JPH01167720A - 走査装置 - Google Patents
走査装置Info
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- JPH01167720A JPH01167720A JP62326275A JP32627587A JPH01167720A JP H01167720 A JPH01167720 A JP H01167720A JP 62326275 A JP62326275 A JP 62326275A JP 32627587 A JP32627587 A JP 32627587A JP H01167720 A JPH01167720 A JP H01167720A
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
倉皇上夙机皿別夏
この発明は、被走査平面上に歪みの無い二次元像を形成
することのできる走査装置の改良に関するものである。
することのできる走査装置の改良に関するものである。
の びその
固定された被走査平面上に二次元像を形成する手段とし
ては、従来から特公昭44−9321号公報あるいは特
開昭51−26050号公報に開示されるような技術が
ある。
ては、従来から特公昭44−9321号公報あるいは特
開昭51−26050号公報に開示されるような技術が
ある。
しかしながら、これらの公報に開示された二次元偏向装
置では、副偏向に対して主偏向の回動角度が一定の場合
、被走査平面上では歪みのある走査が行われるため、電
気的に信号を補正する必要があり、電気系がかなり複雑
かつ大規模になるという問題があった。
置では、副偏向に対して主偏向の回動角度が一定の場合
、被走査平面上では歪みのある走査が行われるため、電
気的に信号を補正する必要があり、電気系がかなり複雑
かつ大規模になるという問題があった。
tU髪1旬−
この発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであ
り、走査ラインの歪を光学的に補正することができる走
査装置を提供することを目的とする。
り、走査ラインの歪を光学的に補正することができる走
査装置を提供することを目的とする。
エ を するための
この発明に係る走査装置は、一軸回りに回り光束を反射
偏向させる主走査偏向器と、偏向方向にのみ屈折力を有
し反射光束を光学系の光軸と直交する被走査平面上に結
像、走査させるシリンダー走査レンズと、主走査偏向器
の静止時に被走査平面上で走査方向と直交する線像を形
成し得る光源部と、線像方向に屈折力を有し光源部から
異なる角度で入射する光束を互いに平行な集束光として
主走査偏向器側へ出射させるテレセントリックレンズと
を備えることにより、上記目的の達成を図ったものであ
る。
偏向させる主走査偏向器と、偏向方向にのみ屈折力を有
し反射光束を光学系の光軸と直交する被走査平面上に結
像、走査させるシリンダー走査レンズと、主走査偏向器
の静止時に被走査平面上で走査方向と直交する線像を形
成し得る光源部と、線像方向に屈折力を有し光源部から
異なる角度で入射する光束を互いに平行な集束光として
主走査偏向器側へ出射させるテレセントリックレンズと
を備えることにより、上記目的の達成を図ったものであ
る。
生−肛
この発明の走査装置においては、光源部がら種々の角度
で出射する光束がテレセントリックレンズを介して互い
に平行な集束光となり、主走査偏向器で反射偏向されて
シリンダー走査レンズに入射し、このシリンダー走査レ
ンズを介して走査方向に集束される。すなわち、この装
置では光束の線像方向への集束は主走査偏向器より光源
側のみで行われているが、走査方向への集束は主走査偏
向器より被走査面側でも行われることとなる。
で出射する光束がテレセントリックレンズを介して互い
に平行な集束光となり、主走査偏向器で反射偏向されて
シリンダー走査レンズに入射し、このシリンダー走査レ
ンズを介して走査方向に集束される。すなわち、この装
置では光束の線像方向への集束は主走査偏向器より光源
