JPH01229948A - Ｘ線物体検査装置 - Google Patents
Ｘ線物体検査装置Info
- Publication number
- JPH01229948A JPH01229948A JP63111153A JP11115388A JPH01229948A JP H01229948 A JPH01229948 A JP H01229948A JP 63111153 A JP63111153 A JP 63111153A JP 11115388 A JP11115388 A JP 11115388A JP H01229948 A JPH01229948 A JP H01229948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- rays
- wavelength
- composition
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 abstract description 3
- 239000010437 gem Substances 0.000 abstract description 2
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010977 jade Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 229910021532 Calcite Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 1
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- -1 ores Substances 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はダイヤモンド、ヒスイ、水晶等、天然人工宝石
類、ガラス、セラミ７り、鉱石、８石。
類、ガラス、セラミ７り、鉱石、８石。
青金底、考古物等の個体物１種々の液体、粉体。
有機物１人体、動物等の広範囲の物体の組成・構造・寸
法を定量的・計数的に解析判別するためのｆ１力な数値
情報を出力するＸ線物体検査装置Ｆこ関する。
法を定量的・計数的に解析判別するためのｆ１力な数値
情報を出力するＸ線物体検査装置Ｆこ関する。
（従来の技術）
従来から連続Ｘ線を物体に投射して、そのＸ線量の透過
率（吸収計数）又は同じ性質をもつＸ線フィルムから物
体を判別する方法が広くなされている。
率（吸収計数）又は同じ性質をもつＸ線フィルムから物
体を判別する方法が広くなされている。
又、これを改良したＸ線検査装置として本発明者の開発
に係る実開昭５５−１１２２４８号公報及び実開昭５７
−２０６４８号公報記載の宝石類鑑定装置と特公昭４４
−２２３９６号公報記載のＸ線発生装置とが知られてい
る。前者は検査物体を通過させるＸ線ビームと通過させ
ないＸ線ビームを−ｉ又は二個のＸ線センサーで＋ｊ’
ｌ’ ｄ（’Ｉ してその検出値を用いて物体の判別を
定量的に行わせるものである。又、後者はＸ線管のター
ゲットとフィルターとを共通の元素で１１が成し、共通
の元素の特性放射線ライン系列を取り囲んだ比較的狭い
周波数スペクトルのＸ線を使用して物体を透過させてコ
ントラストの良好なＸ線像・透過像を得ようとするもの
である。
に係る実開昭５５−１１２２４８号公報及び実開昭５７
−２０６４８号公報記載の宝石類鑑定装置と特公昭４４
−２２３９６号公報記載のＸ線発生装置とが知られてい
る。前者は検査物体を通過させるＸ線ビームと通過させ
ないＸ線ビームを−ｉ又は二個のＸ線センサーで＋ｊ’
ｌ’ ｄ（’Ｉ してその検出値を用いて物体の判別を
定量的に行わせるものである。又、後者はＸ線管のター
ゲットとフィルターとを共通の元素で１１が成し、共通
の元素の特性放射線ライン系列を取り囲んだ比較的狭い
周波数スペクトルのＸ線を使用して物体を透過させてコ
ントラストの良好なＸ線像・透過像を得ようとするもの
である。
（発明が解決しようとする課題）
従来、連続Ｘ線を物体に投射して、そのＸ線情の透過率
又はＸ線フィルムより物体をおおざっばに判別すること
は既に知られているが、物体の組成とＸ線量の絶対値、
厚みと使用波長とが複雑な相関関係にあり計数的に判別
することは勿論正確１つ迅速に判別することは出来なか
った。又、本発明者の開発した実開昭５５−１１２２４
８号公報及び実開昭５７−２０６４８号公報記載の装置
では、通過・非通過のＸ線ビームの二つのＸ線量？使う
こｋでＸ、ＰＩｌ管・自然界のＸ線強さの時間的変動に
よる１２；差を小さく抑えることができるようにした。
又はＸ線フィルムより物体をおおざっばに判別すること
