JPH01220332A

JPH01220332A - カラー受像管用シャドウマスクの製造方法

Info

Publication number: JPH01220332A
Application number: JP4218188A
Authority: JP
Inventors: Motohiro Hara; 原　基裕
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-02-26
Filing date: 1988-02-26
Publication date: 1989-09-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は、カラー受像管用シャドウマスクの製造方法
に関する。

（従来の技術）一般に、カラー受像管の蛍光面に対向して管内に装着さ
れるシャドウマスクは、コイル状に巻かれた帯板状部材
を巻き戻して水平または垂直方向に走行させながら、感
光性樹脂を塗布し乾燥して、帯板状部材の両面に感光性
樹脂被膜を形成し、ついで、その感光性樹脂被膜にシャ
ドウマスクの多数の透孔に対応するネガパターンが形成
された焼付は用原板を介して露光することにより、その
パターンを焼付け、その後順次現像、エツチングをおこ
なって多数の透孔が形成された平板状のフラットマスク
を形成する。その後さらに、このフラットマスクを成形
して形成される。第４図にその製造工程を示す。

このシャドウマスクの製造方法において、帯板状部材の
両面に感光性樹脂を塗布して感光性樹脂被膜を形成する
工程および露光する工程は、シャドウマスクの品位に大
きな影響を与える重要な工程であることは既知である。

通常、上記感光性樹脂被膜の形成には、牛乳カゼイン酸
アルカリあるいはポリビニルアルコールなどの水溶性高
分子物質を重クロム散アンモニウムヤ重クロム酸ナトリ
ウムなどの重クロム酸塩で増感した感光液が用いられ、
この感光液を帯板状部材の板面にたれ流す落下方式、感
光液槽中を通過させて帯板状部材の板面に塗布するデイ
ツプ方式、あるいはナイフコート方式などの方法によっ
て、通常、４〜５μｍ程度の厚さに塗１５される。

つぎの露光工程では、ネガパターンが形成された焼付は
用原版を真空密着法により上記感光性樹脂被膜の形成さ
れた帯板状部材の両面に密着させ、この焼付は用原板を
介して上記両面の感光性樹脂被膜に紫外線を照射して、
焼付は用原板のパターンを焼イ」ける。この焼付けは、
重クロム酸塩の光化学反応により３価のクロム（Ｃｒ３
＋）化合物が生成する化学変化、すなわち６価のクロム
（Ｃｒ６＋）が紫外線のエネルギを吸収して３価のクロ
ムに還元され、この３価のクロムが牛乳カゼイン酸アル
カリなどの水溶性高分子物質と結合して架橋し、水に対
して不溶化する硬化反応を利用している。

この場合、光のあたらない部分は、硬化せず、っぎの現
像工程で洗い落とされる。

ところで、帯板状部材の両面に感光性樹脂を塗布する工
程では、後述する理由により、なるべく均一な被膜にな
るように塗布することが要求されるが、第５図に示すよ
うに、縦型センシタイズ装置（感光性樹脂塗布装置）に
より、帯板状部材（１）の幅方向を垂直方向として立て
、上部より感光液（２）をたれ流す落下方式で感光性樹
脂を塗布すると、その上部側の感光性樹脂被膜の厚みが
下部側の感光性樹脂被膜の厚みにくらべて薄くなる。そ
のために、このような感光性樹脂被膜の厚みが均一でな
いものを露光すると、感光性樹脂被膜の厚みの相違によ
る感度のばらつきのために、感光性樹脂被膜の薄い上部
側にした部分が露光過剰になるか、または感光性樹脂被
膜の厚い下部側にした部分が露光不足になり、結果的に
透孔径にばらつきを生ずる。また、感光性樹脂被膜の厚
みの相違により、エツチング工程におけるサイドエツチ
ング量に差ができ、透孔径がばらつく。このような感光
性樹脂被膜の厚みの不均一に基づく精度低下は、通常の
シャドウマスクにくらべて、待に透孔径の小さい高精細
シャドウマスクの場合に大きく現れ、その透孔径のばら
つきがむらとなって使用不能となる。

