JPH01191462A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH01191462A JPH01191462A JP63014485A JP1448588A JPH01191462A JP H01191462 A JPH01191462 A JP H01191462A JP 63014485 A JP63014485 A JP 63014485A JP 1448588 A JP1448588 A JP 1448588A JP H01191462 A JPH01191462 A JP H01191462A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
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- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 18
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
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- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体装置の高密度実装に関する。
(従来の技術)
−以下請求項1〜4−
従来半導体を複数個実装する場合、プリント基板上に配
線されたパターン上に外囲器の外部端子を半田付けして
行っている。
線されたパターン上に外囲器の外部端子を半田付けして
行っている。
さらに高密度化を図る場合、プリント基板にスルーホー
ルを介し裏面にも配線パターンし半導体を接続する両面
実装や、共通の接続端子部分を重ね合わせて実装する方
法などが行なわれている。
ルを介し裏面にも配線パターンし半導体を接続する両面
実装や、共通の接続端子部分を重ね合わせて実装する方
法などが行なわれている。
しかしこれらの方法はコスト面や技術的問題点が多い。
そこでプリント基板上でなく、外囲器内の素子実装を高
密度化する手段も考えられてきた。同一外囲器内に複数
の素子を封止入ぬる特許(特開昭58−130553)
などはその例である。このような方法は紙上では可能だ
が実際に行う場合ダイボンディングやワイヤーボンディ
ングを如何にするかでいきづまっていた。
密度化する手段も考えられてきた。同一外囲器内に複数
の素子を封止入ぬる特許(特開昭58−130553)
などはその例である。このような方法は紙上では可能だ
が実際に行う場合ダイボンディングやワイヤーボンディ
ングを如何にするかでいきづまっていた。
一以下請求項5〜7−
TAB方式とは半導体素子上の電極端子上にバリヤメタ
ルと呼ばれる多層金属膜も設け、さらにこのバリヤメタ
ルの上に電気メツキ法により金属突起(バンプ)を設け
る。そして金属箔配線所定パターンを設けである一定幅
の長尺状ポリイミドフィルムを用意し該金属箔配線と前
記金属突起とを電極端子数に無関係に一括接合するもの
である。
ルと呼ばれる多層金属膜も設け、さらにこのバリヤメタ
ルの上に電気メツキ法により金属突起(バンプ)を設け
る。そして金属箔配線所定パターンを設けである一定幅
の長尺状ポリイミドフィルムを用意し該金属箔配線と前
記金属突起とを電極端子数に無関係に一括接合するもの
である。
しかし、この方法では必要なアウターリードパターンが
異なる場合、それに合わせて複数のTABテープを製造
しなければならない問題がある。
異なる場合、それに合わせて複数のTABテープを製造
しなければならない問題がある。
(発明が解決しようとする課題)
一以下請求項1〜4−
本発明は同一外囲器内に複数の素子を搭載するとき、複
雑な組立工程を用いず、コスト高にもならない方法を提
供するものである。
雑な組立工程を用いず、コスト高にもならない方法を提
供するものである。
−以下請求項5〜7−
前述のように従来は、異なるアウターリードパターンを
必要とするとき複数のTBAテープを用意しなければな
らなかった。
必要とするとき複数のTBAテープを用意しなければな
らなかった。
本発明は多種のアウターリードパターンに対し一つのT
ABテープだけで代替できるようにし。
ABテープだけで代替できるようにし。
初期コスト低減を計ったものである。
(課題を解決するための手段)
一以下請求項1〜4−
従来のパッケージ法では第3図に示すようにワイヤーボ
ンディングを行って電極接続を行うため。
ンディングを行って電極接続を行うため。
同一外囲器内に2つ以上の素子を収納するには、パッケ
ージ形態を変えて裏面を利用するなどの工夫が必要であ
る。さらに、収納できたとしても。
ージ形態を変えて裏面を利用するなどの工夫が必要であ
る。さらに、収納できたとしても。
従来のボンディング装置ではワイヤー接続できないのは
明らかである。本発明は第1図に示すように、フィルム
キャリヤを用いたT A B (TapeAutoma
ted Bonding)方式の適用で、容易に素子の
積層化を可能にした。以下発明の構成を第1図を参照に
説明する。
明らかである。本発明は第1図に示すように、フィルム
