JPH01241197A - 基板の短絡修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は配線パターンを形成した基板の修正装置に係り
、更に詳しくは配線パターン間の短絡箇所を切除修正治
具によって切除するとともに、エアノズルにより切除片
を排除する基板の短絡修正装置に関する。

（従来の技術〉 配線パターンを形成した基板、例えばプラズマデイスプ
レー装置に用いられるアノード電極とカソード電極は夫
々所定形状の配線パターンが形成された電極板から成る
。すなわち第８図に示す如く、アノード電極又はカソー
ド電極となる基板１上においては横方向若しくは縦方向
に複数の配線パターン１１が形成され、各配線パターン
１１の何れか端部に端子１２が形成されている。通常こ
れ等配線パターン１１は、ニッケル（Ｎｉ）ペーストを
厚膜状に印刷して形成される。特にプラズマデイスプレ
ー装置に供されるアノード、カソードの電極板において
は、各配線パターンは１８０ｇｍと非常に狭い間隔にて
形成される為、印刷板の精度、印刷時に混入する微細な
塵等により第９図に示す如く短絡箇所１３を生じる。こ
の短絡箇所１３は同図（イ）に示す如く、配線パターン
ｌｌａとｌｌｂの両方からニッケルペーストか滲み出た
場合や、又同図（ロ）の如く一方の配線パターンｌｌａ
から滲み出たニッケルペーストが蛇状に他の配線パター
ン１１ｂに接続する場合、更に同図（ハ）の如く再配線
パターン１１ａ、　１　ｌｂ間にニッケルペーストが滴
下して短絡箇所１３を形成する場合等がある。

上記短絡箇所１３を生じた基板ｌにおいては、通常第７
図に示す検査装置２を用いて基板ｌ上の配線パターン１
１における短絡箇所１３の有無を検査し、検出した短絡
箇所１３を取除くことか行われる。すなわち基板ｌの端
子１２に外部接続用端子２１と２２を接続し、一方の外
部接続用端子２１には定電圧電源２３の陽極を、又他方
の外部接続用端子２２には同陰極を接続する。しかも上
記外部接続用端子２２と定電圧電源２３の陰極との間に
は、入力回路３１、出力回路３２．入出力切替回路３３
、更にこれ等を制御するマイクロコンピュータ３４から
成るコンピューターシステム３を接続する。入力回路３
１及び出力回路３２には上記定電圧電源２３の陰極側を
接続させるとともに入力回路３１には上記外部接続用端
子２２を接続する。

斯かるコンピュータシステム３において両外部接続用端
子２１．２２に定電圧電源２３による電圧を印加して各
配線パターン１１の電流導通有無を検知する。そしてこ
の有無に基づき短絡箇所を検出する。次いでマイクロコ
ンピュータ３４による制御によって検出された短絡箇所
に対し電圧を引加し、該電圧により短絡箇所を溶断する
。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら上記の検査装置においては、短絡箇所か大
きいと溶断不能となる場合がある。特に電圧を印加する
配線パターンの幅より大きい幅で短絡箇所が形成される
と、配線パターンからの電圧は十分な溶断能力をもつこ
となく、よって短絡箇所は溶断されることなく残存する
。その為上記検査装置による検査、溶断作業後に、更に
作業者による目視検査で、上記検査装置では溶断不能の
短絡箇所を見つけ出し、マーキングを施すとともにこの
マーキングした短絡箇所をナイフ等の切削治具で取除い
ている。すなわち、短絡箇所を取除くに際して検査装置
と人手による二段階の作業（所謂二度手間）を費やして
いる。

しかも作業者による目視検査の精度は低く、かつ又手作
業による切削作業となる為、短絡箇所のみならず、正常
な配線パターンを損傷させることもある。

何れにおいても複雑且つ非能率的な切除作業であり、且
つ作業精度も低く基板の量産工程には不都合なものであ
った。

く課題を解決するための手段〉 本発明は上記の課題を解決すべく成されたもので、 固定テーブルとこの固定テーブルに設けたサーボモータ
により平面直線状に搬送されるＸ方向搬送テーブルと、
該Ｘ方向搬送テーブルに設けたサーボモータによりＸ方
向搬送テーブル上で且つその搬送方向と平面直交状に搬
送されるｙ方向搬送テーブルと、前記固定テーブルに取
付けた切除修正治具及びエアノズルから成るもので、ｙ
方向搬送テーブルを搬送させることによりｙ方向搬送テ
ーブル上に載置した基板の短絡箇所の生じた配線パター
ン間に切除修正治具を配置し、Ｘ方向搬送テーブルの搬
送によってＹ方向搬送テーブル上の基板を前記切除修正
治具に対して摺接移動させることにより短絡箇所を切除
し、更に前記エアノズルからの圧搾空気によって切除片
を排除するものである。

