JPH01242238A - スタンパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業、１−の利用分野） 本発明は、光ディスク等の情報記憶媒体の製ｉ３　Ｉ稈
で使用されるスタンパに関する。

（従来の技術） 近年、光ディスク等の情報記憶媒体が画像情報記憶検索
装置や、音楽あるいは映懺Ｃ１生装置等で広く用いられ
るようになっている。この情報記憶媒体は、通常原盤か
ら形成されるスタンパを成形型として人ｆｉｌに複製さ
れる。

以下、間中に情報記憶媒体である光ディスクの製造工程
を第３図を参照して簡単に説明する。

第３図（１）に示される原盤１０１は、円盤状のガラス
基板１０３の表面をＶｔ＊研磨及び、洗浄し、さらに露
光転写用のフォトレジスト１０５を均一な膜厚、例えば
０．１μｍ程度になるように塗布し、その後乾燥したも
のである。

この原盤１０１を第３図（２〉に示される用に、図示し
ないスピンドルモータ等によって回転するターンデープ
ルに載置して、例えば１８００　ｒｕで定速度回転させ
るとともに、この原盤１０１の所定位置に対物レンズ１
２２によってスポット状に集束されたアルゴンレーザや
ｌ−１ｅ−Ｃｄシレーア等のレーザ光１２０を所定の時
間、照Ｑ・１、露光する。この露光によってフォトレジ
スト１０５層内に潜像１０７を得る。

次にスピンドルモータ等を回転駆動源として回転するタ
ーンテーブルに固定された原盤１０１に図示しない純水
ノズルから純水を流出させて原盤１０１の洗浄、すなわ
ちプレリンスを行なう。次に図示しない現像液ノズルか
ら現（１（エツチング液）を吹ぎつけてフォトレジスト
１０５の露光部分を除去することで、潜＠１０７から第
３図（３）の要部拡大図に示すよう＠′連連続面るいは
不連続Ｚｊ４からなる案内溝であるプレグルーブ１０９
や、情報に従って形成されるピットを冑る。さらにこの
’ｉ’Ａ＠処理の終了した原盤１０１の表面に上記純水
ノズルから純水を流出させて、原盤１０１に付着した現
像液を洗浄、すなわらボス１−リンスを行ない、現像を
停止した後に乾燥して、現像処理を終了する。

次に、第３図（４）の要部断面図に示すように、この原
盤１０１にニッケルメッキを施して樹脂成形の型となる
スタンパ１１１を成形慎る。

さらに第３図（５）　Ｊ５よび（６）に承りように、こ
のスタンパ１１１から形成されるレプリカ１′１３に蒸
着等によりアルミニウム反射膜や記録膜１１５を形成し
、さらにこの上面を透明な保護膜″１１７で被覆等して
、光ディスクが完成する。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら１．１−述した従来のスタンパ１゛１１に
おいては、スタンパ１１１の製造時に実面側に第４図に
示ザようへ同心円状の条痕が形成されており、この同心
円状の条痕が光ディスクを製造したときに、この光ディ
スクの記録面に極めてわずかに転写されることがあった
。

一方、光ディスクはその構造上、他の記憶媒体と比較し
て、光デイスク表面に伺いたキズや塵等に対して耐性が
あるとされている。しかし、前述した同心円状の条痕に
よって記憶面上に形成される同心円状の欠陥に対しては
弱く、信頼性向上に対する不安材料となっていた。

また、前述した同心円状の条痕を削除するためにこのス
タンパの裏面側を精密ｌ１ｌ）磨することは、工程を繁
雑にし、さらにスタンパの製造時間も増大させるところ
となった。

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、信頼性の高い
スタンパを記憶することを目的とする。

←発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため、本発明のスタンパは、表面側
に案内溝および、または情報を記録するとともに、この
スタンパの裏面側に中心部から周縁部に向（）て放射状
に多数の条痕を設番プて構成した。

（作用） 本発明にお４ノるスタンパにおいては、表面側に形成さ
れる案内溝等に、影響を与えることのない敢（ト）状の
条痕を複数設けるようにしたので、スタンパの製造時の
形成された同心円状の条痕・が確実に削除されるので、
信頼１１の高いスタンパが形成される。

（実施例） 次に、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。

第１図は本実施例のスタンパの裏面側を示す平面図であ
る。

本実ｍ例のスタンパ１は第１図（Δ）に示すように、ス
タンパ１の裏面側全面に渡って放射状にかつ非常に微細
な条痕３が多数形成されている。

この条痕３は円盤状のスタンパ１の中心から延びる略直
線の条痕であることが望ましいが、第１図（Ｂ）に示す
ように、上記スタンパ１の中心とは異なる中心部近傍か
らＰｌｉ羽状に延びる条痕３１であってもＱく、また第
１図（Ｃ）に示すようにスパイラル状に趙り湾曲した条
痕３３であってし良い。

