JPH01211917A - ウエハの保持装置 - Google Patents
ウエハの保持装置Info
- Publication number
- JPH01211917A JPH01211917A JP63035380A JP3538088A JPH01211917A JP H01211917 A JPH01211917 A JP H01211917A JP 63035380 A JP63035380 A JP 63035380A JP 3538088 A JP3538088 A JP 3538088A JP H01211917 A JPH01211917 A JP H01211917A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer holding
- fixing
- holding device
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 102
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ウェハの保持装置に関し、詳しくは電子ビームで描画す
るときにウェハを真空中で固定する保持装置に関し、 ゴミを撒き散らすことなく、簡単かつ確実にウェハを固
定できるウェハ保持装置を提供することを目的とし、 ウェハ（１６）を収容するための孔（１１ｂ）を形成し
たホルダフレーム（１１）と、 このホルダフレーム（１１）に設けたウェハ押え板（１
２）と、 前記ウェハ（１６）を出し入れするときには、前記孔（
１１ｂ）から退避され、前記ウェハ（１６）を固定する
ときには、前記ウェハ押え板（１２）側に動くよう
゛バネ（１４）により付勢されたウェハ固定板（１３）
と、を有することを特徴とするウェハの保持装置を含み
構成する。
るときにウェハを真空中で固定する保持装置に関し、 ゴミを撒き散らすことなく、簡単かつ確実にウェハを固
定できるウェハ保持装置を提供することを目的とし、 ウェハ（１６）を収容するための孔（１１ｂ）を形成し
たホルダフレーム（１１）と、 このホルダフレーム（１１）に設けたウェハ押え板（１
２）と、 前記ウェハ（１６）を出し入れするときには、前記孔（
１１ｂ）から退避され、前記ウェハ（１６）を固定する
ときには、前記ウェハ押え板（１２）側に動くよう
゛バネ（１４）により付勢されたウェハ固定板（１３）
と、を有することを特徴とするウェハの保持装置を含み
構成する。
本発明は、ウェハの保持装置に関し、詳しくは電子ビー
ムで描画するときにウェハを真空中で固定する保持装置
に関する。
ムで描画するときにウェハを真空中で固定する保持装置
に関する。
一般に、半導体装置の製造プロセスに用いられる電子ビ
ーム露光は、レジスト膜を塗布したウェハを真空中に配
置することにより行なわれる。このウェハを真空中にお
いて固定するために保持装置（ホルダ）が使用される。
ーム露光は、レジスト膜を塗布したウェハを真空中に配
置することにより行なわれる。このウェハを真空中にお
いて固定するために保持装置（ホルダ）が使用される。
第４図（ａ）と俣）及び第５図は、従来例のウェハ保持
装置に係り、第４図（ａ）と［有］）はウェハ保持装置
の断面図、第５図はウェハ保持装置の平面図である。
装置に係り、第４図（ａ）と［有］）はウェハ保持装置
の断面図、第５図はウェハ保持装置の平面図である。
これらの図において、ウェハ保持装置のホルダフレーム
１は、４角形の板上に形成され、そのほぼ中央部には、
円形の孔１ａが形成されている。この孔ｌａ内には、円
板状のウェハ押上げ板２が配置されている。このウェハ
押上げ板２は、ホルダフレーム１に一端側が固定され、
他端側が該ウェハ押上げ板２の下側周縁部（４個所）に
固定された板バネ３、・・・により上方に付勢されてい
る。ホルダフレーム１の上面には、孔１ａの周縁部（４
個所）から内側にやや突出されたウェハ押え板４、・・
・が設けら、またホルダフレーム１の孔ｌａ内には、ウ
ェハ位置決めピン５．・・・が配設されている。また、
同図に示す如く、ウェハの出し入れを行なうために、孔
１ａを直線状に平行に横切るように多数の細い通気孔６
がウェハ押上げ板２等に形成されており、該ウェハ押上
げ板２の下側の図示しないアライメント装置を介して供
給源から空気が送られるようになっている。このような
ウェハ保持装置では、第４図（ａ）に示す如く、ウェハ
押上板２を板バネ３．・・・の付勢力に抗して押し下げ
、空気を供給してウェハ７を孔ｌａ内に案内し、ウェハ
位置決めピン５３・・・に押し当て、次に、第４図５）
に示す如く、押し下げを解除する。これ。
１は、４角形の板上に形成され、そのほぼ中央部には、
円形の孔１ａが形成されている。この孔ｌａ内には、円
板状のウェハ押上げ板２が配置されている。このウェハ
