JPH01167485A - 磁気シールを有するルーツ型ポンプ - Google Patents
磁気シールを有するルーツ型ポンプInfo
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- JPH01167485A JPH01167485A JP32596087A JP32596087A JPH01167485A JP H01167485 A JPH01167485 A JP H01167485A JP 32596087 A JP32596087 A JP 32596087A JP 32596087 A JP32596087 A JP 32596087A JP H01167485 A JPH01167485 A JP H01167485A
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- Japan
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- pump chamber
- shaft
- pump
- magnetic
- oil
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- Pending
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Landscapes
- Details And Applications Of Rotary Liquid Pumps (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、半導体製造装置の排気系あるいは炭酸ガス
レーザ装置の発振器の排気系に使用して有効な磁気シー
ルを有するルーツ型ポンプに関する。
レーザ装置の発振器の排気系に使用して有効な磁気シー
ルを有するルーツ型ポンプに関する。
〈従来の技術〉
従来のルーツ型ポンプは、２個のロータの夫々の軸かポ
ンプ室を形成している隔壁を貫通して両側に出た外側で
軸受さ、れており、その両側の軸受及び片側で互いに噛
合った１対の歯車に夫々の側ではねかけ潤滑するため、
に油槽を設けである。油槽内の油はポンプの作動による
回転板の回転により前記軸受及び歯車に供給される。そ
の油の一部はロータの軸が隔壁を貫通している部分の隙
間を通ってポンプ室内に入り易いため、その部分には通
常、メＤニカルシール、ラビリンス、ビスコシール、オ
イルシール（リップ付）等が適用される。
ンプ室を形成している隔壁を貫通して両側に出た外側で
軸受さ、れており、その両側の軸受及び片側で互いに噛
合った１対の歯車に夫々の側ではねかけ潤滑するため、
に油槽を設けである。油槽内の油はポンプの作動による
回転板の回転により前記軸受及び歯車に供給される。そ
の油の一部はロータの軸が隔壁を貫通している部分の隙
間を通ってポンプ室内に入り易いため、その部分には通
常、メＤニカルシール、ラビリンス、ビスコシール、オ
イルシール（リップ付）等が適用される。
〈発明か解決しようとする問題点〉
従来使用されているポンプ室と油槽との間の軸封に用い
られているものは、厳密には完全なシール機能がない。
られているものは、厳密には完全なシール機能がない。
すなわち、例えばオイルシールによる場合オイルシール
と回転軸とは接触しているけれどもわずかな間隙が存在
していて、その間隙を油が封止しているのてあり、その
油のポンプ室側へのわずかなはみ出しは避けることがで
きないものである。またシール材の摩耗粉かポンプ室側
へ出ることも防止てきない。このようなわずかな量の油
やシール材の摩耗粉がポンプ室へ入ることは、半導体製
造装置の排気系や炭酸ガスレーザ装置の発振器の排気系
にルーツ型ポンプを使用すると、ポンプ室からのオイル
ミストや粉塵の逆流があって、不良品発生や作動不良の
原因となる問題がある また別に、ポンプ室への油の流入量を最小限にするため
にポンプ室と油槽との圧力を均一にする均−管が設けら
れることもあるが、均−管からの逆流もわずかにあって
、やはりポンプ室内が油で汚染される。ことになり、上
記と同じ問題が生じる。
と回転軸とは接触しているけれどもわずかな間隙が存在
していて、その間隙を油が封止しているのてあり、その
油のポンプ室側へのわずかなはみ出しは避けることがで
きないものである。またシール材の摩耗粉かポンプ室側
へ出ることも防止てきない。このようなわずかな量の油
やシール材の摩耗粉がポンプ室へ入ることは、半導体製
造装置の排気系や炭酸ガスレーザ装置の発振器の排気系
にルーツ型ポンプを使用すると、ポンプ室からのオイル
ミストや粉塵の逆流があって、不良品発生や作動不良の
原因となる問題がある また別に、ポンプ室への油の流入量を最小限にするため
にポンプ室と油槽との圧力を均一にする均−管が設けら
れることもあるが、均−管からの逆流もわずかにあって
、やはりポンプ室内が油で汚染される。ことになり、上
記と同じ問題が生じる。
〈問題点を解決するための手段〉
この発明の手段は、ルーツ型ポンプにおいて、ローダの
軸かポンプ室の隔壁を貫通した部分に磁性流体シールを
設けたことを特徴とする。
軸かポンプ室の隔壁を貫通した部分に磁性流体シールを
設けたことを特徴とする。
〈作 用〉
磁性流体シールは、軸とこれを囲むポールピース間に形
成される強磁場に磁性流体を保持したものであるから、
磁性流体が放出されたり、飛散したりせず、固体同士の
接触もないので摩耗粉も生じないから、ポンプ室内が汚
染されない。
成される強磁場に磁性流体を保持したものであるから、
