JPH01212427A - アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法 - Google Patents

アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法

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JPH01212427A
JPH01212427A JP3814088A JP3814088A JPH01212427A JP H01212427 A JPH01212427 A JP H01212427A JP 3814088 A JP3814088 A JP 3814088A JP 3814088 A JP3814088 A JP 3814088A JP H01212427 A JPH01212427 A JP H01212427A
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etching
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electrode foil
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aluminum foil
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Katsunori Suzuki
克典 鈴木
Tetsuo Sonoda
園田 哲夫
Takao Kawaguchi
川口 隆雄
Ryoichi Shimatani
島谷 涼一
Nobuyoshi Kanzaki
神崎 信義
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法に関
するものである。
従来の技術 アルミ電解コンデンサ用電極箔は、アルミ電解コンデン
サの小形化、低価格化のためにアルミニウム箔を電気的
あるいは化学的にエツチング処理してその実効表面積を
拡大したものが使用されており、この実効表面積を拡大
する研究が種々なされてきた。
発明が解決しようとする課題 従来の技術ではアルミニウム箔の表面積を拡大するため
にエツチング孔の数を増大させると、同時にアルミニウ
ム箔の表面溶解も進行して期待する和衷面積が拡大しな
いばかりか、アルミニウム箔の機械的強度も損われると
いう課題があった。
また、特開昭50−63915号公報にアルミニウム電
極箔の電解エツチング方法が記載されているが1表面積
の拡大においては限度があり、更に拡大するためには新
たな改善が必要とされる。
本発明は上記の課題を解決するもので1機械的強度を保
持しながら表面積の拡大に非常に優れたアルミ電解コン
デンサ用電極箔を得ることを目的とする。
課題を解決するための手段 そこで本発明は、塩酸2〜15%、硫酸5〜35%,ア
ルミニウムイオン0.6〜8%を含む液温50〜100
’Cの水溶液中で電流密度3〜70ム/ddの直流エツ
チングを行う第1段エツチングを有し、少なくとも2段
階に分けて行う多段階エツチングによりエツチング処理
を行うものである。
作用 機械的強度を保持しながら更に表面積を拡大させるには
、出来るだけ均一な分布で、出来るだけ多く、また以下
に記す範囲内で出来るだけ深く、かつ太くエツチング孔
を生成すれば良い。そのために本発明では、第1段エツ
チングにおいてエツチング孔を発生させ、第2段エツチ
ング以降においてその発生したエツチング孔を更に深く
、太く成長させている。故に、第2段エツチング以降に
おけるエツチング孔の成長過程でエツチング孔どうしが
結合して表面積拡大及び機械的強度の双方に悪影響を及
ぼさないよう、第1段エツチングでは出来るだけ均一な
分布で出来るだけ多くのエツチング孔が発生するように
、また第2段エツチング以降ではエツチング孔が結合し
ない範囲内で出来るだけ太くする必要がある。深さにつ
いては。
機械的強度が劣らないようにエツチング孔がアルミニウ
ム箔を貫通しない範囲内で出来るだけ深くする必要があ
る。
そこで、第1段エツチングでは、出来るだけ多くかつ出
来るだけ均一な分布でエツチング孔を発生させるために
、前述の条件でエツチングを行う。
前述の条件が好適なのは適当な濃度の硫酸を含む液中で
アルミニウム箔をアノード分極させて箔表面に多孔質酸
化膜を生成し、その酸化膜表面の非常に多数の孔を塩素
イオンが侵食するので非常に多数のエツチング孔が箔表
面に発生するからである。しかし、出来るだけ均一な分
布でエツチング孔を発生させるには塩酸と硫酸以外に適
当な濃度のアルミニウムイオンの存在が必要である。そ
の存在によシ、塩素イオンが選択的にアルミニウム箔表
面を浸食することが出来るので、適当な濃度のアルミニ
ウムイオンの存在はアルミニウム箔表面の全面溶解を防
ぎながら均一な分布で非常に多数のエツチング孔の発生
を可能にする。以上の理由から前述の条件が好適となる
