JPH01203776A - 自動開閉弁 - Google Patents
自動開閉弁Info
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- JPH01203776A JPH01203776A JP2616588A JP2616588A JPH01203776A JP H01203776 A JPH01203776 A JP H01203776A JP 2616588 A JP2616588 A JP 2616588A JP 2616588 A JP2616588 A JP 2616588A JP H01203776 A JPH01203776 A JP H01203776A
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- plunger
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- piezoelectric
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Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、流体の流れを制御する自動開閉弁に関する。
(ロ)従来の技術
従来、かかる自動開閉弁としては各種形態ものが知られ
ており、例えば、ソレノイドを用いた電磁開閉弁や、モ
ータ駆動の電動弁等がある。
ており、例えば、ソレノイドを用いた電磁開閉弁や、モ
ータ駆動の電動弁等がある。
そして、かかる自動開閉弁は、センサや各種スイッチを
用いて、自動的に作動させることができる。
用いて、自動的に作動させることができる。
(ハ)発明が解決しようとする問題点
しかし、かかる従来の自動開閉弁は、駆動源がソレノイ
ドやモータであるため、高精度の位置決めを行うことが
できず、流量制御を精密に行うことができなかった。
ドやモータであるため、高精度の位置決めを行うことが
できず、流量制御を精密に行うことができなかった。
本発明は、上記問題点を解決することができる自動開閉
弁を提供することを目的とする。
弁を提供することを目的とする。
(ニ)問題点を解決するための手段
本発明は、ケーシングの一側に一側流路を設けるととも
に、他側に他側流路を設け、一側流路を他側流路と連通
し、同連通部に弁体を開閉自在に取付け、同弁体を微小
距離無段階駆動式アクチュエータのプランジャの進退動
によって駆動可能とし、かつ、同アクチュエータケーシ
ングの後壁に同プランジャの手動復帰部を設け、同手動
復帰部の操作によってプランジャを前進可能としたこと
を特徴とする自動開閉弁に係るものである。
に、他側に他側流路を設け、一側流路を他側流路と連通
し、同連通部に弁体を開閉自在に取付け、同弁体を微小
距離無段階駆動式アクチュエータのプランジャの進退動
によって駆動可能とし、かつ、同アクチュエータケーシ
ングの後壁に同プランジャの手動復帰部を設け、同手動
復帰部の操作によってプランジャを前進可能としたこと
を特徴とする自動開閉弁に係るものである。
なお、ここで、微小距離無段階駆動式アクチュエータと
は、積層式圧電アクチュエータ、圧電バイモルフアクチ
ュエータ、ステッピングリニヤモータ、圧電リニヤモー
タ、超音波リニヤモータ、超音波モータ (回転式)と
回転ねじの組み合わせ、ステッピングモータ (回転式
)と回転ねじとの組み合わせ等をいう。
は、積層式圧電アクチュエータ、圧電バイモルフアクチ
ュエータ、ステッピングリニヤモータ、圧電リニヤモー
タ、超音波リニヤモータ、超音波モータ (回転式)と
回転ねじの組み合わせ、ステッピングモータ (回転式
)と回転ねじとの組み合わせ等をいう。
(ホ)作用及び効果
以上述べてきた構成により、本発明は、以下の作用及び
効果を奏する。
効果を奏する。
■微小距離無段階駆動式アクチュエータによって弁体を
駆動可能に構成したので、例えば、μmオーダ或いはサ
ブμmのオーダによって弁体を進退することができ、精
密な流量調整を行うことができる。
駆動可能に構成したので、例えば、μmオーダ或いはサ
ブμmのオーダによって弁体を進退することができ、精
密な流量調整を行うことができる。
■微小距離無段階駆動式アクチュエータによって弁体を
駆動可能に構成したので、アクチュエータと弁体との間
に減速機構を介在させなくてもよく、自動開閉弁の全体
構造を著しくコンパクトにすることができる。