磁性流体が放出されたり、飛散したりせず、固体同士の
接触もないので摩耗粉も生じないから、ポンプ室内が汚
染されない。
〈実施例〉
この発明の１実施例を第１図乃至第３図を用いて説明す
る。図において、ｌ、２はロータ、３はケーシング、４
．５は隔壁である。ケーシング３は、第２図に示すよう
に、上面に吸入口２４を下面に吐出口２５を設けである
。ケーシング３の両側面は隔壁４．５で閉じられ、内側
にポンプ室６か形成されており、さらにその両外側に油
槽７８を取付けである。ロータｌ、２は軸９．１０に夫
々取付けられてポンプ室６内に設けられ、軸９．１０が
隔壁４．５の夫々の外側部分に設けた軸受１１．１２．
１３．１４で平行に支持されている。軸９，１０には油
槽７内で互いに噛合っている歯車１５．１６が取付けら
れ、さらに軸１０の両端にははねかけ潤滑用の回転板１
７．１８が取付けられている。軸９、ＩＯが隔壁４．５
を貫通した部分のロータ１．２側において、軸９、ＩＯ
と隔壁４．５との間に磁性流体シール１９．２０．２１
．２２が設けられている。軸９の一端は油槽８を貫通し
て出た端部に回転駆動部２３を結合されている。
る。図において、ｌ、２はロータ、３はケーシング、４
．５は隔壁である。ケーシング３は、第２図に示すよう
に、上面に吸入口２４を下面に吐出口２５を設けである
。ケーシング３の両側面は隔壁４．５で閉じられ、内側
にポンプ室６か形成されており、さらにその両外側に油
槽７８を取付けである。ロータｌ、２は軸９．１０に夫
々取付けられてポンプ室６内に設けられ、軸９．１０が
隔壁４．５の夫々の外側部分に設けた軸受１１．１２．
１３．１４で平行に支持されている。軸９，１０には油
槽７内で互いに噛合っている歯車１５．１６が取付けら
れ、さらに軸１０の両端にははねかけ潤滑用の回転板１
７．１８が取付けられている。軸９、ＩＯが隔壁４．５
を貫通した部分のロータ１．２側において、軸９、ＩＯ
と隔壁４．５との間に磁性流体シール１９．２０．２１
．２２が設けられている。軸９の一端は油槽８を貫通し
て出た端部に回転駆動部２３を結合されている。
磁性流体シール１９．２０．２１．２２は、その一つ２
１を第３図に示すように、永久磁石２４、磁極２５．２
６及び軸９の周面と磁極２５．２６との間の微小間隙内
に磁力で保持された磁性流体（図示せず）で構成されて
いる。図中２７は磁極押え部材、２８．２９は０リング
である。磁性流体は公知のもので、スタビライザで被わ
れた磁性をもつ金属微粒子がキャリア中に分散された安
定なコロイド溶液でありそのキャリアはフッ素系のもの
とした。
１を第３図に示すように、永久磁石２４、磁極２５．２
６及び軸９の周面と磁極２５．２６との間の微小間隙内
に磁力で保持された磁性流体（図示せず）で構成されて
いる。図中２７は磁極押え部材、２８．２９は０リング
である。磁性流体は公知のもので、スタビライザで被わ
れた磁性をもつ金属微粒子がキャリア中に分散された安
定なコロイド溶液でありそのキャリアはフッ素系のもの
とした。
このルーツ型ポンプは、回転駆動部２３を作動させると
、軸９がロータ１と共に第２図の矢印３０の方向に回転
し、ロータ２も歯車１５．１６を介して軸１０が回転す
ることにより矢印３１の方向に同じ速度で回転する。こ
れによって吸入口２４側の気体が吐出口２５側へ送られ
る。軸１０に取付けである回転板１７．１８も軸１０と
共に回転するから、油槽７．８内の潤滑油が飛散せしめ
られて、歯車１５．１６、軸受１１．１２．１３．１４
を潤滑する。その潤滑油は軸受部を通って磁性流体シー
ル１９．２０．２１．２２の夫々の部分に達するが、ポ
ンプ室６側には到達しない。
、軸９がロータ１と共に第２図の矢印３０の方向に回転
し、ロータ２も歯車１５．１６を介して軸１０が回転す
ることにより矢印３１の方向に同じ速度で回転する。こ
れによって吸入口２４側の気体が吐出口２５側へ送られ
る。軸１０に取付けである回転板１７．１８も軸１０と
共に回転するから、油槽７．８内の潤滑油が飛散せしめ
られて、歯車１５．１６、軸受１１．１２．１３．１４
を潤滑する。その潤滑油は軸受部を通って磁性流体シー
ル１９．２０．２１．２２の夫々の部分に達するが、ポ
ンプ室６側には到達しない。
従ってポンプ室６内は油によって汚染されることはない
。また、磁性流体シール１９．２０．２１．２２は固体
同士の摩擦接触部がないので摩耗粉の発生もないから、
摩耗粉による汚損のおそれもない。
。また、磁性流体シール１９．２０．２１．２２は固体
同士の摩擦接触部がないので摩耗粉の発生もないから、
摩耗粉による汚損のおそれもない。
〈発明の効果〉
この発明によれば、ロータの軸封に磁性流体シールを用
いたものであるから、ポンプ室内か潤滑油やシール材の
摩耗粉によって汚染されないルーツ型ポンプを提供でき
、このルーツ型ポンプは半導体製造装置の排気系や炭酸
ガスレーザ装置の発振器の排気系に使用して有効である
。
いたものであるから、ポンプ室内か潤滑油やシール材の
摩耗粉によって汚染されないルーツ型ポンプを提供でき
、このルーツ型ポンプは半導体製造装置の排気系や炭酸
ガスレーザ装置の発振器の排気系に使用して有効である
。
第１図はこの発明の１実施例の主要部横断平面図、第２
図は第１図のＡ−ＡＷＲ面側面図、ＭＳ３図は第１図の
部分拡大詳細図である。 １．２・・・ロータ、４．５・・・隔壁、６・・・ポン
プ室、７．８・・・油槽、９，１０・・・軸、１１、１
２．１３．１４・・・軸受、１９．２０．２１．２２・
・・磁性流体シール。
図は第１図のＡ−ＡＷＲ面側面図、ＭＳ３図は第１図の
部分拡大詳細図である。 １．２・・・ロータ、４．５・・・隔壁、６・・・ポン