側のみで行われているが、走査方向への集束は主走査偏
向器より被走査面側でも行われることとなる。
失魔亘
以下、この発明を図面に基づいて説明する。
(第1実施例) −
第1図〜第3図はこの発明の第1実施例を示したもので
ある。
ある。
まず、第1図に基づいて概略を説明する。
この例で示した走査装置は、光源部としてLEDアレイ
、あるいは多点発光レーザーのように多数(例えば、2
00〜300個)の発光部が並列する多点発光素子10
と、この多点発光素子10の各発光部から発する光束を
略平行光束とするコリメートレンズ11とを備えている
。なお、コリメートレンズ11は、線像方向にのみ屈折
力を有している。
、あるいは多点発光レーザーのように多数(例えば、2
00〜300個)の発光部が並列する多点発光素子10
と、この多点発光素子10の各発光部から発する光束を
略平行光束とするコリメートレンズ11とを備えている
。なお、コリメートレンズ11は、線像方向にのみ屈折
力を有している。
符号20は、多点発光素子10の異なる発光部から発し
コリメートレンズ11をそれぞれ異なる角度で出射した
光束を、図中−点鎖線で示した光学系の光軸Xに対して
平行な集束光として出射させるテレセントリックレンズ
であり、21はこのテレセントリックレンズ20の物側
焦平面に置かれた開口絞りである。なお、この例ではテ
レセントリックレンズ20として、多点発光素子10の
発光1部の並列方向(以下、線像方向とする)にのみ屈
折力を有するシリンダーレンズを使用している。
コリメートレンズ11をそれぞれ異なる角度で出射した
光束を、図中−点鎖線で示した光学系の光軸Xに対して
平行な集束光として出射させるテレセントリックレンズ
であり、21はこのテレセントリックレンズ20の物側
焦平面に置かれた開口絞りである。なお、この例ではテ
レセントリックレンズ20として、多点発光素子10の
発光1部の並列方向(以下、線像方向とする)にのみ屈
折力を有するシリンダーレンズを使用している。
また、符号30は光軸Xに対して垂直、かつ線像方向に
平行な回転軸0回りに回転駆動される主走査偏向器とし
てのポリゴンミラー30であり、テレセントリックレン
ズ20を出射した光軸Xに平行な複数の光束は、このポ
リゴンミラー30の側部に回転軸Qと平行に形成された
複数の反射面31によって反射偏向される。
平行な回転軸0回りに回転駆動される主走査偏向器とし
てのポリゴンミラー30であり、テレセントリックレン
ズ20を出射した光軸Xに平行な複数の光束は、このポ
リゴンミラー30の側部に回転軸Qと平行に形成された
複数の反射面31によって反射偏向される。
符号40は、この偏向方向にのみ屈折力を有するシリン
ダー走査レンズであり、反射光束はこのシリンダー走査
レンズ40を介して光軸に直交する被走査面50に到達
する。なお、この例では主走査偏向器としてポリゴンミ
ラー30を使用している関係上、シリンダー走査レンズ
40は走査方向に関する像高が焦点距離と入射角度との
積となるような歪曲収差を有するfθレンズとしての機
能を有している。主走査偏向器としてガルバノミラ−を
利用した場合には、その回動特性に合せて走査レンズ(
例えばアークサインレンズ)等の機能を上記の例とは変
更する必要がある。
ダー走査レンズであり、反射光束はこのシリンダー走査
レンズ40を介して光軸に直交する被走査面50に到達
する。なお、この例では主走査偏向器としてポリゴンミ
ラー30を使用している関係上、シリンダー走査レンズ
40は走査方向に関する像高が焦点距離と入射角度との
積となるような歪曲収差を有するfθレンズとしての機
能を有している。主走査偏向器としてガルバノミラ−を
利用した場合には、その回動特性に合せて走査レンズ(
例えばアークサインレンズ)等の機能を上記の例とは変
更する必要がある。
ここで説明を容易とするため、被走査面50上に線像方
向に延びるy軸と走査方向に延びる2軸とから成る直交
座標を設定し、続いて第2図〜第4図に従って具体的な
設計例について説明する。
向に延びるy軸と走査方向に延びる2軸とから成る直交