駆動可能に構成したので、アクチュエータと弁体との間
に減速機構を介在させなくてもよく、自動開閉弁の全体
構造を著しくコンパクトにすることができる。
■プランジャの手動復帰部を設けたので、停電時等にお
いては、同手動復帰部を押圧又は回転操作するのみでプ
ランジャを自動開閉弁の全閉位置に移動することができ
、被搬送物等の流出を迅速に防止して、流失や事故等を
未然に防止することができる。
いては、同手動復帰部を押圧又は回転操作するのみでプ
ランジャを自動開閉弁の全閉位置に移動することができ
、被搬送物等の流出を迅速に防止して、流失や事故等を
未然に防止することができる。
(へ)実施例
以下、添付図に示す実施例に基づいて、本発明を詳説す
る。
る。
第1図において、10は自動開閉弁Cの本体を構成する
L字筒形状のケーシングであり、同ケーシング10は、
内部に一側流路11を形成する流入側管12と、内部に
他側流路13を形成する流出側管14とから構成されて
いる。
L字筒形状のケーシングであり、同ケーシング10は、
内部に一側流路11を形成する流入側管12と、内部に
他側流路13を形成する流出側管14とから構成されて
いる。
そして、流入側管12はその上端を端壁12aによって
閉塞するとともに、その一側上部側壁12bに開口15
を設けており、また、同開口15には、ダイヤフラム弁
からなる弁体16が取付けられている。
閉塞するとともに、その一側上部側壁12bに開口15
を設けており、また、同開口15には、ダイヤフラム弁
からなる弁体16が取付けられている。
一方、流出側管14は、その基端側筒状部14aを貫通
して、上記開口15まで伸延しており、その先端を弁体
16に接離自在に当接している。
して、上記開口15まで伸延しており、その先端を弁体
16に接離自在に当接している。
かかる構成によって、後述する圧電アクチュエータAを
駆動して弁体16を開閉することによって、流入側管1
2内に形成した一側流路11と流出側管14内に形成し
た他側流路13とを連通連結したり遮断することができ
る。
駆動して弁体16を開閉することによって、流入側管1
2内に形成した一側流路11と流出側管14内に形成し
た他側流路13とを連通連結したり遮断することができ
る。
なお、一側流路11は、その外側開口端を給水配管17
と連通しており、他側流路13は送水管18と連通して
いる。
と連通しており、他側流路13は送水管18と連通して
いる。
また、ケーシング10の一側側壁12bには、弁体16
と同軸的に、微小距離無段階式アクチュエータの一つで
ある圧電アクチュエータAが取付られており、同アクチ
ュエータAを駆動することによって、弁体16を開閉す
ることができる。
と同軸的に、微小距離無段階式アクチュエータの一つで
ある圧電アクチュエータAが取付られており、同アクチ
ュエータAを駆動することによって、弁体16を開閉す
ることができる。
そして、各圧電アクチュエータAは、本実施例では、第
1図に示すように、前後壁a、bを具備する筒状のアク
チュエータケーシングC内に、同心円的にかつ軸線に沿
って進退自在にプランジャdを取付け、同プランジャd
の先端を弁体16の後部と当接自在となし、さらに、プ
ランジャdの外周面上に、同心円的に、4つの圧電素子
81Lg+hからなる圧電素子組立体Bを配設すること
によって構成している。
1図に示すように、前後壁a、bを具備する筒状のアク
チュエータケーシングC内に、同心円的にかつ軸線に沿
って進退自在にプランジャdを取付け、同プランジャd
の先端を弁体16の後部と当接自在となし、さらに、プ
ランジャdの外周面上に、同心円的に、4つの圧電素子
81Lg+hからなる圧電素子組立体Bを配設すること
によって構成している。
また、図示の実施例において、圧電素子g、hは、アク
チュエータケーシングCの中央部に配設されており、ア
クチュエータケーシングCに基端を固定した保持具Hの
先端に固着されている。
チュエータケーシングCの中央部に配設されており、ア
クチュエータケーシングCに基端を固定した保持具Hの
先端に固着されている。
また、1+J はその基端を圧電素子g、hに固着する
とともにその先端を前後壁a、bに向けて伸延する片持
ち梁状の弾性ブリッジである。
とともにその先端を前後壁a、bに向けて伸延する片持
ち梁状の弾性ブリッジである。
そして、同弾性ブリッジl+J の先端は、その外周面
に圧電アクチュエータe、fを取付けるとともに、その
