JPH01181539A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置Info
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- JPH01181539A JPH01181539A JP63004261A JP426188A JPH01181539A JP H01181539 A JPH01181539 A JP H01181539A JP 63004261 A JP63004261 A JP 63004261A JP 426188 A JP426188 A JP 426188A JP H01181539 A JPH01181539 A JP H01181539A
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 abstract description 16
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はワイヤボンディング装置にかかり、特に被ボン
ディング体の位置検出を行うＩＴＶカメラ光学系を有す
るワイヤボンディング装置に関するものである。
ディング体の位置検出を行うＩＴＶカメラ光学系を有す
るワイヤボンディング装置に関するものである。
（従来の技術）
第３図は従来のワイヤボンディング装置の概略構成を示
した正面図である。被ボンディング体であるペレット１
がリードフレーム２にダイボンディングされ、フレーム
搬送ガイド３上をボンディング位置まで搬送される。リ
ードフレーム２はフレーム押え４により固定されると共
にヒータ５１；対して押さえ付けられている。このヒー
タ５はリードフレーム２をペレット１とともに加熱する
。
した正面図である。被ボンディング体であるペレット１
がリードフレーム２にダイボンディングされ、フレーム
搬送ガイド３上をボンディング位置まで搬送される。リ
ードフレーム２はフレーム押え４により固定されると共
にヒータ５１；対して押さえ付けられている。このヒー
タ５はリードフレーム２をペレット１とともに加熱する
。
ＩＴＶカメラ６はペレット１の上方に設けられ、ペレッ
ト１とＩＴＶカメラ６の中間位置に設けられた照明電球
７より出た光はハーフミラ−８によりペレット１方向に
曲げられてペレットを照射し、ベレット１から反射した
光はハーフミラ−８を透過して対物レンズ９によりＩＴ
Ｖカメラ６内の撮像素子１０上にベレットの像を結ぶ。
ト１とＩＴＶカメラ６の中間位置に設けられた照明電球
７より出た光はハーフミラ−８によりペレット１方向に
曲げられてペレットを照射し、ベレット１から反射した
光はハーフミラ−８を透過して対物レンズ９によりＩＴ
Ｖカメラ６内の撮像素子１０上にベレットの像を結ぶ。
ワイヤボンディング装置の制御装置はこのＩＴＶカメラ
６からの影像信号を処理し、ペレット１あるいはフレー
ム２上の正確なボンディング位置を求め、所定のボンデ
ィング動作を行なう。
６からの影像信号を処理し、ペレット１あるいはフレー
ム２上の正確なボンディング位置を求め、所定のボンデ
ィング動作を行なう。
この時、ヒーター５によるヒーター加熱の影響によって
空気のゆらぎ１１が生じ、かげろうのような像のゆれが
発生するが、この空気のゆらぎ１１は一種の歪レンズと
なり撮像素子１０上に正しい影像が結ばれることを妨げ
、正しい位置へのボンディングができなくなる原因とな
る。このときの像の歪の程度は対物レンズ９とペレット
１との間の距離が長い程、さらにヒーター加熱温度が高
いほど大きくなる傾向をもっている。
空気のゆらぎ１１が生じ、かげろうのような像のゆれが
発生するが、この空気のゆらぎ１１は一種の歪レンズと
なり撮像素子１０上に正しい影像が結ばれることを妨げ
、正しい位置へのボンディングができなくなる原因とな
る。このときの像の歪の程度は対物レンズ９とペレット
１との間の距離が長い程、さらにヒーター加熱温度が高
いほど大きくなる傾向をもっている。
このため従来の装置ではエアー供給装置１２をペレット
近傍に配置し、側面からエアまたは窒素を例えば５ｊ！
／ｗｉｎ程度の流量で吹き付け、この空気のゆらぎ１１
による影響を小さくするようにしている。
近傍に配置し、側面からエアまたは窒素を例えば５ｊ！
／ｗｉｎ程度の流量で吹き付け、この空気のゆらぎ１１
による影響を小さくするようにしている。
ところで、近時における半導体装置は、ＬＳＩに代表さ
れるようにますます高集積化され、ペレット上のポンデ
ィングパッドの大きさやピッチ。
れるようにますます高集積化され、ペレット上のポンデ
ィングパッドの大きさやピッチ。
インナーリードの１１やピッチ等も縮小化の傾向が著し
く、それに伴ってワイヤボンディング装置にも高密度で
高精度のものが要求されている。
く、それに伴ってワイヤボンディング装置にも高密度で
高精度のものが要求されている。
そして、このような高密度のワイヤボンディングとして
１００μｍパッドピッチ以下のワイヤボンディングを例
にとると、ボンディング位置を高精度に認識するために
はＩＴＶカメラの光学倍率を高くすることが一般的であ
る。しかし光学倍率を高くすればするほど前述したよう
な空気のゆらぎによる影響を強く受け、前述したエアー
