JPH01156550U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01156550U JPH01156550U JP5498788U JP5498788U JPH01156550U JP H01156550 U JPH01156550 U JP H01156550U JP 5498788 U JP5498788 U JP 5498788U JP 5498788 U JP5498788 U JP 5498788U JP H01156550 U JPH01156550 U JP H01156550U
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- JP
- Japan
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- card
- cassette
- attached
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例によるＩＣカード
保持治具の斜視図、第２図はＩＣカード保持治具
をカセツトに装着する際の説明斜視図、第３図は
カセツトにＩＣカード保持治具を装着した状態の
斜視図、第４図は従来のカセツトの斜視図、第５
図は従来ＩＣカードをカセツトにクリツプで取付
けた状態の斜視図、第６図はＩＣカード保持用の
取付足を一体成型したカセツトの斜視図である。 図において、１はＩＣカード保持治具、１Ａは
把持部、１ＢはＩＣカード保持部、２はカセツト
、３は半導体ウエーハ、４はＩＣカード、６は取
付足を示す。なお、図中、同一符号は同一、又は
相当部分を示す。
保持治具の斜視図、第２図はＩＣカード保持治具
をカセツトに装着する際の説明斜視図、第３図は
カセツトにＩＣカード保持治具を装着した状態の
斜視図、第４図は従来のカセツトの斜視図、第５
図は従来ＩＣカードをカセツトにクリツプで取付
けた状態の斜視図、第６図はＩＣカード保持用の
取付足を一体成型したカセツトの斜視図である。 図において、１はＩＣカード保持治具、１Ａは
把持部、１ＢはＩＣカード保持部、２はカセツト
、３は半導体ウエーハ、４はＩＣカード、６は取
付足を示す。なお、図中、同一符号は同一、又は
相当部分を示す。
Claims (1)
- ＩＣカードを用いて半導体の生産管理を行なう
生産システムにおいて半導体ウエーハを収納する
カセツトにＩＣカードを取付けられるようにした
ことを特徴とするＩＣカード保持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5498788U JPH01156550U (ja) | 1988-04-21 | 1988-04-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5498788U JPH01156550U (ja) | 1988-04-21 | 1988-04-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156550U true JPH01156550U (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=31280895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5498788U Pending JPH01156550U (ja) | 1988-04-21 | 1988-04-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01156550U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100521314B1 (ko) * | 1997-10-13 | 2005-12-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치제조용웨이퍼이송기구 |
-
1988
- 1988-04-21 JP JP5498788U patent/JPH01156550U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100521314B1 (ko) * | 1997-10-13 | 2005-12-30 | 삼성전자주식회사 | 반도체장치제조용웨이퍼이송기구 |
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