内周面に、ブレーキシューに、lを固着している。
に圧電アクチュエータe、fを取付けるとともに、その
内周面に、ブレーキシューに、lを固着している。
そして、この圧電素子e、f、g、hは、電源をオフし
た際に縮むように構成されている。
た際に縮むように構成されている。
即ち、圧電素子e、fは、通電状態では伸びてその内径
を拡径してプランジャdのクランプを解除するとともに
、通電していない状態では縮んで内径を縮径してプラン
ジャdをクランプする。
を拡径してプランジャdのクランプを解除するとともに
、通電していない状態では縮んで内径を縮径してプラン
ジャdをクランプする。
一方、圧電素子g、hは、通電状態ではプランジャd上
を軸線方向に伸びた状態にあり、非通電状態では、プラ
ンジャd上を軸線方向に縮み、その軸線方向の全長を短
くすることになる。
を軸線方向に伸びた状態にあり、非通電状態では、プラ
ンジャd上を軸線方向に縮み、その軸線方向の全長を短
くすることになる。
そして、プランジャdは、かかる4つの圧電素子e+L
g+hへの電圧印加手順を後述する制御装置Cによって
制御することにより、軸線方向に移動することができる
。
g+hへの電圧印加手順を後述する制御装置Cによって
制御することにより、軸線方向に移動することができる
。
圧電素子e、f、g、hは、第1図及び第2図に示すよ
うに、多数の圧電素子片をプランジャdの軸芯方向に積
層して形成した円筒状の素子で、円筒の両端に電極が設
けられており、この両端に電圧を印加することにより、
伸びるように構成されている。
うに、多数の圧電素子片をプランジャdの軸芯方向に積
層して形成した円筒状の素子で、円筒の両端に電極が設
けられており、この両端に電圧を印加することにより、
伸びるように構成されている。
なお、圧電素子片は、例えば、圧電セラミックスを用い
ることができ、かかる圧電セラミックスとしては、AB
O3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料であ
ってP ZT (P b (Z r。
ることができ、かかる圧電セラミックスとしては、AB
O3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料であ
ってP ZT (P b (Z r。
Ti)O:])系、やPLZT (Pb (Zr、Ti
)03 )、PT (PbTi03 )系、あるいはP
ZTを基にした3成分系のものを用いることができる。
)03 )、PT (PbTi03 )系、あるいはP
ZTを基にした3成分系のものを用いることができる。
また、圧電素子e+f+g+hは、第3図に示すように
、多数の薄肉リング状の圧電素子片をプランジャdの軸
芯廻りに軸線方向に積層して形成することもできる。こ
の場合、電圧の印加力向を90度変えることになる。
、多数の薄肉リング状の圧電素子片をプランジャdの軸
芯廻りに軸線方向に積層して形成することもできる。こ
の場合、電圧の印加力向を90度変えることになる。
また、第1図において、mはアクチュエータAの水密性
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいUパツキンであ
る。
を高めるために設けた摺動抵抗の小さいUパツキンであ
る。
なお、上記構成において、圧電素子ej+g、hは、円
形断面のみでなく、例えば、矩形断面等とすることもで
き、また、第4図及び第5図に示す如く、分割片から形
成することもできる。
形断面のみでなく、例えば、矩形断面等とすることもで
き、また、第4図及び第5図に示す如く、分割片から形
成することもできる。
また、プランジャdは、ブレーキシューに、1によって
多数回クランプされるものであるため、線膨張係数が小
さく、硬度、強度、耐クリープ性及び耐摩耗性が大きく
、さらに、加工精度が高いものが望ましく、例えば、セ
ラミック素材としたものが考えられる。
多数回クランプされるものであるため、線膨張係数が小
さく、硬度、強度、耐クリープ性及び耐摩耗性が大きく
、さらに、加工精度が高いものが望ましく、例えば、セ
ラミック素材としたものが考えられる。
さらに、本実施例では、圧電アクチュエータAは、その
後壁すの中央であって、プランジャdと対向する個所に
、手動復帰部の一形態としての手動復帰ボタンpを取付
けている。そして、同手動復帰ボタンpは、押圧するこ
とによってその前面が前方に突出してプランジャdの後