吹き付けによる防止策では十分ではなく高密度ボンディ
ングには適用できない。すなわち高密度ボンディングに
おいては従来のエアー吹き付けによる防止策では空気の
ゆらぎによる影響が無視できなくなり、ボンディング精
度が低下してしまうという問題があった。
１００μｍパッドピッチ以下のワイヤボンディングを例
にとると、ボンディング位置を高精度に認識するために
はＩＴＶカメラの光学倍率を高くすることが一般的であ
る。しかし光学倍率を高くすればするほど前述したよう
な空気のゆらぎによる影響を強く受け、前述したエアー
吹き付けによる防止策では十分ではなく高密度ボンディ
ングには適用できない。すなわち高密度ボンディングに
おいては従来のエアー吹き付けによる防止策では空気の
ゆらぎによる影響が無視できなくなり、ボンディング精
度が低下してしまうという問題があった。
また、上述した空気のゆらぎによる画像のゆれを防止す
るため、光学系照明系カメラをペレット１に近づけるこ
とが考えられるが、第３図において１点鎖線で示されて
いるように光学系とベレット１との間にはボンディング
ヘッド１３が存在しているため、作業性を低下させない
ためには光学系をあまりベレットに近づけることはでき
ない。
るため、光学系照明系カメラをペレット１に近づけるこ
とが考えられるが、第３図において１点鎖線で示されて
いるように光学系とベレット１との間にはボンディング
ヘッド１３が存在しているため、作業性を低下させない
ためには光学系をあまりベレットに近づけることはでき
ない。
また、ヒータ５が存在しているため光学系を近づけるこ
とにより熱変形を招くおそれもある。
とにより熱変形を招くおそれもある。
（発明が解決しようとする課題）
このように従来のボンディング装置では、加熱による空
気のゆらぎの影響を強く受は画像歪を発生させ、高精度
なボンディング品質が得られないという問題点があった
。
気のゆらぎの影響を強く受は画像歪を発生させ、高精度
なボンディング品質が得られないという問題点があった
。
本発明は上述した問題点を解消するためになされたもの
で、空気のゆらぎの影響による画像歪を低減せしめ高精
度なボンディング品質を樽ることのできるワイヤボンデ
ィング装置を提供することを目的とする。
で、空気のゆらぎの影響による画像歪を低減せしめ高精
度なボンディング品質を樽ることのできるワイヤボンデ
ィング装置を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は、被ボンディングを固着するステージと、この
ステージの下方に設けられた加熱用ヒータと、ボンディ
ング手段と、被ボンディング体の上方に設けられたＩＴ
Ｖカメラとを備え、ＩＴＶカメラにより前記被ボンディ
ング体の位置情報を得、この位置情報に基いてボンディ
ング手段の所定のボンディング動作を行うワイヤボンデ
ィング装置において、ＩＴＶカメラの対物レンズと被ボ
ンディング体との間の光学空間に熱遮へい性の光学的透
明体を挿入し、この光学的透明体により光学空間を、前
記対物レンズと光学的透明体との間の距離が光学的透明
体と被ボンディング体との間の距離よりも大きくなるよ
うに分割したことを特徴とする。
ステージの下方に設けられた加熱用ヒータと、ボンディ
ング手段と、被ボンディング体の上方に設けられたＩＴ
Ｖカメラとを備え、ＩＴＶカメラにより前記被ボンディ
ング体の位置情報を得、この位置情報に基いてボンディ
ング手段の所定のボンディング動作を行うワイヤボンデ
ィング装置において、ＩＴＶカメラの対物レンズと被ボ
ンディング体との間の光学空間に熱遮へい性の光学的透
明体を挿入し、この光学的透明体により光学空間を、前
記対物レンズと光学的透明体との間の距離が光学的透明
体と被ボンディング体との間の距離よりも大きくなるよ
うに分割したことを特徴とする。
（作 用）
本発明では光学空間内に熱遮へい性の光学的透明体を挿
入して光学空間を２つに分割し、空気のゆらぎの発生空
間を遮へい体と被ボンディング体との間の空間に限定す
る。このため像のゆれの影菅を従来の半分以下に低減す
ることが可能となる。
入して光学空間を２つに分割し、空気のゆらぎの発生空
間を遮へい体と被ボンディング体との間の空間に限定す
る。このため像のゆれの影菅を従来の半分以下に低減す
ることが可能となる。
（実施例）
以下本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例にかかるボンディング装置を
示す概略構成図である。なお本実施例では第３図に示し
たのと同様の落射照明装置を用いており、第３図と同じ
部分には同じ参照番号を付してその説明を省略する。
示す概略構成図である。なお本実施例では第３図に示し
たのと同様の落射照明装置を用いており、第３図と同じ
部分には同じ参照番号を付してその説明を省略する。
ここでは対物レンズ９とハーフミラ−８の下方に鏡筒２
１を延長し、その先端に熱遮へい性を有する透明ガラス
２０を配設した構造を採用している。この透明ガラス２
０は被ボンディング体であるペレット１と対物レンズ９
との間の光学空間を、透明ガラス２０と被ボンディング
体１との間の空間Ａ（以下単に被ボンディング体周辺空
間という）と対物レンズ９と透明ガラス２０との間の空
間Ｂ（以下遮へい空間という）とに分割する。
