JPH01228764A - 平面研磨方法と平面研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 主業上支且里分■ 本発明は平面研磨方法と平面研磨機に関し、プリント基
板を製造する工程においてプリント基板の表面処理を行
うための表面研磨方法と装置として開発されたものであ
るが、広く平面部材用として使用し得る。

従来■且■ 出願人の昭和６２年ＩＩ付１０日付の平面部材の表面研
磨方法とその装置、特願昭６２−２８３３６８号には平
面偏心運動する研磨部材にて平面部材表面を研出するこ
とを記載した。

上述の発明によって１回転ブラシの毛が半径方向距離に
よって異なるエネルギを付与されるのと異なり、偏心運
動のブラシの毛は夫々が同じエネルギを付与されるため
著しく均等な研磨を行うことができる。

一１！＜パシよ゛と　る号 本発明の目的は上述の発明を具体化すると共にブラシの
摩耗の際の研磨圧力の調節を容易にすることにある。

！１゛　　るための 上述の目的を達成するための本発明による平面偏心運動
する研磨部材にて平面部材表面をｖｒ磨する方法は、上
記研磨部材をほぼ長方形とし、ｒ＋７ＦＩＸｆ部材の上
方に作用するｉｌｌに対する釣合装置によって研磨圧力
を調節する。

本発明による平面偏心運動する研磨部材にて平面部材表
面を研磨する平面研磨機は、モータと。

モータの回転を偏心運動に変換する装置と、該変換装置
に連結したほぼ長方形の研磨部材と、研磨部材と平面部
材との間の研磨圧力調節装置とを備える。

この場合の実施例として、研磨圧力調節装置を前記変換
装置を含み研磨部材上方に作用する重量に対する釣合装
置とする。

好適な実施例によって、釣合装置に作用する力を調節す
る装置を含む。

本発明による板材用の平面研磨機は、板材を送るコンベ
ヤと、モータと、モータの回転を平面偏心運動に変換す
る装置と、該変換装置に連結したほぼ長方形の研磨部材
と、該研磨部材の回転を防ぐ装置と、ｖｒ磨磨材材研磨
圧力を調節する装置とを含む。

この場合の好適な実施例は、モータと変換装置とｒＩＪ
ｆ磨部材止部材持するエアシリンダを研磨圧力調節装置
とする。

他の実施例によって、変換装置と研磨部材との間に介挿
したばねを研磨圧力調節装置とする。

皿 上述した通り５本発明によって小型で作動確実な平面研
磨機と研磨方法が得られ、ブラシ等の研磨部材が摩耗し
た時に容易に研磨圧力を調整可能となる。

本発明の平面研磨機は偏心運動する研磨部材を使用する
ため、研磨部材を平面接触させても全面が均等なエネル
ギを付与され、均等な研磨効果を得られる。

去胤皿 本発明を例示とした実施例並びに図面について説明する
。

第１．２．３図は本発明による平面研磨機の全体図を示
し、フレーム装置ｌとコンベヤ装置２と２１固の研磨ユ
ニット３．４とから成る。

フレーム装置１は所要の枠組のフレーム１０とフレーム
１０を緩衝支持する４個の取付装置１１とを有する。フ
レームＩＯは第３図に示す通り中央に凹部１２を形成し
てコンベヤ取付部Ｉ４とし、更に防水箱１６を収容する
。防水箱１６はコンベヤ装置２の全長を囲み、排水口１
８を有する。フレーム１０の突出部２０は研磨ユニット
３．４の取付部を形成する。

コンベヤ装置２は第１図に示す通り、駆動プーリ２２を
フレーム１０のブラケット２４上に支持したモータ２６
からプーリ２８　、３０　、ベルト３２を介して駆動さ
れ、従動プーリ３４との間に無端ベルト３６を係合する
。板部材の支持面を形成するために、ベルト３６の上下
に複数のローラーの組３８を支持し、下部ローラー４０
はフレーム１０に支承し、上部ローラー４２は所要のば
ね負荷として薄板部材を平面に支持させ名。所要に応じ
て第１の上部ローラー４２を駆動ローラーとする。コン
ベヤ装置２の上流下流側は図示しない通常のコンベヤに
接続する。