端に当接し、プランジャdを圧電素子e、fのクランプ
力に抗して前方向に押圧移動することができる。
後壁すの中央であって、プランジャdと対向する個所に
、手動復帰部の一形態としての手動復帰ボタンpを取付
けている。そして、同手動復帰ボタンpは、押圧するこ
とによってその前面が前方に突出してプランジャdの後
端に当接し、プランジャdを圧電素子e、fのクランプ
力に抗して前方向に押圧移動することができる。
従って、停電時等において、プランジャdが自動開閉弁
Bの弁部を開けた状態で停止した場合には、速やかに手
動復帰ボタンpを押して完全に自動開閉弁Cを閉じるこ
とができる。
Bの弁部を開けた状態で停止した場合には、速やかに手
動復帰ボタンpを押して完全に自動開閉弁Cを閉じるこ
とができる。
また、本実施例では、プランジャdは、その先端に縮径
先端部qを形成しており、同先端部qは、その端面面積
(受圧面積)を、プランジャdの断面積より著しく小さ
いものとしている。
先端部qを形成しており、同先端部qは、その端面面積
(受圧面積)を、プランジャdの断面積より著しく小さ
いものとしている。
なお、縮径先端部qの先端には、弾性体が取付けられて
いる。
いる。
従って、後述するように弁等に用いた場合、受圧面積を
著しく小さくできるので、プランジャdが受けるスラス
ト力を最小にすることができ、プランジャdの駆動への
スラスト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチ
ュエータAの正確な駆動が可能となる。
著しく小さくできるので、プランジャdが受けるスラス
ト力を最小にすることができ、プランジャdの駆動への
スラスト力の影響を最小にすることができ、圧電アクチ
ュエータAの正確な駆動が可能となる。
また、第6図に、上記圧電アクチュエータAを制御する
ための制御装置Cの構成を示している。
ための制御装置Cの構成を示している。
図示するように、制御装置Cは、マイクロプロセッサr
と、入出力インターフェースs、tと、上記圧電素子e
+f+Lhの駆動順序プログラムを記憶したメモリUと
から構成される。
と、入出力インターフェースs、tと、上記圧電素子e
+f+Lhの駆動順序プログラムを記憶したメモリUと
から構成される。
ついで、かかる構成を有する圧電アクチュエータAによ
るプランジャdの移動について、第7図〜第9図を参照
して説明する。
るプランジャdの移動について、第7図〜第9図を参照
して説明する。
第6図に示すように、アクチュエータ駆動ボタンVを押
すと、制御装置Cが、メモリUから読み出した駆動順序
プログラムに従って、第7図に示すように、圧電素子e
の電圧の印加を解除してその内径を縮径してプランジャ
dをクランプさせるとともに、圧電素子fに電圧を印加
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
する。
すと、制御装置Cが、メモリUから読み出した駆動順序
プログラムに従って、第7図に示すように、圧電素子e
の電圧の印加を解除してその内径を縮径してプランジャ
dをクランプさせるとともに、圧電素子fに電圧を印加
してその内径を拡径してプランジャdのクランプを解除
する。
次に、第8図に示すように、圧電素子g、hに電圧を印
加して伸ばすと、圧電素子e、fが矢印方向に移動し、
これに伴って圧電素子eがクランプするプランジャdも
矢印方向に移動する。
加して伸ばすと、圧電素子e、fが矢印方向に移動し、
これに伴って圧電素子eがクランプするプランジャdも
矢印方向に移動する。
その後、第9図に示すように、圧電素子eに電圧を印加
して伸ばしプランジャdのクランプを解除するとととも
に、圧電素子g、hの印加電圧を解除すると、圧電素子
g、hは矢印方向に縮み、プランジャdはさらに矢印方
向に移動する。
して伸ばしプランジャdのクランプを解除するとととも
に、圧電素子g、hの印加電圧を解除すると、圧電素子
g、hは矢印方向に縮み、プランジャdはさらに矢印方
向に移動する。
その後、上記動作を繰り返すことにより、プランジャd
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり型状に移動することができ、各種装置や機械等の精
密に動作させることができる。
を、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで尺
