JPH01186294A - 穴開け装置 - Google Patents

穴開け装置

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Publication number
JPH01186294A
JPH01186294A JP63010716A JP1071688A JPH01186294A JP H01186294 A JPH01186294 A JP H01186294A JP 63010716 A JP63010716 A JP 63010716A JP 1071688 A JP1071688 A JP 1071688A JP H01186294 A JPH01186294 A JP H01186294A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
prism
opening part
condensing lens
hole
moved
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63010716A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroo Okawa
宏男 大川
Kiyoe Iwaki
岩木 清栄
Minoru Fujimoto
実 藤本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP63010716A priority Critical patent/JPH01186294A/ja
Publication of JPH01186294A publication Critical patent/JPH01186294A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザ光を用いた穴開は装置に係り、特に穴の
大きさを連続的に応答性よく変えることができる微小穴
開は装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の装置は、特開昭62−93092号公報に記載の
ように、穴の大きさを変えるためにはプリズムを移動さ
せるだけでなく、その動きに合せてレンズを移動させね
ばならず、穴あけ中に穴の大きさを変化させられないか
、あるいはできたとしても多くの部品を協調して動かさ
ねばならなく、動作部の重量も大きくなるので、穴径を
変化させるのに応答性がわるかった。
〔発明が解決しようとする課題〕
この結果、レーザビームを円形状にスキャンして円形状
の穴を開口する時に、応答性が悪く、作業スピードが遅
くなると共に、穴の大きを変える場合には装置を一度止
めるか、装置全体をレーザビームごと動かさねばならず
、応答性が更に悪くなる欠点があった。
本発明の目的は、応答性を良くして、穴開は作業の能率
を向上した穴開は装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の穴開は装置は、ビーム光軸と垂直方向にビーム
光軸と相対的に可動をする集光レンズと、集光レンズか
らのビームを被加工物に照射して円周上の開口部を形成
する回転自在な菱形プリズムと、菱形プリズム上を移動
する駆動部と、を備えることにある。
〔作用〕
集光レンズからビームを菱形プリズムに入射し、菱形プ
リズムは回転しながら、ビームが被加工物の円周°上に
沿って照射しながら、移動するので、被加工物にたとえ
ば円形状の開口部を形成できる。
更に、開口部を大きい開口部に形成する場合には、駆動
部を駆動して、集光レンズを移動すると、それにつれて
ビーム焦点の描く円周も動くので、大きな円形状の開口
部を形成できる。このため、本発明では菱形プリズムは
開口部に関係なくいつも一定の姿勢で回転していればよ
いから、制御機構も簡単であると共に、開口部の大きさ
を変える時には、集光レンズのみを移動させれば、任意
に穴の直径を変えることができて、しかも集光レンズの
み移動すればよく、かつ、移動しやすいので、早く移動
できて応答性もよい。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1ないし第3図により説明
する。
集光レンズ1はレンズ支持棒2を介してリニアアクチエ
ータ3により支持されている。アクチエータ3によりレ
ーザビーム4の光軸に垂直な方向(x、y方向)に集光
レンズ1を移動させることができる。集光レンズ1に入
射するレーザビーム4は集光レンズ1を透過後に菱形プ
リズム5に入射する。菱形プリズム5はプリズムホルダ
6によ支持されている。プリズムホルダ6はさらに軸受
7でレーザビーム4の光軸を中心軸として回転できるよ
うに支持されている。軸受7はハウジング8に装着され
ている1回転はプリズムホルダ6とプーリ9との間にベ
ルト1oを巻き掛け、プーリ9がモータ11の出力軸に
連結している。モータ11の回転はプーリ1oを通して
プリズムホルダ6に伝える。これにより、プリズム5は
一定回転でレーザ光軸を中心軸として回転する。菱形プ
リズム5に入射したレーザビーム4は、このプリズム5
により折り曲げられて、プリズム5より出射し、プリズ
ムの外でビーム焦点13を結ぶ、この焦点13はプリズ
