JPH01146234A - X線管装置 - Google Patents
X線管装置Info
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- JPH01146234A JPH01146234A JP30528987A JP30528987A JPH01146234A JP H01146234 A JPH01146234 A JP H01146234A JP 30528987 A JP30528987 A JP 30528987A JP 30528987 A JP30528987 A JP 30528987A JP H01146234 A JPH01146234 A JP H01146234A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明はX線管装置に係り、特にその陰極構体の改良
に関する。
に関する。
(従来の技術)
一般にX線管装置は、例えばX線診断装置に取付けて医
療用に利用されているが、胃の検診などの場合には、従
来、第5図に示すようなX線管装置が用いられている。
療用に利用されているが、胃の検診などの場合には、従
来、第5図に示すようなX線管装置が用いられている。
このX線管装置はいわゆる回転陽極型で、真空外囲器3
1内に陰極構体32と傘形陽極ターゲット33が管軸か
ら偏心して相対向配設されている。
1内に陰極構体32と傘形陽極ターゲット33が管軸か
ら偏心して相対向配設されている。
そして陽極ターゲット33は、ステータ34により電磁
誘導で回転駆動されるロータ35により回転するように
なっている。
誘導で回転駆動されるロータ35により回転するように
なっている。
さて、従来から使用されているX線管装置の陰極構体3
2は、第6図に断面で示すように構成され、集束電極1
02の集束溝106内に陰極フィラメント101が配設
されている。この陰極フィラメント101は、熱電子を
放出するためタングステンコイルからなり、熱電子を集
束電極102により集束させる。このため、陰極フィラ
メント101と集束電極102は略同電位に設定されて
いる。尚、図中、破線103は集束電極102の近傍の
等電位曲線を表わし、符号104は陰極フィラメント1
01のほぼ中央部から放出された電子の軌跡を表わし、
符号105は陰極フィラメント101の側面に近い所か
ら放出された電子の軌跡を表わしている。
2は、第6図に断面で示すように構成され、集束電極1
02の集束溝106内に陰極フィラメント101が配設
されている。この陰極フィラメント101は、熱電子を
放出するためタングステンコイルからなり、熱電子を集
束電極102により集束させる。このため、陰極フィラ
メント101と集束電極102は略同電位に設定されて
いる。尚、図中、破線103は集束電極102の近傍の
等電位曲線を表わし、符号104は陰極フィラメント1
01のほぼ中央部から放出された電子の軌跡を表わし、
符号105は陰極フィラメント101の側面に近い所か
ら放出された電子の軌跡を表わしている。
(発明が解決しようとする問題点)
上記従来の陰極構体32においては、陰極フィラメント
101をほぼ温度制限領域で使用するため、陰極フィラ
メント101の近傍の電界を強くする目的で、この陰極
フィラメント101の一部を集束電極102の中に突出
させている。このため陰極フィラメント101の近傍の
等電位曲線は、破線103で示すように陰極フィラメン
ト101の中央で脹らんだ形となり、陰極フィラメント
101の略側壁から放出された電子105は側方に向う
ことになる。この電子105と、陰極フィラメント10
1の略中央部から放出されて前方に向う電子104とを
、同一方向に集束させることが出来ず、図示したように
これらの軌跡は軸上で交差する。従って、およそ全ての
電子をある程度集束させた位置では、図示したように双
峰性の電子強度分布107を示す。
101をほぼ温度制限領域で使用するため、陰極フィラ
メント101の近傍の電界を強くする目的で、この陰極
フィラメント101の一部を集束電極102の中に突出
させている。このため陰極フィラメント101の近傍の
等電位曲線は、破線103で示すように陰極フィラメン
ト101の中央で脹らんだ形となり、陰極フィラメント
101の略側壁から放出された電子105は側方に向う
ことになる。この電子105と、陰極フィラメント10
1の略中央部から放出されて前方に向う電子104とを
、同一方向に集束させることが出来ず、図示したように