とり型状に移動することができ、各種装置や機械等の精
密に動作させることができる。
しかして、本実施例では、上述したように、圧電アクチ
ュエータAは、手動復帰ボタンrを取付けているので、
停電時等において1、プランジャdが自動開閉弁りの弁
部を開けた状態で停止した場合には、速やかに手動復帰
ボタンpを押して完全に自動開閉弁りを閉じることがで
きる。
ュエータAは、手動復帰ボタンrを取付けているので、
停電時等において1、プランジャdが自動開閉弁りの弁
部を開けた状態で停止した場合には、速やかに手動復帰
ボタンpを押して完全に自動開閉弁りを閉じることがで
きる。
即ち、第10図に示すように、停電が発生すると(10
0) 、停電検出回路が作動しく101) 、圧電素子
電源回路を遮断する(102)。これによって、圧電素
子e+f+gJは全てオフとなり縮むことになり、特に
に圧電素子e、fは、プランジャdをクランプし同クラ
ンプ力を保持する(103) 、その後、手動復帰ボタ
ンpを押して(104) 、流出を停止することができ
る(105)。
0) 、停電検出回路が作動しく101) 、圧電素子
電源回路を遮断する(102)。これによって、圧電素
子e+f+gJは全てオフとなり縮むことになり、特に
に圧電素子e、fは、プランジャdをクランプし同クラ
ンプ力を保持する(103) 、その後、手動復帰ボタ
ンpを押して(104) 、流出を停止することができ
る(105)。
なお、図示しないが、停電検出回路や圧電素子電源回路
は、制御装置C内に一体的に組み込まれている。
は、制御装置C内に一体的に組み込まれている。
ついで、上記構成を有する自動開閉弁りの作動を、第1
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
即ち、所望の制御部または操作部を作動して、自動開閉
弁の圧電アクチュエータAを作動させると、弁体16が
設定開度で開閉して、一側流路11がら他側流路13へ
設定流量の流体を流すことになる。
弁の圧電アクチュエータAを作動させると、弁体16が
設定開度で開閉して、一側流路11がら他側流路13へ
設定流量の流体を流すことになる。
そして、かかる作用において、本実施例においては、弁
体16は圧電アクチュエータAによって作動するように
しているので、流量制御をより確実かつ精密に行うこと
ができる。
体16は圧電アクチュエータAによって作動するように
しているので、流量制御をより確実かつ精密に行うこと
ができる。
また、停電時等のおいては、プランジャdが非クランプ
状態となっても、手動復帰ボタンpによって容易に弁閉
塞位置にプランジャdを移動して:弁を完全に閉塞して
流出事故等を防止することができる。
状態となっても、手動復帰ボタンpによって容易に弁閉
塞位置にプランジャdを移動して:弁を完全に閉塞して
流出事故等を防止することができる。
以上述べてきた如く、本実施例は、以下の作用及び効果
を奏する。
を奏する。
■圧電アクチュエータAによって弁体2oを駆動可能に
構成したので、電圧の印加回数に応じて、μmオーダ或
いはサブμmのオーダによって弁体20を進退すること
ができ、精密な流量調整を行うことができる。
構成したので、電圧の印加回数に応じて、μmオーダ或
いはサブμmのオーダによって弁体20を進退すること
ができ、精密な流量調整を行うことができる。
■圧電アクチュエータAによって弁体2oを駆動可能に
構成したので、アクチュエータAと弁体2゜との間に減
速機構を介在させなくてもよく、自動開閉弁の全体構造
を著しくコンパクトにすることができる。
構成したので、アクチュエータAと弁体2゜との間に減
速機構を介在させなくてもよく、自動開閉弁の全体構造
を著しくコンパクトにすることができる。
■プランジャdの後端と対向するアクチュエータケーシ
ングaの後壁すの個所に、プランジャdを押圧して前方
向に移動させる手動復帰ボタンpを取付けたので、停電
時等においては、同手動復帰ボタンpを押すのみでプラ
ンジャdを自動開閉弁Cの全閉位置に移動することがで
き、被搬送物等の流出を迅速に防止して、カランやシャ
ワー等への吐水を停止し、吐水続行による損失や不慮の
事故等を未然に防止することができる。
ングaの後壁すの個所に、プランジャdを押圧して前方
向に移動させる手動復帰ボタンpを取付けたので、停電
時等においては、同手動復帰ボタンpを押すのみでプラ
ンジャdを自動開閉弁Cの全閉位置に移動することがで