座標を設定し、続いて第2図〜第4図に従って具体的な
設計例について説明する。
第2図〜第4図は、第1図の光学系を光軸Xに沿って展
開した図に相当し、第2図はx−y平面に沿ったもの、
第3図及び第4図はx−z平面に沿ったものである。
開した図に相当し、第2図はx−y平面に沿ったもの、
第3図及び第4図はx−z平面に沿ったものである。
コリメートレンズ11は平凸レンズとメニスカスレンズ
とから成る5枚構成とされた回転対称なしンズであり、
焦点距離は50m+sである。
とから成る5枚構成とされた回転対称なしンズであり、
焦点距離は50m+sである。
テレセントリックレンズ20は入射側3枚と出射側1枚
との回転非対称なシリンダーレンズから成り、X−7平
面内における焦点距離は430mmである。
との回転非対称なシリンダーレンズから成り、X−7平
面内における焦点距離は430mmである。
シリンダー走査レンズ40は3枚の回転非対称なシリン
ダーレンズから成り、X−Z平面内における焦点距離は
300mmである。
ダーレンズから成り、X−Z平面内における焦点距離は
300mmである。
次に、上記のような構成とされた走査装置の作用を説明
する。
する。
多点発光素子lOの複数の発光部から発した光束(第2
図では4本で代表させている)は、コリメートレンズ1
1を透過してX−7平面に沿って進む平行光束となり、
開口絞り21を介してテレセントリックレンズ20に入
射する。
図では4本で代表させている)は、コリメートレンズ1
1を透過してX−7平面に沿って進む平行光束となり、
開口絞り21を介してテレセントリックレンズ20に入
射する。
このテレセントリックレンズ20を出射した光束は、光
軸Xとの距離り、(第2図参照)が光軸Xとその光束に
該当する発光部までの距離り、′に対応した集束光束と
なる。なお、テレセントリックレンズ20はx−y平面
内においてのみ各光束を被走査面50上で結像するよう
な屈折力を有しており、X−2平面方向に関しては光束
に対して何ら作用しない。
軸Xとの距離り、(第2図参照)が光軸Xとその光束に
該当する発光部までの距離り、′に対応した集束光束と
なる。なお、テレセントリックレンズ20はx−y平面
内においてのみ各光束を被走査面50上で結像するよう
な屈折力を有しており、X−2平面方向に関しては光束
に対して何ら作用しない。
テレセントリックレンズ20を出射した光束はポリゴン
ミラー30の反射面31で反射偏向され、この偏向方向
にのみ屈折力を有するシリンダー走査レンズ40に入射
する0反射面31に入射する光束は光軸Xに対して平行
であり、しかも反射面31はy軸と平行であるため、反
射面31から被走査面50に至る光束はその偏向方向に
かかわらず、x−z平面に対して平行でx−z平面との
距離がり、となるような平面内を進行することとなる。
ミラー30の反射面31で反射偏向され、この偏向方向
にのみ屈折力を有するシリンダー走査レンズ40に入射
する0反射面31に入射する光束は光軸Xに対して平行
であり、しかも反射面31はy軸と平行であるため、反
射面31から被走査面50に至る光束はその偏向方向に
かかわらず、x−z平面に対して平行でx−z平面との
距離がり、となるような平面内を進行することとなる。
各発光部から発するそれぞれの光束は、前述のテレセン
トリックレンズ20によってy方向へ集束されると共に
、シリンダー走査レンズ4oによって2方向に集束され
、被走査面5o上で独立したスポットを形成する。なお
、このスポットのy座標は多点発光素子lOの発光位置
り、′にょってのみ決定され、2座標はポリゴンミラー
30の回転角度によってのみ決定される。
トリックレンズ20によってy方向へ集束されると共に
、シリンダー走査レンズ4oによって2方向に集束され
、被走査面5o上で独立したスポットを形成する。なお
、このスポットのy座標は多点発光素子lOの発光位置
り、′にょってのみ決定され、2座標はポリゴンミラー
30の回転角度によってのみ決定される。
第4図は第3図に示した状態からポリゴンミラーが4.
