JPH01151139A - 平面発光型蛍光表示管 - Google Patents

平面発光型蛍光表示管

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JPH01151139A
JPH01151139A JP31152687A JP31152687A JPH01151139A JP H01151139 A JPH01151139 A JP H01151139A JP 31152687 A JP31152687 A JP 31152687A JP 31152687 A JP31152687 A JP 31152687A JP H01151139 A JPH01151139 A JP H01151139A
Authority
JP
Japan
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conductor
anode
display
display tube
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP31152687A
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English (en)
Inventor
Minoru Tashiro
稔 田代
Kokichi Seo
瀬尾 弘吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH01151139A publication Critical patent/JPH01151139A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、平面発光型蛍光表示管の構造に関するもので
ある。
〔従来の技術〕
蛍光表示管は、真空容器内に配置した陰極(フィラメン
ト)から放射される熱電子を対向して配置した表示セグ
メント陽極(以下陽極と呼ぶ)およびこの陽極上に塗布
した蛍光体に衝突させて蛍光体を発光させこれによって
表示を得るものである。このように蛍光表示管は自己発
光型表示器でありかつその駆動電圧が比較的に低電圧で
ある点などの特長があり、オーディオ機器、家電製品お
よび自動車のパネルメータ等に広く用いられて来ている
また、最近では第2図に示すようにガラス基板10上に
格子状やストライプ状のアルミニウム等の金属薄膜で表
示セグメント陽極21を形成し、その透孔から出てくる
発光を陽極を担持している透光性のカラス基板(真空外
囲器の兼ねる)10の裏面から透視する平面発光型蛍光
表示管が増加しつつある。なお、22は表示セグメント
陽極21への給電線であり、30は端子である。
この平面発光型蛍光表示管は、ガラス基板の厚さだけを
隔てて表示を見ることができるため、視野角が広く、か
つ表示品位も優れている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、従来の平面発光型蛍光表示管(以下表示
管と呼ぶ)の欠点はアルミニウム膜の陽極および陰極ま
たは他の電極への給電線が外光を反射してかなり明瞭に
認められ、表示の妨げとなることであった。これを軽減
するためにガラス基板と導体(陽極等)の間にTiN(
窒化チタン)等の着色層を設けたり、表示管の前面に着
色プラスチック板を装着する等の余分の工程や部材を必
要とし、かつその分輝度が低下した。
また、他の方法として、導体(金属)の幅寸法を極めて
細くして見えないようにする方法も採用されているが、
導体の電気抵抗が増加し、表示ムラや輝度のバラツキ、
製造工程中での断線不良率の増大等の問題があり自ずと
限界があり、反射光を完全に無くす事はできなかった。
こうした問題を回避できる有効な手段として、陽極(表
示セグメント)や給電線等の導体をITO(インジウl
\・スズ酸化物)膜やネサ膜などの透明導電膜で形成す
る方法が考えられる。透明導電膜は液晶表示素子やプラ
ズマデイスプレィパネル(PDP)の導体として以前か
ら使用されている。しかしながら、蛍光表示管ては液晶
表示素子やPDPの約100倍から10000倍の電流
容量を必要とし、かつ駆動電圧でもPDPの約1/2以
下の低い場合が多い。このため、導体の回路抵抗をにΩ
オークまで低下する必要かあった。
ITOやネサの面積抵抗率は最低のものでも10Ω/s
qのオークであり、従来の表示セグメント陽極と端子を
細い給電線で連続する導体パターンではこの要求を満す
ことはできなかった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の蛍光表示管は、導体をITO膜やネサ膜等の透
明導電膜で形成すると同時に、表示セグメント陽極、給
電線および端子を特に区別しない一体化した帯状の導体
膜で形成し、かつ、隣接する導体膜に夫夫幅寸法が0.
02mm〜1.0nuIlの間隙部(透明導電膜の無い
部分)を設けて導体相互の電気的絶縁性を確保したもの
である。
