JPH01200320A - 回転鏡光偏向器 - Google Patents
回転鏡光偏向器Info
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- JPH01200320A JPH01200320A JP63023679A JP2367988A JPH01200320A JP H01200320 A JPH01200320 A JP H01200320A JP 63023679 A JP63023679 A JP 63023679A JP 2367988 A JP2367988 A JP 2367988A JP H01200320 A JPH01200320 A JP H01200320A
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- 239000004519 grease Substances 0.000 abstract description 4
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000011345 viscous material Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C27/00—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
- F16C27/02—Sliding-contact bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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- G02B26/10—Scanning systems
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- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
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-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は機械的に多面鏡を回転して光偏向を行う回転鏡
光偏向器に関するものである。
光偏向器に関するものである。
最近の回転鏡光偏向器は高い分解能を得るため、出来る
だけ高い回転が要求される。このような高速回転を実現
するには、軸受として摩擦の小さいものが用いられてき
た。例えば、従来の例として特公昭５：１−６８５４号
公報に示されるように、スラスト軸受には磁気軸受、そ
してジャーナル軸受にはテイルテイングパッド型動圧気
体軸受が用いられてきた。これを第５図に示す。すなわ
ち、多面鏡３１は回転軸３２に取りつけられている。回
転軸にはモータのロータ３３と反撥型スライド磁気軸受
の回転磁石３４が取りついている。回転磁石と逆方向に
着磁された静止磁石；３５と回転磁石との反撥力によっ
て回転軸は重力に抗して鉛直方向に支持される。回転軸
はモータのステータ３６によって回転磁界をうけるが、
ケーシング３７から突き出たピボット３８の先にテイル
テイングパツド３９が固定される。このテイルテイング
バツド型気体軸受によって、回転軸は半径方向に支持さ
れる、第６図は、第５図のＸ−ｘ面から見た横断面を示
す図で、ケーシング、ピボット、ディルティングパッド
２回転軸との間の関係が分るようにした図である。第６
図中の符号は第５図中の符号に一致する。
だけ高い回転が要求される。このような高速回転を実現
するには、軸受として摩擦の小さいものが用いられてき
た。例えば、従来の例として特公昭５：１−６８５４号
公報に示されるように、スラスト軸受には磁気軸受、そ
してジャーナル軸受にはテイルテイングパッド型動圧気
体軸受が用いられてきた。これを第５図に示す。すなわ
ち、多面鏡３１は回転軸３２に取りつけられている。回
転軸にはモータのロータ３３と反撥型スライド磁気軸受
の回転磁石３４が取りついている。回転磁石と逆方向に
着磁された静止磁石；３５と回転磁石との反撥力によっ
て回転軸は重力に抗して鉛直方向に支持される。回転軸
はモータのステータ３６によって回転磁界をうけるが、
ケーシング３７から突き出たピボット３８の先にテイル
テイングパツド３９が固定される。このテイルテイング
バツド型気体軸受によって、回転軸は半径方向に支持さ
れる、第６図は、第５図のＸ−ｘ面から見た横断面を示
す図で、ケーシング、ピボット、ディルティングパッド
２回転軸との間の関係が分るようにした図である。第６
図中の符号は第５図中の符号に一致する。
このように、磁気軸受で回転軸の重量を支え、又、テイ
ルテイングパッド型気体軸受をジャーナル軸受とする従
来の回転鏡光偏向器では、次のような問題があった。
ルテイングパッド型気体軸受をジャーナル軸受とする従
来の回転鏡光偏向器では、次のような問題があった。
すなわち、テイルテイングパッド型動圧気体軸受は軸受
が分割されている軸受を支える部分が少ないため、剛性
が小さく、シかも軸受のパッドがピボットによって直接
ケーシングに固定されているため、回転軸の大きな動き
に対して対応できないことである。このことは、回転軸
が必然的に大きく振動する共振の時には、回転軸が容易
に軸受パッドに接触して事故を起こす原因ともなってい
る。又、共振回転数の二倍以上の回転数ではホワールと
いわれる振れ回ねり振動が発生するが、軸受剛性が小さ
いため、低い回転のうちから振れ回ねり振動が発生する
とともに、−度、ホワールが発生すると、この振動エネ
ルギーを逸散できないため、ついには回転軸が軸受パッ
ドに激突する事態に発展する。このように、従来のジャ
ーナル軸受方式は、近年必要とされる超高速回転の回転
鏡光偏向器を実現できないという問題が起きている。
が分割されている軸受を支える部分が少ないため、剛性
が小さく、シかも軸受のパッドがピボットによって直接
ケーシングに固定されているため、回転軸の大きな動き
に対して対応できないことである。このことは、回転軸
が必然的に大きく振動する共振の時には、回転軸が容易
に軸受パッドに接触して事故を起こす原因ともなってい