（発明が解決しようとする課題）上記のように、カラー受像管用シャドウマスクは、帯板
状部材に感光性樹脂を塗布し、その感光性樹脂被膜にシ
ャドウマスクの透孔に対応するパターンを焼付ける露光
をおこない、さらに現像、エツチングして形成されるが
、帯板状部材に塗布された感光性樹脂被膜が不均一であ
ると、その厚みに応じて露光過剰や露光不足となり、透
孔径にばらつきを生じたり、またエツチング工程でサイ
ドエツチング量に差を生じて透孔径にばらつきを生ずる
。しかも、その透孔径のばらつぎは、特に透孔径の小さ
い高精細シャドウマスクの場合に大きく現れ、その透孔
径のばらつきがむらとなって使用不能になるという問題
がある。

この発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
であり、感光性樹脂被膜の厚みの相違に基づく透孔径の
ばらつきを露光工程で補償して、むらのない高品位のシ
ャドウマスクを容易に製造できるようにすることを目的
とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）カラー受像管用シャドウマスクの製造方法において、板
状部材の板面に塗布形成された感光性樹脂被膜をシャド
ウマスクの透孔に対応するネガパターンが形成された原
版を介して露光することにより、上記感光性樹脂被膜に
上記原版のパターンを焼付けに際し、上記感光性樹脂被
膜の各部分の露光量を上記感光性樹脂被膜の膜厚の分布
にしたがって調整するようにした。

（作用）上記のように板状部材の板面に塗布形成された感光性樹
脂被膜の膜厚の分布にしたがって、その各部分の露光量
を調整すると、感光性樹脂被膜の膜厚が不均一であって
も、そのために生ずる露光過剰や露光不足を防止して、
透孔径のばらつきをなくすことができる。

（実施例）以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。

カラー受像管用シャドウマスクの製造工程のうち、感光
性樹脂の塗布工程、露光量の現像工程、エツチング工程
は、従来と同じであるので、その説明を省略し、以下、
露光工程について説明する。

第１図に示すように、帯板状部材（１）の両面に感光性
樹脂被膜が塗布形成され、かつロール状に巻装されたフ
ープ（１０）を送りローラ（１１）に装着し、このロー
ラ（１１）を回転して上記帯板状部材（１）を矢印（１
２）方向に送り出す。そして、その送り出された帯板状
部材（１）の両面に、シャドウマスクの透孔に対応する
ネガパターン（１３）が形成された一対の原版（１４ａ
）、　（１４ｂ）を真空密着して、帯板状部材（１）の
両面に対向して配置された光源（１５）　（紫外線ラン
プを装着）から光を照射し、上記帯板状部材（１）の両
面の感光性樹脂被膜に原版（１４ａ）。

（１４ｂ）のパターンを焼付ける。そして、この露光柊
了復、上記原版（１４ａ）、　（１４ｂ）の密着を解除
し、巻取りローラ（１６）を回転して、上記パターンが
焼付けられた帯板状部材（１）を矢印（１７）方向に巻
取る。

なお、通常、シャドウマスクの透孔はシその両面の開口
寸法が相違し、上記一対の原版（１４ａ）。

（１４ｂ）のネガパターン（１３）は、その開口寸法に
対応して大きざが相違している。

ところで、上記露光に供する帯板状部材（１）の感光性
樹脂被膜は、たとえば帯板状部材（１）の幅方向を垂直
方向として立て、その上部より感光液をたれ流す落下方
式で塗布され、そのために、第２図に示すように、感光
性樹脂被膜（１９）の膜厚分布が垂直方向に立てたとき
の上部側が薄く、下部にゆくにしたがって厚くなり、−
上部で約２〜３−１下部で約５〜６盟となっているとす
る。このような膜厚分１５は、帯板状部材（１）を任意
位置で切断し、ベータスコープで測定するこで知ること
ができる。

