JPH01167243A - 石英ガラス製装置 - Google Patents
石英ガラス製装置Info
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- JPH01167243A JPH01167243A JP63293728A JP29372888A JPH01167243A JP H01167243 A JPH01167243 A JP H01167243A JP 63293728 A JP63293728 A JP 63293728A JP 29372888 A JP29372888 A JP 29372888A JP H01167243 A JPH01167243 A JP H01167243A
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- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
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- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は炉内で加熱すべき加工片を収容するかあるいは
保持するための石英ガラス製装置に関するものである。
保持するための石英ガラス製装置に関するものである。
セラミック生素地、例えば、光導波路を製造するもとに
なる管あるいはハロゲン放電灯またはガス放電灯製造用
管球ガラスとして必要とされている高純度石英カラスの
製造に必要であるようなセラミック生素地を精製および
焼結する方法において、またセラミック生素地、例えば
、電子部品の製造に必要であるようなセラミック生素地
を精製および焼結する方法においては、精製すべき生素
地が内部に配置されかつ精製用ガスが内部を流れる動作
管(working tube)の形態、または焼結す
べき精製された生素地を取り付けるための保持棒の形態
の装置は、生素地を精製および焼結する際の加熱処理に
使用されている。
なる管あるいはハロゲン放電灯またはガス放電灯製造用
管球ガラスとして必要とされている高純度石英カラスの
製造に必要であるようなセラミック生素地を精製および
焼結する方法において、またセラミック生素地、例えば
、電子部品の製造に必要であるようなセラミック生素地
を精製および焼結する方法においては、精製すべき生素
地が内部に配置されかつ精製用ガスが内部を流れる動作
管(working tube)の形態、または焼結す
べき精製された生素地を取り付けるための保持棒の形態
の装置は、生素地を精製および焼結する際の加熱処理に
使用されている。
このような生素地を精製および焼結する方法は、例えば
、西独国特許出願P 3619510.3に提案されて
いる。
、西独国特許出願P 3619510.3に提案されて
いる。
上述のような装置は石英ガラスからできているのが有利
である。この装置は電気加熱炉内に挿入し、少なくとも
1500°Cまでの温度で使用される。
である。この装置は電気加熱炉内に挿入し、少なくとも
1500°Cまでの温度で使用される。
800°Cより高い精製温度においては、炉の熱の著し
く増大した部分は放射によって炉の端部に送られる。上
述の装置に石英ガラスを使用する場合には、石英ガラス
は伝導性が優れているため、この放射熱の大部分は全反
射を繰り返して石英ガラス内部を通る。この放射はここ
から垂直断面において再び外に出ることがある。この結
果、石英ガラス製装置に連結されている他の装置部品例
えば天然ゴムまたは合成ゴム製の封鎖リングまたは金属
裂取イ」部品が強く加熱されるという問題が生じる。こ
の放射による加熱は外部冷却例えば空気または水による
外部冷却によっても低下しない。石英と空気との間には
大きな屈曲率の差があるので、炉の高温圏においていっ
たん石英ガラス製装置内に入った放射は、例えば光導波
路内の放射と同様に良好に進み、この放射は彎曲部にお
いても外に出ない。
く増大した部分は放射によって炉の端部に送られる。上
述の装置に石英ガラスを使用する場合には、石英ガラス
は伝導性が優れているため、この放射熱の大部分は全反
射を繰り返して石英ガラス内部を通る。この放射はここ
から垂直断面において再び外に出ることがある。この結
果、石英ガラス製装置に連結されている他の装置部品例
えば天然ゴムまたは合成ゴム製の封鎖リングまたは金属
裂取イ」部品が強く加熱されるという問題が生じる。こ
の放射による加熱は外部冷却例えば空気または水による
外部冷却によっても低下しない。石英と空気との間には
大きな屈曲率の差があるので、炉の高温圏においていっ
たん石英ガラス製装置内に入った放射は、例えば光導波
路内の放射と同様に良好に進み、この放射は彎曲部にお