ｒｔｌＦｌｆユニット３，４は共通支持フレーム４４上
に支持する。支持フレーム４４は図に示す通りほぼ箱型
とし縁部及び中央の稜４６．４８によって補強する。

支持フレーム４４はフレーム１０の突出部２０上に位置
調節部材５０を介して取付けて研磨ユニット３．４のコ
ンベヤベルト、３６に対する水平を調節する。更にエア
シリンダ５２．案内ロッド５４によって支持フレーム４
４を研磨ユニット３．４と共に第３図の点線位置に持上
げて２点検修理を容易にする。開閉可能のカバー５６を
支持フレーム４４に取付ける。

ｇＦ磨ユニット３．４はコンベヤベルト３６の巾の各１
７２を担当し、同形であるため一方のみについて説明す
る。研磨ユニット３は研磨装置６０．研磨ブラシ６２．
圧力調節装置６４から成り、支持フレーム４４に対して
後述する可動支持とした支持板６６上に支持される。

研磨装置６０は第４．５図に示す通り、支持板６６上に
固着した駆動モータ７０と、モータ７０にプーリ７２ベ
ルト７４プーリ７６を介して駆動される偏心装置７８か
ら成る。偏心装置７８の詳細を第５図に示し、支持板６
６に取付けた本体８０とプーリ７６を固着し本体８０内
に軸受８２，８４によって回転支持される中子８６と、
中子８６内の偏心孔８８と、偏心孔８８内で回転しない
偏心運動を行うブラシ駆動軸９０とを有し、中子８６と
軸９０との間に所要の軸受９２，９４を介挿して相対回
転を行う。ブラシ駆動軸９０の回転を防ぐためには第２
図に示すレバー機構９６又は所要の人造ゴム回転抑止機
構を軸９０の頂部に取付ける。軸９Ｇの下端のフランジ
９８にブラシ６２を取付ける。

ブラシ６２を第６．７．８図に示し、フランジ９日に取
付ける鞍型の支持部材１００と、上部取付板１０２とブ
ラシ取付板１０４とを有し、板１０４に多数の研磨ブラ
シ１０６を取付ける。＠１０２，１０４間を空洞１０８
とし、０リング１１０を介挿して給水室とする。板１０
４に溝１１２を形成し溝内に給水孔１１４を形成する。

図示しない給水口から研磨作業間に水を供給する。研磨
ブラシ１０６は例えば研磨材入りのナイロン線とし、多
数の束として取付板１０４に取付ける。軸９０の偏心運
動によって１支持部材１００．取付板１０２，１０４．
研磨ブラシ１０６は全体として円運動を行い、コンベヤ
３６の送りによって平面部材１例えばプリント基板上に
らせん状の研磨族を形成して平滑な平面を得る。各研磨
ブラシに供給するエネルギは等しく１回転ブラシと異な
り、半径方向位置によって相違することはない。第１，
７図に示す通り１ブラシ１０６に対向する位置にベルト
３８の下にバックアップ部材１１Ｇを取付けて１１９圧
力を受ける。

圧力調節装置６４を第４．９．１０図に示し、研磨装置
６０を支持する支持板６６を支持フレーム４４に対して
浮動支持して研磨圧力を調節する。圧力調節装置６４に
前後のウオーム装置１２０，１２２とウオーム装置の下
方のエアシリンダ１２４，１２６とを有する。同形であ
るため一方のみを説明する。

第２図に示すハンドル１３０に連結した軸１３２にベベ
ル歯車１３４．１３６を固着し、ベベル歯車１３８゜１
３８に係合させる。歯車１３８に取付けた軸１４０に固
着したウオーム１４２にウオームホイール１４４を係合
させる。ウオームホイール１４４を軸１４６に相対回転
しない取付とする。支持板６６に取付けたブラケット１
４８に軸１４０．１４６を支承する。ハンドル１３０を
回転すれば歯車装置を介して軸１４６が上下する、支持
フレーム４６にエアシリンダ１２４を取付け、ビスｊ・
ン１５０を軸＋４６に対向させる。エアシリンダ１２４
を作動して軸１４６を介して支持板６６を持上げて所要
の研磨圧力とする。

