JPH01147024A - 高融点金属溶解用水冷銅ハース - Google Patents

高融点金属溶解用水冷銅ハース

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JPH01147024A
JPH01147024A JP30363687A JP30363687A JPH01147024A JP H01147024 A JPH01147024 A JP H01147024A JP 30363687 A JP30363687 A JP 30363687A JP 30363687 A JP30363687 A JP 30363687A JP H01147024 A JPH01147024 A JP H01147024A
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Japan
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water
cooled copper
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copper hearth
point metal
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Tateaki Sahira
佐平 健彰
Shuji Hida
修司 飛田
Masayoshi Yamada
山田 雅祥
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Mitsubishi Metal Corp
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Mitsubishi Metal Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、 Mo’i’ W等の高融点全域を、電子
ビーム、プラズマビーム、レーザビーム等のビーム俗解
する際に使用する水冷銅ハースに関するものである。
〔従来の技術〕
一般に、電子ビーム、プラズマビーム、レーザビーム等
のビーム俗解において、給湯は水冷銅ハースにより保持
され、上記水冷銅ハースは高熱伝導の純銅でつくられて
いるために、水冷を施すことによ)熱を貯えることなく
比較的低温に保たれ、溶解することはない。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、 MoやW等の高融点金属を上記ビーム溶解す
るには、その融点が極めて高いために、非常に高いエネ
ルギーのビームを照射しなければならない。また、一般
に、これら高融点金属に熱伝導度が比較的高く、溶湯と
なる以前に相当量のエネルギーが銅ハースに流入し、そ
の結果、溶解するまでKは、さらに高いエネルギーのビ
ームを照射しなければならない。そのため、水冷銅ハー
スには1次々に高エネルギーが流入することになり。
ついには水冷の限界を越え、これら高ら点金属と銅が焼
き付くという間通がしばしば起こった。
〔問題点を解決するための手段〕
そこで1本発明者等は、上記従来の水冷鋼ノ・−スで発
生している問題点を解決すべく研究を行った結果。
水冷銅ハース上に、断熱層を設け、その上でMOやW等
の高融点金属を溶解すれば、照射したエネルギーが水冷
銅ハースに流入しに<〈、比較的低い入熱で高融点金属
は溶解し、また銅ハースも水冷が十分に効いて、焼きつ
きを起こさず、そして上記断熱層は上記高融点金属の金
属酸化物層が好ましいという知見を得たのである。
この発明は、かかる知見にもとづいてなされたものであ
って。
水冷銅ハースの表面に、溶解しようとする高融点金属の
金属酸化物層を形成してなる扁融点金属溶解用水冷銅ハ
ースに特徴を有するものである。
上記溶解する高融点金属の金属酸化物層を形成した水冷
銅ハースを用いて上記ビーム溶解を行うと、水冷銅ハー
スの焼き付きは全くなく、また銅ハース上に形成された
金属酸化物層は水冷銅ハース表面に強固に固有している
ので冷劫効果も高く。
容易に溶湯と反応しないばかりか、上記金属酸化物層は
溶湯金属の酸化物層であるため、不純物の混入の可能性
は全くなく、<シ返し使用可能である。
上記水冷銅ハース表面の高融点金属酸化物層は。
高融点金属酸化物を蒸着により形成してもよく、また高
融点金属層を形成し、その高融点金属層を大気中で加熱
して酸化することによシ製造することもできる。この際
、高融点金属層の表面のみが酸化している状態でもよい
っ 〔実施例〕 つぎに、この発明を実施例にもとづいて具体的に説明す
る。
(1)蒸着により、水冷銅ハース上に厚さ:0.5鴎の
Mo層を形成し、このMo層を大気中でバーナによシ炙
り1表面を酸化きせ、Mog化物層を形成した。このM
o酸化物層を有する水冷銅ハースの上に、直径:100
Hz、厚さ=10uの焼結Mo板材を置き、上面よシ出
カニ24KW、ビーム径=20uLの電子ビームを照射
し、焼結MO板材を溶解した。
Morg!化物層を有する水冷銅ハースを使用してMO
金金属溶解するために、溶解中にMoが酸素を吸収して
不純物が増加する恐れがあるので、俗解前後のMo中の
酸素含有量を測定し、この結果を第1表の実施例1に示
した。
比較のために、従来の酸化物層のない水冷銅ハースを用
いて、上記寸法のMO板を上記条件で電子ビーム溶解し
、溶解前後のMo中の酸素含有量を測定し、第1表の比
較例1に示した。
上記焼結MO板材の電子ビーム溶解を、Mo酸化物層を
有する水冷銅ハースおよび酸化物層のない従来の水冷銅
ハース上で、それぞれ5回繰り返し行い、ハース表面の
焼き付きの有無を調べ、この結果も第1表に示し念。
(2)蒸着によシ水冷銅ハース上に厚さ:0.6mのW
酸化物層を形成した。この上に、直径:50U、厚さ:
80の焼結W板材を置き、上面より出カニ40KW、 
 ビーム径:2o」の条件で電子ビームを照射し、焼結
W板材を溶解した。
俗解中にWがw2化物層中の酸素を吸収する恐れがある
ので、上記溶解前後のW中の酸素含有量を測定し、この
結果を第1表の実施例2に示した。
比較のために、W酸化物層を有しない従来の水冷銅ハー
スを用いて、上記条件で電子ビーム溶解し、溶解前後の
W中の酸素含有量を測定し、第1表の比較例2に示した
上記焼結W板材の電子ビーム溶解を、W酸化物層を有す
る水冷銅ハースおよびW酸化物層のない従来の水冷銅ハ
ース上で、それぞれ5回顧シ返して、ハース表面の焼き
付きの有無を調べ、この結果も第1表に示した。
第1表 〔発明の効果〕 第1表の結果から、この発明の水冷鋼ハースを用いて高
融点金属を繰り返しビーム溶解してもハース表面に焼き
付くことなく溶解することができ。
しかも、同材質の金属酸化物心を有する水冷銅ハースを
用いることにより著しく酸素含有量が増加することもな
く、さらにその他の不純物の混入も未然に防止されると
いう優れた効果を奏するものである。
出Zfft人  三菱金属株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 水冷銅ハースの表面に、溶解しようとする高融点金属の
    金属酸化物層を形成してなることを特徴とする高融点金
    属溶解用水冷銅ハース。
JP62303636A 1987-12-01 1987-12-01 高融点金属溶解用水冷銅ハース Expired - Lifetime JP2546301B2 (ja)

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