いても外に出ない。
本発明の目的は、動作管または保持棒のような高温の炉
内に設置される石英ガラス製装置を、栓部材または取付
部材のような他の装置部分が連結されている端部におい
て熱放射によって加熱されないように構成することにあ
る。
内に設置される石英ガラス製装置を、栓部材または取付
部材のような他の装置部分が連結されている端部におい
て熱放射によって加熱されないように構成することにあ
る。
本発明においては、炉の高温圏内に突入している前記装
置の領域はアーチ形部分を有し、該部分は彎曲開始部お
よび彎曲終了部を有し、前記領域は容器によって包囲さ
れ、該容器には浸漬用液体が満たされており、前記アー
チ形部分の前方に位置する領域において全反則の結果と
して前記装置の材料内部を流れる熱放射は前記アーチ形
部分から出て前記浸漬用液体中に入るように構成され、
前記アーチ形部分に隣接する前記装置の領域は該領域に
設けられている他の装置部品と共に前記アーチ形部分の
前方に位置する前記装置の領域より低温であることを特
徴とする石英ガラス製装置によって、この目的を達成す
る。
置の領域はアーチ形部分を有し、該部分は彎曲開始部お
よび彎曲終了部を有し、前記領域は容器によって包囲さ
れ、該容器には浸漬用液体が満たされており、前記アー
チ形部分の前方に位置する領域において全反則の結果と
して前記装置の材料内部を流れる熱放射は前記アーチ形
部分から出て前記浸漬用液体中に入るように構成され、
前記アーチ形部分に隣接する前記装置の領域は該領域に
設けられている他の装置部品と共に前記アーチ形部分の
前方に位置する前記装置の領域より低温であることを特
徴とする石英ガラス製装置によって、この目的を達成す
る。
本発明の有利な他の例においては、前記石英ガラス製装
置は保持棒または動作管であり、前記保持棒には好まし
くは取付部材の形態の他の装置部品が取り付けられ、前
記動作管には好ましくは封鎖リングの形態の他の装置部
品が取り付けられている。
置は保持棒または動作管であり、前記保持棒には好まし
くは取付部材の形態の他の装置部品が取り付けられ、前
記動作管には好ましくは封鎖リングの形態の他の装置部
品が取り付けられている。
本発明の他の有利な例においては、石英ガラスと同様な
屈曲率の温度係数を有する浸漬用液体を使用する。浸漬
用液体としてばテトラエチレングリコールを使用するの
が好ましい。
屈曲率の温度係数を有する浸漬用液体を使用する。浸漬
用液体としてばテトラエチレングリコールを使用するの
が好ましい。
本発明装置を使用する場合には、石英ガラス製装置内を
通る熱放射が驚く程簡単に石英ガラスから外に出ること
ができるという利点が達成される。
通る熱放射が驚く程簡単に石英ガラスから外に出ること
ができるという利点が達成される。
次に本発明を図面を参照して例について説明する。
第1図は石英ガラス製動作管の形態の本発明装置1を示
す。この装置内において、セラミック材料の生素地(図
示せず)を、精製用ガス例えば硫黄−酸素一ハロゲン化
合物で飽和したキャリヤガスの流れにより精製すること
ができる。精製用ガスは200〜500 ’Cの範囲内
の温度の炉内に入っている動作管内を流れる。動作管は
その領域Aが炉(図示せず)内に位置するように配置す
る。全反射によってこの動作管材料の内部を領域Aから
領域Bに向けて熱放射13が流れる。先ず、熱放射)3
は石英ガラスの伝導性が良好であるため管外套材料の内
部を繰り返し全反射して領域A内を流れる。
す。この装置内において、セラミック材料の生素地(図
示せず)を、精製用ガス例えば硫黄−酸素一ハロゲン化
合物で飽和したキャリヤガスの流れにより精製すること
ができる。精製用ガスは200〜500 ’Cの範囲内
の温度の炉内に入っている動作管内を流れる。動作管は
その領域Aが炉(図示せず)内に位置するように配置す
る。全反射によってこの動作管材料の内部を領域Aから
領域Bに向けて熱放射13が流れる。先ず、熱放射)3
は石英ガラスの伝導性が良好であるため管外套材料の内
部を繰り返し全反射して領域A内を流れる。
領域B内において、動作管はアーチ形部分3を有し、該
部分は彎曲開始部5および彎曲終了部7を=〇− 有し、前記領域Bは容器9によって包囲され、該容器に
は浸漬用液体11が入っている。この液体は石英ガラス
と同様な屈曲率の温度係数を有しているのが好ましい。
部分は彎曲開始部5および彎曲終了部7を=〇− 有し、前記領域Bは容器9によって包囲され、該容器に
は浸漬用液体11が入っている。この液体は石英ガラス
と同様な屈曲率の温度係数を有しているのが好ましい。
領域Aにおいて石英ガラス内部を流れる熱放射13ば先
ず彎曲開始部の形状に従って流れる。領域Bにおいては
浸漬用液体11がアーチ形部分3を包囲しているので、