これらの軌跡は軸上で交差する。従って、およそ全ての
電子をある程度集束させた位置では、図示したように双
峰性の電子強度分布107を示す。
ところが上記のように、陰極フィラメント101から放
出された電子を集束電極102によって充分小さく集束
出来ないので、陽極ターゲット33の位置で小さな焦点
を得るために、小さな陰極を用いる必要がある。従って
、陰極温度を高めないと十分な高密度の電子を得ること
が出来ず、陰極フィラメント101の信頼性に問題があ
った。
出された電子を集束電極102によって充分小さく集束
出来ないので、陽極ターゲット33の位置で小さな焦点
を得るために、小さな陰極を用いる必要がある。従って
、陰極温度を高めないと十分な高密度の電子を得ること
が出来ず、陰極フィラメント101の信頼性に問題があ
った。
又、陽極ターゲット33の位置での電子の進行方向が揃
わないため、微小焦点が得られず、更に、電子分布にシ
ャープさがなく、所望した電子分布を得ることが出来な
い。このために十分な高解像度を得ることと、陽極ター
ゲット33上での電子入射による温度上昇の最高値を低
下させて入射電子量を増大させることとを両立させるこ
とが出来ない。これらは、陽極ターゲット33から発生
するX線によって投影画像を作る場合に、解像度の増大
とフォトンノイズの減少の妨害となり、十分に鮮明な画
像を得ることが出来ない。
わないため、微小焦点が得られず、更に、電子分布にシ
ャープさがなく、所望した電子分布を得ることが出来な
い。このために十分な高解像度を得ることと、陽極ター
ゲット33上での電子入射による温度上昇の最高値を低
下させて入射電子量を増大させることとを両立させるこ
とが出来ない。これらは、陽極ターゲット33から発生
するX線によって投影画像を作る場合に、解像度の増大
とフォトンノイズの減少の妨害となり、十分に鮮明な画
像を得ることが出来ない。
この欠点を除去する方法としては、平板状の陰極フィラ
メントを使用することが考えられ、この例として特開昭
55−68056号公報に開示されている提案がある。
メントを使用することが考えられ、この例として特開昭
55−68056号公報に開示されている提案がある。
この平板状陰極フィラメントを有する従来例は、第7図
及び第8図に示すように構成され、図中の符号201は
帯状平成からなり口状に形成された陰極フィラメントで
、その両端が一対のフィラメント支持柱215.215
に固定され、通電により直熱され熱電子を放出する。こ
の場合、X線管装置の動作中の陰極フィラメント201
の熱膨張により、破線201aに示すように、中央部即
ち7代子放出部が湾曲すると共に上方に大きくずれてし
まう。又、両脚部も外方に変形する。特に電子放出部の
位置がフィラメント温度の変化に伴って変化すると、集
束電極202の集束溝206との相対位置関係が変化し
、陽極ターゲット208上の焦点形状が変化してしまう
。このことは又、焦点形状のみならず焦点幅Wの大きさ
な変化として現われるので、微小焦点の実現の妨げとな
る。
及び第8図に示すように構成され、図中の符号201は
帯状平成からなり口状に形成された陰極フィラメントで
、その両端が一対のフィラメント支持柱215.215
に固定され、通電により直熱され熱電子を放出する。こ
の場合、X線管装置の動作中の陰極フィラメント201
の熱膨張により、破線201aに示すように、中央部即
ち7代子放出部が湾曲すると共に上方に大きくずれてし
まう。又、両脚部も外方に変形する。特に電子放出部の
位置がフィラメント温度の変化に伴って変化すると、集
束電極202の集束溝206との相対位置関係が変化し
、陽極ターゲット208上の焦点形状が変化してしまう
。このことは又、焦点形状のみならず焦点幅Wの大きさ
な変化として現われるので、微小焦点の実現の妨げとな
る。
尚、第7図中、破線203は集束電極202の近傍の等
電位曲線を表わし、符号204は陰極フィラメント20
1のほぼ中央部から放出された電子の軌跡を表わし、符
号205は陰極フィラメント201の側面に近い所から
放出された電子の軌跡を表わし、符号207は電子強度
分布を表わしている。
電位曲線を表わし、符号204は陰極フィラメント20
1のほぼ中央部から放出された電子の軌跡を表わし、符
号205は陰極フィラメント201の側面に近い所から
放出された電子の軌跡を表わし、符号207は電子強度
分布を表わしている。
この発明は、以上の事情に鑑みてなされたもので、陰極
フィラメントの形状を改良することによリ、均一な強度
分布を有するX線焦点と十分なX線強度を得、且つ陰極
