JPH01227512A - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子Info
- Publication number
- JPH01227512A JPH01227512A JP5286888A JP5286888A JPH01227512A JP H01227512 A JPH01227512 A JP H01227512A JP 5286888 A JP5286888 A JP 5286888A JP 5286888 A JP5286888 A JP 5286888A JP H01227512 A JPH01227512 A JP H01227512A
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- JP
- Japan
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- thin film
- electrode
- laser
- layer
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、各種電子機器の基準信号発生用等に用いられ
る水晶振動子に関するものである。
る水晶振動子に関するものである。
従来の技術
従来、この種の水晶振動子は水晶板の表面に励振させる
ための電極を備えており、製作上のバラツキを補正し目
的の精度の周波数を得るために電極の厚みを増減するこ
とにより電極の質量を変えて振動周波数を微調整してい
る。最近では第３図。
ための電極を備えており、製作上のバラツキを補正し目
的の精度の周波数を得るために電極の厚みを増減するこ
とにより電極の質量を変えて振動周波数を微調整してい
る。最近では第３図。
第４図のように水晶板１１の表面に銀電極１２を蒸着し
、レーザーを用いて銀電極１２０面積の一部を加工して
取り除き銀型ｇｉ、１２の質量を変えて振動周波数を調
整し目的の精度を得ている。
、レーザーを用いて銀電極１２０面積の一部を加工して
取り除き銀型ｇｉ、１２の質量を変えて振動周波数を調
整し目的の精度を得ている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記従来の水晶振動子ではレーザーによっ
て銀電極１２の面積の一部を取り除いてしまうため、周
波数の調整量を多くすると電極面積が減少し、振動の電
気・機械変換効率が悪くなり、等価抵抗値が大きくなる
など水晶振動子としての特性が劣化するため周波数調整
量が限定されてしまうことが問題であった。
て銀電極１２の面積の一部を取り除いてしまうため、周
波数の調整量を多くすると電極面積が減少し、振動の電
気・機械変換効率が悪くなり、等価抵抗値が大きくなる
など水晶振動子としての特性が劣化するため周波数調整
量が限定されてしまうことが問題であった。
本発明はこのような従来の問題点を解決するものであり
、レーザーを用いて所要量の周波数調整をしても特性劣
化のない水晶振動子を提供することを目的とするもので
ある。
、レーザーを用いて所要量の周波数調整をしても特性劣
化のない水晶振動子を提供することを目的とするもので
ある。
課題を解決するための手段
本発明は上記課題を解決するために、水晶板の表面に励
振電極を設け、この励振電極が少なくとも二層で構成さ
れ、第一層にレーザー透過率の高い導電性透明薄膜を設
け、第二層にレーザー透過率の低い導電性不透明薄膜を
設けた構成としたものである。
振電極を設け、この励振電極が少なくとも二層で構成さ
れ、第一層にレーザー透過率の高い導電性透明薄膜を設
け、第二層にレーザー透過率の低い導電性不透明薄膜を
設けた構成としたものである。
作用
したがって、本発明によればレーザーを用いて電極を加
工したとき、レーザー透過率の低い導電性不透明薄膜は
加工されて取り除かれるため電極質量が変化し振動周波
数を調整することができ、一方、レーザー透過率の高い
導電性透明電極は加工されずに残るため励振電極として
の面積は変わらないため水晶振動子としての特性を劣化
させることなく所要量の周波数調整が行え、目的の精度
を得ることが可能となる。
工したとき、レーザー透過率の低い導電性不透明薄膜は
加工されて取り除かれるため電極質量が変化し振動周波
数を調整することができ、一方、レーザー透過率の高い
導電性透明電極は加工されずに残るため励振電極として
の面積は変わらないため水晶振動子としての特性を劣化
させることなく所要量の周波数調整が行え、目的の精度
を得ることが可能となる。
実施例
第１図、第２図は本発明の一実施例を示すものである。
第１図、第２図において１は水晶板であり、この水晶板
１の両面には励振電極４としての第一層目にはＩＴＯ導
電性透明薄膜２を真空蒸着に形成し、このＩＴＯ導電性
透明薄膜２は膜厚を約２ｏｏｏ人とすることで面積抵抗
を８Ω程度に押えている。さらに第二層目に銀などのレ
ーザーの透過率の低い導電性不透明薄膜３を１ｏＯｏ〜
２０００人真空蒸着し励振電極４を構成している。
１の両面には励振電極４としての第一層目にはＩＴＯ導
電性透明薄膜２を真空蒸着に形成し、このＩＴＯ導電性
透明薄膜２は膜厚を約２ｏｏｏ人とすることで面積抵抗
を８Ω程度に押えている。さらに第二層目に銀などのレ
ーザーの透過率の低い導電性不透明薄膜３を１ｏＯｏ〜
２０００人真空蒸着し励振電極４を構成している。
上記実施例の水晶振動子において、励振電極４にＹＡＧ
レーザーを照射すると不透明薄膜３は容易に加工され除
去されるため、励振室！Ｍ４としての質量が減少し振動