〈作用〉 すなわち、ｙ方向搬送テーブル平面直交状に搬送させる
ことによって短絡箇所の生じた配線パターン間に切除修
正治具が配置され、斯かる状態においてＸ方向搬送テー
ブルを平面直線状に搬送させるのでｙ方向搬送テーブル
上の基板は切除修正治具に対して摺接移動し、この摺接
移動によって配線パターン間の短絡箇所は連続的に切除
される。特にＸ方向搬送テーブルとｙ方向搬送テープル
の各搬送駆動を、検査装置からの位置情報を受けたコン
ピュータ制御システムによって行うので、正確且迅速に
修正処理を行うことができる。

又切除修正治具によって切除された切除片はエアノズル
からの圧搾空気によって吹き飛ばされ、排除されるので
基板を損傷、汚染させることもない。

〈実施例〉 以下図面に基づき本発明の基板の短絡修正装置を詳細に
説明する。

第１図は、短絡修正装置４の正面図であり、第２図は同
平面図である。

短絡修正装置４の主たる構造は、搬送機構５と切除・排
除機構６から成る。先ず搬送機構５を説明する。

搬送機構５は固定テーブル４１の一端に設けたサーボモ
ータ５１によって螺旋棒５２を旋回させる。

この螺旋棒５２にＸ方向搬送テーブル４２が螺合されて
いる。すなわちサーボモータ５１によって上記螺旋棒５
２が回転すると、Ｘ方向テーブル４２の下面に設けた螺
合部（図示せず）が該螺旋棒５２の回転に従動し、Ｘ方
向テーブル４２は固定テーブル４１上のガイド５：ｌ、
５３に沿って平面直線状に搬送される。

一方Ｘ方向搬送テーブル４２上の手元側一端にはサーボ
モータ５４が設けられ、このサーボモータ５４によって
回転する螺旋棒５５にＸ方向搬送テーブル４３が螺合し
た状態で取付けられている。すなわちサーボモータ５４
によって螺旋棒５５が回転するとＸ方向搬送テーブル４
３の下面に設けた螺合部（図示せず）が螺旋棒５５の回
転に従動し、Ｘ方向搬送テーブル４２に設けられたガイ
ド５６．５６に沿って前記Ｘ方向搬送テーブル４２の搬
送方向と平面直交状に搬送される。

Ｘ方向搬送テーブル４３上では、基板ｌが位置決めロー
ラ４３ａ、４３ｂ、４３ｃと位置決めアライメントロー
ラ４３ｄ、４３ｅによって所定位置に載置される。

又固定テーブル４１上にはベース６１が取付けられ、こ
のベース６１に切除修正治具６２及びエアノズル６３が
設けられている。切除修正治具６２はその先端に切除針
６２ａが取付けられ、この切除針６２ａによって短絡箇
所が剥離状に切除され、生じた切除片がエアノズル６３
からの圧搾空気により飛散される。

上記サーボモータ５１．５４及び切除修正治具６２゜エ
アノズル６３を夫々作動させる制御システムとしては、
第３図のブロック図に示すコンピュータ制御システム７
が用いられる。このコンピュータ制御システム７は端末
機７１．マイクロプロセッサ（ＣＰＵ）７２及び各入出
力ボートｌ１０７３、更にプログラムシーケンスが書込
まれたＲ　ＯＭ　７４及び演算処理したデータを読出し
するＲ　Ａ　Ｍ　７５の各デバイスから成り、上記入出
力ボートｌ１０７３を介してサーボコントローラ７６．
７７及び入出カドライバフ８により各サーボモータ５１
．５４及び切除修正治具６２．エアノズル６３を夫々駆
動させるものである。