フィラメントのスペースファクターが向上し、コンパク
トなX線管装置を提供することを目的としている。
フィラメントの形状を改良することによリ、均一な強度
分布を有するX線焦点と十分なX線強度を得、且つ陰極
フィラメントのスペースファクターが向上し、コンパク
トなX線管装置を提供することを目的としている。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
この発明は、平板状陰極フィラメントが、電子ビーム軸
に垂直に形成された高温になる熱電子放出部と、この熱
電子放出部から垂直に折曲されると共に内側に折り返さ
れたU字状又はV字状脚部と、この脚部から熱電子放出
部と略平行に延びてフィラメント支持柱に固着された固
定部とからなるX線管装置である。
に垂直に形成された高温になる熱電子放出部と、この熱
電子放出部から垂直に折曲されると共に内側に折り返さ
れたU字状又はV字状脚部と、この脚部から熱電子放出
部と略平行に延びてフィラメント支持柱に固着された固
定部とからなるX線管装置である。
(作用)
この発明によれば、熱電子放出部が平板状であるので、
熱電子の放出方向が一致しており、電子の集束性が良(
、均一な電子強度分布を有するX線焦点を得ることが出
来る。更に、熱電子放出部が高温度、例えば2800℃
になった場合でも、脚部の熱膨張が吸収され、位置の変
化は極めて小さくなる。従って、従来この分野で認めら
れていた焦点の範囲を狭く抑えることが出来、許容され
る入力パワーが上昇し、同一の公称焦点サイズでのX線
出力が増加する。又、熱電子放出方向の厚みが薄く出来
、スペースファクターが改善される。
熱電子の放出方向が一致しており、電子の集束性が良(
、均一な電子強度分布を有するX線焦点を得ることが出
来る。更に、熱電子放出部が高温度、例えば2800℃
になった場合でも、脚部の熱膨張が吸収され、位置の変
化は極めて小さくなる。従って、従来この分野で認めら
れていた焦点の範囲を狭く抑えることが出来、許容され
る入力パワーが上昇し、同一の公称焦点サイズでのX線
出力が増加する。又、熱電子放出方向の厚みが薄く出来
、スペースファクターが改善される。
特に、乳房診断用X線装置に使用した場合には、陽極タ
ーゲット表面から陰極構体の後面までの距離を、出来る
限り短くすることが重要な意味を持つ。
ーゲット表面から陰極構体の後面までの距離を、出来る
限り短くすることが重要な意味を持つ。
X線管の入力値が大きい場合やターゲット角度が小さい
場合には、熱電子放出部を長くする必要がある。しかる
に、この発明では、熱電子放出部を機械的に支持する固
定部及びフィラメント支持柱が熱電子放出部の後方にあ
るため、長手方向の長さが短く出来、陽極ターゲットの
焦点軌道半径を大きくすることが出来る。従って、同一
焦点サイズで多大なX線出力を得ることが出来、フォト
ンノイズの少ない鮮明なX線画像を得ることが出来る。
場合には、熱電子放出部を長くする必要がある。しかる
に、この発明では、熱電子放出部を機械的に支持する固
定部及びフィラメント支持柱が熱電子放出部の後方にあ
るため、長手方向の長さが短く出来、陽極ターゲットの
焦点軌道半径を大きくすることが出来る。従って、同一
焦点サイズで多大なX線出力を得ることが出来、フォト
ンノイズの少ない鮮明なX線画像を得ることが出来る。
更に、このようにしても、熱遮蔽板により熱電子放出部
からの熱輻射がフィラメン、ト支持柱に伝わらないため
、変形等がない信頼度の高いX線管装置を提供すること
が出来る。
からの熱輻射がフィラメン、ト支持柱に伝わらないため
、変形等がない信頼度の高いX線管装置を提供すること
が出来る。
(実施例)
以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。尚、同一部分は同一符号で表す。
明する。尚、同一部分は同一符号で表す。
この発明を、例えば乳房撮影用として陽極電圧30 K
V、−最大陽極電流300mASX線焦点が50μm
乃至0.5mmの範囲で変えられるX線管装置に適用し
た場合を例に示す。
V、−最大陽極電流300mASX線焦点が50μm
乃至0.5mmの範囲で変えられるX線管装置に適用し
た場合を例に示す。
即ち、この発明によるX線管装置の要部は第1図乃至第
4図に示すように構成され、図示しない真空外囲器内に
陽極ターゲット33及びこれに対向して陰極構体300
が設けられている。この陰極構体300は、一対のフィ
ラメント支持柱302.302に支持された陰極フィラ