所要に応じて１図示の＠層圧力調節装置を使用せず、ブ
ラシ装置６２の鞘型部材１００と支持板１０２との間に
所要のばねを介挿して研磨圧力を形成させることもでき
る。ばねを交換して圧力調節を行い構造的には簡単にな
る。

研磨装置の作動について説明する。

第１にコンベヤ装置２のコンベヤベルト３６とブラシ１
０６との間の水平をフレーム１０の面２０上の案内ロッ
ド５０上の調節部材５４の調節によって支持フレーム４
４の水平を出す。次にハンドル１３０を１４して研り圧
力を調節する。

エアシリンダ１２４．１２６を作動して支持板６６を上
げて研磨ユニット３．４を上げ、所要の研磨圧力とする
。モータ２６，７０を作動してコンベヤ３６を動かし、
ブラシ装置６２を偏心運動させて作業準備を完了する。

図示しないコンベヤからコンベヤベルト３６上にｖｒＩ
ｖすべき薄板、例えばプリント基板が供給される。薄板
の巾が狭い時、即ちコンベヤベルト３６の巾の１／２よ
りも狭い時は研磨ユニｙト３．４の一方のみを使用する
。コンベヤベルト３６上に所要の案内部材を設けて薄板
の通過を限定する。

供給された薄板はローラーの組３８のローラー４２によ
ってベルト３６上に押圧されてブラシ装置６２の下を通
る。研磨装置６０のモータ７０からプーリ７２゜ベルト
７４．プーリ７６を経て偏心装置７８の中子８６が回転
し、偏心孔８８内で軸９０が偏心運動を行う。軸９０は
所要の抑止装Ｗ９６によって回転しない抑止とし、偏心
運動のみをフランジ９８を経てブラシ装置６２に伝達す
る。ブラシ装置６２は鞍型部材１００．板１０２、１０
４を介してブラシ１０６に偏心運動を伝達して薄板の研
磨を行う。この偏心運動はブラシ１０６の凡ての毛に等
しいエネルギを付与し、ブラシの各部分は等しい研磨能
力となる。従来の回転式のブラシは半径方向外方の毛が
大きな速度即ち研磨エネルギを付与され、半径方向内方
では小さなエネルギを付与されたために不同の研磨能力
であったのに比較して著しく均等な研磨を行うことば明
らかである。

研磨作業間１図示しない給水装置からの加圧水はブラシ
装置６２の板１０２．１０４間に形成されたスペース１
０８に入り、給水溝１１２．給水孔１１４を経て研磨面
に達し、コンベヤ装置２を囲む防水箱１６に入り、排水
口Ｉ８を経て流出する。研磨を終了した薄板はコンベヤ
３６上を出口側に出て１図示しない排出コンベヤに入る
。

ブラシ１０６の摩耗によって研磨圧力が減少した時は研
磨圧力調節装置６４のハンドル１３０を回転して圧力を
調節する。ハンドル１３０の回転は軸１３２゜ベベル歯
車＋３４を経て両側の圧力調節装置１２０゜１２２に伝
達されベベル歯車Ｉ３８．軸１４０．ウオーム１４２、
ウオームホイール１４４を経て軸１４６を上に動かし、
シリンダ＋５０に対して支持板６６を下げて研磨装置６
０のブラシ装置６２を下げる。これによって所要の研磨
圧力を保つ。

所要に応じて、装置停止間にエアシリンダ５２を作動し
て支持フレーム４４をフレーム１０から上げてコンベヤ
ベルト３６の面、及びブラシ１０６の面を点検する。研
磨装置６０．調節装置６４の上部の点検のためにはエア
シリンダ５２を作動せず、単にドア５６を第３図に示す
通り上げて点検する。