が、以下に詳しく説明する。
塩酸濃度は、2%未満では塩素イオンの侵食能力が弱い
のでエツチング孔の数が少なく、15%を超えると塩素
イオンの侵食効果が強いのでアルミニウム箔表面の全面
溶解が起こる。よって、2〜15%の範囲が好適で特f
tcts〜8%の範囲が最適である。硫酸濃度は、6%
未満では多孔質酸化膜の生成が不十分のため、エツチン
グ孔の数が少なく、36%を超えると多孔質酸化膜の生
成よりもアルミニウム箔表面の全面溶解を促進してしま
うため、6〜36%の範囲が好適で特に15〜26%が
最適である。アルミニウムイオン濃度は、Q、5%未満
では塩素イオンが選択的にアルミニウム箔を侵食する効
果に乏しいのでエツチング孔の分布が不均一になり、8
%を超えると塩素イオンの侵食能力が弱いのでエツチン
グ孔の数が少ない。
故に、0.6〜8%の範囲が好適で、特に2〜4%が適
している。温度及び電流密度の影響も大きい。
温度は、50℃未溝ではエツチング孔の数が少な(,1
00’Cを超えるとアルミニウム箔表面の全面溶解が起
こるので50〜100℃の範囲内で。
特に70〜90’Cが適している。電流密度は。
3ム/Id未満ではエツチング孔の数が少なく。
70ム/d−を超えるとアルミニウム箔表面の全面溶解
が起こるので3〜70ム/llt/の範囲内で特に20
〜40ム/dばが適している。
上記の条件で第1段エツチングを行−ったのち。
第2段エツチング以降では、エツチング孔が結合しない
範囲内で出来るだけ太く、また、エツチング孔がアルミ
ニウム箔を貫通しない範囲内で出来るだけ深くエツチン
グ孔を成長させる。この目的を達成し得るエツチング条
件を説明する。
第1段エツチングで発生したエツチング孔を表面溶解を
抑制しながら成長させるために塩酸2〜15%、蓚酸o
、01〜3%を含む50〜100’Cの水溶液中で電流
密度1〜1oム/dばの直流エッチングを行う。このよ
うな条件が好適なのは、適当な濃度の蓚酸を含んでいる
ためアルミニウム箔表面に表面の全面溶解を抑制する酸
化膜が生じ。
第1段エツチングで発生したエツチング孔のみが効率良
く成長するからである。更に詳しく説明すると、塩酸濃
度は、第1段エツチングと同様の理由から2〜15%の
範囲内で特に6〜8%が適している。蓚酸濃度は、0.
01%未満では表面溶解抑制酸化膜の生成が不十分なた
め表面の全面溶解が起こり、3%を超えると逆に表面溶
解抑制の効果が強くエツチング孔の成長が阻害される。
故に、0.01〜3%の範囲が好適で特に06OS〜1
%が最適である。温度は、50’C未満ではエツチング
孔の成長が乏しく、100’Cを超えると、アルミニウ
ム箔表面の全面溶解が起こるので、50〜100’Cの
範囲内で、特に70〜90℃が適している。電流密度は
、1人/aw1未満ではエツチング孔の成長が乏しく、
10ム/e1wlを超えるとアルミニウム箔表面の全面
溶解が起こるので1〜10ム/dII+の範囲内で特に
3〜6ム/d♂が適している。
以上の条件以外でも第1段エツチングで発生したエツチ
ング孔を目的通り成長させることは可能である。例を挙
げると、液組成を変えたり、浸漬エツチングにしたり、
あるいは異なる方法で多段階にしたりしても構わない。
本発明は、第1段エツチングにおいて均一な分布で非常
に多数のエツチング孔が発生することが最重要であり、
後は発生したエツチング孔が既述の範囲内で出来るだけ
深く、かつ太く成長すれば良いのである。
実施例 以下1本発明の実施例を比較例とともに説明する。但し
、試料は純度99.99%、厚さ100μmの焼鈍アル
ミニウム箔とする。第1表に本発明の実施例並びに比較
例のエツチング条件を示す。
(以下余 白) 第1表に示す条件で得られた各エツチング箔を370V
化成した後の静電容量と折曲げ強度(1,OR,200
51荷重、折曲げ角9o0により1往復で1回とする。
)を測定した結果を第2表に示す。
第2表 発明の効果 以上のように本発明によれば、機械的強度を保持しなが
ら表面積の拡大、すなわち静電容量の非常に優れたアル
ミ電解コンデンサ用電極箔を得ることができる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)エッチング液としてアルミニウムイオンを含む水
    溶液中で直流エッチングを行う第1段エッチングを有し
    、かつ少なくとも2段階に分けて行う多段階エッチング
    によるエッチング処理を行うことを特徴とするアルミ電
    解コンデンサ用電極箔の製造方法。
  2. (2)第1段エッチングは、塩酸2〜15%,硫酸5〜
    35%,アルミニウムイオン0.5〜8%を含む50〜
    100℃の水溶液中で電流密度3〜70A/dm^2の
    直流エッチングを行うことを特徴とする請求項1記載の
    アルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
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