キャリヤを用いたT A B (TapeAutoma
ted Bonding)方式の適用で、容易に素子の
積層化を可能にした。以下発明の構成を第1図を参照に
説明する。
あらかじめTAB接続及び封止された半導体素子1を、
まず従来外囲器7にアウターリード10を接続する。つ
づいて第2のTAB実装された半導体素子4を同様に外
囲器7へと接続する。最後にフタ9をシーリングする。
まず従来外囲器7にアウターリード10を接続する。つ
づいて第2のTAB実装された半導体素子4を同様に外
囲器7へと接続する。最後にフタ9をシーリングする。
このように従来の外囲器と、従来のTAB実装技術を組
合せることで、第1図のような構成の半導体装置を得る
ことができる。
合せることで、第1図のような構成の半導体装置を得る
ことができる。
一以下請求項5〜7−
同一素子に対し異種のアウターリードパターンのTAB
テープを作成する場合、インナーリードパターンはその
ままで、アウターリードパターンだけを変更する。本発
明ではそれらを全て含むTABテープを作成するため、
アウターリード部分で分岐した一方を選択的に切断する
ものとした。
テープを作成する場合、インナーリードパターンはその
ままで、アウターリードパターンだけを変更する。本発
明ではそれらを全て含むTABテープを作成するため、
アウターリード部分で分岐した一方を選択的に切断する
ものとした。
分岐したアウターリードの切断は1通常のアウターリー
ド切断及びアウターリードボンディングと同時に行うた
め工程の頻雑化にはならない。
ド切断及びアウターリードボンディングと同時に行うた
め工程の頻雑化にはならない。
(作 用)
一以下請求項1〜4−
本発明によれば新接続技術あるいは装置を用いることな
しに外囲器内の実装密度を高められる。
しに外囲器内の実装密度を高められる。
さらに本構造専用の外囲器を用いる必要がない。
基本的に従来技術と異なるのは、外囲器への実装前にフ
ィルム状態でデバイステスト、バーンインなどを行うこ
とができるので、複数の素子を同一外囲器に収納しても
、極端に歩留りを低下させることかない点である。
ィルム状態でデバイステスト、バーンインなどを行うこ
とができるので、複数の素子を同一外囲器に収納しても
、極端に歩留りを低下させることかない点である。
あらかじめバーンインまで終了した素子だけをボンディ
ングするので半導体装置としての信頼性は高い。
ングするので半導体装置としての信頼性は高い。
一以下請求項5〜7−
上記フィルムキャリヤを使用することにより、多種類の
TABテープを必要とせず初期コストが低減するだけで
はなく、簡単に高密度化が出来ることを特徴とする。
TABテープを必要とせず初期コストが低減するだけで
はなく、簡単に高密度化が出来ることを特徴とする。
(実 施 例)
一以下請求項1〜4−
第2図を参照して実施例を説明する。
あらかじめ突起電極30を形成したメモリー素子21と
その電極パターンに合わせてリード22が形成されたフ
ィルムキャリヤ20とをインナーリードボンディングす
る。そのボンディングテストまで終了した素子を従来パ
ッケージ内ヘアウターリードボンディングする。さらに
第2のメモリー素子24をその上からアウターリードボ
ンディングする。
その電極パターンに合わせてリード22が形成されたフ
ィルムキャリヤ20とをインナーリードボンディングす
る。そのボンディングテストまで終了した素子を従来パ
ッケージ内ヘアウターリードボンディングする。さらに
第2のメモリー素子24をその上からアウターリードボ
ンディングする。
このとき、第2のメモリー素子24に用いたリード25
のパターンは、素子選択リードを除き全て同じのパター
ンでよく、重ねて接合する。素子選択リードは、第1の
素子21と第2の素子で独立した外囲器リード28に接
続し、この場合2本の素子選択用の外囲器リードを有す
ることになる。従来外囲器では無接続の外囲器リードを
有することが多いので、その場合従来無接続だったリー
ドを第2の素子選択リードとして用いれば何ら外囲器に
手を加える必要はない。
のパターンは、素子選択リードを除き全て同じのパター
ンでよく、重ねて接合する。素子選択リードは、第1の
素子21と第2の素子で独立した外囲器リード28に接
続し、この場合2本の素子選択用の外囲器リードを有す
ることになる。従来外囲器では無接続の外囲器リードを
有することが多いので、その場合従来無接続だったリー
ドを第2の素子選択リードとして用いれば何ら外囲器に
手を加える必要はない。
以上のように本発明をメモリー素子に適用することで、
従来外囲器のまま2倍のメモリーを有する半導体装置を
得ることができる。
従来外囲器のまま2倍のメモリーを有する半導体装置を
得ることができる。
−以下請求項5〜7−
第5図に示すように従来のフィルムキャリヤは、インナ
ーリード11が1本に対しアウターリード22aが1本
の構造となっている。
ーリード11が1本に対しアウターリード22aが1本
の構造となっている。
本発明のフィルムキャリヤは第4図に示すようにインナ
ーリード11からアウターリード12aとアウターリー
ド12bの2本に分岐している。第6図に示すようにア
ウターリード32aを残す場合と、第7図に示すように
アウターリード32bを残す場合で2種のアウターリー
