JPH01206236A - 石英材質判別装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、透明石英の材質の簡便な判別装置に係り、特
な紫外光の透過率の差を区別するに好適な、石英材質の
制御装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、真空紫外光（波長２　］、　Ｏｎ　ｍ以下）の測
定には、応用分光学ハンドブック（朝倉書店刊）第６３
２〜６３４頁に記載されているように１分光器内部は１
０−”ａｍＨｇの真空に排気されて、空気中の０２によ
るスペクトルの吸収を防止した装置が知られている。こ
のように、従来では分光器。

光μ子増倍管など光学系を真空中におく必要があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、真空紫外の測定という概念のもとに、
真空装置を有し、さらに分光のためにグレーティングを
有し、高価でかっ、取扱いが複雑な装置であったために
、これら分光装置を材料管理、出荷管理等に使用するこ
とは、簡便さに欠ける点や費用の点で導入が困難であっ
た。

本発明の目的は目視では区別できない紫外域での透過率
の相異にもとづいて、たとえば合成石英。

普通石英、オゾンレス石英等、石英材質の区分を判別す
る簡便かつ安価な装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、たとえば光源に１８５ｎｍと２５４ｎｍの
輝線スペクトルを有する低圧水銀ランプを光源として光
センサーとして１８５ｎｍに感応し２５４ｎｍには感応
しないような光電管（たとえば浜松ホトニクス社製のＲ
１２３７）と、２５４ｎｍに感応し２１８５ｎｍに感応
しないような光電管（たとえば、上記同社製Ｒ１１０７
）を使用し、光源と光センサーの間を、これら両光が吸
収されないようなガス、たとえばＮ２ガスでパージし、
このパージ雰囲気内で、被測定石英材料たとえば１合成
石英（第３図透過率曲線Ａ）、普通石英（第３図透過率
曲線Ｂ）、オゾンレス石英（第３図透過率曲線Ｃ）の紫
外光透過特性を測定し。

前記両光センサーの出力の比を計算することによって達
成される。

〔作用〕

低圧水銀ランプのように１６０〜２００ｎｍの間に１８
５ｎｍの輝線スペクトルを有し、２００〜３００ｎｍの
間に２５４ｎｍの輝線スペクトルを有する光源からの光
は、紫外域で分光透過率の異なる石英材質に対して、１
８５ｎｍは、その透過率が大巾に異る＠　２５４ｎｍ光
は、いずれもよく透過する。この二つの光を、２００ｎ
ｍ以下に分光感度を有する光センサーと、２００ｎｍ以
上に分光感度を有する二つの光センサーによって、出力
を得ることにより、透過率に対して同一条件（光源の劣
化や厚さなどに左右されない）で測定でき、その二つの
センサーの出力の比を算出することにより、簡便に石英
材質の区別ができる。

たとえば、光源とセンサーの間にはなにもないとき（パ
ージガスのみ）の両光の比率を１となるように両センサ
ーの出力を調整しておいて、サンプル石英を介在させた
ときの両センサーの出力比は、１８５ｎｍ光の透過率の
差によって１より小さい異った値で算出される。たとえ
ばその比は合成石英〉普通石英〉オゾンレス石英のよう
に値が異って算出されるので区分ができる。

〔実施例〕

以下本発明の一実施例を第１図、第２図により説明する
。

第１図は本発明の一実施例になる装置の各構成部品の配
置例の平面図であり、第２図は上記装置の正面図である
。

低圧水銀ランプ１は波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍの紫外
光を放射するのに１合成石英の発光管よりなる。２は低
圧水銀ランプ１の点灯用安定・器、２０は低圧水銀ラン
プ１を点灯する箱であり、中にはたとえばＮ２などのパ
ージガスを流し、オゾンの発生を防止している。上記箱
２０には、光センサー５，６に向けて低圧水銀ランプ１
からの光を出射するスリット１１，１２、を設けである
。

２１は、二つのセンサーを内蔵する箱であって、たとえ
ば５は、１８５ｎｍ光に感応する光センサ−、該センサ
ーの光電流を電圧に変換増幅する回路７を直結している
。６は、２５４ｎｍ光に感応する光センサーで、前記と
同様に増巾回路８に直結されている。箱２１には両光セ
ンサー５，６の受光部分に相当する位置にスリット１３
．１４を設けである。箱２１は必要に応じてＮ２ガスな
どでパージすることもできる。９は両センサーの出力を
演算してその比を出力する装置で、表示器を設けること
もできる。

両箱２ｏと２１の各スリット１１と１３．１２と１４は
、それぞれ直線上に配置される。そして。

これらスリット間は、たとえば、スリットから吹き出す
パージガスで置換された雰囲気に保持される。この雰囲
気内に被検査石英材料１５を挿入することができるよう
になっており、被測定石英材料は、スリット１１と１３
．１２と１４間の光路をさえぎるように置かれる。その
結果、被測定石英材を透過して来る、たとえば１８５ｎ
ｍ光は。

石英材質によって異った値となり、そのセンサーの出力
も異る。一方、２５４ｎｍ光は、石英材の材質の相異に
よってあまりその透過率が変らない（第３図参照）、こ
の両者のセンサーの出力の比を演算して表示し、その値
によって、石英の材質の判別ができる。実用に当っては
、予め標準となる既知の石英の値を算出し比較すること
によってより判別しやすくすることも可能である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、被測定物を単に光路間に挿入するだけ
で、その材質が判別できるので、その使用は簡単である
。また従来技術のように排気装置なども必要がないため
に、その運転にも時間を必要とせず、装置も小型で安価
であるために、材料管理、在庫管理、出荷管理等に導入
しやすい効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の装置′溝成を示す平面図、
第２図は第１図の装置の正面図、第３図は紫外域におけ
る石英材料の透過特性図である。 １・・・紫外線ランプ、５，６・・・光センサ−，７，
８・・・増巾器、９・・・演算器及び表示器、２０・・
・点灯ボックス。 茄／　呂 ＄２　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、少なくとも１６０〜２００ｎｍと２００〜３００ｎ
   ｍの間に発光輝線を有する光源をＮ＿２ガス等前記光を
   吸収しないガスでパージした光源箱と、２００ｎｍ以下
   に分光感度を有する光センサーと、２００ｎｍ以上に分
   光感度を有する光センサーとを有し、前記光源箱に、前
   記夫夫のセンサーの入射孔に直接光が入るスリットを設
   け、スリットとセンサーの入射孔の間をＮ＿２ガス等前
   記波長域の光を吸収しないガスを流し、このガスの雰囲
   気間に被測定石英材料を挿入し、該被測定材料を透過し
   た光を前記夫々のセンサーが受けて、その入射光を感応
   した出力を換算して、両出力の比によつて英石材料の材
   質を判別することを特徴とする石英材質判別装置。