発肌豊班来 上述によって明らかにされた通り５本発明による平面研
磨機は特に薄板２例えばプリント基板の平面研磨に好適
であり、研磨部材１例えば研磨ブラシは回転運動ではな
（偏心運動によって研磨を行うため、研磨部材各部９例
えばブラシの毛は凡て同じ研磨エネルギを供給され１回
転型の研磨装置の場合のＶｒ磨部材各部が異なるエネル
ギを供給されることはなく、均等なｇｆ磨効果を得られ
る。

更に１本発明による研磨圧力調節装置は研磨ユニット３
．４を浮動支持して圧力調節を行うため３研磨モータ７
０とブラシ装置６２との間はほぼ剛性の連結とし、装置
全体として著しく簡単になり、圧力調節は正確になる。

回転ブラシ上部のばねを使用することもできる。図示の
構成はブラシでなく研磨砥石を使用する場合には更に大
きな利点となる。

本発明による平面研磨機は構造簡単で能率が高＜、＠磨
面は著しく均等である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による平面研Ｎ機の側面図、第２図は第
１図の研磨機の平面図、第３図は同じく端面図、第４図
はｇｆ磨装置と圧力調節装置の部分拡大端面図、第５図
は第４図の偏心運動伝達装置の縦断面図、第６図第７図
第８図はブラシ装置の側面図端面図平面図、第９図は圧
力調節装置の縦断面図、第１０図は第９図の端面図であ
る。 １１０．フレーム装置　２００．コンベヤ装置３．４．
、、研磨ユニット １００．フレーム　１６１．防水箱　２０９．取付面２
２．３４．、、コンベヤプーリ　２６０．モータ３６８
．コンベヤベルト　４０．４２．、、押えローラー４４
１．支持フレーム　５２１．エアシリンダ５４１．案内
ロッド　６０１．偏心駆動装置６２１．ブラシ装置　６
４０．圧力調節装置　６６６．支持板７０３．モータ　
？２，７６、、、プーリ　８００９本体８６０．中子　
８８０．偏心孔　９０１．偏心軸９６９０回転抑止装置
　１００．　、　、鞍型部材１０２，１０４．、、支持
板　１０Ｇ、、、ブラシ　＋０８．、、空胴１１４、、
、給水孔　１１６．、、バックアップ材料１２０．１２
２．、、圧力調節装置＋！１１２４．．．エアシリンダ
＋３０．、、ハンドル　１３２．１４０．、、軸！３．
ｌ、１３Ｂ、、、ベベル山車　１４２．、、ウオーム＋
４４．、、ウオームホイール　１４Ｇ、　、　、軸特許
出願人　　　日本シイエムケイ株式会社同　　　　株式
会社ファーネス 第２図 第３図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、平面偏心運動する研磨部材にて平面部材表面を研磨
   する場合に、上記研磨部材をほぼ長方形とし、研磨部材
   の上方に作用する重量に対する釣合装置によって研磨圧
   力を調節することを特徴とする平面研磨方法。 ２、平面偏心運動する研磨部材にて平面部材表面を研磨
   する装置であって、 モータと、モータの回転を偏心運動に変換する装置と、
   該変換装置に連結したほぼ長方形の研磨部材と、研磨部
   材と平面部材との間の研磨圧力調節装置とを備えること
   を特徴とする平面研磨機。 ３、前記研磨圧力調節装置を前記変換装置を含み研磨部
   材上方に作用する重量に対する釣合装置とする請求項２
   記載の平面研磨機。 ４、前記釣合装置に作用する力を調節する装置を含む請
   求項３記載の平面研磨機。 ５、板材用の平面研磨機であって、 板材を送るコンベヤと、モータと、モータの回転を平面
   偏心運動に変換する装置と、該変換装置に連結したほぼ
   長方形の研磨部材と、該研磨部材の回転を防ぐ装置と、
   研磨部材の研磨圧力を調節する装置とを含む平面研磨機
   。 ６、前記モータと変換装置と研磨部材とを支持するエア
   シリンダを研磨圧力調節装置とする請求項５記載の平面
   研磨機。 ７、前記変換装置と研磨部材との間に介挿したばねを研
   磨圧力調節装置とする請求項５記載の平面研磨機。 ８、前記研磨部材を研磨ブラシとする請求項５記載の平
   面研磨機。