１を延長し、その先端に熱遮へい性を有する透明ガラス
２０を配設した構造を採用している。この透明ガラス２
０は被ボンディング体であるペレット１と対物レンズ９
との間の光学空間を、透明ガラス２０と被ボンディング
体１との間の空間Ａ（以下単に被ボンディング体周辺空
間という）と対物レンズ９と透明ガラス２０との間の空
間Ｂ（以下遮へい空間という）とに分割する。
これにより像のゆれ１１の発生を被ボンディング体周辺
空間Ａのみに制限し、遮へい空間Ｂでの像のゆれの発生
を防止している。すなわち本発明では像のゆれ発生領域
を被ボンディング体直上のごく狭い空間に限定させるこ
とにより、像のゆれ１１の影響を小さくするようにして
いる。
空間Ａのみに制限し、遮へい空間Ｂでの像のゆれの発生
を防止している。すなわち本発明では像のゆれ発生領域
を被ボンディング体直上のごく狭い空間に限定させるこ
とにより、像のゆれ１１の影響を小さくするようにして
いる。
発明者らの実験によれば、２つの空間Ａ、Ｂが被ボンデ
ィング体１の上方にその長さが空間Ｂ〉空間Ａとなるよ
うに鏡筒２１をセットすれば、空気のゆらぎ１１による
画像歪を従来の半分程度に低減することができた。
ィング体１の上方にその長さが空間Ｂ〉空間Ａとなるよ
うに鏡筒２１をセットすれば、空気のゆらぎ１１による
画像歪を従来の半分程度に低減することができた。
ここで鏡筒２１の長さを長くすればするほど空気のゆら
ぎ防止効果が上がることが予想できるが、実際には落射
照明だけではなく外部に光源を用意し、披ボンディング
体１からの乱反射光を合わせて利用することも多いため
、必要な光量を確保しかつヒーター押え４およびボンデ
ィングヘッドの運動を妨げないようにしなければならな
いため、鏡筒２１の長さは自ずと制限される。
ぎ防止効果が上がることが予想できるが、実際には落射
照明だけではなく外部に光源を用意し、披ボンディング
体１からの乱反射光を合わせて利用することも多いため
、必要な光量を確保しかつヒーター押え４およびボンデ
ィングヘッドの運動を妨げないようにしなければならな
いため、鏡筒２１の長さは自ずと制限される。
第２図は本発明の他の実施例を示したもので、リング照
明を用いた場合の実施例である。この場合にはリング状
の照明装置３０からの光が被ボンディング体１に十分に
当たるよう鏡筒２１は被ボンディング体１に近づくほど
先の細い構造となっている。そして前述した落射照明の
場合と同様にその先端に透明ガラス２０が埋め込まれこ
れにより被ボンディング体１の上方空間が２つに分割さ
れている。
明を用いた場合の実施例である。この場合にはリング状
の照明装置３０からの光が被ボンディング体１に十分に
当たるよう鏡筒２１は被ボンディング体１に近づくほど
先の細い構造となっている。そして前述した落射照明の
場合と同様にその先端に透明ガラス２０が埋め込まれこ
れにより被ボンディング体１の上方空間が２つに分割さ
れている。
本実施例においても必要な光量を得るために外部に別光
源を併用することができる。
源を併用することができる。
なお前述した実施例においては、光学空間を分割するた
めに鏡筒２１を用いその先端に透明ガラス２０を埋め込
んだが、これに限ることなく他の構成を採用することが
できる。例えば被ボンディング体１と対物レンズ９との
間に光学的透明体であるガラスブロックを挿入するよう
にしてもよい。
めに鏡筒２１を用いその先端に透明ガラス２０を埋め込
んだが、これに限ることなく他の構成を採用することが
できる。例えば被ボンディング体１と対物レンズ９との
間に光学的透明体であるガラスブロックを挿入するよう
にしてもよい。
また、鏡筒２１の先端部に赤外線フィルタを取り付けて
カメラで得られる光の色収差を減少させるようにしても
よい。
カメラで得られる光の色収差を減少させるようにしても
よい。
また従来の装置で用いられているようなエアー吹き付は
機構を併用することによりさらに空気のゆらぎ防止効果
を向上させることができる。
機構を併用することによりさらに空気のゆらぎ防止効果
を向上させることができる。
以上説明したように、本発明では光学空間内に熱遮へい
性の光学的透明物体を挿入して光学空間を２つに分割し
、ヒータによる空気のゆらぎの影響を被ボンディング体
直上の狭い空間に限定させるようにしているため、従来
の装置に比較し空気のゆらぎによる像のゆれを従来の半
分以下に押えることができ、高密度で高精度なワイヤー
ボンディング装置を提供することができるという利点が
ある。
性の光学的透明物体を挿入して光学空間を２つに分割し
、ヒータによる空気のゆらぎの影響を被ボンディング体
直上の狭い空間に限定させるようにしているため、従来
の装置に比較し空気のゆらぎによる像のゆれを従来の半
分以下に押えることができ、高密度で高精度なワイヤー
ボンディング装置を提供することができるという利点が
ある。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示すワイヤボ
ンディング装置の概略構成図、第３図は従来のワイヤボ
ンディング装置を示す構成図である。 １・・・被ボンディング体（ベレット）、５・・・ヒー
タ、６・・・ＩＴＶカメラ、９・・・対物レンズ、１０
・・・撮像素子、１１・・・空気のゆらぎ、２０・・・
