JPH0120494B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は強磁性金属が蒸着された薄膜型磁気テ
ープの製造方法に関する。

従来、磁気テープを蒸着法により製造する場
合、該テープの磁気特性を向上させるために金属
蒸発粒子を基材面に対し斜め方向から蒸着させる
いわゆる斜方蒸着の手法を採用することが行われ
ている。この様な斜方蒸着によつて連続的に製造
する場合、基材テープを回転円筒に沿わせて移動
させる方法、あるいは斜め方向にテープを移動さ
せて連続的に斜方蒸着を行なう方法がある。しか
しながらこの様な方法では蒸気流の基材面への入
射角度のバラツキが大きいために蒸着形成された
磁性層を構成する結晶粒の成長方向の均一性が損
なわれ、そのために磁気特性特に保磁力の低下を
招くという欠点があり、又は蒸気流のテープ基材
面への入射角のバラツキを小さくすると全蒸気流
の一部しか利用出来ないために蒸着効率が低下す
るといつた欠点がある。

本発明は上記の如き欠点にかんがみ、磁気特性
特に保磁力にすぐれた磁気テープを高い蒸着効率
で製造することの出来る製造方法を提供すること
を目的としてなされたものであり、その要旨は真
空雰囲気に保たれた容器中で長尺の非磁性フイル
ム状基材よりなるテープを走行させながら該テー
プに強磁性金属を蒸着させて磁気テープを製造す
るに際し、上記走行テープの中央部を持ち上げて
該テープが始めは上昇し次いで降下して走行する
ように配置させた状態でテープを走行させ、該テ
ープの下方に設けられた強磁性金属の蒸発源より
強磁性金属の蒸発粒子をテープの持ち上げられた
部分に向けて照射し、上昇しながら走行するテー
プ面及び降下しながら走行するテープ面の両方に
同時に強磁性金属の蒸着層を形成せしめることを
特徴とする磁気テープの製造方法に存する。

以下本発明につき図面を参照しながら説明す
る。

第１図は本発明の一実施例を示す説明図であ
り、図中１，２，３は真空槽４内の真空室５に設
置された支持ロールであり、該支持ロール１，
２，３により、供給ロール７から引き出され、巻
取ロール６に巻取られる長尺の非磁性フイルム状
基材よりなるテープ１２が支持されて走行する様
になされている。そして該テープ１２の中央部が
支持ロール３により持ち上げられているので、支
持ロール１，３間においてはテープは上昇しなが
ら走行する部分１２′となり、支持ロール３，２
間は降下しながら走行する部分１２″となる。

なお本発明において用いられるテープ１２を構
成する材料としては非磁性にしてフイルム状に形
成されるものであればよく、例えば合成樹脂など
の高分子材料やアルミニウム、銅などの非磁性金
属材料などが挙げられる。

又、図中１３は真空槽４を真空にするための排
気口であり、図示されていない真空ポンプ等の排
気装置に連結されている。

前記の如く走行すべく配置されたテープ１２の
下方に強磁性金属の蒸発装置１４が設けられ、該
蒸発装置１４とテープ１２との中間に邪魔板１１
が設けられ、該邪魔板１１によつて好ましくない
方向へ進行する蒸発装置１４からの金属蒸発粒子
がカツトする様になされている。そして上記蒸発
装置１４は180゜偏向Ｅガン８、水冷銅ハース９及
び強磁性金属の蒸発源１０より構成されており、
上記Ｅガン８の動作により蒸発源１０が加熱され
て金属蒸発粒子が発生する様になされている。

なお、本発明に用いられる強磁性金属としては
鉄、コバルト及びニツケルが挙げられ、これらの
金属の単体やこれらの１種以上を含有する合金
や、これらの１種以上と他の元素との混合物が使
用される。

本発明にもとずいて磁気テープを製造するに
は、第１図の如くにテープ１２を取付けて走行可
能に配置し、図示されていない排気装置の作動に
より真空室５内を所定の真空度に保ち、次いで蒸
発装置１４の動作により蒸発源１０から強磁性金
属蒸発粒子を発生させて、これを走行中のテープ
部分１２′，１２″に同時に蒸着させればよく、か
くして得られた磁気テープには、テープ部分１
２′で形成された蒸着層と、テープ部分１２″で形
成された蒸着層の２層の蒸着層が形成されること
になる。

