JPH01167659A - 試薬自動調製装置 - Google Patents
試薬自動調製装置Info
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- JPH01167659A JPH01167659A JP62327912A JP32791287A JPH01167659A JP H01167659 A JPH01167659 A JP H01167659A JP 62327912 A JP62327912 A JP 62327912A JP 32791287 A JP32791287 A JP 32791287A JP H01167659 A JPH01167659 A JP H01167659A
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- Japan
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- liquid
- tank
- chemical
- solenoid valve
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
液が減少してきたとき前記分析計用の薬液タンクに設け
られた下限液面センサがあらかじめ設定された下限液面
レベルを検出し該下限液面レベル信号に応じて前記薬液
を自動調製して前記薬液タンクに供給する試薬自動調製
装置に関する。
や除去液などの薬液を自動調製する試薬自動調製装置な
るものは市販されておらず、分析計を使用する者が溶離
液や除去液などの薬液を自分で調製してイオン分析装置
などに供給していた。
、例えば2mi’/min、の流量で溶離液を分離カラ
ムなどに送る必要があり、この場合、1日当たり2 (
ml/mi n、)X60 (mi n。
離液が必要であって該溶離液を毎日調製する必要があっ
た。しかも、該溶離液の濃度が変化すると被測定イオン
の保持時間が変化したりするなど直接的な影響が出るた
め、イオンクロマトグララ装置を良好に連続運転するた
めには、毎日、再現性よく溶離液を調製しなければなら
ず大変煩わしいという欠点もあった。一方、毎日再現性
よく溶離液を調製する代わりに、大容量のタンクを使用
して上記調製作業の間隔を長くすることも試みられてい
た。しかし、溶離液タンクの内容量は10〜20!が実
用的な大きさの限界であり、内容量2゜!の溶離液タン
クを使用したとしても6日に1回の割り合いで上記tl
ljl!作業を行なわなければならなかった。このため
、上記調製作業を行なって溶離液タンクに溶離液を補充
する日を間違ったり忘れたりして溶離液タンクが空にな
り、結果的に連続運転が停止するなどの事故も発生する
欠点があった。
あり、その目的は、イオン分析装置などの分析計に使用
される溶離液や除去液などの薬液を1ケ月程度のあいだ
人手による調製作業をすることなく自動的に調製して分
析計に供給できる試薬自動調製装置を提供することにあ
る。
若しくは純水を超純水製造装置に通して製造した超純水
を計量タンクに貯溜すると共に一定濃度のam液をfa
綿液液タンク貯溜し、内容積が一定の計量管内に前記濃
縮液を一定量流して封じ込め、前記計量タンクから一定
量の超純水を流して前記計量管内の濃縮液と一緒に撹拌
タンクに導き、該撹拌タンク内の液体を一定時間循環さ
せながら撹拌して均一相となし、その後、該均一相を前
記薬液タンクに供給することにある。
図は本発明実施例を説明するための使用例構成説明図で
あり、図中、1aは水道水若しくは純水でなる水が導入
される導入口、1bは導入口1aから導入された水等に
含まれているドレンが排出されるドレン排出口、2a、
2bはニードル弁、3a、3bはボール弁、4は圧力計
、5a〜5cはポンプ、6a〜6cは三方電磁弁、7a
〜7eは三方電磁弁、8は超純水製造装置、8aは内部
に活性炭が充填された活性炭筒、8b、8Cは内部に陰
イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂が混合して充填され
た温床、8dは例えば0.22μmのフィルタ、9は撹
拌タンク、1oは下限液面センサ10aと上限液面セン
サ10bを有する計量タンク、11は下限液面センサl
laを有し例えば100倍濃縮された溶離液を貯溜して
いる内容積が例えば41のsm液タンク、12は例えば
内径4amで外径6mmのテフロンチューブでなり内容
積が例えば207Fifの計量管、13は下限液面セン
サ13aを有し溶離液を貯溜している薬液タンク、14
は例えば横河電fi製イオンクロマトアナライザIC5
00/Zでなる分析計である。尚、三方電磁弁6a〜6
c及び三方電磁弁7a〜7eは第1図で熱印が閉で0印
が開を表している。また、下限液面センサ10aと上限
液面センサ10bの距離は、その間の容積が一定(例え
ば2000TILl>となるように調節されている。
を説明するためのタイムチャートであり、以下、この図
を使用しながら本発明実施例の動作について詳しく説明
してゆく。第1図及び第2図において、最初、分析計1
4が稼動して溶離液タンク13内の溶離液が使用される
。このような溶離液の使用によって溶離液タンク13内
の溶離液レベルが低下すると、下限液面センサ13aが