押上げ板２は、ホルダフレーム１に一端側が固定され、
他端側が該ウェハ押上げ板２の下側周縁部（４個所）に
固定された板バネ３、・・・により上方に付勢されてい
る。ホルダフレーム１の上面には、孔１ａの周縁部（４
個所）から内側にやや突出されたウェハ押え板４、・・
・が設けら、またホルダフレーム１の孔ｌａ内には、ウ
ェハ位置決めピン５．・・・が配設されている。また、
同図に示す如く、ウェハの出し入れを行なうために、孔
１ａを直線状に平行に横切るように多数の細い通気孔６
がウェハ押上げ板２等に形成されており、該ウェハ押上
げ板２の下側の図示しないアライメント装置を介して供
給源から空気が送られるようになっている。このような
ウェハ保持装置では、第４図（ａ）に示す如く、ウェハ
押上板２を板バネ３．・・・の付勢力に抗して押し下げ
、空気を供給してウェハ７を孔ｌａ内に案内し、ウェハ
位置決めピン５３・・・に押し当て、次に、第４図５）
に示す如く、押し下げを解除する。これ。
により、ウェハ７は板バネ３．・・・の付勢力により上
昇しウェハ押上げ板２とウェハ押え板４．・・・との間
に挟まれて固定される。このようにウェハの保持装置に
よりウェハ５を固定した状態で、パターン描画室の真空
中に配置される。
昇しウェハ押上げ板２とウェハ押え板４．・・・との間
に挟まれて固定される。このようにウェハの保持装置に
よりウェハ５を固定した状態で、パターン描画室の真空
中に配置される。
しかし、上記従来のウェハの保持装置では、空気を用い
ているためゴミを撒き散らし汚染の原因になっていた。
ているためゴミを撒き散らし汚染の原因になっていた。
また、空気でウェハ７をウェハ位ｉ！決めピン５．・・
・に押し当てているが、力が弱く調整も困難である問題
点があった。
・に押し当てているが、力が弱く調整も困難である問題
点があった。
そこで本発明は、ゴミを撒き散らすことなく、簡単かつ
確実にウェハを固定できるウェハ保持装置を提供するこ
とを目的とする。
確実にウェハを固定できるウェハ保持装置を提供するこ
とを目的とする。
上記問題点は、ウェハを収容するための孔を形成したホ
ルダフレームと、このホルダフレームに設けたウェハ押
え板と、前記ウェハを出し入れするときには、前記孔か
ら退避され、前記ウェハを固定するときには、前記ウェ
ハ押え板側に動くようバネにより付勢されたウェハ固定
板と、を有することを特徴とするウェハの保持装置によ
って解決される。
ルダフレームと、このホルダフレームに設けたウェハ押
え板と、前記ウェハを出し入れするときには、前記孔か
ら退避され、前記ウェハを固定するときには、前記ウェ
ハ押え板側に動くようバネにより付勢されたウェハ固定
板と、を有することを特徴とするウェハの保持装置によ
って解決される。
すなわち、本発明は、ホルダフレームに設けたウェハ押
え板とバネにより付勢されたウェハ固定板とでウェハを
固定するために、空気を使用せずゴミを撒き散らすこと
がなくなる。また、ウェハ固定板はウェハを出し入れす
るときには、前記孔から退避され、ウェハを搬入する自
由空間が形成される。従って、ウェハの搬送をロボット
等で行なうことが可能になり、位置合せ及び搬送が正確
にでき、操作も簡単になる。
え板とバネにより付勢されたウェハ固定板とでウェハを
固定するために、空気を使用せずゴミを撒き散らすこと
がなくなる。また、ウェハ固定板はウェハを出し入れす
るときには、前記孔から退避され、ウェハを搬入する自
由空間が形成される。従って、ウェハの搬送をロボット
等で行なうことが可能になり、位置合せ及び搬送が正確
にでき、操作も簡単になる。
以下、本発明を図示の一実施例により具体的に説明する
。
。
第１図は、本発明実施例のウェハ保持装置の断面図、第
２図は、第１図のウェハ保持装置の平面図である。これ
らの図において、ウェハ保持装置のホルダフレーム１１
は、４角形の機上に形成され、そのほぼ中央部には、ウ
ェハを当接するための突部１１ａを残してほぼ円形の孔
１１ｂが形成されている。このホルダフレーム１１の上
面には、孔１１ｂの周縁部（４個所）から内側にやや突
出したウェハ押え板１２．・・・が設けられている。ま
た、ウェハ押え板１２．・・・の下側には、細い板状に
形成されたウェハ固定板１３．・・・の一端側が枢支さ
れ、かつこのウェハ固定板１３．・・・の他端側を孔１
１ｂ下側から上側に付勢するコイルバネ１４．・・・が
設けられている。さらに、ウェハ押え板１２．・・・に
は、ウェハ固定板１３．・・・を押し下げる押え軸１５
．・・・が設けられている。すなわち、ウェハ固定板１
３．・・・は、押え軸１５、・・・によりコイルバネ１
４．・・・の付勢力に抗して押し下げられ、孔１１ｂの
下側にウェハ１６が入るだけの自由空間が形成されるよ
うになっている。また、突部１１ａ及び孔１１ｂ内には