なお、テープ面への蒸発粒子の入射角度につい
ては、テープ面の法線に対する入射角度が30゜以
上とするのが磁気特性を良好なものとする点で好
ましい。

第２図は本発明による磁気テープの製造に際
し、好適に採用される強磁性金属の蒸発装置の一
例を示す模型図であり、同図において２１は電子
ビーム蒸発源であり180゜偏向Ｅガン２２、水冷銅
ハース２３及び蒸発源材料ルツボ２４からなつて
おり（但し電源等は図示されていない）、２５は
蒸気遮蔽用の邪魔板であり、図示されているよう
に進んだ蒸気粒子はイオン化部２６にてイオン化
される。イオン化部２６は熱電子放出用フイラメ
ント２７、電子を電界加速するためのメツシユ状
の電極２８及び電界制御のためのカード２９によ
り構成されており、フイラメント２７及びガード
２９には電源３０により負の直流高電圧が印加さ
れ、又フイラメント２７には電源３１により通電
加熱のための交流電流が印加されるようになつて
いる。

第２図に示される強磁性金属の蒸発装置を用い
て本発明方法により磁気テープを製造するには、
第１図中の蒸発装置１４及び邪魔板１１を第２図
の蒸発装置と置き換えると共に、テープ部分１
２′及び１２″の蒸発装置に対しての裏面に負の直
流高電圧が印加される加速電極を設置して、下記
の高真空イオンプレーテイングの手法に基づいて
テープ部分１２′，１２″に強磁性金属蒸着層を形
成させることにより行われるのである。

すなわち、真空室５内を圧力８×10^-4トール以
下の高真空に保ちながら、電子ビーム蒸発源２
１、イオン化部２５及び前記加速電極を作動させ
ると共にテープ１２を第１図の様に走行させて、
電子ビーム蒸発源２１で発生させた強磁性金属蒸
発粒子をイオン化部で電界加速電子の衝撃により
一部イオン化させ、このイオン化粒子を前記加速
電極によりテープ部分１２′及び１２″の方向に電
界加速させて、イオン化されなかつた蒸発粒子を
併せてテープ部分１２′，１２″に入射させ蒸着層
を形成させる。

本発明においては、この高真空イオンプレーテ
イング法を採用するのが得られる蒸着層のテープ
基材面に対する密着強度が向上すると共に、蒸着
層の純度も向上して性能面に良い影響を与えるの
で好ましい。

本発明の磁気テープの製造方法は上述の通りで
あり、特に走行するテープ基材を特定の配置のも
のとなしたので、磁気特性とくに保磁力にすぐれ
た磁気テープを高い蒸着効率で製造することが出
来るのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２
図は本発明において用いられる強磁性金属の蒸発
装置の一例を示す模型図である。 １，２，３…支持ロール、５…真空室、６…巻
取ロール、７…供給ロール、１２…テープ、１
２′…上昇しながら走行するテープ部分、１２″…
降下しながら走行するテープ部分、１４…蒸発装
置、１０…蒸発源、２１…電子ビーム蒸発源、２
４…蒸発源材料ルツボ、２６…イオン化部、３
０，３１…電源。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 真空雰囲気に保たれた容器中で長尺の非磁性
   フイルム状基材よりなるテープを走行させながら
   該テープに強磁性金属を蒸着させて磁気テープを
   製造するに際し、上記走行テープの中央部を持ち
   上げて該テープが始めは上昇し次いで降下して走
   行するように配置させた状態でテープを走行さ
   せ、該テープの下方に設けられた強磁性金属の蒸
   発源より強磁性金属の蒸発粒子をテープの持ち上
   げられた部分に向けて照射し、上昇しながら走行
   するテープ面及び降下しながら走行するテープ面
   の両方に同時に強磁性金属の蒸着層を形成せしめ
   ることを特徴とする磁気テープの製造方法。 ２ 強磁性金属の蒸着が、圧力が８×10^-4トール
   以下の高真空下で蒸発金属粒子に加速電子を衝突
   させてイオン化を行う高真空イオンプレーテイン
   グ法により行われる第１項記載の磁気テープの製
   造方法。