領域Bにおいては熱放射13がもはや反射せず、直線的
に放散し、浸漬用液体11のなかに入る。最後に、彎曲
終了部7の後方において、熱放射13ばアーチ形部分3
の石英ガラスから外に出る。領域Cにおいて、動作管は
この管の端部に設けられた他の装置部品が望ましくなく
加熱されることがない程度まで冷却される。
ず彎曲開始部の形状に従って流れる。領域Bにおいては
浸漬用液体11がアーチ形部分3を包囲しているので、
領域Bにおいては熱放射13がもはや反射せず、直線的
に放散し、浸漬用液体11のなかに入る。最後に、彎曲
終了部7の後方において、熱放射13ばアーチ形部分3
の石英ガラスから外に出る。領域Cにおいて、動作管は
この管の端部に設けられた他の装置部品が望ましくなく
加熱されることがない程度まで冷却される。
第2図には、焼結すべきセラミック生素地のための石英
ガラス製保持棒の形態の他の例の本発明装置1に、例え
ば取付部材17の形態の他の装置部品を取り付けたもの
を示す。
ガラス製保持棒の形態の他の例の本発明装置1に、例え
ば取付部材17の形態の他の装置部品を取り付けたもの
を示す。
焼結処理においては、例えば光導波路用プレフォームの
製造に必要となるような保持棒に取り付けられた生素地
を、低速例えば3mm/分の速度で、1500°Cの温
度に加熱された炉に通す。第2図に示す保持棒はその領
域Aにおいて中実であり、その領域Bにおいて管の形に
広くなったアーチ形部分3を有し、アーチ形部分3ば彎
曲開始部5および彎曲終了部7を有し、この保持棒はア
ーチ形部分3の区域において容器9によって包囲され、
容器9には浸漬用液体11が満たされている。領域Cに
おいて、保持棒は再び中実である。保持棒の石英ガラス
の内部を全反射により領域Aから領域Bに向げて進む熱
放射13は、例えば第1図について説明したと同様にし
て、石英ガラスの外に出る。従って、保持棒において領
域Cの端部に設け、られている取付部材17は上述の例
におけると同様に望ましくなく加熱されることばない。
製造に必要となるような保持棒に取り付けられた生素地
を、低速例えば3mm/分の速度で、1500°Cの温
度に加熱された炉に通す。第2図に示す保持棒はその領
域Aにおいて中実であり、その領域Bにおいて管の形に
広くなったアーチ形部分3を有し、アーチ形部分3ば彎
曲開始部5および彎曲終了部7を有し、この保持棒はア
ーチ形部分3の区域において容器9によって包囲され、
容器9には浸漬用液体11が満たされている。領域Cに
おいて、保持棒は再び中実である。保持棒の石英ガラス
の内部を全反射により領域Aから領域Bに向げて進む熱
放射13は、例えば第1図について説明したと同様にし
て、石英ガラスの外に出る。従って、保持棒において領
域Cの端部に設け、られている取付部材17は上述の例
におけると同様に望ましくなく加熱されることばない。
第2図について説明した種類の装置は、セラミック生素
地を焼結するためのほか、石英ガラス物体から製造しよ
うとする光導波路用ファイバを線引きするためにも使用
することができる。この線引処理においては石英ガラス
物体を焼結する場合より著しく高い温度(約2000°
Cまでの炉温度)が必要であり、この場合には取付部材
が望ましくなく加熱されるという問題が大きく現われる
。
地を焼結するためのほか、石英ガラス物体から製造しよ
うとする光導波路用ファイバを線引きするためにも使用
することができる。この線引処理においては石英ガラス
物体を焼結する場合より著しく高い温度(約2000°
Cまでの炉温度)が必要であり、この場合には取付部材
が望ましくなく加熱されるという問題が大きく現われる
。
第1図および第2図に示す浸漬用液体11を収容するた
めの容器9も同様に石英ガラス製とするのが効果的であ
り、この容器は動作管または保持棒の形態の本発明装置
1に融着させることができる。
めの容器9も同様に石英ガラス製とするのが効果的であ
り、この容器は動作管または保持棒の形態の本発明装置
1に融着させることができる。
しかし、別個の容器にフランジを付けて封鎖リングによ
って本発明装置に封着することもできる。
って本発明装置に封着することもできる。
本発明装置を高温の炉内で使用する場合には、浸漬用液
体に対して追加の冷却を行うのが効果的であり、特に浸
漬用液体が石英ガラスとは異なる屈曲率の温度係数を有
している場合にそうである。
体に対して追加の冷却を行うのが効果的であり、特に浸
漬用液体が石英ガラスとは異なる屈曲率の温度係数を有
している場合にそうである。
実際的な例において、外径74mmの外径を有するアー
チ形部分を有する長さ1.80m、外径58mm。
チ形部分を有する長さ1.80m、外径58mm。
壁厚さ4mmの石英ガラス管を、長さ1.50m、
内径80mmの電気的に加熱された抵抗炉内に挿入した
。