周波数が上昇する。従って目的の振動周波数に対して少
し低い周波数になるように水晶板１を設定しておけば製
作上のバラツキに対し、不透明薄膜３を所要量加工し除
去することにより目的の周波数に調整できる。しかも、
ＩＴＯ導電性透明薄膜２はＹＡＧレーザーの波長１０６
゜ｎｔａに対し透過率が８０％以上あり加工されずに残
るため、励振電極４としての面積は変化しない。
レーザーを照射すると不透明薄膜３は容易に加工され除
去されるため、励振室！Ｍ４としての質量が減少し振動
周波数が上昇する。従って目的の振動周波数に対して少
し低い周波数になるように水晶板１を設定しておけば製
作上のバラツキに対し、不透明薄膜３を所要量加工し除
去することにより目的の周波数に調整できる。しかも、
ＩＴＯ導電性透明薄膜２はＹＡＧレーザーの波長１０６
゜ｎｔａに対し透過率が８０％以上あり加工されずに残
るため、励振電極４としての面積は変化しない。
このように上記実施例によればレーザーによって振動周
波数を調整することができ、しかも目的の振動周波数に
調整するために励振電極４の加工面積を大きくしてもＩ
ＴＯ導電性透明薄膜２が残るため励振電極４としての機
能は維持できるため、等価抵抗値など水晶振動子として
の特性は劣化しない利点を有する。
波数を調整することができ、しかも目的の振動周波数に
調整するために励振電極４の加工面積を大きくしてもＩ
ＴＯ導電性透明薄膜２が残るため励振電極４としての機
能は維持できるため、等価抵抗値など水晶振動子として
の特性は劣化しない利点を有する。
発明の効果
本発明は上記実施例から明らかなように、レーザーによ
って電極質量を変えて振動周波数の調整を行っても水晶
振動子としての特性が劣化しないため製作上のバラツキ
を補正するのに十分な調整量が得られ不利点を有する。
って電極質量を変えて振動周波数の調整を行っても水晶
振動子としての特性が劣化しないため製作上のバラツキ
を補正するのに十分な調整量が得られ不利点を有する。
第１図は本発明の実施例における水晶振動子の構成を示
す斜視図、第２図は同断面図、第３図は従来の構成図を
示す斜視図、第４図は同断面図である。 １・・・・・・水晶板、２・・・・・・ＩＴＯ導電性透
明薄膜、３・・・・・・導電性不透明薄膜、４・・・・
・・励振電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ノー
水晶版 ４−鴬狽電慰 第１図
す斜視図、第２図は同断面図、第３図は従来の構成図を
示す斜視図、第４図は同断面図である。 １・・・・・・水晶板、２・・・・・・ＩＴＯ導電性透
明薄膜、３・・・・・・導電性不透明薄膜、４・・・・
・・励振電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ノー
水晶版 ４−鴬狽電慰 第１図
Claims (1)
- 水晶板の表面に励振電極を設け、この励振電極が少なく
とも二層で構成され、第一層にレーザー透過率の高い導
電性透明薄膜を設け、第二層にレーザー透過率の低い導
電性不透明薄膜を設けてなる水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5286888A JPH01227512A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5286888A JPH01227512A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01227512A true JPH01227512A (ja) | 1989-09-11 |
Family
ID=12926854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5286888A Pending JPH01227512A (ja) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01227512A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0482311A (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-16 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法及び圧電振動子 |
| US6787970B2 (en) * | 2003-01-29 | 2004-09-07 | Intel Corporation | Tuning of packaged film bulk acoustic resonator filters |
-
1988
- 1988-03-07 JP JP5286888A patent/JPH01227512A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0482311A (ja) * | 1990-07-24 | 1992-03-16 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法及び圧電振動子 |
| US6787970B2 (en) * | 2003-01-29 | 2004-09-07 | Intel Corporation | Tuning of packaged film bulk acoustic resonator filters |
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