5′″回転した状態を示すものであり、この際の2方向
に関する像高h工はスポットのy座標に拘らず約47m
mとなる。
5′″回転した状態を示すものであり、この際の2方向
に関する像高h工はスポットのy座標に拘らず約47m
mとなる。
従って、ポリゴンミラー30の静止時には各発光部を点
灯させることによってy軸と平行な線像を被走査面50
上に形成することができ、また、各発光部を独立して駆
動しつつポリゴンミラー30を回転させることにより発
光部の個数分の走査ラインによる二次元像を一回の走査
によって形成することができる。
灯させることによってy軸と平行な線像を被走査面50
上に形成することができ、また、各発光部を独立して駆
動しつつポリゴンミラー30を回転させることにより発
光部の個数分の走査ラインによる二次元像を一回の走査
によって形成することができる。
このように、被走査面50上でのスポットのy−2座標
をそれぞれ独立して制御することができるるため、複雑
な電気的処理を行わなくとも歪の無い二次元像を迅速に
形成することができる。
をそれぞれ独立して制御することができるるため、複雑
な電気的処理を行わなくとも歪の無い二次元像を迅速に
形成することができる。
(第2実施例)
第5図はこの発明の第2実施例を示したものである。概
略構成は上記の第1実施例と同一であるので、相違点の
みを説明することとする。
略構成は上記の第1実施例と同一であるので、相違点の
みを説明することとする。
この走査装置では、光源部の構成が上記第1実施例とは
異なるものとなっている。すなわち、多点発光素子の代
りに単一の発光部を有する発光素子12を用い、この発
光素子12から発する光束をコリメータレンズ13を介
して略平行光束とし、かつ副走査偏向器としての副ポリ
ゴンミラー14によって線像方向へ偏向させる構成とし
ている。
異なるものとなっている。すなわち、多点発光素子の代
りに単一の発光部を有する発光素子12を用い、この発
光素子12から発する光束をコリメータレンズ13を介
して略平行光束とし、かつ副走査偏向器としての副ポリ
ゴンミラー14によって線像方向へ偏向させる構成とし
ている。
更に、副ポリゴンミラー14の一定速回転に応じた被走
査面50上でのスポット走査の等速性を得るためにテレ
セントリックレンズ20にfθレンズとしての作用をな
すよう歪曲収差を与えている。
査面50上でのスポット走査の等速性を得るためにテレ
セントリックレンズ20にfθレンズとしての作用をな
すよう歪曲収差を与えている。
なお、この実施例では主走査偏向器及び副走査偏向器と
してポリゴンモラーを用いた例についてのみ述べたが、
これに限定されずガルバノミラ−を使用することもでき
る。但し、ガルバノミラ−でラスタースキャンする場合
には、その回動特性に合せてシリンダー走査レンズ及び
テレセントリックレンズにアークサインレンズとしての
機能を持たせる必要がある。
してポリゴンモラーを用いた例についてのみ述べたが、
これに限定されずガルバノミラ−を使用することもでき
る。但し、ガルバノミラ−でラスタースキャンする場合
には、その回動特性に合せてシリンダー走査レンズ及び
テレセントリックレンズにアークサインレンズとしての
機能を持たせる必要がある。
主走査及び副走査偏向器としてガルバノミラ−1A10
ディフレクタ−等入力信号に比例する任意の角度に偏向
できる偏向器とfθレンズを用いた場台には、角偏向器
の偏向角と被走査対象50上でのスポットのy−z方向
への移動ががそれぞれ独立してリニアな関係となるため
、従来困難であったベクタースキャンを複雑な制御なし
に行うことができる。
ディフレクタ−等入力信号に比例する任意の角度に偏向
できる偏向器とfθレンズを用いた場台には、角偏向器
の偏向角と被走査対象50上でのスポットのy−z方向
への移動ががそれぞれ独立してリニアな関係となるため
、従来困難であったベクタースキャンを複雑な制御なし
に行うことができる。
以上、説明してきたようにこの発明の走査装置によれば
、複雑な電気的処理を行わなくとも歪のない二次元像を
形成することができ1.シかも光源部に多点発光素子を
利用した場合には一回の走査で二次元像の形成を行うこ
とができ、また、光源部として単一の発光部を有する発
光素子と副走査偏向器とを設けた場合にはベクタースキ
ャンも簡単な制御で行うことができる。
、複雑な電気的処理を行わなくとも歪のない二次元像を
形成することができ1.シかも光源部に多点発光素子を
利用した場合には一回の走査で二次元像の形成を行うこ
とができ、また、光源部として単一の発光部を有する発
光素子と副走査偏向器とを設けた場合にはベクタースキ
ャンも簡単な制御で行うことができる。
第1図〜第4図は、この発明に係る走査装置の第1実施
例を示したものであり、第1図は概略説明図。 第2図は線像方向に沿う断面図、第3図及び第4図は走
査方向に沿う断面図である。 第5図は、この発明に係る走査装置の第2実施例を示す
概略説明図である。 12・・・発光素子 (副走査偏向器) 20・・・テレセントリックレンズ 30・・・ポリゴンミラー(主走査偏向器)40・・・
シリンダー走査レンズ 50・・・被走査面
例を示したものであり、第1図は概略説明図。 第2図は線像方向に沿う断面図、第3図及び第4図は走
査方向に沿う断面図である。 第5図は、この発明に係る走査装置の第2実施例を示す
概略説明図である。 12・・・発光素子 (副走査偏向器) 20・・・テレセントリックレンズ 30・・・ポリゴンミラー(主走査偏向器)40・・・
シリンダー走査レンズ 50・・・被走査面
Claims (3)
- (1)一軸回りに回り光束を反射偏向させる主走査偏向
器と、前記偏向方向にのみ屈折力を有し反射光束を光学
系の光軸と直交する被走査平面上に結像、走査させるシ
リンダー走査レンズと、前記主走査偏向器の静止時に前
