JPH01165135A - ウエハプローバ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野Ｊ この発明は、ウェハ状態の半動体素子の電気的特性を試
験するウエハブローパ装置における。不良チップへのマ
ーキング方法に関するものである。

〔従来の技術Ｊ 第２図、第３図は例えば特開昭６Ｏ−２１１９５６−５
ｊ公報に示された従来のウエハデローパ装置を示す概略
図であり、図において、（１）は半導体ウェハ（以下ウ
ェハと略す”）　、　（２）はウェハ（１）上に格子状
に配列された半導体素子チップ（以下チップと略す）　
、　（３）は真空吸着等の吸管手段を備え、かつＸＹ力
方向移動ｏＩ’能な吸着テープ／に、（４）は電気的特
性を測定後、測定結果により不良であると判定されたチ
ップ（２）Ｋマーキングラ行うマーカ、（５）ｕマーカ
（４）によりマーキングされた不良マークである。

次に動作にりいて説明する。第２図において、吸錠テー
プμ（３）に吸着されたウェハ（１）は電気的特性を測
定された後、その測定結果により不良であると判定され
たチップ（２）に不良マーク（５）をマーキングするた
め、マーカ（４）の備えられた位置に移動される。マー
カ（４）は＠皆テープ／Ｉ／　（３）の移動により不良
であるチップ（２）がマーカ（４）の下に移動した時、
不良であるチップ（２）に不良マーク（５）をマーキン
グする。

第３図はマーキング作業における吸着テーブル（３）の
移動順序を示す概略図であるが、第３図においては、あ
たかもマーカ（４）がウェハ（１）上を移動しているよ
うに図示している。吸着テープ／’　（３）はマーカ（
４）の先端位置が矢印のように位置するよう順次移動し
、ウェハ（１）の電気的特性測定時に記憶した良否の判
定結果に基づき、不良であるチップ（２）がマーカ（４
）の下に移動してきた時のみマーキングを行う。

［発明が解決しようとする問題点、Ｊ 従来のウエハプローバ装置は以上のように構成されてい
るので、マーキング時吸着テープ〃をＸＹ力方向順次移
動させなければならず、マーキングに要する時間が長い
という問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、マーキング時間を短くできるワエハプローパ
装置のマーキング方法を得ることを目的とする。

ｃ問題点を解決するための手段Ｊ この発明に係るウエハプローバ装置は、マーカをウェハ
の直径方向の配列の数またはそれ以上の数の一直線状に
配列したものである。

〔作用Ｊ この発明におけるウエハプローバ装置ハ、マーカをウェ
ハの直径方向の配列の数またはそれ以上の一直線状に配
列したことにより、ウェハを前記マーカの配列方向と直
角方向に移動させるだけでウェハ上の不良チップにマー
キングすることができ、マーキング時間の短縮が図れる
。

〔発明の実施例Ｊ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図はこの実施例におけるウエハプローバ装置を示す
概略図であり、図において、（１）〜（５）は上述した
従来装置と同−又は同等のものである。第１図において
、（６）はウェハ（１）のＹ方向のチップ（２）の敗ま
たはそれ以上の数のマーカ（４）をチップ（２）と等ピ
ッチに一直線状に支持する支持部である。

以上のように構成されているこの発明の一実施例につい
て、以下、その動作を脱明する。

第１図において、吸ＩＦ？−プＡ／　（３）に吸着され
たウェハ（１）は電気的特性を測定された後、その測定
結果よし不良であると判定されたチップ（２）に不良マ
ーク（５）をマーキングするため、マーキング位置に移
動される。そのとき、ウェハ（１）上のチップ（２）と
チップ（２）のＹ方向の数に対してそれぞれ対応するよ
う配置されたマーカ（４）の位置が合うよう、吸着テー
プＩｖ（３）をＹ方向に移動させる。その後、ウェハ（
１）のＸ方向のチップ（２）の１列目がマーカ（４）の
配列に一致する位置まで吸着テープ１ｖ（３）を移動さ
せる６以上の様にウェハ（１）の位置合せを行った後、
ウェハ（１）　ｔ　Ｘ　方向にチップ（２）の配列ピッ
チ距離だけ順次移動させ、電気的特性試験時に不良であ
るチップ（２）の位置を記憶させた記憶手段からの情報
に基づき、不良であるチップ（２）の記憶位置と同位置
のマーカ（４）を作動させ、不良マーク（５）をマーキ
ングする。

なお、上記実施例ではマーカ（４）の配列数及び配列ピ
ッチは特定のウェハ（１）に対して固有のものとしたが
、あらゆる種類のウェハ（１）を処理するウエハプロー
バ装置においては、マーカ（４）の配列数を考えられる
限りの最大欲を設け、またマーカ（４）の配列ピッチに
関しては、そのピッチを自在に変える機構（図示せず）
を設ければよい。

また、上記実施例では、マーカ（４）の配列を平行なも
のとしたが、チップ（２）のピッチが短く、マーカ（４
）を平行に配列できない場合には、マーカ（４）の先端
部を一直線状とすればマーカ（４）の配列を千鳥状（図
示せず）にしてもよい。

また、上記実施例では、マーカ（４）の配列を１列のみ
としているが、配列数を複数としてもよい。

（図示せず） 〔発明の効果」 以上のように、この発明によれば、マーカを複数−直線
状に配列するように構成したので、マーキング時ウェハ
を一方向のみに移動させればよく、マーキング作業に要
する時間を大幅に短縮することができるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるウエハプローバ装置
を示す概略図、第２図は従来のウエハプローバ装置を示
す概略図、第３図は従来のウエハデローパ装置のマーキ
ング順序を示す概略図である。 図において、（１）はウェハ、（２）はチップ、（３）
　ハＵ普テープ／Ｌ’、（４）はマーカ、（５）は不良
マーク、（６）は支持部である。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ウェハ上に格子状に配列された半動体素子チップの電
   気的特性を測定し、測定結果が不良でありた不良チップ
   に不良マークをマーキングするウエハプローバ装置にお
   いて、ウェハを載置し、かつＸＹ方向へのステップ送り
   が可能である駆動機構を備えた吸着テーブルと、ウェハ
   の一方向のチップの最大配列数と同数またはそれ以上の
   、かつチップのピッチと同ピッチに一直線状に配列した
   マーカを備え、吸着テーブルの移動によつて前記マーカ
   の配列方向のウェハの位置決めとマーカの配列と直角方
   向のピッチ送りを行い、測定時に記憶した良否の判定結
   果に基づき、マーカを作動させ不良チップにマーキング
   する、ウエハプローバ装置。