は既に知られているが、物体の組成とＸ線量の絶対値、
厚みと使用波長とが複雑な相関関係にあり計数的に判別
することは勿論正確１つ迅速に判別することは出来なか
った。又、本発明者の開発した実開昭５５−１１２２４
８号公報及び実開昭５７−２０６４８号公報記載の装置
では、通過・非通過のＸ線ビームの二つのＸ線量？使う
こｋでＸ、ＰＩｌ管・自然界のＸ線強さの時間的変動に
よる１２；差を小さく抑えることができるようにした。
しかしながら、本装置では特殊なフィルターを使ってな
いので、Ｘ線の波長域が広く高精度の定危解析ができな
いという問題点があった。
いので、Ｘ線の波長域が広く高精度の定危解析ができな
いという問題点があった。
又物体組成の同定までの定量的解析までは実用化されて
なかった。
なかった。
又、後各の特公昭４４−２２３９６号公報の装置では、
特殊なフィルターを使ってＸ線スペクトルを狭い周波数
域に制限するが、そのＸ線の検出は従来通りのＸ線フィ
ルム、Ｘ線映像によるものであり、このＸ線像のコント
ラストを良好にして定性的判断ができ易いようにできて
いるが、未だ定量的に計量化できるものでなく、Ｘ線像
のフントラストから物体の内部構造を人間の経験と判断
で測るだけであって、物体組成の同定及び定１的解升が
行えるものではなかった。
特殊なフィルターを使ってＸ線スペクトルを狭い周波数
域に制限するが、そのＸ線の検出は従来通りのＸ線フィ
ルム、Ｘ線映像によるものであり、このＸ線像のコント
ラストを良好にして定性的判断ができ易いようにできて
いるが、未だ定量的に計量化できるものでなく、Ｘ線像
のフントラストから物体の内部構造を人間の経験と判断
で測るだけであって、物体組成の同定及び定１的解升が
行えるものではなかった。
本発明の課題は、かかる問題点を解消して極めて精度が
高く且つ非破壊で定量的解析と物体の組成の同定が行え
るというＸ線物体検査装置を提供せんとするものである
。
高く且つ非破壊で定量的解析と物体の組成の同定が行え
るというＸ線物体検査装置を提供せんとするものである
。
（課題を解決するための手段）
本発明の要旨は、連続Ｘ線発生源からのＸ線を検査しよ
うとする物体に照射してそのＸ線量をＸ線センサーで計
測する装置に於いて、連続Ｘ線の０．８ス波長以下にお
ける最強度波長λｍの（１＋０６７） λｍ以上の長い
波長及び（１−０，７）λｍ以Ｆの短かい波長を遮断す
るフィルターを車続Ｘ線発生源とＸ線センサーとの間に
設け、そして同じＸ線センサーで計測した物体を通過さ
せた時の透過Ｘ線量と物体を通過させない時のＸ線のＸ
線惟の対数比を求める対数計算回路を設け、同ｚｉ数計
算回路より出力する対数比を物体組成・構造・手法の定
量的解析情報とすることを特徴とするＸ線物体検査装置
にある。
うとする物体に照射してそのＸ線量をＸ線センサーで計
測する装置に於いて、連続Ｘ線の０．８ス波長以下にお
ける最強度波長λｍの（１＋０６７） λｍ以上の長い
波長及び（１−０，７）λｍ以Ｆの短かい波長を遮断す
るフィルターを車続Ｘ線発生源とＸ線センサーとの間に
設け、そして同じＸ線センサーで計測した物体を通過さ
せた時の透過Ｘ線量と物体を通過させない時のＸ線のＸ
線惟の対数比を求める対数計算回路を設け、同ｚｉ数計
算回路より出力する対数比を物体組成・構造・手法の定
量的解析情報とすることを特徴とするＸ線物体検査装置
にある。
ここで、フィルターとしては銅、アルミ等金属板が使用
されその材質と厚みはＸ線管電工、Ｘ線管ターゲットに
よって適宜選択される。Ｘ線管のターゲットとじてはタ
ングステ／ＷＩ りｐムＣｒ等がある。又、フィルター
で遮断されたＸ線波長は１．７λｍ〉λ〉０．３λｍの
すべての波長を使用してもよいし、史にその範囲内の特
定波長又は更Ｖこ狭く絞った波長域の波長を使用しても
よい。そして、Ｘ線ビームの波長は狭く絞られる程その
分解能、判別精度は高まる。
されその材質と厚みはＸ線管電工、Ｘ線管ターゲットに
よって適宜選択される。Ｘ線管のターゲットとじてはタ
ングステ／ＷＩ りｐムＣｒ等がある。又、フィルター
で遮断されたＸ線波長は１．７λｍ〉λ〉０．３λｍの
すべての波長を使用してもよいし、史にその範囲内の特
定波長又は更Ｖこ狭く絞った波長域の波長を使用しても
よい。そして、Ｘ線ビームの波長は狭く絞られる程その
分解能、判別精度は高まる。
（作用）
本発明では、同一の連続Ｘ線発生源からのＸ線ビーム全
フィルターに通過させ、連続Ｘ線の０．８ＸＸ波長下に
おける最強度波長λｍの（１＋０．７）λｍ以Ｅの長い
波長及び（１−０，７）λｍｍトド短かい波長を遮断し
、そしてそのフィルターを通過したＸ線ビームに組成を
判別しようとする広物、セラミック等、固体あるいは液
体、有機物、生物体の物体？通過させ、物体を通過させ
たＸ線ビームと物体を通過させない時のＸ線ビーノ、の