記被走査平面上で走査方向と直交する線像を形成し得る
光源部と、前記線像方向に屈折力を有し前記光源部から
異なる角度で入射する光束を互いに平行な集束光として
前記主走査偏向器側へ出射させるテレセントリックレン
ズとを備えることを特徴とする走査装置。 - (2)前記光源部は、前記線像方向に並列する複数の発
光部を有する多点発光素子と、該多点発光素子から出射
する光束を異なる角度の平行光束として出射するコリメ
ータレンズとから構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第1項に記載の走査装置。 - (3)前記光源部は、単一の発光部を有する発光素子と
、該発光素子から発する光束を前記線像方向に反射偏向
させる副走査偏向器とを備えることを特徴とする特許請
求の範囲第1項に記載の走査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62326275A JP2709929B2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 走査装置 |
US07/288,980 US5046795A (en) | 1987-12-23 | 1988-12-23 | Apparatus for producing a distortion-free two-dimensional image of a scanned object |
US07/649,313 US5067782A (en) | 1987-12-23 | 1991-01-31 | Apparatus for producing a distortion-free two-dimensional image of a scanned object |
US07/733,970 US5107364A (en) | 1987-12-23 | 1991-07-22 | Apparatus for producing a distortion-free two-dimensional image of a scanned object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62326275A JP2709929B2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01167720A true JPH01167720A (ja) | 1989-07-03 |
JP2709929B2 JP2709929B2 (ja) | 1998-02-04 |
Family
ID=18185942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62326275A Expired - Fee Related JP2709929B2 (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2709929B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012256947A (ja) * | 2012-09-28 | 2012-12-27 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品およびその製造方法 |
US8806728B2 (en) | 2008-04-07 | 2014-08-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of producing a laminated ceramic electronic component |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59155826A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-05 | Hitachi Ltd | 光学的走査装置 |
JPS61184515A (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ走査装置 |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP62326275A patent/JP2709929B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59155826A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-05 | Hitachi Ltd | 光学的走査装置 |
JPS61184515A (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ走査装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8806728B2 (en) | 2008-04-07 | 2014-08-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of producing a laminated ceramic electronic component |
JP2012256947A (ja) * | 2012-09-28 | 2012-12-27 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2709929B2 (ja) | 1998-02-04 |
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