内径80mmの電気的に加熱された抵抗炉内に挿入した
。
炉温度1100°Cにおいて、石英ガラス管の端部に取
り付けた弗素エラストマー製封鎖リングの温度は、石英
ガラス管が本発明の特徴を有している場−9= 台には、50°Cより低かった。直径は同しであるがア
ーチ形部分が無く、浸漬用液体の入っている容器が設け
られていない石英ガラス管を使用した場合には、同し炉
温度において弗素エラストマー製封鎖リングの温度は2
00°Cより高くなり、この結果短時間の後に封鎖リン
グが破壊された。
り付けた弗素エラストマー製封鎖リングの温度は、石英
ガラス管が本発明の特徴を有している場−9= 台には、50°Cより低かった。直径は同しであるがア
ーチ形部分が無く、浸漬用液体の入っている容器が設け
られていない石英ガラス管を使用した場合には、同し炉
温度において弗素エラストマー製封鎖リングの温度は2
00°Cより高くなり、この結果短時間の後に封鎖リン
グが破壊された。
第1図は生素地精製用動作管である本発明装置の一例の
断面図、 第2図は生素地焼結用保持棒である本発明装置の他の例
の断面図である。 ■・・・本発明装置(石英ガラス製動作管、石英ガラス
製保持棒) 3・・・アーチ形部分 5・・・彎曲開始部7・・
・彎曲終了部 9・・・容器11・・・浸漬用液
体 13・・・熱放射15・・・封鎖リング(他
の装置部品)17・・・取付部材(他の装置部品) A・・・アーチ形部分3の前方に位置する装置1の領域 B・・・炉の高温圏に突入している装置1の領域C・・
・アーチ形部分3に隣接している装置1の領域特許出願
人 エヌ・ベー・フィリップス−フルーイランペンフ
ァブリケン 代理人弁理士 杉 利 暁 査問弁理士
杉 村 興 作 −11=
断面図、 第2図は生素地焼結用保持棒である本発明装置の他の例
の断面図である。 ■・・・本発明装置(石英ガラス製動作管、石英ガラス
製保持棒) 3・・・アーチ形部分 5・・・彎曲開始部7・・
・彎曲終了部 9・・・容器11・・・浸漬用液
体 13・・・熱放射15・・・封鎖リング(他
の装置部品)17・・・取付部材(他の装置部品) A・・・アーチ形部分3の前方に位置する装置1の領域 B・・・炉の高温圏に突入している装置1の領域C・・
・アーチ形部分3に隣接している装置1の領域特許出願
人 エヌ・ベー・フィリップス−フルーイランペンフ
ァブリケン 代理人弁理士 杉 利 暁 査問弁理士
杉 村 興 作 −11=
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、炉内で加熱すべき加工片を収容するかあるいは保持
するための石英ガラス製装置において、 炉の高温圏内に突入している前記装置(1)の領域(B
)はアーチ形部分(3)を有し、該部分は彎曲開始部(
5)および彎曲終了部(7)を有し、前記領域(B)は
容器(9)によって包囲され、該容器には浸漬用液体(
11)が満たされており、前記アーチ形部分の前方に位
置する領域(A)において全反射の結果として前記装置
(1)の材料内部を流れる熱放射(13)は前記アーチ
形部分から出て前記浸漬用液体中に入るように構成され
、前記アーチ形部分に隣接する前記装置(1)の領域(
C)は該領域に設けられている他の装置部品(15、1
7)と共に前記アーチ形部分の前方に位置する領域より
低温であることを特徴とする石英ガラス製装置。 2、装置(1)が動作管である請求項1記載の装置。 3、他の装置部品が封鎖リングである請求項2記載の装
置。 4、装置(1)が保持棒である請求項1記載の装置。 5、他の装置部品が取付部材(17)である請求項4記
載の装置。 6、石英ガラスと同様な屈曲率の温度係数を有する浸漬
用液体(11)を使用する請求項1〜5のいずれか一つ
の項に記載の装置。 7、浸漬用液体(11)としてテトラエチレングリコー
ルを使用する請求項6記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3739906.3 | 1987-11-25 | ||
DE19873739906 DE3739906A1 (de) | 1987-11-25 | 1987-11-25 | Vorrichtung aus quarzglas |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01167243A true JPH01167243A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=6341218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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