特に間隙部寸法を0.02mm以上1.0mm以下に限
定した理由は、間隙が0.02+nmより小さくなると
、フォトエツチング工程での短絡不良が急増する事実を
試作により確認したためであり、また間隙が1.0+n
+11以上となると、現状の平均的蛍光表示管の外形寸
法および導体、特に給電線の数などから、導体幅すなわ
ち導体の回路抵抗の確保が困難となるためである。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の平面発光型蛍光表示管の導体の配列を
示す平面図である。
まず、ガラス基板(窓板ガラス)1の表面に真空蒸着に
よりITO(インジウム・スズ酸化物)膜を約2000
人の厚さに被着する。この膜の面積比抵抗は、7〜8.
5Ω/sqであった。このITO膜上にフォトレジスト
(図示せず)を塗布し、水銀ランプの光で露光後現像す
る。次に、塩酸(HCf)と塩化第2鉄(FeCf2)
飽和溶液(43°Be)の1=1液(液温50°C)を
用いITO膜の不要部、すなわち、帯状間隙部4を溶出
・除去した。ガラス基板1上に残った透明導電膜2a〜
2gは夫々後工程で蛍光体が印刷配置され表示セグメン
ト陽極3となる部分を包含していて、さらに他の表示桁
の同じ表示セグメントどうしと連結されている。この連
結部分は従来(第2図)の給電線22に相当する。また
第2図の記号30で示す端子は蛍光表示管の陽極の一つ
に外部から正電圧を与えるための接続端子で本発明の第
1図では導体2gのどこか適当な部分を端子30として
利用することが出来る。
この実施例では導体の間隙部寸法はセグメント間の最小
部で約30JJ、mそれ以外の部分では約200〜50
0μmとした。この場合の導体間の絶縁抵抗値は温室(
25℃)で5MΩ以上で実用上問題がない値であった。
以上のようにして製造した導体パターン付ガラス基板に
は表示セグメントおよび端子部を残して絶縁ガラス層を
塗布、焼成し、さらに蛍光体、気密シール用ガラスを夫
夫塗布・焼成して陽極基板が完成した。この陽極基板は
以後通常の工程を経て平面発光型蛍光表示管が作られた
このようにし完成した蛍光表示管は従来のアルミニウム
スパッタ膜を用いた場合に比べ表示特性、特に輝度が優
れ、かつ、反射光はほとんど無視できるレベルに低下で
きた。この理由は、導体として透明導電膜を採用したば
かりでなく、導体の分割、配置を工夫し、回路抵抗をで
きるだけ小さくしたことによる。すなわち、表示セグメ
ント陽極と給電線および端子を一体化し、基板面のほと
んどを導体として利用し得るようにしたことで結果的に
従来のアルミニウム配線とほぼ同じレベルの回路抵抗値
に抑えることを可能にした。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の平面発光型蛍光表示管で
は導体を透明導電膜にするとともに、表示セグメント陽
極、給電線および端子を特に区別することなく一体化し
、隣接する導体間に必要最小限度の帯状間隙部を設けた
ことにより導体の回路抵抗を極力小さくすることが可能
となった。
これによって、導体膜による外光の反射が極めて少なく
なり表示管の表示品位が著しく向上した。また、従来反
射光を軽減するため設けていた着色コーティングが不要
となり、高価な連続式スパッタリング装置や、工数を不
要にしたばかりか、着色層による光の吸収が無くなった
分だけ輝度が大となり、製造歩留りが向上した。また、
間隙寸法を従来より小さくしたことにより有害なエツチ
ング液の使用料および廃液量が従来の115〜1/10
以下となり、多大の費用が節減できた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による平面発光型表示管の導
体パターンを示す平面図、第2図は従来の平面発光型表
示管の導体パターンを示す平面図である。 1.10・・・ガラス基板、2a〜2g・・・透明導電
膜(導体)、3・・・表示セグメント陽極パターン、4
・・・帯状間隙部、21・・・表示セグメント陽極、2
2・・・給電線、30・・・端子。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  陰極から放射された熱電子を蛍光体を塗布した表示セ
    グメント陽極に衝突させて発光させ、その発光を前記表
    示セグメント陽極などを担持するガラス基板の裏面側か
    ら透視する平面発光型蛍光表示管において、ガラス基板
    上に表示セグメント陽極、この陽極への給電線、および
    端子を一体化して複数の帯状の透明導電膜で形成し、隣
    接する透明導電膜間を幅が0.02mm乃至1.0mm
    の帯状間隙部により分離したことを特徴とする平面発光
    型蛍光表示管。
JP31152687A 1987-12-08 1987-12-08 平面発光型蛍光表示管 Pending JPH01151139A (ja)

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