メント301、熱遮蔽Ff7.318、熱伝達体316
及びこれらの前方に設けられた集束電極303からなっ
ている。
4図に示すように構成され、図示しない真空外囲器内に
陽極ターゲット33及びこれに対向して陰極構体300
が設けられている。この陰極構体300は、一対のフィ
ラメント支持柱302.302に支持された陰極フィラ
メント301、熱遮蔽Ff7.318、熱伝達体316
及びこれらの前方に設けられた集束電極303からなっ
ている。
この場合、陰極フィラメント301は第1図及び第2図
から明らかなように平板状にして、例えば幅りが約2m
mであり、厚さが0.012mm程度のタングステン薄
板からなっている。そして、高温に加熱されて熱電子を
放出するための熱電子放出部301aと、この熱電子放
出部301aの両端からそれぞれ垂直に折曲されると共
に内側に折り返されたU字状又はV字状脚部301b。
から明らかなように平板状にして、例えば幅りが約2m
mであり、厚さが0.012mm程度のタングステン薄
板からなっている。そして、高温に加熱されて熱電子を
放出するための熱電子放出部301aと、この熱電子放
出部301aの両端からそれぞれ垂直に折曲されると共
に内側に折り返されたU字状又はV字状脚部301b。
301bと、この脚部301b、301bからそれぞれ
熱電子放出部301aと略平行に延びて一対のフィラメ
ント支持柱302.302に固着された固定部301c
、301cとからなっている。
熱電子放出部301aと略平行に延びて一対のフィラメ
ント支持柱302.302に固着された固定部301c
、301cとからなっている。
尚、この固定部301c、301cは、フィラメント支
持柱302.302に溶接され電気的に接続されるが、
溶接し易いように、その幅は熱電子放出部301aの幅
より広くしである。又、U字状又は7字状の脚部301
b、301bは、熱膨張差を完全に吸収出来るように、
温度分布に応じて長さの組み合わせを選んでいる。
持柱302.302に溶接され電気的に接続されるが、
溶接し易いように、その幅は熱電子放出部301aの幅
より広くしである。又、U字状又は7字状の脚部301
b、301bは、熱膨張差を完全に吸収出来るように、
温度分布に応じて長さの組み合わせを選んでいる。
更に、陰極フィラメント301の材料は、純タングステ
ンの他、レニウムを1〜5%程度含有するタングステン
やランタンモリブデンのような高融点合金材を使用する
ことも出来る。そして、その厚さが5μm乃至50μm
の範囲に設定されている。
ンの他、レニウムを1〜5%程度含有するタングステン
やランタンモリブデンのような高融点合金材を使用する
ことも出来る。そして、その厚さが5μm乃至50μm
の範囲に設定されている。
第2図には、上記のような陰極フィラメント301の展
開図を示しているが、これは製造時において既述の材質
のシートを例えばレーザ加工により切断加工した状態に
相当する。図中の破線の箇所で折り曲げて、第1図のよ
うに形成される訳である。
開図を示しているが、これは製造時において既述の材質
のシートを例えばレーザ加工により切断加工した状態に
相当する。図中の破線の箇所で折り曲げて、第1図のよ
うに形成される訳である。
このような陰極フィラメント301を取囲むように、電
子ビームを集束する集束電極303が配設され、この集
束電極303にフィラメント支持柱302.302の少
なくとも一方が絶縁性支持体(図示せず)を介して固定
されている。更に、集束電極303には、陰極フィラメ
ント301の熱電子放出部301aに対向して、電子ビ
ーム制限孔304が形成されている。この電子ビーム制
限孔304は熱電子放出部301aの面積より小さい面
積の例えば長方形にして、熱電子放出部301aの約0
.7mm(寸法d+)前方に位置しており、熱電子放出
部301a側の開口面は熱電子放出部301aと実質的
に平行となっている。
子ビームを集束する集束電極303が配設され、この集
束電極303にフィラメント支持柱302.302の少
なくとも一方が絶縁性支持体(図示せず)を介して固定
されている。更に、集束電極303には、陰極フィラメ
ント301の熱電子放出部301aに対向して、電子ビ
ーム制限孔304が形成されている。この電子ビーム制
限孔304は熱電子放出部301aの面積より小さい面
積の例えば長方形にして、熱電子放出部301aの約0
.7mm(寸法d+)前方に位置しており、熱電子放出
部301a側の開口面は熱電子放出部301aと実質的
に平行となっている。