プ室、７．８・・・油槽、９，１０・・・軸、１１、１
２．１３．１４・・・軸受、１９．２０．２１．２２・
・・磁性流体シール。
Claims (1)
- （１）ポンプ室内の２個のロータから夫々平行に両外方
へ伸延した軸がポンプ室の隔壁を貫通した両外側で軸受
され、その軸受の両外側に潤滑用の油槽を設けてなるル
ーツ型ポンプにおいて、上記軸がポンプ室の隔壁を貫通
した部分に磁性流体シールを設けたことを特徴とする磁
気シールを有するルーツ型ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32596087A JPH01167485A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気シールを有するルーツ型ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32596087A JPH01167485A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気シールを有するルーツ型ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167485A true JPH01167485A (ja) | 1989-07-03 |
Family
ID=18182520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32596087A Pending JPH01167485A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気シールを有するルーツ型ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01167485A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002332678A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Toto Ltd | 水洗便器および水洗便器における吐水部備え付け方法 |
| DE10054442B4 (de) * | 1999-10-28 | 2006-06-29 | Nec Corp. | Scanner mit Kaltkathodenröhren-Lichtquelle |
| KR100744044B1 (ko) * | 2005-08-23 | 2007-08-01 | 디에이치엠(주) | 마그네틱 실링 구조를 갖는 오일 기어펌프 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5870083A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-26 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | ル−ツブロワ− |
| JPS60150495A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-08-08 | エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ・インコ−ポレイテツド | ル−ツ送風機用複式シ−ル装置 |
| JPS6256792B2 (ja) * | 1983-04-14 | 1987-11-27 | Ube Industries |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32596087A patent/JPH01167485A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5870083A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-26 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | ル−ツブロワ− |
| JPS6256792B2 (ja) * | 1983-04-14 | 1987-11-27 | Ube Industries | |
| JPS60150495A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-08-08 | エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ・インコ−ポレイテツド | ル−ツ送風機用複式シ−ル装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10054442B4 (de) * | 1999-10-28 | 2006-06-29 | Nec Corp. | Scanner mit Kaltkathodenröhren-Lichtquelle |
| JP2002332678A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Toto Ltd | 水洗便器および水洗便器における吐水部備え付け方法 |
| KR100744044B1 (ko) * | 2005-08-23 | 2007-08-01 | 디에이치엠(주) | 마그네틱 실링 구조를 갖는 오일 기어펌프 |
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