き、被搬送物等の流出を迅速に防止して、カランやシャ
ワー等への吐水を停止し、吐水続行による損失や不慮の
事故等を未然に防止することができる。
fLオ、本実施例では、手動復帰部としてボタンによる
ものを示したが、ボタンによらず、間部に押圧孔を設け
、直接プランジャd後端を押圧するようにしてもよく、
圧電アクチュエータAの後壁すを弾性材により形成し、
この後壁すを押すことにより、プランジャdを間接的に
押圧するようにしてもよい。
ものを示したが、ボタンによらず、間部に押圧孔を設け
、直接プランジャd後端を押圧するようにしてもよく、
圧電アクチュエータAの後壁すを弾性材により形成し、
この後壁すを押すことにより、プランジャdを間接的に
押圧するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る自動開閉弁の内部構造を示す断面
側面図、第2図は第1図1−I線にょる横断面図、第3
図〜第5図は他の実施例に係る圧電素子の横断面図、第
6図は制御装置の構成説明図、第7図〜第9図は圧電ア
クチュエータの作動状態説明図、第10図は圧電アクチ
ュエータの停電時の動作説明図である。 図中、 A:圧電アクチュエータ B:圧電素子組立体 C:自動開閉弁 10:ケーシング 11ニー側流路13:他側流
路 16:弁体 dニブランジャ p:手動復帰ボタン 特許出願人 東陶機器株式会社
側面図、第2図は第1図1−I線にょる横断面図、第3
図〜第5図は他の実施例に係る圧電素子の横断面図、第
6図は制御装置の構成説明図、第7図〜第9図は圧電ア
クチュエータの作動状態説明図、第10図は圧電アクチ
ュエータの停電時の動作説明図である。 図中、 A:圧電アクチュエータ B:圧電素子組立体 C:自動開閉弁 10:ケーシング 11ニー側流路13:他側流
路 16:弁体 dニブランジャ p:手動復帰ボタン 特許出願人 東陶機器株式会社
Claims (1)
- 1、ケーシング(10)の一側に一側流路(11)を設
けるとともに他側に他側流路(13)を設け、一側流路
(11)を他側流路(13)と連通し、同連通部に弁体
(16)を開閉自在に取付け、同弁体(16)を微小距
離無段階駆動式アクチュエータのプランジャ(d)の進
退動によって駆動可能とし、かつ、同アクチュエータに
同プランジャ(d)の手動復帰部を設け、同手動復帰部
の操作によってプランジャ(d)を前進可能としたこと
を特徴とする自動開閉弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2616588A JPH01203776A (ja) | 1988-02-06 | 1988-02-06 | 自動開閉弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2616588A JPH01203776A (ja) | 1988-02-06 | 1988-02-06 | 自動開閉弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01203776A true JPH01203776A (ja) | 1989-08-16 |
Family
ID=12185939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2616588A Pending JPH01203776A (ja) | 1988-02-06 | 1988-02-06 | 自動開閉弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01203776A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100607625B1 (ko) | 2004-06-09 | 2006-08-01 | 주식회사 영텍 | 밸브제어시스템의 비상안전장치 |
-
1988
- 1988-02-06 JP JP2616588A patent/JPH01203776A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100607625B1 (ko) | 2004-06-09 | 2006-08-01 | 주식회사 영텍 | 밸브제어시스템의 비상안전장치 |
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