ム5が回転しているので、これにつれてやはり回転し、
その軌跡は円形14のようになる。
次に、穴開は装置の動作を説明する。
第2図はレーザビーム4の光軸と集光レンズ1の中心点
Oが一致している場合を示すものである。
これは集光レンズ1が第4図の実線位置にある時で、菱
形プリズム5がない時の中心焦点位置は18である。レ
ーザビーム4が菱形プリズム5の内側反射面5Aを照射
し、外側反射面5Bに反射されるにしたがいレーザビー
ムの径は、細くなり、被加工物16を照射する。この時
、被加工物16にビーム焦点13を形成し、プリズムホ
ルダ6を矢印方向に回転すれば、中心点Oより半径R1
の円軌跡を被加工物上に形成し、円形状の穴17が被加
工物16に開けられる。
更に、穴17の径を大きくするために、集光レンズ1を
第2図の位置から第3図の位置に距離dだけ移動をすれ
ば、第4図の鎖線の位置になる。
この位置で菱形プリズム5が無い時のレーザビームの中
心焦点位置は、18′である。この時、被加工物16の
中心点O′より半径R2の円17′を開るために、レー
ザビーム4を菱形プリズム5に入射し、ビーム焦点13
′を第1の穴内に定めた後、上述と同様にプリズムホル
ダ6が矢印方向に回転しているので、中心点O′を中心
として半径Rzの鎖線で示す円17′を被加工物上に開
けることができる。
このように、本発明によれば、集光レンズ1を移動する
だけで、被加工物16に任意の穴を開口できるので、機
構が簡単で組立が容易であるばかりでなく、重量の小さ
い集光レンズ1のみ移動すればよいから、移動しやすく
応答性が良い。
第5図は、集光レンズ1を矢印方向の直線状に移動すれ
ば、楕円穴20を被加工物16に開けることが出来る場
合である。第6図は集光レンズ1を矢印方向の円弧上に
移動をすれば、大きな径の円形穴21を被加工物16に
開けることができる場合である。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明の穴開は装置は、応答性がよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例である穴開は装置の斜視図、第
2図および第3図は第1図に使用した集光レンズの側断
面図、第4図は第1図が動作した時の動作を説明する説
明図、第S図および第6図は本発明の別の実施例の概略
を説明した穴開は装置の概略図である。 1・・集光レンズ、3・・・アクチエータ、4・・・レ
ーザビーム、5・・・菱形プリズム、6・・・プリズム
ホルダ、11・・・モータ、16・・・被加工物、17
・・・穴。 躬1図 第2図  尾3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.焦光レンズからのビームによつて被加工物に穴を開
    口する装置において、ビーム光軸と垂直方向にビーム光
    軸と相対的に可動をする集光レンズと、集光レンズから
    のビームを被加工物に照射して円周軌跡を描いて穴を形
    成する回転自在な菱形プリズムと、菱形プリズム上で集
    光レンズを移動させる駆動部と、を備えたことを特徴と
    する穴開け装置。
JP63010716A 1988-01-22 1988-01-22 穴開け装置 Pending JPH01186294A (ja)

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JP63010716A JPH01186294A (ja) 1988-01-22 1988-01-22 穴開け装置

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JP63010716A JPH01186294A (ja) 1988-01-22 1988-01-22 穴開け装置

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JPH01186294A true JPH01186294A (ja) 1989-07-25

Family

ID=11758024

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JP63010716A Pending JPH01186294A (ja) 1988-01-22 1988-01-22 穴開け装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03258476A (ja) * 1990-03-07 1991-11-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ切断方法
WO2014123080A1 (ja) * 2013-02-05 2014-08-14 株式会社ブイ・テクノロジー レーザ加工装置、レーザ加工方法

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CN104955605A (zh) * 2013-02-05 2015-09-30 株式会社V技术 激光加工装置、激光加工方法

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