る。又、共振回転数の二倍以上の回転数ではホワールと
いわれる振れ回ねり振動が発生するが、軸受剛性が小さ
いため、低い回転のうちから振れ回ねり振動が発生する
とともに、−度、ホワールが発生すると、この振動エネ
ルギーを逸散できないため、ついには回転軸が軸受パッ
ドに激突する事態に発展する。このように、従来のジャ
ーナル軸受方式は、近年必要とされる超高速回転の回転
鏡光偏向器を実現できないという問題が起きている。
本発明は上記の点に着目してなされたものであり、共振
時の大きな振動はもとより、共振回転数の二倍以上で発
生するホワール現象によっても回転軸がジャーナル軸受
に接触することのない高速回転の可能な回転鏡光偏向器
を提供することにある。
時の大きな振動はもとより、共振回転数の二倍以上で発
生するホワール現象によっても回転軸がジャーナル軸受
に接触することのない高速回転の可能な回転鏡光偏向器
を提供することにある。
上記の目的を達成するため、本発明の回転鏡光偏向器で
は、ジャーナル軸受として、テイルテイングパッド型軸
受よりも大幅に大きな剛性の得られる非円弧型動圧気体
軸受を用いた。この軸受の内部に、さらに動圧が増加し
て剛性を増す多数の溝（あるいは土手）をつけている。
は、ジャーナル軸受として、テイルテイングパッド型軸
受よりも大幅に大きな剛性の得られる非円弧型動圧気体
軸受を用いた。この軸受の内部に、さらに動圧が増加し
て剛性を増す多数の溝（あるいは土手）をつけている。
また、この軸受を１回転軸の動きに応じて動き、かつ、
動くことによって回転軸のもつエネルギーが逸散できる
ようにした。
動くことによって回転軸のもつエネルギーが逸散できる
ようにした。
多数の溝付の非円弧型動圧気体軸受は剛性が高いため、
共振点をきわめて高くすることができる。
共振点をきわめて高くすることができる。
また、剛性が高いため、共振時の回転軸の振動に対して
も、回転軸を接触することはない。この軸受はバネやゴ
ムの弾性体もしくは粘弾体に支えられている。また、軸
受とケーシングとの間には油やグリース等の粘性体が入
れられている。従って、共振点において回転軸が大きな
振動を起すと、ジャーナル軸受も回転軸と同位相で振動
を始める。
も、回転軸を接触することはない。この軸受はバネやゴ
ムの弾性体もしくは粘弾体に支えられている。また、軸
受とケーシングとの間には油やグリース等の粘性体が入
れられている。従って、共振点において回転軸が大きな
振動を起すと、ジャーナル軸受も回転軸と同位相で振動
を始める。
この結果１回転軸と軸受の接触はなくなるとともに、軸
受外部の粘性抵抗によつ゛Ｃ１回転軸の振動エネルギー
は逸散されるので、共振振動は一瞬にして減衰してしま
う。共振点が高いのでホワールは仲々起らなくなるが、
もし、起ころうとすると。
受外部の粘性抵抗によつ゛Ｃ１回転軸の振動エネルギー
は逸散されるので、共振振動は一瞬にして減衰してしま
う。共振点が高いのでホワールは仲々起らなくなるが、
もし、起ころうとすると。
軸受は回転軸と一緒に動いて、回転軸の振動エネルギー
を逸散してしまうため、ホワールはすぐに収ってしまう
。このことは、きわめて高い回転数まで、安定に回転で
きることを示している。
を逸散してしまうため、ホワールはすぐに収ってしまう
。このことは、きわめて高い回転数まで、安定に回転で
きることを示している。
以下１本発明の実施例を図面によって説明する。
第１図は本発明の回転鏡光偏向器の一実施例を示す縦断
面図である。多面鏡１】は［！〕１転４’１ｌ１１２に
取り付けられている。回転軸にはモータのロータ１３と
磁気軸受の回転磁石１４が取りついている。
面図である。多面鏡１】は［！〕１転４’１ｌ１１２に
取り付けられている。回転軸にはモータのロータ１３と
磁気軸受の回転磁石１４が取りついている。
ケーシング１５にはモータのステータ１６と［１７１転
軸の重量を支える固定磁石１７が固定されている。
軸の重量を支える固定磁石１７が固定されている。
さて１回転軸は上下１個づつの計２個の非円弧型動圧気
体方式のジャーナル軸受１８によって支えられるが、こ
のジャーナル軸受はケーシングとの間の数本のバネなど
の弾性体１９によって受けられるので、ジャーナル軸受
は回転軸の動きに従って、水平方向に動くことができる
。ケーシングとジャーナル軸受との間には油やグリース
等の粘性体２０が入られているので、回転軸の振動エネ
ルギーはここで逸散される。
体方式のジャーナル軸受１８によって支えられるが、こ
のジャーナル軸受はケーシングとの間の数本のバネなど
の弾性体１９によって受けられるので、ジャーナル軸受
は回転軸の動きに従って、水平方向に動くことができる
。ケーシングとジャーナル軸受との間には油やグリース
等の粘性体２０が入られているので、回転軸の振動エネ
ルギーはここで逸散される。
第２図は、第１図においてＹ−Ｙ而から見た横断面を示
す図である６回転軸１２のジャーナルが真円であるのに
対し、ジャーナル軸受１８の軸受面２１の形状は非円弧
である。図中では、ジャーナル半径よりもいく分大きな
半径をもつ３個の円弧が結ばれた３円弧（おむすび型）
形状をしている。この軸受面には、第３図に示すような
多数の溝２２が作られている。この溝は、軸受の軸方向
に向い１５″〜４５″の角度がつけられて配置される。
す図である６回転軸１２のジャーナルが真円であるのに
対し、ジャーナル軸受１８の軸受面２１の形状は非円弧
である。図中では、ジャーナル半径よりもいく分大きな
半径をもつ３個の円弧が結ばれた３円弧（おむすび型）
形状をしている。この軸受面には、第３図に示すような
多数の溝２２が作られている。この溝は、軸受の軸方向
に向い１５″〜４５″の角度がつけられて配置される。
この溝は軸受内の動圧の上昇を一層高めるものであり、
溝でなく、軸受面より突き出た土手でも同じ効果がある
。さて、ジャーナル軸受はバネなどの弾性体１９で支え
られ、バネの他端はケーシング１５に固定される。ジャ
ーナル軸受とケーシングの間には油やグリース等の粘性
体２０が入っている。
溝でなく、軸受面より突き出た土手でも同じ効果がある
。さて、ジャーナル軸受はバネなどの弾性体１９で支え
られ、バネの他端はケーシング１５に固定される。ジャ
ーナル軸受とケーシングの間には油やグリース等の粘性
体２０が入っている。
第４図はジャーナル軸受１８をゴムなどの粘弾性体２３