このコンピュータ制御システム７に対しては、従来例で
説明した検査装置２からの位置情報がラインＬを介して
入出力ボートｌ１０７３にインプットされる。よってマ
イクロプロセッサ（ＣＰＵ）７２は、ＲＯＭ　７４でプ
ログラム処理されたものなデータバス、アドレスバス等
のパスライン７９を通じてＲＡ　Ｍ　７５による記憶処
理により入出力ボートｌ１０７３に対して演算処理或い
は入出力関係のデータのやりとりを行い、入出力ボート
ｌ１０７：１を介して入出力を行う。第４図は、コンピ
ュータ制御システム７と検査装置２間の情報通信システ
ムを示す図である。この検査装置２は第７図で示す様に
コンピュータシステム３内にマイクロコンピュータ３４
に接続した入出力回路３５を設け、この入出力回路３５
からデータラインＬを介して１本発明の短絡修正装置４
を制御するコンピュータ制御システム７の入出力ボート
ｌ１０７３に基板ｌの位置情報を入力させるものである
。よって端末ｆｉ７１によって操作され作業が開始され
、斯かる状態において基板ｌは既にＸ方向搬送テーブル
４３の所定位置に載置されており、コントローラ７６．
７７　、入出カドライバフ８により切除修正袋＠４の搬
送機構５と切除排除機構６とを下記の如く駆動させるも
のである。

第５図は、搬送機構５による搬送工程を示す図である。

すなわち上述の如く検査装置２からの位置情報に基づき
、コンピュータ制御システム７によってサーボモータ５
１と５４か駆動する。このサーボモータ５１と５４はＸ
方向搬送テーブル４３上に載置された基板１を、その定
位置Ｐ□から短絡箇所の生じた配線パターン１１切除開
始位置Ｐ２まで搬送し、切除修正治具６２をその始端に
配置する。そしてサーボモータ５１の駆動によりＸ方向
搬送テーブル４２を平面直線状に搬送させることによっ
て、切除修正治具６２の先端針６２ａに対して基板ｌを
切除終点位置Ｐ３まで移動させる。切除開始位置Ｐ２か
ら切除終点位置、Ｐ３まで基板ｌが搬送されると第６図
に示す如く、切除修正治具６２の切除針６２ａは、配線
パターンｌｌａ、ｌｌｂ間で摺接移動することになる。

換言すれば切除針６２ａは短絡箇所が生じている配線パ
ターンｌｌａ、ｌｌｂ間全長文に亘って切除工程を行う
ことになる。そしてこの切除工程において切除針６２ａ
は該当する短絡箇所を剥離状に切除し、生じた切除片は
エアノズル６３からの圧搾空気により飛散する。よって
各配線パターンｌｌａ。

１１ｂ間には切除片が残留することなく、清浄な配線パ
ターン１１が維持されることになる。上述の如く同一基
板ｌにおける上記搬送工程と切除排除工程が終了すると
、サーボモータ５１．５４か逆転してＸ方向搬送テーブ
ル４２、Ｘ方向搬送テーブル４３を元の位置（定位置ｐ
ｔ）まで戻す。以下同様にして搬送切除作業が行われる
。

以上の如く検査装置２からの各位置情報及びコンピュー
タ制御システム７による制御によって、サーボモータ５
１，５２．切除修正治具６２．エアノズル６３を夫々駆
動させれば、短絡箇所の生じた配線パターン間に切除修
正治具を配置し１円滑且つ迅速に摺接移動させることに
なり、短絡箇所の切除作業を極めてシステム的に行い得
る。

上述の如く本発明の短絡修正装置は、プラズマデイスプ
レー装置に供される電極基板のみならず、各種電子機器
装置に用いられる各種基板の短絡箇所を切除するものと
しても活用できることは言うまでもない。