Ｘ線量を一的のＸ線センサーで７１１１１定する。物体
な通過させない時のＸ線ビームのＸ線用の測定は物体を
ｎす定位置ンこ移動させる曲、又は後、その中間におい
て行う。なるべく直前・直後の測定値を使うことがよく
、複数の測定値から統計処理あるいは物体通過測定時に
おける非通過のＸ線強さ？計算から求めるようにしても
よい。次にこの一個のＸ線センサーで測定されたＸ線量
Ａ、Ｂを対数計算回路に入力し、その比Ｂ／Ａを求め、
更にその対数ムＢ／Ａを求める。この対数計算回路で計
算された対数、ｅ４ＶＢ ／ Ａの値を出力し、これを
もってＸ線物体倹在の物体組成・構造・寸法の定量的解
析情報とするものである。
フィルターに通過させ、連続Ｘ線の０．８ＸＸ波長下に
おける最強度波長λｍの（１＋０．７）λｍ以Ｅの長い
波長及び（１−０，７）λｍｍトド短かい波長を遮断し
、そしてそのフィルターを通過したＸ線ビームに組成を
判別しようとする広物、セラミック等、固体あるいは液
体、有機物、生物体の物体？通過させ、物体を通過させ
たＸ線ビームと物体を通過させない時のＸ線ビーノ、の
Ｘ線量を一的のＸ線センサーで７１１１１定する。物体
な通過させない時のＸ線ビームのＸ線用の測定は物体を
ｎす定位置ンこ移動させる曲、又は後、その中間におい
て行う。なるべく直前・直後の測定値を使うことがよく
、複数の測定値から統計処理あるいは物体通過測定時に
おける非通過のＸ線強さ？計算から求めるようにしても
よい。次にこの一個のＸ線センサーで測定されたＸ線量
Ａ、Ｂを対数計算回路に入力し、その比Ｂ／Ａを求め、
更にその対数ムＢ／Ａを求める。この対数計算回路で計
算された対数、ｅ４ＶＢ ／ Ａの値を出力し、これを
もってＸ線物体倹在の物体組成・構造・寸法の定量的解
析情報とするものである。
この対数ムＢ／Ａの値と物体の厚みとの比なとって物体
の組成の分析・同定に使ってもよいし、又この対数ｋ
Ｂ／Ａの値を生のまま、物体の厚、にとの比？とらず使
用することもできる。この場合物体が同一組成を予め仮
定できるときは物体の厚み・構造の情報となる。又同一
製品の検査１こ使うときは製品の品質のバラツキ、組成
変化を示す情報として丈えるものである。又、この対数
Ｊ、Ｂ／Ａの値は生のまま使ってもよいし、階段的分類
・色信号・フード化等の次工程の分析・解析・表示処理
し易いものに加工することができる。
の組成の分析・同定に使ってもよいし、又この対数ｋ
Ｂ／Ａの値を生のまま、物体の厚、にとの比？とらず使
用することもできる。この場合物体が同一組成を予め仮
定できるときは物体の厚み・構造の情報となる。又同一
製品の検査１こ使うときは製品の品質のバラツキ、組成
変化を示す情報として丈えるものである。又、この対数
Ｊ、Ｂ／Ａの値は生のまま使ってもよいし、階段的分類
・色信号・フード化等の次工程の分析・解析・表示処理
し易いものに加工することができる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。この実施例で
はＸ線管としてタングステンターゲットのＸ線管（１）
？使用、Ｘ線管ｆｌ）に所定電圧？印加してＸ線を発生
させ、透孔（３）のあるＸ線完全遮断材からなる／−ル
ド板（＋４に向けて投射せしめる。
はＸ線管としてタングステンターゲットのＸ線管（１）
？使用、Ｘ線管ｆｌ）に所定電圧？印加してＸ線を発生
させ、透孔（３）のあるＸ線完全遮断材からなる／−ル
ド板（＋４に向けて投射せしめる。
；／−ルト板（ＬＪの透孔（３）上には銅、又はアルミ
の金１４板のフィルター（２）が載置されている。タ／
ゲステンターゲットＸ線管（１）から発生したＸ線は連
続線スペクトルの特性をもち、０．８λ以下において波
長λｍで強度のピークをもつフィルター（２）？通過す
るＸ線ビームの波長λ＋ｉ１．７λｍ＞λ〉０．３λ□
となって１７λｍ以上、０．３λｍ以下の波長は遮断さ
れる。尚、照射されるＸ線をビームにするための７−ル
ド板（４）、 ＋１４の孔ｆ３１． ＋５１はいずれが
一方（Ｆ又は下）だけでもよいし、父上上二個設けるこ
と？こまってＸ線ビーム（一つの方向のＸ線）？選択す
ることができる。
の金１４板のフィルター（２）が載置されている。タ／
ゲステンターゲットＸ線管（１）から発生したＸ線は連
続線スペクトルの特性をもち、０．８λ以下において波
長λｍで強度のピークをもつフィルター（２）？通過す
るＸ線ビームの波長λ＋ｉ１．７λｍ＞λ〉０．３λ□
となって１７λｍ以上、０．３λｍ以下の波長は遮断さ
れる。尚、照射されるＸ線をビームにするための７−ル
ド板（４）、 ＋１４の孔ｆ３１． ＋５１はいずれが
一方（Ｆ又は下）だけでもよいし、父上上二個設けるこ
と？こまってＸ線ビーム（一つの方向のＸ線）？選択す
ることができる。