で支えた構造のものである。回転軸１２とケーシング１
５とジャーナル軸受は第２図のものと全く同じである。
で支えた構造のものである。回転軸１２とケーシング１
５とジャーナル軸受は第２図のものと全く同じである。
この方式では、粘弾性体が弾性とともに粘性力も発生す
るので、油等の粘性体を入れることは不要である。
るので、油等の粘性体を入れることは不要である。
以上のように本発明によれば、剛性の高い非円弧型動圧
気体軸受の内部に多数の溝をつけてさらに剛性を高め、
これをバネなどで支え、回転軸と同じ位相で動けるよう
にした結果、共振点における大きな振動にも同転軸が軸
受に接触することがなくなった。また、ホワールといわ
れる共振周波数の二倍で起きやすい振れ回り振動も起き
るとすぐに、軸受の外側においた粘性体でただちに逸散
されるので、１５〜２０万ｒｐｍの超高速回転に至って
もほとんど起きなくなった。従って本発明によって、従
来得られなかった、１０万ｒｐｍという超高速の回転鏡
光偏向器を提供することができるようになった。
気体軸受の内部に多数の溝をつけてさらに剛性を高め、
これをバネなどで支え、回転軸と同じ位相で動けるよう
にした結果、共振点における大きな振動にも同転軸が軸
受に接触することがなくなった。また、ホワールといわ
れる共振周波数の二倍で起きやすい振れ回り振動も起き
るとすぐに、軸受の外側においた粘性体でただちに逸散
されるので、１５〜２０万ｒｐｍの超高速回転に至って
もほとんど起きなくなった。従って本発明によって、従
来得られなかった、１０万ｒｐｍという超高速の回転鏡
光偏向器を提供することができるようになった。
第１図は本発明の一実施例の回転鏡光偏向器の縦断面図
、第２図は第１図のＹ−Ｙ線断面図、第３図は軸受面を
示す説明図、第４図は他の実施例を示す軸受部の断面図
５第５図は従来の回転鏡光偏向器の縦断面図、第６図は
第５図のＸ−Ｘ線断面図である。 １１・・・多面鏡、１２・・・回転軸、１５・・・ケー
シング。 １８・・・ジャーナル軸受、１９・・・弾性体、２０・
・・粘性体、２１・・・軸受面、２２・・・溝もしくは
土手。 第 １ 山 ノ５ す−ンン７“。 ２θ オｔ’博停 第 ２ 目 ￥ ３ 口 竿 ４−２ １３ 九−ナル胎動２ ２３ 才′を弓ｊ１時イ木
、第２図は第１図のＹ−Ｙ線断面図、第３図は軸受面を
示す説明図、第４図は他の実施例を示す軸受部の断面図
５第５図は従来の回転鏡光偏向器の縦断面図、第６図は
第５図のＸ−Ｘ線断面図である。 １１・・・多面鏡、１２・・・回転軸、１５・・・ケー
シング。 １８・・・ジャーナル軸受、１９・・・弾性体、２０・
・・粘性体、２１・・・軸受面、２２・・・溝もしくは
土手。 第 １ 山 ノ５ す−ンン７“。 ２θ オｔ’博停 第 ２ 目 ￥ ３ 口 竿 ４−２ １３ 九−ナル胎動２ ２３ 才′を弓ｊ１時イ木
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、その一部に回転鏡を付設した回転軸を支承する軸受
を、弾性体あるいは粘弾性体あるいは弾性体と粘性体の
いずれかによつて支えられた動圧気体軸受からなるジャ
ーナル軸受とすることを特徴とした回転鏡光偏向器。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、非円弧
の形状をもつ軸受を動圧気体軸受とすることを特徴とす
る回転鏡光偏向器。 ３、特許請求の範囲第２項記載のものにおいて、非円弧
の形状をもつ軸受の内部に、さらに気体圧を高めるため
の多数の溝もしくは土手を有する軸受を動圧気体軸受と
することを特徴とした回転鏡光偏向器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63023679A JPH01200320A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 回転鏡光偏向器 |
| US07/304,554 US4934781A (en) | 1988-02-05 | 1989-02-01 | Light deflecting system with rotating mirror |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63023679A JPH01200320A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 回転鏡光偏向器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01200320A true JPH01200320A (ja) | 1989-08-11 |
Family
ID=12117155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63023679A Pending JPH01200320A (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 回転鏡光偏向器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4934781A (ja) |
| JP (1) | JPH01200320A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6200033B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing and manufacturing method thereof |
| US6428211B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing structure |
| JP2011508944A (ja) * | 2007-12-31 | 2011-03-17 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 高フラックスのｘ線ターゲットおよびアセンブリを枢動させること |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4998033A (en) * | 1989-04-12 | 1991-03-05 | Ebara Corporation | Gas dynamic bearing for spindle motor |
