JPH01192122A

JPH01192122A - 洗浄槽

Info

Publication number: JPH01192122A
Application number: JP1783688A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Morikawa; 森川　恒
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 1988-01-28
Filing date: 1988-01-28
Publication date: 1989-08-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、洗浄槽に関する。より詳細には、半導体ウェ
ハ等の高度な清浄性が要求される洗浄を実施するための
洗浄槽の新規な構成に関する。

従来の技術半導体ウェハは、その表面にμｍオーダの微細な素子あ
るいは回路を形成することから、極めて高い清浄度が要
求され、実際には、洗浄槽内の洗浄液に被洗浄物を浸漬
して洗浄を実施している。

ここで、特に本発明者が問題とするのは、この洗浄を行
った後の洗浄液と被洗浄物との分離操作である。

第２図（ａ）、（ｂ）並びに（Ｃ）は、従来の洗浄槽を
仕様した洗浄処理における、洗浄液と被洗浄物との分離
操作をそれぞれ説明する図である。

第２図（ａ）に示す洗浄槽２０ａは、側壁部２１と底部
２２とからなる単純な容器であり、このような洗浄槽を
用いた場合の洗浄液２３と被洗浄物２４との分離操作は
、被洗浄物を単純に洗浄液の液面を通して引き上げる。

第２図（ｂ）に示す洗浄槽２０ｂは、やはり側壁部２１
と底部２２とからなる容器であるが、更にこの容器の底
部２２に排液手段２５を備えている。従って、この洗浄
槽２０ｂを用いた場合の前記操作は、被洗浄物２４を固
定したまま洗浄液２３を排出することによって実施され
る。

第２図（Ｃ）に示す洗浄槽２０Ｃは、側壁部２１と底部
２２とからなる容器であり、洗浄液２３と被洗浄物２４
との分離操作においては、少なくとも被洗浄物２４の下
端よりも低い位置に一端を開口した排液手段２６を使用
して洗浄液２３を排出する。即ち、この場合も、被洗浄
物は移動しない。

発明が解決しようとする課題上述のような、従来の洗浄槽を用いた洗浄液と被洗浄物
との分離操作においては、洗浄液に浮遊する塵芥によっ
て、被洗浄物が再汚染されるという問題がある。即ち、
上述した従来の洗浄槽の何れを用いても、特に洗浄液の
液面と被洗浄物が交叉する際に、洗浄液の液面に浮遊す
る塵芥が被洗浄物に付着することが避けられない。

そこで、洗浄槽に洗浄液を供給し続けて洗浄液を溢れさ
せながら被洗浄物を取り出すことが提案されまた実施も
されているが、この場合は供給される洗浄液が洗浄槽内
の洗浄液を撹拌することになり、沈澱していた塵芥まで
もが洗浄液中に浮遊して新たな再汚染の原因となってい
る。

そこで、本発明の解決すべき課題は、上記従来技術の問
題点を解決し、洗浄後に洗浄液中の塵芥による再汚染を
有効に防止することのできる新規な洗浄槽の構成を提供
することにある。

課題を解決するための手段即ち、本発明により、一定の断面形状を有し少なくとも
上面が開放された鉛直な筒状の側壁部材と、該側壁部材
に対して液密に該側壁部材内に配設され、該側壁部材に
対して相対的に上下に移動可能な底部材とから構成され
た容器を備えることを特徴とする洗浄槽が提供される。

作用本発明に従う洗浄槽は、収容した洗浄液を実質的に移動
することなく排液操作を実施できるように構成されてい
ることをその主要な特徴としている。

即ち、本発明に従う洗浄槽は、底部材と側壁部材とが相
対的に上下に移動可能に構成されている。

従って、底部材が、筒状の側壁部材の下端近傍に位置し
ている状態では、十分な容量を備えた容器として機能し
、洗浄液と被洗浄物とを収容して洗浄処理を行うことが
できる。

一方、洗浄終了後に底部材が側壁部材の上端に接近する
ように底部材あるいは側壁部材を移動することにより、
容器としての容量を連続的に減少して洗浄液を排出する
ことができる。このとき、本発明に従う洗浄槽では、洗
浄液を排出する際に、洗浄液が常に被洗浄物から遠ざか
る方向にのみ移動するので、洗浄液の液面に浮遊する塵
芥が被洗浄物に引き寄せられることがない。

また、具体的に後述するように、本発明に従う洗浄槽で
は、被洗浄物も洗浄液も、いずれも実質的には静止した
まま、被洗浄物と洗浄液の分離操作を実施することがで
きる。従って、洗浄槽内に沈澱していた塵芥が新たに浮
遊することがなく、沈澱物に起因する再汚染を有効に防
止することができる。

尚、本発明に従う洗浄槽を用いた場合は、分離操作にあ
たって洗浄液を供給し続ける等の操作は不要であり、従
来の洗浄槽を用いた場合に比較して洗浄液を節約するこ
とにもなる。

以下に図面を参照して本発明をより具体的に詳述するが
、以下に開示するものは本発明の一実施例に過ぎず、本
発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。