ドパターンが可能となる。
ーリード11からアウターリード12aとアウターリー
ド12bの2本に分岐している。第6図に示すようにア
ウターリード32aを残す場合と、第7図に示すように
アウターリード32bを残す場合で2種のアウターリー
ドパターンが可能となる。
分岐したアウターリードの切断はアウターリードボンデ
ィング、アウターリードカッティング等、一連のTAB
工程の中で行い、各選択リードごとに金型を変更する。
ィング、アウターリードカッティング等、一連のTAB
工程の中で行い、各選択リードごとに金型を変更する。
このようなフィルムキャリヤを必要とするのは、例えば
第8図に示す如く、メモリー素子を積層する場合に、素
子選択リードだけ異なる外囲器リードへ接続するような
ときである。
第8図に示す如く、メモリー素子を積層する場合に、素
子選択リードだけ異なる外囲器リードへ接続するような
ときである。
一以下請求項1〜4−
本発明により、従来より高密度に収納され、かつ信頼性
の高い半導体装置を得ることができる。
の高い半導体装置を得ることができる。
−以下請求項5〜7−
以上説明したように、本発明によれば分岐したアウター
リードを選択的に切断し、用いることにより、複数のパ
ターンを持つTABテープを製造量きるだけでなく、簡
単に高密度化ができ初期コストにも優れたものを供給す
る。
リードを選択的に切断し、用いることにより、複数のパ
ターンを持つTABテープを製造量きるだけでなく、簡
単に高密度化ができ初期コストにも優れたものを供給す
る。
第1図は本発明の構造の一例を示す実装外囲器の断面図
、第2図は本発明の組立工程を示す一実施例の図、第3
図はワイヤーボンディングを用いた実装外囲器の断面図
、第4図、第5図、第6図、第7図はフィルムキャリヤ
の図、第8図は本発明実施例の構成図である。 第1図〜第3図において 1・・・半導体素子 2,5・・・リード3.6
・・・樹脂基体 4・・・第2の半導体素子7・・
・外囲器 8・・・外囲器リード9・・・フ
タ 20・・・フィルムキャリヤ21・・
・メモリー素子 22.25・・・リード23、2
6・・・ポリイミドフィルム 24・・・第2のメモリー素子 27・・・外囲器 28・・・外囲器リード
29・・・フタ 30・・・突起電極31
・・・半導体素子 32・・・ボンディングワイヤ 37・・・外囲器 38・・・外囲器リード
39・・・フタ 第4図〜第8図において 11、21.31.41.51・・・インナーリード1
2a、 22a、 32a、 42a・・・アウターリ
ードa22b、 32b、 42b・・・アウターリー
ドb14、24.34.44・・・デバイスホール55
・・・外囲器 56・・・外部接続部57、
58・・・半導体素子 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 松山光之 第1図 第 2 図 第3図 第5図 第4図 第8図
、第2図は本発明の組立工程を示す一実施例の図、第3
図はワイヤーボンディングを用いた実装外囲器の断面図
、第4図、第5図、第6図、第7図はフィルムキャリヤ
の図、第8図は本発明実施例の構成図である。 第1図〜第3図において 1・・・半導体素子 2,5・・・リード3.6
・・・樹脂基体 4・・・第2の半導体素子7・・
・外囲器 8・・・外囲器リード9・・・フ
タ 20・・・フィルムキャリヤ21・・
・メモリー素子 22.25・・・リード23、2
6・・・ポリイミドフィルム 24・・・第2のメモリー素子 27・・・外囲器 28・・・外囲器リード
29・・・フタ 30・・・突起電極31
・・・半導体素子 32・・・ボンディングワイヤ 37・・・外囲器 38・・・外囲器リード
39・・・フタ 第4図〜第8図において 11、21.31.41.51・・・インナーリード1
2a、 22a、 32a、 42a・・・アウターリ
ードa22b、 32b、 42b・・・アウターリー
ドb14、24.34.44・・・デバイスホール55
・・・外囲器 56・・・外部接続部57、
58・・・半導体素子 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 松山光之 第1図 第 2 図 第3図 第5図 第4図 第8図
Claims (7)
- (1)複数の金属箔配線が形成された樹脂フィルムと、
突起電極(バンプ)を介して該金属箔配線に接続された
半導体素子を積層し、複数個同一外囲器内に搭載したこ
とを特徴とする半導体装置。 - (2)上記複数の半導体素子の同一機能の電極は、素子
選択電極以外同一外部接続リードへ接続し、外部接続リ
ードの数の増加を素子選択リードだけに抑えたことを特
徴とする請求項1記載の半導体装置。 - (3)上記半導体素子が同種のメモリー素子であること
を特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - (4)上記外囲器として、単体素子用の従来の外囲器を
用い、従来無接続であった外部接続リードを2個目以降
の素子選択リードとして利用したことを特徴とする請求
項1記載の半導体装置。 - (5)複数の金属箔配線が形成された樹脂フィルムと、
突起電極(バンプ)を介して該金属箔配線に接続された