そこで、この実施例では、その膜厚分布にしたがって、
第３図に示すように、帯板状部材（１）に対して光源（
１５）の中心線（２０）が膜厚の厚い下部側に偏るよう
に対向させて、感光性樹脂被膜（１９）の各部分の露光
量（紫外線強度Ｘ照射時間）がそれぞれ適正になるよう
に露光量分布を調整する。すなわち、上記分布の膜厚に
対して、上部で５〜６ｍＷ／ｃｔＡ、下部で７〜８１Ｉ
ＩＷ／ｃｄの紫外線強度になるように調整した。

このように感光性樹脂被膜（１９）の膜厚分布にしたが
って露光量分布を調整すると、膜厚の不均一に基づく露
光過剰や露光不足を防止して、従来、膜厚が不均一にた
めに生じた透孔のばらつきをなくすことができる。

なお、上記実施例では、帯板状部材に対して感光性樹脂
被膜の膜厚の厚い側に光源を偏らせて露光量分布を調整
したが、この露光量分布の調整は、原版と光源との間に
所要の濃度分布をもつフィルターを配置する方法でもよ
く、また、帯板状部材の各板面の感光性樹脂被膜を露光
する光源をそれぞれ複数とし、その複数の光源の出力を
調整する方法でもよい。また、原版と光源との間に移動
可能な遮蔽板を配置し、この遮蔽板を移動することによ
り、感光性樹脂被膜の膜厚分布にしたがって露光量を調
整するようにしてもよい。さらにまた、帯板状部材の各
板面の感光性樹脂被膜を露光する光源を複数とし、その
複数の光源の点滅により照射時間を変えることにより露
光量を調整するようにしてもよい。

なおまた、上記実施例では、落下方式で感光性樹脂を申
布する場合について述べたが、他の塗布方式、すなわち
デイツプ方式あるいはナイフコート方式などの方法によ
り塗イｌｉした場合でも、感光性樹脂被膜に不均一な膜
厚分布を生じた場合は、同様に適用できる。

［発明の効果］カラー受像管用シャドウマスクの製造方法において、感
光性樹脂被膜がＩイｌｉ形成された板状部材の板面にシ
ャドウマスクの透孔に対応するネガパターンが形成され
た原版を介して露光し、上記感光性樹脂被膜に上記原版
のパターンを焼付けるに際し、その感光性樹脂被膜の膜
厚分布が不均一であっても、その膜厚分布にしたがって
露光ｉを調整すると、感光性樹脂被膜の膜厚が不均一の
ために生ずる露光過剰や露光不足を防止して、透孔径の
ばらつきをなくすことができ、むらのない高品位のシャ
ドウマスクを容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図はこの発明の詳細な説明図で、第１
図はその一実施例を説明するための露光装置の図、第２
図は落下方式により感光性樹脂を塗布した場合の膜厚分
布を示す図、第３図は感光性樹脂被膜の膜厚が不均一な
板状部材と露光光源との位置関係を説明するための図、
第４図はカラー受像管用シャドウマスクの製造工程を示
すフローチャート、第５図は落下方式による感光性樹脂
の塗布方法説明図である。１・・・帯板状部材　　　１３・・・ネガパターン１４
ａ、　１４ｂ・・・原版　　　１５・・・光源　。１９・・・感光性樹脂被膜

Claims

【特許請求の範囲】

感光性樹脂被膜が塗布形成された板状部材の板面にシャ
ドウマスクの透孔に対応するネガパターンが形成された
原版を介して露光し、上記感光性樹脂被膜に上記原版の
パターンを焼付けるに際し、上記感光性樹脂被膜の各部
分の露光量を上記感光性樹脂被膜の膜厚の分布にしたが
って調整することを特徴とするカラー受像管用シャドウ
マスクの製造方法。