、ウェハ１６の位置を決めるための位置決めビン１７．
・・・が設けられている。ホルダフレーム１１は、ホル
ダ固定軸１８により位置決め固定が行なわれ、ウェハ１
６は、ホルダフレーム１１の孔１１ｂの下側からロボッ
ト１９等により供給される。
２図は、第１図のウェハ保持装置の平面図である。これ
らの図において、ウェハ保持装置のホルダフレーム１１
は、４角形の機上に形成され、そのほぼ中央部には、ウ
ェハを当接するための突部１１ａを残してほぼ円形の孔
１１ｂが形成されている。このホルダフレーム１１の上
面には、孔１１ｂの周縁部（４個所）から内側にやや突
出したウェハ押え板１２．・・・が設けられている。ま
た、ウェハ押え板１２．・・・の下側には、細い板状に
形成されたウェハ固定板１３．・・・の一端側が枢支さ
れ、かつこのウェハ固定板１３．・・・の他端側を孔１
１ｂ下側から上側に付勢するコイルバネ１４．・・・が
設けられている。さらに、ウェハ押え板１２．・・・に
は、ウェハ固定板１３．・・・を押し下げる押え軸１５
．・・・が設けられている。すなわち、ウェハ固定板１
３．・・・は、押え軸１５、・・・によりコイルバネ１
４．・・・の付勢力に抗して押し下げられ、孔１１ｂの
下側にウェハ１６が入るだけの自由空間が形成されるよ
うになっている。また、突部１１ａ及び孔１１ｂ内には
、ウェハ１６の位置を決めるための位置決めビン１７．
・・・が設けられている。ホルダフレーム１１は、ホル
ダ固定軸１８により位置決め固定が行なわれ、ウェハ１
６は、ホルダフレーム１１の孔１１ｂの下側からロボッ
ト１９等により供給される。
上記構成のウェハ保持装置によりウェハ１６を固定する
方法を説明する。
方法を説明する。
第３図（ａ）と（ハ）は、ウェハ保持装置の動作を説明
する断面図である。
する断面図である。
まず、同図（ａ）に示す如く、ホルダフレーム１１をホ
ルダ固定軸１８により位置決め固定を行なう。次に、押
え軸１５．・・・を押し下げてウェハ固定板１３゜・・
・をコイルバネ１４．・・・の付勢力に抗して押し下げ
、孔１１ｂの下側にウェハ１６が入るだけの自由空間を
形成する。次に、ウェハ１６をあらかじめ位置合せして
おき、ロボット１９によりホルダフレーム１１下側から
上昇させ、孔１１ｂ内に供給する。
ルダ固定軸１８により位置決め固定を行なう。次に、押
え軸１５．・・・を押し下げてウェハ固定板１３゜・・
・をコイルバネ１４．・・・の付勢力に抗して押し下げ
、孔１１ｂの下側にウェハ１６が入るだけの自由空間を
形成する。次に、ウェハ１６をあらかじめ位置合せして
おき、ロボット１９によりホルダフレーム１１下側から
上昇させ、孔１１ｂ内に供給する。
次に、同図い）に示す如く、押え軸１５．・・・を上昇
させる。ウェハ固定板１３．・・・は、コイルバネ１４
゜・・・の付勢力により回動し、ウェハ１６を該ウェハ
固定板１３．・・・とウェハ押え板１２．・・・との間
に挟み込み固定する。次に、ホルダ固定軸１８を下降さ
せることにより、ウェハ保持装置は自由になり、図示し
ないパターン描画室に搬送される。
させる。ウェハ固定板１３．・・・は、コイルバネ１４
゜・・・の付勢力により回動し、ウェハ１６を該ウェハ
固定板１３．・・・とウェハ押え板１２．・・・との間
に挟み込み固定する。次に、ホルダ固定軸１８を下降さ
せることにより、ウェハ保持装置は自由になり、図示し
ないパターン描画室に搬送される。
上記構成のウェハ保持装置によれば、従来のように空気
を使用しないために、ゴミを撒き散らすことがなくなり
、汚染の原因がなくなる。また、従来のウェハ押上げ板
２をなくすことにより、下側に自由空間が形成され、ウ
ェハ１６の搬送をロボット１９で行なうことが可能にな
る。従って、ウェハ１６の位置合せ及び搬送が正確にで
き、操作も簡単で確実に固定することができるようにな
る。
を使用しないために、ゴミを撒き散らすことがなくなり
、汚染の原因がなくなる。また、従来のウェハ押上げ板
２をなくすことにより、下側に自由空間が形成され、ウ
ェハ１６の搬送をロボット１９で行なうことが可能にな
る。従って、ウェハ１６の位置合せ及び搬送が正確にで
き、操作も簡単で確実に固定することができるようにな
る。
なお、本実施例のウェハ固定板１３．・・・は、少なく
ともウェハ１６を出し入れするときには、孔１１ｂから
退避され、ウェハ１６を固定するときには、ウェハ押え
板１２側に動（ようバネにより付勢されていればよく、
ウェハ押え板１２．・・・はホルダフレーム１１等に取
り付けられる。
ともウェハ１６を出し入れするときには、孔１１ｂから
退避され、ウェハ１６を固定するときには、ウェハ押え
板１２側に動（ようバネにより付勢されていればよく、
ウェハ押え板１２．・・・はホルダフレーム１１等に取
り付けられる。
また、バネもウェハ固定板１３．・・・を付勢するもの