このような電子ビーム制゛限孔304に連続して、その
前方に集束溝305が集束電極303に穿設されている
。この集束溝305は電子ビーム制限孔304より径大
な例えば長方形にして、電子ビーム制限孔304、熱電
子放出部301aと共に同軸的に形成され、深さ(d2
)が十分深い寸法に形成されている。そして、集束溝3
05の底面は、電子ビーム制限孔304にかけてテーバ
状に形成されている。このテーバ面の中心軸(c) 方
向に沿う寸法は、深さ(d2)に対して数分の1以下の
僅かな寸法となるように形成されている。
前方に集束溝305が集束電極303に穿設されている
。この集束溝305は電子ビーム制限孔304より径大
な例えば長方形にして、電子ビーム制限孔304、熱電
子放出部301aと共に同軸的に形成され、深さ(d2
)が十分深い寸法に形成されている。そして、集束溝3
05の底面は、電子ビーム制限孔304にかけてテーバ
状に形成されている。このテーバ面の中心軸(c) 方
向に沿う寸法は、深さ(d2)に対して数分の1以下の
僅かな寸法となるように形成されている。
更にこの発明では、第1図、第3図、第4図から明らか
なように陰極フィラメント301の熱電子放出部301
aと固定部301c、301cとの間に、熱遮蔽板31
8が配設されている。この熱遮蔽板318は熱伝達体3
16に接合され、熱電子放出部301aから輻射される
熱を受取り外部に放散する。このようにしてフィラメン
ト支持柱302.302の過熱が防止される。
なように陰極フィラメント301の熱電子放出部301
aと固定部301c、301cとの間に、熱遮蔽板31
8が配設されている。この熱遮蔽板318は熱伝達体3
16に接合され、熱電子放出部301aから輻射される
熱を受取り外部に放散する。このようにしてフィラメン
ト支持柱302.302の過熱が防止される。
又、第3図中の符号306は交流電源、307及び30
8は直流電源である。
8は直流電源である。
尚、上記以外は従来のX線管装置(第5図)と同様構成
ゆえ、詳細な説明を省略する。
ゆえ、詳細な説明を省略する。
(変形例)
上記実施例では、陰極フィラメント301は全体が同一
の幅としたが、その幅は途中で特に脚部301b、30
1bで幅広にすると、都合の良い温度分布が得られる。
の幅としたが、その幅は途中で特に脚部301b、30
1bで幅広にすると、都合の良い温度分布が得られる。
更に、陰極フィラメント301の厚さは変化させても良
い。特に、熱電子放出部301aの一部又は全部を脚部
301b、301bより肉薄にすると、更に良好な温度
分布が得られる。又、脚部301b、301bの幅及び
厚さは、熱電子放出部301aより異なっても良い。
い。特に、熱電子放出部301aの一部又は全部を脚部
301b、301bより肉薄にすると、更に良好な温度
分布が得られる。又、脚部301b、301bの幅及び
厚さは、熱電子放出部301aより異なっても良い。
[発明の効果]
この発明によれば、次のような優れた効果が得られる。
■均一な電子強度分布を有するX線焦点が得られ、X線
画像の解像度が向上する。 ■X線焦点のサイズのバラ
ツキが少なくなり、高精度のX線強度制御が出来る。
画像の解像度が向上する。 ■X線焦点のサイズのバラ
ツキが少なくなり、高精度のX線強度制御が出来る。
■熱電子放出部の長平方向の陰極構体の長さが短くなり
、陰極構体をより外側に位置させることが出来るため、
いわゆる焦点の軌道半径を大きく出来、同一焦点に対し
て陽極ターゲツ゛トの限界入力値を増すことが出来る。
、陰極構体をより外側に位置させることが出来るため、
いわゆる焦点の軌道半径を大きく出来、同一焦点に対し
て陽極ターゲツ゛トの限界入力値を増すことが出来る。
■陰極フィラメントの熱膨張による変形が防止出来、十
分な信頼性のあるX線管装置を提供することが出来る。
分な信頼性のあるX線管装置を提供することが出来る。
第1図はこの発明の一実施例に係るX線管装置の要部(
陰極フィラメント付近)を示す斜視図、第2図はこの発
明で用いる陰極フィラメントを示す展開図、第3図及び
第4図はこの発明の一実施例に係るX線管装置の陰極構
体を示す断面図、第5図は従来のX線管装置の全体を示
す概略構成図、第6図及び第7図は従来のX線管装置の
陰極構体(2例)を示す断面図、第8図は第・7図の要
部(陰極フィラメント付近)を示す断面図である。 31・・・真空外囲器、33・・・陽極ターゲット、3
00・・・陰極構体、301・・・陰極フィラメント、
301a・・・熱電子放出部、301b・・・脚部、3