透明ガラス、２１・・・延長鏡筒、３０・・・リング照
明装置、Ａ・・・被ボンディング体周辺空間、Ｂ・・・
遮へい空間。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第３図
ンディング装置の概略構成図、第３図は従来のワイヤボ
ンディング装置を示す構成図である。 １・・・被ボンディング体（ベレット）、５・・・ヒー
タ、６・・・ＩＴＶカメラ、９・・・対物レンズ、１０
・・・撮像素子、１１・・・空気のゆらぎ、２０・・・
透明ガラス、２１・・・延長鏡筒、３０・・・リング照
明装置、Ａ・・・被ボンディング体周辺空間、Ｂ・・・
遮へい空間。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第３図
Claims (1)
- 被ボンディング体を固着するステージと、このステー
ジの下方に設けられた加熱用ヒータと、ボンディング手
段と、前記被ボンディング体の上方に設けられたＩＴＶ
カメラとを備え、前記ＩＴＶカメラにより前記被ボンデ
ィング体の位置情報を得、この位置情報に基いて前記ボ
ンディング手段の所定のボンディング動作を行うワイヤ
ボンディング装置において、前記ＩＴＶカメラの対物レ
ンズと前記被ボンディング体との間の光学空間に熱遮へ
い性の光学的透明体を挿入し、この光学的透明体により
前記光学空間を、前記対物レンズと前記光学的透明体と
の間の距離が前記光学的透明体と前記被ボンディング体
との間の距離よりも大きくなるように分割したことを特
徴とするワイヤボンディング装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004261A JPH01181539A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | ワイヤボンディング装置 |
| KR1019890000269A KR910007507B1 (ko) | 1987-01-12 | 1989-01-12 | 와이어본딩장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63004261A JPH01181539A (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01181539A true JPH01181539A (ja) | 1989-07-19 |
| JPH0552061B2 JPH0552061B2 (ja) | 1993-08-04 |
Family
ID=11579599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63004261A Granted JPH01181539A (ja) | 1987-01-12 | 1988-01-12 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01181539A (ja) |
| KR (1) | KR910007507B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018088476A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7045803B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-05-16 | Asm Assembly Automation Ltd. | Missing die detection |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59136940A (ja) * | 1983-01-27 | 1984-08-06 | Fujitsu Ltd | 撮像光学系を有する認識装置 |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63004261A patent/JPH01181539A/ja active Granted
-
1989
- 1989-01-12 KR KR1019890000269A patent/KR910007507B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59136940A (ja) * | 1983-01-27 | 1984-08-06 | Fujitsu Ltd | 撮像光学系を有する認識装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018088476A (ja) * | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 三菱電機株式会社 | 半導体製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR890012372A (ko) | 1989-08-26 |
| JPH0552061B2 (ja) | 1993-08-04 |
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