あらかじめ設定されている液面レベルまで達したときに
該液面レベルを検出し、下限レベル信号を薬液注入袋f
fTに送出して溶離液の注入を要求する(第2図のB)
、薬液注入袋M、Tが該下限レベル信号を受けてから5
秒後にポンプ5aがWliA動(第2図のト()シ、超
純水製造装置8内を水が循環し始め、図示しない導電率
計によって水の純度が検出(第2図のA)されて該純度
の向上が確認される。また、上記導電率計の指示から水
の純度が設定値(例えば比抵抗でIOMΩ・c7FL)
を超えたことが検出されたら、第1三方電磁弁6aと第
に方電磁弁7aがオンにされる(第2図のI、J)。こ
のため、導入口1aから導入された水は、第に一ドル弁
2a→第1ボール弁3a→ポンプ5a→活性炭筒8a→
混床8b、8c→フイルタ8d→第1三方電磁弁6a→
第2ボール弁3b→第に方電磁弁7a→第2三方電磁弁
6bを経由し、計量タンク10内へ導かれる。このよう
にして、計量タンク10内に超純水が上限液面センサ1
0aが動作する(第2図のC)まで満たされる。−方、
上述のように第1三方電磁弁6aと第に方電磁弁7aが
オンにされると同時に、第3三方電磁弁6c、第4三方
電磁弁6d、及び第4二方電磁弁7dがオンにされる(
第2図のM、N、O)。
で使用する濃度が4 RM−N a2C03/47FI
M−N a HCO3の100倍に濃縮されている濃
度400mM−Naz CO’3 /400771M
・NaHCO3の溶離:a、)が、所謂ヘッド差により
、第4二方電磁弁7d−+第4三方電磁弁6d→計量管
12→第3三方電磁弁6Cを経由して図示しないドレン
タンクへと導かれる。このとき、上記濃縮液が流れる量
は計量管12の内容積の2〜5倍もあれば計量管12内
を十分に置換できるため、計量管12の内容積が20m
1の場合は上記濃縮液の必要量が40〜1007Flf
であり、第4三方電磁弁7dをオンにする時間は約20
秒程度でよい(第2図のo)6次に、第4二方電磁弁7
dをオフにしてから2秒後に第3三方電磁弁6Cと第4
三方電磁弁6dをオフにされ(第2図のM、N)、計量
管12内に上記濃縮液が閉じ込められる。
と、第1三方電磁弁6aがオフとなって超純水製造装置
から計量タンク10への超純水導入が停止される。第1
三方電磁弁6aがオフとなってから1.5秒後に第に方
電磁弁7aがオフにされると共に、第1三方電磁弁6a
がオフとなってから2.0秒後、3.0秒後、及び5.
0秒後に、第2二方電磁弁7b、第2三方電磁弁6b。
J、L、に、F)、この状態で、計量タンク10内の超
純水は、第2三方電磁弁6b→第3ポンプ5C→第2二
方電磁弁7b→第3三方電磁弁6C→第4三方電磁弁6
dを経由して撹拌タンク9へと導かれる。このような超
純水の流れにより、計量管12内に閉じ込められていた
上記濃縮液は全て撹拌タンク9へと導かれる。このよう
な超純水の使用によって計量タンク10内における超純
水のレベルが低下すると、下限液面センサ10aがあら
かじめ設定されている下限液面レベルを検出して下限レ
ベル信号を送出し、該信号に基いて第3ポンプ5c、第
2三方電磁弁6b、及び第2二方電磁弁7bが即座にオ
フにされる(第2図のP、に、L)。また、第3ポンプ
5c、第2三方電磁弁6b、及び第2二方電磁弁7bが
オフにされてから2秒後に、第2ポンプ5bがオンにさ
れる(第2図のa ) 、、 、Zのため、撹拌タンク
9内の液体が、第2ポンプ5b→第5三方電磁弁6e→
撹拌タンク9の経路を循環しながら撹拌され、該撹拌が
60秒間行われる(第2図のG)ことによって上記濃縮
液と超純水が十分に混合されて均一相となる。このよう
な撹拌操作が60秒間行われてから2秒後に第5三方電
磁弁6e及び第5二方電磁弁7eがオンにされると共に
、4秒後に第2ポンプ5bがオンにされる(第2図のP
、R。
分に混合されて均一相となって生成した溶離液(例えば
4 mM−N a2CO3/ 4 mM−NaHco、
の溶離液)が、第2ポンプ5b及び第5三方電磁弁6e
を経由して薬液タンク13へ導かれる。このような溶離
液の供給によって撹拌タンク9内の液体が減少し、下限
液面センサ9aがあらかじめ設定されている下限液面レ
ベルを検出して下限レベル信号を送出し、該信号に基い
て第2ポンプ5bが即座にオフにされる(第2図のB。
に、第5三方電磁弁6e、第3二方電磁弁7c、及び第
5二方電磁弁7eがオフになり(第2図のP、Q、R)
、薬液タンク13への溶離液供給が終了する。また、
第1ポンプ5aもオフにされ、再び前記下限液面センサ
13aが下限レベル信号を薬液注入装置Tに送出して溶
離液の注入を要求するまで待機するようになる。尚、上
述の操作を実際に行なって調製された溶離液の再現性を
チエツクするために、BT−イオンを1100pp含む
標準液を濃縮タンク11に満たし、100倍稀釈を繰り
返した。この操作で調製された稀釈液を別のイオンクロ
マトアナライザでBY−イオンを測定したところ、n=
20で該イオンの測定のバラツキも含めて変動係数が0
,41%となり極めて良好な結果が得られた。また、上
記溶離液は陰イオン分析用の溶離液について説明してき
たが、陽イオン分析用の溶離液であっても良いものとす
る。更に、第1図の濃縮液タンク11内に100倍に濃