宝石、セラミック等固体又は液体、′Ｌ物体等の彼判別
物（Ｍ）を／−ルド板（４）の一方の孔（５）上に置き
、Ｘ線ビームを投射する。フィルター（２）によって長
い波長及び短い波長を遮断されたＸ線ビームは／−ルド
板（１４の透孔（３）を通過して被判別物体（Ｍ）、孔
（５）を透過してその下方のＸ線センサー（６）シこよ
ってＸ線量Ａが測定される。又、／−ルド坂（４）の孔
（５）Ｆから被判別物体（Ｍ）を移動させ、又は被判別
物体（Ｍ）を孔（５）ｆにのせる曲に被判別物体（Ｍ）
を通過させないＸ線ビームのＸ線ｚＢをＸ線センサー（
６）によって測定し、これらＸ線量Ａ−Ｂを計算回路（
７）に入力し、同対数計算計算する。又彼９判別物体（
Ｍ）の厚み（物体のＸ線透過距ｆｆ１）をマイクロメー
タ等の手段によって測定し、その厚みを厚み測定値イン
プット回路（８）を介して傾き計算回路（９）に入力し
て、厚みｔ／Ｊ、τの値又はその逆数値を計算し、これ
を照合回路（１′４に入力し、一方便用したＸ線管（１
）の印加電圧の値をＸ線管電圧インプット回路計を介し
て照合回路（１のに入力し、照合回路０２においてその
Ｘ線管電圧に応じた傾き値（厚みｔ／Ａ Ｔの値、又は
Δｔ／ΔＡＬの値）又はその逆数値のデータ記憶をデー
タ記憶回路（１１）から引出し、その傾き値に対応する
物体組成を検索して判別結果その基礎データを表示Ｗ
（１３に物体名、識別記号、数字でもって表示するもの
である。この様に連続Ｘ線の特定領域の波長を使用する
ことによってＸ線管電圧が一定であれば被判別物の厚４
々と二つのＸ線ビームの透過Ｘ線量の比の対数値は厚み
ンこかかＪつらず、比例関係とすることができる。しか
もその傾き（厚入ｔ／ム、Ｌ）はその物体組成によって
一念的に定ハ まるものである。例えばガラスでは１５．ダイヤモ／ド
では４８．水晶は１８．ヒスイは１３．方解石は９．ホ
タル石は７の傾値２とる。同様に他の考古物、貴金属、
セラミック等の固体、アルコール等の液体、何ｔａ物で
も同様に回付の傾値をもつものである。従って所定のＸ
線管電圧に対するこれら直線の傾き又は逆数値をデ〜り
記憶回路（１０に予め測定して記憶させておけばＸ線管
電圧と被判別物の厚みｔとＸ線量の比の対数直入Ｔとか
らその物体の組成が計数的に判別でき、その物体が何で
あるか簡ｔｌｉに判別できるものである。しかも被判別
物体（Ｍ）の厚みにかかわらず、比例関係、傾きは不変
であるから正確に、几つ迅速に判別できるものとなって
いる。
物（Ｍ）を／−ルド板（４）の一方の孔（５）上に置き
、Ｘ線ビームを投射する。フィルター（２）によって長
い波長及び短い波長を遮断されたＸ線ビームは／−ルド
板（１４の透孔（３）を通過して被判別物体（Ｍ）、孔
（５）を透過してその下方のＸ線センサー（６）シこよ
ってＸ線量Ａが測定される。又、／−ルド坂（４）の孔
（５）Ｆから被判別物体（Ｍ）を移動させ、又は被判別
物体（Ｍ）を孔（５）ｆにのせる曲に被判別物体（Ｍ）
を通過させないＸ線ビームのＸ線ｚＢをＸ線センサー（
６）によって測定し、これらＸ線量Ａ−Ｂを計算回路（
７）に入力し、同対数計算計算する。又彼９判別物体（
Ｍ）の厚み（物体のＸ線透過距ｆｆ１）をマイクロメー
タ等の手段によって測定し、その厚みを厚み測定値イン
プット回路（８）を介して傾き計算回路（９）に入力し
て、厚みｔ／Ｊ、τの値又はその逆数値を計算し、これ
を照合回路（１′４に入力し、一方便用したＸ線管（１
）の印加電圧の値をＸ線管電圧インプット回路計を介し
て照合回路（１のに入力し、照合回路０２においてその
Ｘ線管電圧に応じた傾き値（厚みｔ／Ａ Ｔの値、又は
Δｔ／ΔＡＬの値）又はその逆数値のデータ記憶をデー
タ記憶回路（１１）から引出し、その傾き値に対応する
物体組成を検索して判別結果その基礎データを表示Ｗ
（１３に物体名、識別記号、数字でもって表示するもの
である。この様に連続Ｘ線の特定領域の波長を使用する
ことによってＸ線管電圧が一定であれば被判別物の厚４
々と二つのＸ線ビームの透過Ｘ線量の比の対数値は厚み
ンこかかＪつらず、比例関係とすることができる。しか
もその傾き（厚入ｔ／ム、Ｌ）はその物体組成によって
一念的に定ハ まるものである。例えばガラスでは１５．ダイヤモ／ド
では４８．水晶は１８．ヒスイは１３．方解石は９．ホ
タル石は７の傾値２とる。同様に他の考古物、貴金属、
セラミック等の固体、アルコール等の液体、何ｔａ物で
も同様に回付の傾値をもつものである。従って所定のＸ
線管電圧に対するこれら直線の傾き又は逆数値をデ〜り
記憶回路（１０に予め測定して記憶させておけばＸ線管
電圧と被判別物の厚みｔとＸ線量の比の対数直入Ｔとか
らその物体の組成が計数的に判別でき、その物体が何で
あるか簡ｔｌｉに判別できるものである。しかも被判別
物体（Ｍ）の厚みにかかわらず、比例関係、傾きは不変