半導体素子とを備えた半導体装置において、樹脂フィル
ム上配線が少なくとも1箇所で分岐しているものを用い
、分岐した一方を選択的に切断することで多種のアウタ
ーリードパターンをもたせることを特徴とする半導体装
置。 - (6)切断されていないアウターリードを素子選択ピン
として用いることを特徴とする請求項5記載の半導体装
置。 - (7)上記フィルムキャリヤを用い、互いに異なるアウ
ターリードの切断を行った半導体装置を少なくとも2個
以上同一の外囲器に積層し、同一機能をもつ電極は共通
の外部接続端子へ接続することを特徴とする請求項5記
載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63014485A JPH01191462A (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63014485A JPH01191462A (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01191462A true JPH01191462A (ja) | 1989-08-01 |
Family
ID=11862355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63014485A Pending JPH01191462A (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01191462A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04116860A (ja) * | 1990-09-06 | 1992-04-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
EP0473796A4 (en) * | 1990-03-15 | 1994-05-25 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device having a plurality of chips |
US7321165B2 (en) | 2003-08-28 | 2008-01-22 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor device and its manufacturing method |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01190153A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-07-31 | Motorola Inc | 時分割多重アクセス(tdma)無線システム受信機及び該時分割多重アクセス(tdma)無線システム受信機用復調器及び該時分割多重アクセス(tdma)無線システム受信機における多相復調方法 |
JPH04505527A (ja) * | 1989-05-26 | 1992-09-24 | モトローラ・インコーポレーテッド | 受信機における信号の受信および処理を制御する方法 |
-
1988
- 1988-01-27 JP JP63014485A patent/JPH01191462A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01190153A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-07-31 | Motorola Inc | 時分割多重アクセス(tdma)無線システム受信機及び該時分割多重アクセス(tdma)無線システム受信機用復調器及び該時分割多重アクセス(tdma)無線システム受信機における多相復調方法 |
JPH04505527A (ja) * | 1989-05-26 | 1992-09-24 | モトローラ・インコーポレーテッド | 受信機における信号の受信および処理を制御する方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0473796A4 (en) * | 1990-03-15 | 1994-05-25 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device having a plurality of chips |
JPH04116860A (ja) * | 1990-09-06 | 1992-04-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
US7321165B2 (en) | 2003-08-28 | 2008-01-22 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor device and its manufacturing method |
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