相対密度
99%以上)なものであった、それらの発光出力および
出力ばらつき、クラックフリーロットの歩留まりの値を
従来のカプセルを用いて同一プロセスでHIPした試料
と比較して第2表に示す。
第2表
第2表から明らかなように、本発明によると、従来法に
比べて、出力ばらつきが少なく、クラックフリーロット
の歩留まりが高いシンチレータの製法を提供することが
できる。
比べて、出力ばらつきが少なく、クラックフリーロット
の歩留まりが高いシンチレータの製法を提供することが
できる。
以上の実施例では、原料に
(Gdo、eee−Pro、ooz (L e eXt
o−’)sows:(P)の組成を用いた場合について
述べたが、別にこれに限るわけではなく、他の組成でも
よい、また1本実施例では、HIP用カプセルとして鉄
ニッケル鋼製を用いた場合を述べたが、別にこれに限る
わけでなく、加圧下で塑性変形し、かつ処理I1度で充
分気密性が保たれ、熱膨張係数が](I P処理物質の
それに近いものならば良い。
o−’)sows:(P)の組成を用いた場合について
述べたが、別にこれに限るわけではなく、他の組成でも
よい、また1本実施例では、HIP用カプセルとして鉄
ニッケル鋼製を用いた場合を述べたが、別にこれに限る
わけでなく、加圧下で塑性変形し、かつ処理I1度で充
分気密性が保たれ、熱膨張係数が](I P処理物質の
それに近いものならば良い。
Claims (3)
- 1.希土類オキシ硫化物を熱間静水圧プレス法により焼
結するにあたり、当該原料を焼結助剤ととにも充填する
金属製カプセルとして、該焼結物質とほぼ同じ熱膨張係
数を持つ金属を用いたことを特徴とするセラミックシン
チレータの製法。 - 2.前記希土類オキシ硫化物を組成式 ▲数式、化学式、表等があります▼ (ここで、x,y量はそれぞれ3×10^−^6≦x≦
0.2,1×10^−^6≦y≦5×10^−^3,F
の量は2〜1000ppmである。)で表されるもセラ
ミックシンチレータの製法 のとする特許請求の範囲第1項記載のセラミックシンチ
レータの製法。 - 3.前記金属製カプセルを鉄ニッケル鋼とする特許請求
の範囲第1項または第2項記載のセラミックシンチレー
タの製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63067446A JPH01242686A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | セラミツクシンチレータの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63067446A JPH01242686A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | セラミツクシンチレータの製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01242686A true JPH01242686A (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=13345162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63067446A Pending JPH01242686A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | セラミツクシンチレータの製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01242686A (ja) |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP63067446A patent/JPH01242686A/ja active Pending
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