であるから正確に、几つ迅速に判別できるものとなって
いる。
尚、Ｘ線管電圧は、その彼？−１１別物体（Ｍ）が金属
か鉱物、セラミツタ等の固体、液体、４Ｎａ物。
か鉱物、セラミツタ等の固体、液体、４Ｎａ物。
生物体かをこまって、及びその厚みによって適切な電圧
のものに選択されるものである。
のものに選択されるものである。
（発明の効果）
以上、本発明によれば、検査する物体を通過したＸ線量
と、非通過のＸ線量を一個のＸ線センサーでもって測定
し、そのＸ線量の比の対数値を出力し、その値を物体組
成・構造・手法等の定計解析情・服としている。この値
は物体組成の固有な値を保有しているので、この値に店
づく組成・構ｆＩＩｔ度のものとすることができ、物体
の非破壊の何ハ 効な倹−ｅとすることができる。持１こ製品の品質管理
検査上寄与するところ大となるものである。
と、非通過のＸ線量を一個のＸ線センサーでもって測定
し、そのＸ線量の比の対数値を出力し、その値を物体組
成・構造・手法等の定計解析情・服としている。この値
は物体組成の固有な値を保有しているので、この値に店
づく組成・構ｆＩＩｔ度のものとすることができ、物体
の非破壊の何ハ 効な倹−ｅとすることができる。持１こ製品の品質管理
検査上寄与するところ大となるものである。
第１図は本発明の実施例を示す説明図である。
＋１）：Ｘ線管 （２）： フィルター（３）
：透 孔 （４）二／−ルド板（５）： 孔
（６１：Ｘ線センサー（カニ対数計算回路 （８）：厚み測定値イ／プｙト回路 （９）−傾き計算回路 （１１：Ｘ線管電圧イ／プツト回路 （１１）：データ記憶回路
：透 孔 （４）二／−ルド板（５）： 孔
（６１：Ｘ線センサー（カニ対数計算回路 （８）：厚み測定値イ／プｙト回路 （９）−傾き計算回路 （１１：Ｘ線管電圧イ／プツト回路 （１１）：データ記憶回路
Claims (1)
- １）連続Ｘ線発生源からのＸ線を検査しようとする物体
に照射してそのＸ線量をＸ線センサーで計測する装置に
於いて、連続Ｘ線の０．８Å波長以下における最強度波
長λｍの（１＋０．７）λｍ以上の長い波長及び（１−
０．７）λｍ以下の短かい波長を遮断するフィルターを
連続Ｘ線発生源とＸ線センサーとの間に設け、そして同
じＸ線センサーで計測した物体を通過させた時の透過Ｘ
線量と物体を通過させない時のＸ線のＸ線量の対数比を
求める対数計算回路を設け、同対数計算回路より出力す
る対数比を物体組成・構造・寸法の定量的解析情報とす
ることを特徴とするＸ線物体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63111153A JPH01229948A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | Ｘ線物体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63111153A JPH01229948A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | Ｘ線物体検査装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57134392A Division JPS5923236A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | 物体組成判別法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01229948A true JPH01229948A (ja) | 1989-09-13 |
Family
ID=14553808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63111153A Pending JPH01229948A (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | Ｘ線物体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01229948A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112248U (ja) * | 1979-01-31 | 1980-08-07 | ||
| JPS55155237A (en) * | 1979-05-22 | 1980-12-03 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Radiation absorbing type measuring apparatus |
-
1988