01C・・・固定部、302・・・フィラメント支持柱
、318・・・熱遮蔽板。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
陰極フィラメント付近)を示す斜視図、第2図はこの発
明で用いる陰極フィラメントを示す展開図、第3図及び
第4図はこの発明の一実施例に係るX線管装置の陰極構
体を示す断面図、第5図は従来のX線管装置の全体を示
す概略構成図、第6図及び第7図は従来のX線管装置の
陰極構体(2例)を示す断面図、第8図は第・7図の要
部(陰極フィラメント付近)を示す断面図である。 31・・・真空外囲器、33・・・陽極ターゲット、3
00・・・陰極構体、301・・・陰極フィラメント、
301a・・・熱電子放出部、301b・・・脚部、3
01C・・・固定部、302・・・フィラメント支持柱
、318・・・熱遮蔽板。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (4)
- (1)真空外囲器内に陰極構体と陽極ターゲットが対向
して配設され、上記陰極構体はフィラメント支持柱に支
持された平板状陰極フィラメント及びその前方に設けら
れた集束電極を備えてなるX線管装置において、 上記平板状陰極フィラメントは、電子ビーム軸に垂直に
形成された高温になる熱電子放出部と、この熱電子放出
部から垂直に折曲されると共に内側に折り返されたU字
状又はV字状脚部と、この脚部から上記熱電子放出部と
略平行に延びて上記フィラメント支持柱に固着された固
定部とからなることを特徴とするX線管装置。 - (2)上記熱電子放出部と上記固定部との間に熱遮蔽板
が配設されてなることを特徴とする特許請求の範囲第1
項又は第2項記載のX線管装置。 - (3)上記平板状陰極フィラメントは、タングステン又
はその合金からなる特許請求の範囲第1項又は第2項記
載のX線管装置。 - (4)上記平板状陰極フィラメントは、その厚さが5μ
m乃至50μmの範囲に設定されてなる特許請求の範囲
第1項又は第2項又は第3項記載のX線管装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30528987A JPH01146234A (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | X線管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30528987A JPH01146234A (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | X線管装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01146234A true JPH01146234A (ja) | 1989-06-08 |
Family
ID=17943308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30528987A Pending JPH01146234A (ja) | 1987-12-02 | 1987-12-02 | X線管装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01146234A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103578886A (zh) * | 2013-11-12 | 2014-02-12 | 陆振民 | 电磁波发生装置 |
JP2017033733A (ja) * | 2015-07-31 | 2017-02-09 | 株式会社島津製作所 | 陰極の製造方法、陰極およびx線管装置 |
-
1987
- 1987-12-02 JP JP30528987A patent/JPH01146234A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103578886A (zh) * | 2013-11-12 | 2014-02-12 | 陆振民 | 电磁波发生装置 |
JP2017033733A (ja) * | 2015-07-31 | 2017-02-09 | 株式会社島津製作所 | 陰極の製造方法、陰極およびx線管装置 |
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