であればよく、実施例のコイルバネ１４．・・・に限定
されない。
であればよく、実施例のコイルバネ１４．・・・に限定
されない。
さらに、ウェハ押え板１２．・・・、ウェハ固定板１３
゜・・・、コイルバネ１４．・・・の個数は任意にでき
、形状等も実施例のものに限定されない。
゜・・・、コイルバネ１４．・・・の個数は任意にでき
、形状等も実施例のものに限定されない。
以上説明したように本発明によれば、空気を使用しない
ために、ゴミを撒き散らすことがなくなり、汚染の原因
がなくなるとともに、ウェハを搬入する自由空間が形成
されるため、ウェハの搬送をロボット等で行なうことが
可能になり、位置合せ及び搬送が正確にでき、操作も簡
単で確実に固定することができるようになる。
ために、ゴミを撒き散らすことがなくなり、汚染の原因
がなくなるとともに、ウェハを搬入する自由空間が形成
されるため、ウェハの搬送をロボット等で行なうことが
可能になり、位置合せ及び搬送が正確にでき、操作も簡
単で確実に固定することができるようになる。
第１図は本発明実施例のウェハ保持装置の断面図、
第２図は第１図のウェハ保持装置の平面図、第３図（ａ
）と（ロ）はウェハ保持装置の動作を説明する断面図、 第４図（ａ）とΦ）は従来のウェハ保持装置の断面図、
第５図は第４図のウェハ保持装置の平面図である。 図において、 １１はホルダフレーム、 １１ａは突部、 １１ｂは孔、 １２はウェハ押え板、 １３はウェハ固定板、 １４はコイルバネ、 １５は押え軸、 １６はウェハ、 １７は位置決めピン、 １８はホルダ固定軸、 １９はロボット、 を示す。
）と（ロ）はウェハ保持装置の動作を説明する断面図、 第４図（ａ）とΦ）は従来のウェハ保持装置の断面図、
第５図は第４図のウェハ保持装置の平面図である。 図において、 １１はホルダフレーム、 １１ａは突部、 １１ｂは孔、 １２はウェハ押え板、 １３はウェハ固定板、 １４はコイルバネ、 １５は押え軸、 １６はウェハ、 １７は位置決めピン、 １８はホルダ固定軸、 １９はロボット、 を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ウェハ（１６）を収容するための孔（１１ｂ）を形成
したホルダフレーム（１１）と、 このホルダフレーム（１１）に設けたウェハ押え板（１
２）と、 前記ウェハ（１６）を出し入れするときには、前記孔（
１１ｂ）から退避され、前記ウェハ（１６）を固定する
ときには、前記ウェハ押え板（１２）側に動くようバネ
（１４）により付勢されたウェハ固定板（１３）とを有
することを特徴とするウェハの保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035380A JPH01211917A (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | ウエハの保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63035380A JPH01211917A (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | ウエハの保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01211917A true JPH01211917A (ja) | 1989-08-25 |
Family
ID=12440292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63035380A Pending JPH01211917A (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 | ウエハの保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01211917A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013039080A1 (ja) * | 2011-09-16 | 2015-03-26 | 住友重機械工業株式会社 | 基板製造装置 |
-
1988
- 1988-02-19 JP JP63035380A patent/JPH01211917A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013039080A1 (ja) * | 2011-09-16 | 2015-03-26 | 住友重機械工業株式会社 | 基板製造装置 |
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