実施例第１図は、本発明に従って構成された洗浄槽の構成を模
式的に示す図である。

この洗浄槽は、底部材１と、この底部材１の形状と同じ
一定の断面形状を有する筒状の側壁部材２とから主に構
成されており、側壁部材２は、底部材１に対して上下に
摺動することができるように構成されている。尚、本実
施例では、底部材１が固定部材３によって位置決めされ
ており、側壁部材２がこれに対して上下に移動可能に構
成′されている。また、底部材１と側壁部材２との摺動
部は少なくとも洗浄液に対して液密に構成されている。

更に、この洗浄槽は、洗浄液の供給手段４と図示してい
ない側壁部材２の駆動手段とを備えている。

上述のように構成された本発明に従う洗浄槽は、以下に
ようにして使用する。

まず、洗浄操作は、側壁部材２の下端が底部材１の近づ
いている第１位置にある状態で、底部材１と側壁部材２
とによって画成される容積内に供給手段４によって洗浄
液６を満たして行う。尚、被洗浄物５は、底部材１上に
載置される。

被洗浄物５と洗浄液６との分離操作は、側壁部材２の上
端が底部材１に近づく方向に移動することによって行う
。即ち、このような操作を行うことにより、底部材１と
側壁部材２とによって画成される容積が減少し、洗浄液
６は側壁部材の上端を越えて溢れる。尚、このとき、図
中に矢印７によって示すように、洗浄液６は洗浄槽の内
側から外側に向かって流れる。従って、洗浄液に浮遊す
る塵芥も、洗浄槽の内側から外側に向かつて付勢され、
被洗浄物の再汚染は有効に防止される。

尚、第１図では図示を省略しているが、実際には被洗浄
物を適切なスペーサによって底部材１から多少離隔して
おくことが、洗浄槽の底に沈澱した塵芥からの汚染を防
止できる点で好ましい。

尚、本実施例では、洗浄槽の底部材を固定して側壁部材
を降下させることによって排液を行う態様について説明
した。このような態様では、排液時の洗浄液は絶対的に
も移動しないので有利であるが、例えば底部材側を上昇
させるあるいは側壁部材を下降すると同時に底部材を上
昇する等の態様も本発明に含まれ、これは実際の洗浄槽
の使用目的、環境等によって適宜選択することができる
。

また、給液手段についても、本実施例では、洗浄槽の上
方から洗浄液を供給するレイアウトを示しているが、例
えば底部材に１個あるいは複数の給液孔を備えた給液手
段等を用いることもできる。

発明の効果以上詳述のように、本発明に従う洗浄槽は、その特徴的
な構成によって、収容した洗浄液を静止状態としたまま
排液操作を行うことができると共に、排液操作時の洗浄
液は、常に内側から外側に向かって流れる。

従って、洗浄液に浮遊する塵芥が被洗浄物に引き寄せら
れることはなく、また、洗浄液が撹拌されて沈澱した塵
芥が新たに浮遊することもない。

かくして、被洗浄物の再汚染は有効に防止される。

また、分離操作にあたって無駄な洗浄液を供給し続ける
等の操作は不要であり、従来の洗浄槽を用いた場合に比
較して洗浄液を節約することもできる。

以上のような本発明に従う洗浄槽を用いるならば、極め
て高度に清浄な洗浄が実施できるので、半導体基板、光
学部品、精密機械部品、医療用器具等の洗浄において有
利に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って構成された洗浄槽の構成を示
して、その動作を説明する図であり、第２図（ａ）、（
ｂ）並びに（Ｃ）は、従来の洗浄槽の構成をそれぞれ模
式的に示すと共に、その動作を説明する図である。〔主な参照番号〕１　・・・・底部材、　　　２・・・・側壁部材、３・
・・・固定部材、　　　４　・・・・供給手段、５．２
４・・・・被洗浄物、６．２３・・・・洗浄液、２０ａ
、２０ｂ、２０Ｃ−−−−−洗浄槽、２１・・・・側壁
部、　　　２２・・・・底部、２５．２６・・・・排液
手段特許出願人　　住友電気工業株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一定の断面形状を有し少なくとも上面が開放され
た鉛直な筒状の側壁部材と、該側壁部材に対して液密に
該側壁部材内に配設され、該側壁部材に対して相対的に
上下に移動可能な底部材とから構成された容器を備える
ことを特徴とする洗浄槽。
（２）前記底部材が固定されており、前記側壁部材が該
底部材に対して降下することによって前記洗浄液の排出
を行うことを特徴とする第１請求項に記載の洗浄槽。
（３）前記側壁部材が固定されており、前記前記底部材
が該側壁部材に対して上昇することによって前記洗浄液
の排出を行うことを特徴とする第１請求項に記載の洗浄
槽。
（４）前記前記側壁部材が該底部材に対して降下すると
同時に、前記前記底部材が該側壁部材に対して上昇する
ことによって前記洗浄液の排水を行うことを特徴とする
第１請求項に記載の洗浄槽。
（５）前記側壁部材と前記底部材とによって画成される
容器内に洗浄液を供給できる給液手段を備えることを特
徴とする第１請求項から第４請求項までの何れか１項に
記載の洗浄槽。
（６）前記側壁部材と前記底部材とによって画成される
容器内に、前記給液手段が上方から洗浄液を供給するよ
うに構成されていることを特徴とする第５請求項に記載
の洗浄槽。
（７）前記給液手段が、前記底部材の上面に開口した給
液孔を備えることを特徴とする第５請求項または第６請
求項に記載の洗浄槽。