JPH01163641A - 膜の密着強度の評価方法 - Google Patents

膜の密着強度の評価方法

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JPH01163641A
JPH01163641A JP32318787A JP32318787A JPH01163641A JP H01163641 A JPH01163641 A JP H01163641A JP 32318787 A JP32318787 A JP 32318787A JP 32318787 A JP32318787 A JP 32318787A JP H01163641 A JPH01163641 A JP H01163641A
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JP
Japan
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base material
film
charged body
hole
adhesive strength
Prior art date
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Pending
Application number
JP32318787A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshimi Yamaguchi
山口 誼
Junichi Kin
金 順一
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FINE CERAMICS CENTER
Original Assignee
FINE CERAMICS CENTER
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、基材にコーティングされた被膜の密着強度
を評価するための方法に関するものである。
(従来の技術) 従来より、高温あるいは酸等の環境上で使用されるU’
131を保護するために、表面にセラミックス等の硬質
物質をコーティングすることが行なわれてぎた。コーテ
ィング被膜は、それ自体の破壊強度、弾性率、熱膨脹係
数等の種々の物性において良好であることが要求される
が、被膜と基材との間の密着強度を知ってこれを評価す
るのも重要なことである。
従来から知られている被膜の密着強度評価方法には、以
下のようなものがある。
■圧痕観察法 ビッカース圧子を被膜に対し一定荷重をもって静的に押
付(プてくぼみを作り、荷重を除去した後の圧痕の下に
生じるラテラルクラックの径を測定する方法である。し
たがって、比較的再現性はあるが密着強度そのものを数
値的に測定することはできない。
■引掻ぎ法 被膜の所定範囲にわたり格子状に引掻き傷をつ(プた場
合、このうち何枚の格子部分で剥離を生じたかで密着強
度を評価するものである。しかし、この方法も密着強度
自体を数値評価することはできない。
■折曲げ試験法、熱衝撃法 両方法共に密着強度の相対比較を行う簡便法であるが、
やはり密着強度を数値的に測定することはできない。
このように、従来から知られている測定方法のいずれも
が絶対強度を簡易に測定できないため、各種の膜を開発
してゆく上で、また製作過程での品質管理の面からも最
適な手法とは言い難い1゜(発明が解決すべき技術課題
) そこで、本発明は被膜の密着強度を数値的にかつ簡易に
測定できるようにすることを、解決すべき技術課題とす
る。
(問題点を解決するための手段) この課題解決のための手段は、基材の表面にコーティン
グされた膜の密着強度を定量的に評価するための方法で
あって、コーティングに先立ち前記基材の一部に予め孔
を貫通しておぎ、この孔に基材と同材質の装填物を基材
と面一の状態で嵌込み、その後に装填物と共に基材表面
に被膜をコーティングし、しかる後に基材裏面から装填
物を引張り、被膜から剥離する際の荷重を測定すること
である。
(実施例) 以下、本発明を具体化した実施例を図面にしたがって詳
細に説明する。
第2図に示すように、基材1く調料)の裏面からドリル
にて数mm径のテーパー孔2をあけ、その内壁面を平滑
に仕上げておく。その一方で、基材1と同月質のものを
用いで、テーパー孔2全体に適合しうるような装填物3
を作製する。この場合、デーパ−孔2と密着する面を平
滑に仕上げておく。
そして、この装填物3をテーパー孔2に対し隙間なく嵌
込むのであるが(第3図状態)、この際、装填物3と基
材1の表面とは面一にしておく必要がある。
このように、装填物3を基材1のテーパー孔2に隙間な
く嵌込/υだ後に、基材1の表面側に装填物3ど共に一
定厚さのセラミックコーティング(被膜5)を行なう。
この場合のコーティング作業は公知に係るCVD法(化
学的蒸着法)等による。
さて、以上のようにしてコーティングされた基材1の密
着強度ば以下のJζうにして測定される。
すなわち、装填物3の裏面にねじ孔を作っておき、ここ
に引張り用のフック4をねじ込んで取付ける。そして、
図示しない引張り試験機によってこのフック4を介して
装填物3に引張り負荷を作用させる。そして、装填物3
と被膜5とが剥離した時の最大荷重Pを測定する。この
Pの値J:す、被膜5の密着強度Tが知れる。即ち、予
めノギスあるいは光学顕微鏡等にて測定されたテーパー
孔2の表面側の径(直径)をdで表すと、密着強度Tは
次式で表される。
T=4P/πd2 このように、密着強度はTなる値をもって定量的に評価
されるのである。
なお、本例ではセラミック被膜について説明したが、本
発明方法はこれに限らず、他の被膜の密着強度の評価に
広く利用可能である。
(発明の効果) 本発明の効果は次のようである。
■装填物と被膜との接触面積を予め知って、被膜と装填
物の剥離時の荷重を測定すれば、再現性よくかつ密着強
度を数値的にかつ簡易に測定可能である。
■密着強度を定量評価できるため、各種の被膜を開発し
てゆく上で、また製品の製造過程にお(プる品質管理に
非常に有益である。
【図面の簡単な説明】
第1図から第4図はそれぞれ本例の密着強度測定のため
の手順を示す断面図である。 1・・・基材 2・・・テーパー孔 3・・・装填物 5・・・被膜 出願人 財団法人ファインセラミックスセンター代理人
  弁理士 岡田英彦(外2名)−〇 −

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基材の表面にコーティングされた膜の密着強度を定量的
    に評価するための方法であって、コーティングに先立ち
    前記基材の一部に予め孔を貫通しておき、この孔に基材
    と同材質の装填物を基材と面一の状態で嵌込み、その後
    に装填物と共に基材表面に被膜をコーティングし、しか
    る後に基材裏面から装填物を引張り、被膜から剥離する
    際の荷重を測定する膜の密着強度の評価方法
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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