〈発明の効果〉 以上説明した様に本発明の短絡修正装置は、配線パター
ン間の短絡箇所を正確且つ迅速に切除することができ、
しかも目視や手作業による検査。

切除作業がなくなり、製品歩留りや基板の電気的信頼性
を著しく向上させ得る。更に予め検査装置からの位置情
報をコンピュータ制御システムに入力させて搬送機構及
び切除・排除機構を作動させるのでシステム的に短絡箇
所を切除でき、よって基板の製造、検査ラインの完全自
動化に好適なものとなりかつ又基板の量産システムを実
現させ得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る短絡修正装置の正面図、 第２図は、同平面図、 第３図は、コンピュータ制御システムのブロック図、 第４図は、本装置と検査装置の情報通信システム図、 第５図は、搬送工程を説明する図、 第６図は、短絡箇所の切除工程を説明する図。 第７図は、検査装置の電気回路系統図、第８図は、基板
の配線パターンを示す図、第９図（イ）、（ロ）、（ハ
）は、配線パターン間の各短絡状態を示す図である。 ｌ・・・基板、　　　　１１・・・配線パターン。 １３・・・短絡箇所、　２・・・検査装置。 ４・・・短絡修正装置、　４１−・・固定テーブル。 ４２・・・Ｘ方向搬送テーブル。 ４３・・・ｙ方向搬送テーブル、５１・・・サーボモー
タ。 ５２・・・螺旋棒、５４・・・サーボモータ。 ５５・・・螺旋棒、　　６・・・切除・排除機構。 ６１・・・ベース、６２・・・切除修正治具。 ６３・・・エアノズル。 ７・・・コンピュータ制御システム。 特許出願人　　　　沖電気工業株式会社ｒｚユ：ｒｚ−
）’η鋼ダ匙 第３図 第５図 第６図 第８図 （イ）　　　　　　　（ロ）　　　　　　（ハ）Ａらｑ
ルヵ外♂ｄＩｌゲス９ １．４Ｇ件の表示 昭和６３年特許願第０６７１８９号 ２、発明の名称 基板の短絡修正装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　特許出願人 住所（〒１０５）　　東京都港区虎ノ門１丁目７番１２
号名称（０２９）沖電気工業株式会社 代表者　　　　　　取締役社長　　小　杉　信　光４、
代　　理　　人 住所（〒１０８）　　東京都港区芝浦４丁目１０番３号
５、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲の欄」、「発明の詳細な説明
の欄」、「図面の簡単な説明６、補正の内容 （１）「特許請求の範囲の欄」を別紙の通り補正する。 （２）明細書第１１頁第１９行乃至第２０行目の［圧搾
空気により飛散する。」の後に、「そして、バキューム
ノズル８４によりこの飛散した切除片を吸引し吸い取る
。」を挿入する。 °（３）明細書第１４頁第１５行目の「８３・・・エア
ノズル、」の後に、「６４・・・バキュームノズル、」
を挿入する。 （４）第１図乃至第３図を別紙の通り補正する。 以上 特許請求の範囲 固定テーブルに設けたサーボモータにより平面直線状に
搬送されるＸ方向搬送テーブルと、該Ｘ方向搬送テーブ
ルに設けたサーボモータによりＸ方向搬送テーブル上で
且つその搬送方向と平面直交状に搬送されるｙ方向搬送
テーブルと、前記固定テーブルに取付けた切除修正治具
及びエアーノズル支旦工４土ユニ差から成り、前記ｙ方
向搬送テーブルの搬送によってｙ方向搬送テーブル上に
載置した基板の短絡箇所の生じた配線パターン間に前記
切除修正治具を配置し、前記Ｘ方向搬送テーブルの搬送
によって該切除修正治具に対してｙ方向搬送テーブル上
の基板を摺接移動させることにより前記短絡箇所を切除
するとともに、前記エアノズルからの圧搾空気によって
切除片を排除しバキュームノズルによる北二Ｗことを特
徴とする基板の短絡修正装置。 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 固定テーブルに設けたサーボモータにより平面直線状に
   搬送されるｘ方向搬送テーブルと、該ｘ方向搬送テーブ
   ルに設けたサーボモータによりｘ方向搬送テーブル上で
   且つその搬送方向と平面直交状に搬送されるｙ方向搬送
   テーブルと、前記固定テーブルに取付けた切除修正治具
   及びエアーノズルから成り、 前記ｙ方向搬送テーブルの搬送によってｙ方向搬送テー
   ブル上に載置した基板の短絡箇所の生じた配線パターン
   間に前記切除修正治具を配置し、前記ｘ方向搬送テーブ
   ルの搬送によって該切除修正治具に対してｙ方向搬送テ
   ーブル上の基板を摺接移動させることにより前記短絡箇
   所を切除するとともに、前記エアノズルからの圧搾空気
   によって切除片を排除することを特徴とする基板の短絡
   修正装置。