次に前述した放射状の条痕の形成方法について、第２図
を参照して説明でる。

まず、放射状の条痕３を形成する条痕形成装置２０の構
成について説明する。

被ω１磨体であるスタンパ１を載置するスタンパ固定テ
ーブル２１は、実面側を上側にしたスタンパ１を真空チ
ャック等で固定するとともに角速度ωで定速回転する。

このスタンパ固定デープル２］の上方には、後述する研
磨用リボン２９を介して、スタンパ１に対向する位置に
リボン押付部２３が構成される。

このリボン押付部２３は、幅１０ＩＩＩｌＩＰ？、ｆ復
の研磨リボン２９をスタンパ２９の裏面側に、略均−の
圧力で押付けるものである。

このリボン押イＪ部２３の本体の構成を説明すると、細
１処い中空筺体の下面側は精密研磨された平面であって
、小径の吹出孔２５が多数穿設されている。またこの中
空筺体上部には空気の流入［１２３Ａが設けられ、この
流入口２３Ａから加圧された空気が注入される。さらに
この中空筐体もま１−２吹出孔２５から均一の空気が吹
き出されるように適宜の容量と形状を持って構成され、
その内部には図示しない整流板等が適宜配設される３、
ｆＪ　Ｉｎ用リボン２９は、幅１０Ｉｍ以下のエンドレ
ステープ状であって、ω１磨面は例えばＪＩＳ規格の紙
）ノスリ４００番相当より細い研磨材が使用される。

複数のプーリ２７は、研磨用リボン２９を搬送りる際の
ガイドとなるとと６に、その内の１のプーリ２７に接続
される回転駆動源（図示しない）によって研磨用リボン
２９を複数のプーリ２７とリボン押イ」部２３の周囲を
周回さける。

次に、この条痕形成装置２０を使用してスタンパ１に放
射状の条１ｔ４３を形成する手順を作用とともに説明す
る。

まず、スタンパ１の表面側に保護コートを施し、この保
Ａ％二＋　　ｈ面をスタンパ固定デープル２１側に向１
ノで載置し、図示しない貞空チトツクを作動してスタン
パ１をスタンパ固定テーブル２１に固定する。スタンパ
固定テーブル２１を速度磨ωで定速回転７ると共に、リ
ボン押付部２３内に高爪に除塵かつ除湿された空気を加
圧して注入覆る。

この加圧された空気は吹出孔２５から吹き出し、リボン
押付部２３と研磨リボン２９との間に８Ａｉｔ９い空気
層を形成する。

次にプーリ２７を回転して研磨リボン２９の搬送を開始
する。

このとき、研磨リボン２９は上記空気層によ・）で円滑
に搬送され、その搬送速度Ｖは、Ｖ＞　１００Ｒω　　
　ω：回転角速度Ｒニスタンパ１の半径 に設定される。

すなわら、研磨リボン２９の幅がｌＯ＋＋ｍ以下とした
とき、近似的に放射状の条痕が形成される。

研磨リボン２９の搬送が安定したなら、リボン押付部２
３を下方に下げ、ω）磨リボン２９のｒＩｌ磨而を面タ
ンバ１の方面に接触させ、研磨を開始する。この研磨に
よってブｌ／Ｉ−プるＤ１磨塵は図示しない吸引装置に
よって速かに除去される。

スタンパ′１の全面に渡って放射状の条痕３が形成され
たときに研磨工程を終了づる。

上述したように本実施例の条痕形成装置２０によれば、
近似的に放射状の条痕３を簡易にかつ容易に形成すこと
かできる。

またこのよ゛うにして裏面側に放射状の条痕が形成され
たスタンパは、信頼性の高いものとなる。

〔発明の効果」 以−１−Ｍ１明したように、本発明にＪ：れば、裏面側
に放射状の条痕を形成することによって表面側の案内溝
等に有害な影響をうえる同心固状の条痕を除去−ヂるこ
とができるので、イ３頼ｆ／ｌのＩＧ！ｉいスタンパを
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示すスタンパ裏面側の平
面図、第２図は放射状の条痕を形成する装置の概略を示
す図、第３図は光ディスクの製造過程を示す図、第４図
は従来のスタンパの裏面側の状態を示す平面図である。 １・・・スタンパ ２・・・条痕 ２０・・・条痕形成装置 ２１・・・スタンパ固定テーブル ２３・・・リボン押付部 ２５・・・吹出孔 ２７・・・プーリ ２つ・・・研磨用リボン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 円盤状体の表面側に成形型として記録される案内溝およ
   び、または情報を具備するスタンパにおいて、 このスタンパの裏面側に放射状の条痕を設けたことを特
   徴とするスタンパ。