JPH01185482A - 移動テーブル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、半導体露光装置等の試料台として組込むの
に好適な移動テーブル装置に関する。

（従来の技術） 高精度な位置決め精度が必要とされている半導体ステッ
パー装置の移動テーブルにおいてヨーイング（蛇行）精
度が悪いと、ＬＳＩのチップの中心のある一点で高精度
に位置決めされたとしても、チップの周辺でパターンの
ズレが生じてしまい良好な転写が行なわれない。

従来、リニアガイドをもちいた移動テーブルの構造とし
ては、第３図及び第４図に示すようなものがあった。す
なわち、ベース１の上に一対のレール４をベース１の基
準面２０にネジ６で押し当てていた。この場合、レール
４の真直度はベース１の基準面２０にならう、つまり、
ベース１の基準面２０の加工精度によって、ヨーイング
精度が決定され、補正できない、実際上、レール４長が
長くなるほど、基準面２０の高精度な加工が困難となっ
ていた。実際上、レール長が６００ｍｍ程度にもなると
、基準面の真直度、平行度を１０ｐｍ以下に加工するの
は困難になってくる。その結果高精度な加工を行なって
もヨーイング誤差が３から４秒程度生じ実用上良好な位
置決めが行なえないという問題が生じていた。

幌 （発明が解決しようとする問題、鵡） 上述した如く、従来の移動テーブルのヨーイング精度は
ベースの基準面の加工精度にならう形となり、ヨーイン
グ精度補正が困難であった。そのため良好な位置決めが
行なわれていなかった。

そこで本発明は、上記事情に鑑みてなされたものでリニ
アガイドレールの取付けを簡単に行なえ。

かつ、ヨーイング精度のＶＪＸ４ｍが可能な移動テーブ
ル装置を提供することを目的とする。

本発明の移動テーブル装置は、ベースと、このベース上
に配置されるレールと、このレールに沿って移動可能な
移動テーブルと、この移動テーブルを移動させるための
駆動手段と、この移動テーブルの移動範囲のほぼ全域に
わたってレールの両側面に沿ってベースに固定されるブ
ロックと、このブロックを介してレールの両側面に各々
任意の押圧力を付与する押圧手段とから構成されている
。

（作　　用） このように構成されたものにおいては、ベース上のレー
ルの両側面にそれぞれ任意の押圧力を付与するこ”とが
できるため、レールの曲りを調整、補正することができ
る。また１対のリニアガイドレールの場合にはレールの
真直度、つまり高精度なヨーイング補正が可能となる。

（実　施　例） 以下図面を参照して本発明の実施例について説明する。

第１図乃至第３図に示すように、ベース１上に移動テー
ブル２が１対のリニアガイド（ベアリング３、レール４
及び転動体９により構成）に沿って所定方向に移動可能
に取付けられている。移動テーブル２は、ｒＩＪＡ！Ｐ
ＩＩモータ１０と送りネジ１１により駆動されるように
なっている。

この移動テーブル装置は、ベース１上にレール４、ベア
リング３及び転動体９で構成されるリニアガイドを仮止
めした状態で取付けられている。

ブロック５及びブロック７を移動テーブル１に固定され
ており、これらブロック５，７はレール４の移動テーブ
ル２の移動可能範囲とほぼ等しい長さにわたって配置さ
れている。そして、ブロック５．７の各々には、圧力調
整用ネジ６．８が各々複数個任意の間隔で取付けられて
いる。この圧力調整用ネジ６．８は、各々レール４の側
面に相異なる方向から対向して圧力を付与できるように
配置されている。

次にレール４の真直度のズレを１５１ｍする方法につい
て第４図を参照して述べる。

調整機構は上述したようにレール４の左右を圧力調整用
ネジ６．８で押す構造となっている。２本のレール４の
真直度、平行度は例えば三次元測定器１５の測定部１６
に電気マイクロメータ１７を取付は行なった。三次元測
定器１５の例えばＸ軸とレール４の長手方向とを精度良
く合せ、測定子１８をレール４側面に当てた状態でＹ軸
とＺ軸を動かないようにロックし、Ｘ軸方向に一定速度
で測定子１８を送ればレール４の真直度が測定できる。

ここではレール４の側面とベアリング３のこ′ろがり面
は充分に平行度がでているとみなしてレール４の真直度
を測定しているが、確認のために、レール４の側面とベ
アリング３のころがり面の平行度も、”上記と同様に三
次元測定器１５と電気マイクロメータ１７を用いて測定
してみた。つまり、ベアリング３の側面に測定子１８を
接触させながらベアリング３をレール４に沿って移動さ
せて、この結果、上記レール４の真直度の結果を比較し
た。

その結果、両者の測定結果は定性的に非常に良く一致す
ることが確認でき、レール４の側面とベアリング３のこ
ろがり面は充分に平行度がでていることがわかった。

このように２本のレール４の真直度、平行度を測定した
後、大きく真直度がずれている箇所に潤定子１８を当て
マイクロメータ１７の目盛りを参照しながらレール４を
ネジ６．８により横から押圧し補正を行なう。

このようにしてレール４の真直度、平行度を補正した後
にオートコリメータでヨーイングを測定したところ約１
秒のヨーイング精度が確認された。

従来のように基準面にレールを合せる方法では３〜４秒
のヨーイングが限界とされていたが本発明のように補正
することにより高精度なテーブル位置決めを実現できる
。

なお、上述の実施例においては１軸移動テーブルを示し
ているが、２軸、３軸の移動テーブルに用いることもで
きる。

又、押し付はネジ６及び８の間隔及び本数は必要とする
精度に応じて適宜選択できる。

このように本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変
形して用いることができる。

〔発明の効果〕

以上詳述してきたように本発明によれば、りニアガイド
レールの曲りを！！ＩＩ！１１できることにより、高精
度なヨーイング補正が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の移動テーブル装置の一実施例を示す斜
視図、第２図はその平面図、第３図はその正面図、第４
図は、本発明に係るレールの曲り測定方法を示す説明図
、第５図は従来の移動テーブル装置の構成を示す平面図
、第６図はその正面図である。 １・・・ペース　　　　　　２・・・移動テーブル３・
・・ベアリング　　　　４・・・レール５・・・ブロッ
ク　　　　　６・・・ネジ７・・・ブロック　　　　　
８・・・ネジ９・・・転動体　　　　　　ｌＯ・・・駆
動モータ１１・・・送りネジ　　　　　１５・・・三次
元測定器１７・・・電気マイクロメータ 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　松山光之 第　　３　図 第　　３　図 第　　４　図 撥　　６　　囚

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ベースと、 このベース上に配置されるレールと、 このレールに沿って移動可能な移動テーブルと、この移
   動テーブルを移動させるための駆動手段と、 前記レールの両側面に各々部分的に任意の押圧力を付与
   し前記レールの配置位置を調整可能な押圧手段とを具備
   することを特徴とする移動テーブル装置。
2. （２）前記押圧手段は、前記移動テーブルの移動範囲の
   ほぼ全域にわたり且つ前記レールの両側面に沿って前記
   ベースに固定されるブロックと、このブロックにほぼ等
   間隔に且つ前記レールの両側面に対向して取付けられる
   複数のネジから構成され、前記ネジを締付ける若しくは
   緩めることにより、押圧力を調整することを特徴とする
   請求項１記載の移動テーブル装置。