縮された除去液(例えばジビニルベンゼンスルホン酸ナ
トリウム溶液等)を入れ、薬液タンク13を除去液タン
クとして使用し除去液の供給に利用しても良いものとす
る。また、希釈倍率も上述の100倍に限定されること
なく種々の希釈倍率にしても良いものとする。
液タンクに設けられた下限液面センサがあらかじめ設定
された溶離液等の薬液の下限液面レベルを検出し該下限
レベル信号を薬液注入装置に送出して溶離液等の薬液注
入を要求するような構成であるため、イオン分析装置な
どの分析計に使用される溶離液や除去液などの薬液を薬
液の濃縮液がなくなるまで1ケ月程度のあいだ人手によ
る調製作業をすることなく自動的に調製して分析計に供
給できる試薬自動調製装置が実現する。
発明実施例の動作を説明するためのタイムチャートであ
る。 1a・・・導入口、1b・・・ドレン排出口、2a、2
b・・・ニードル弁、
Claims (1)
- 分析計に使用される溶離液や除去液などの薬液が減少
してきたとき前記分析計用の薬液タンクに設けられた下
限液面センサがあらかじめ設定された下限液面レベルを
検出し該下限液面レベル信号に応じて前記薬液を自動調
製して前記薬液タンクに供給する試薬自動調製装置にお
いて、水道水若しくは純水を超純水製造装置に通して製
造した超純水を計量タンクに貯溜すると共に前記薬液の
濃縮液を濃縮液タンクに貯溜し、内容積が一定の計量管
内に前記濃縮液を流して一定量封じ込め、前記計量タン
クから一定量の超純水を流して前記計量管内の濃縮液と
一緒に撹拌タンクに導き、該撹拌タンク内の液体を一定
時間循環させながら撹拌して均一相となし、その後、該
均一相を前記薬液タンクに供給することを特徴とする試
薬自動調製装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62327912A JPH01167659A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 試薬自動調製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62327912A JPH01167659A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 試薬自動調製装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167659A true JPH01167659A (ja) | 1989-07-03 |
Family
ID=18204384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62327912A Pending JPH01167659A (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 試薬自動調製装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01167659A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000121620A (ja) * | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Hitachi Ltd | 液体クロマトグラフ装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5295287A (en) * | 1976-02-04 | 1977-08-10 | Asahi Keiki Kougiyou Kk | Automatic controller for absorption liquids used in measurements of air contamination |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP62327912A patent/JPH01167659A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5295287A (en) * | 1976-02-04 | 1977-08-10 | Asahi Keiki Kougiyou Kk | Automatic controller for absorption liquids used in measurements of air contamination |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000121620A (ja) * | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Hitachi Ltd | 液体クロマトグラフ装置 |
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|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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