- 1988-05-07 JP JP63111153A patent/JPH01229948A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55112248U (ja) * | 1979-01-31 | 1980-08-07 | ||
| JPS55155237A (en) * | 1979-05-22 | 1980-12-03 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Radiation absorbing type measuring apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Bell | Determination of dynamic plastic strain through the use of diffraction gratings | |
| US4476231A (en) | Method of analyzing the distribution of a reagent between particles and liquid in a suspension | |
| CN103471535A (zh) | 一种用底片黑度值测算匀质材料厚度的方法 | |
| JP2008268076A (ja) | 非破壊識別方法及び非破壊識別装置 | |
| US2549987A (en) | X-ray diffraction method | |
| US3452193A (en) | Moisture content measuring method and apparatus | |
| JPH0229983B2 (ja) | ||
| JPH01229948A (ja) | Ｘ線物体検査装置 | |
| US3427110A (en) | Method for inspecting objects having parallel faces | |
| GB2107560A (en) | A method for determining the orientation of a crystal | |
| Rockoff et al. | Quantitation of relevant image information: automated radiographic bone trabecular characterization | |
| Mayer et al. | A scintillation counter technique for the X-ray determination of bone mineral content | |
| JPH0288952A (ja) | 組織を分析する方法および装置 | |
| JPS62273431A (ja) | 噴射燃料の平均粒径計測装置 | |
| Sully | A Simple Method for the Study of Metallic Diffusion in Certain Binary Alloy Systems | |
| JPS5923236A (ja) | 物体組成判別法 | |
| RU2819825C1 (ru) | Способ определения распределения интенсивности лазерного излучения в поперечном сечении пучка | |
| JP2821200B2 (ja) | 粒子測定方法および装置 | |
| JP3282580B2 (ja) | レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置 | |
| Hawkesworth et al. | Some measurements of the resolving power of the intensifying screens used for radiography with beams of thermal neutrons | |
| Robertson et al. | Photometry of X-ray crystal diffraction diagrams | |
| More et al. | Identification of origitnal gold using Digital Image Processing | |
| JP3018043B2 (ja) | 膜厚測定用検量線作成方法 | |
| JPS6353456A (ja) | 単色ｘ線画像計測装置 | |
| SU957103A1 (ru) | Устройство дл определени содержани жира в молоке |