| DE69011391T2 (de) * | 1989-05-08 | 1995-01-26 | Nippon Ferrofluidics Kk | Magnetische Lagervorrichtung. |
| JP2946793B2 (ja) * | 1991-03-19 | 1999-09-06 | ブラザー工業株式会社 | 光偏向器 |
| US5175462A (en) * | 1991-08-30 | 1992-12-29 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Toroidal coil motor |
| US5434695A (en) * | 1992-04-21 | 1995-07-18 | Hitachi Koki Co., Ltd. | Dynamic pressure bearing and rotary polygon mirror device with the bearing |
| JP3384502B2 (ja) * | 1993-07-30 | 2003-03-10 | ソニー株式会社 | 回転多面鏡光偏向装置 |
| BE1007463A3 (nl) * | 1993-09-02 | 1995-07-04 | Philips Electronics Nv | Ondersteuningsinrichting met een uniform afdichtende sluitstukbevestiging, alsmede data-opslageenheid voorzien van een dergelijke ondersteuningsinrichting. |
| US5818507A (en) * | 1994-10-28 | 1998-10-06 | Xerox Corporation | Method and apparatus for controlling the modulation of light beams in a rotating polygon type image forming apparatus |
| JPH08223858A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Canon Inc | インナーロータモータ |
| JP3456130B2 (ja) * | 1997-11-26 | 2003-10-14 | 三菱電機株式会社 | 距離測定装置 |
| SE513971C2 (sv) * | 1998-10-15 | 2000-12-04 | Skf Nova Ab | Anordning för begränsning av en whirlhastighet för en axel |
| US7679245B2 (en) * | 2001-09-17 | 2010-03-16 | Beacon Power Corporation | Repulsive lift systems, flywheel energy storage systems utilizing such systems and methods related thereto |
| US10053242B2 (en) * | 2015-09-18 | 2018-08-21 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Low friction reaction wheel system and containment structure with integrated electromagnets |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS536854B2 (ja) * | 1972-12-27 | 1978-03-11 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63023679A patent/JPH01200320A/ja active Pending
-
1989
- 1989-02-01 US US07/304,554 patent/US4934781A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6428211B1 (en) | 1998-03-10 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing structure |
| US6200033B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing and manufacturing method thereof |
| US6256885B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-07-10 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Hydrodynamic gas bearing and manufacturing method thereof |
| JP2011508944A (ja) * | 2007-12-31 | 2011-03-17 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 高フラックスのｘ線ターゲットおよびアセンブリを枢動させること |
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| Publication number | Publication date |
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| US4934781A (en) | 1990-06-19 |
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